KR101435522B1 - 바이오 칩 - Google Patents

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Abstract

바이오 칩이 제공된다. 상기 바이오 칩은 바이오 시료와 커플링할 수 있는 다수의 프로브 셀을 포함하는 프로브 셀 어레이, 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀에서 제공되는 광신호를 검출하여 디지털 전기 신호로 변환하는 광센서 및 디지털 전기적 신호를 저장하는 메모리 셀 어레이를 포함한다.
프로브, 바이오, 메모리

Description

바이오 칩{Biochip}
본 발명은 바이오 칩에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브를 이용하여 바이오 시료의 성분을 분석하는 바이오 칩에 관한 것이다.
마이크로 어레이로 대표되는 바이오 칩은 기판에 고정된 기지의 프로브에 바이오 시료를 제공하여 프로브와 바이오 시료간 반응이 일어나는지 여부를 관찰함으로써, 바이오 시료의 구체적인 성분을 분석한다. 하나의 바이오 칩에는 여러 종류의 서로 다른 프로브들이 셀별로 고정되어 다양한 데이터를 판독할 수 있도록 한다.
이러한 바이오 칩은 바이오 칩을 이용하여 분석하고자 하는 바이오 분자의 정보의 형태가 다양화됨에 따라, 바이오 칩의 설계 규칙(design rule)이 수십 μm에서 수 μm 이하로 감소되고 있으며, 이에 따라 바이오 칩 내에 프로브의 혼성화 여부를 보다 신속하고, 안정적으로 검출할 수 있는 새로운 방법이 모색되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 프로브의 혼성화 여부를 보다 신속하고, 안정적으로 검출할 수 있는 바이오 칩을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 바이오 칩은 바이오 시료와 커플링할 수 있는 다수의 프로브 셀을 포함하는 프로브 셀 어레이, 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀에서 제공되는 광신호를 검출하여 디지털 전기 신호로 변환하는 광센서 및 디지털 전기적 신호를 저장하는 메모리 셀 어레이를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 바이오 칩은 바이오 시료와 커플링할 수 있는 다수의 프로브 셀을 포함하며, 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀에서 제공되는 전기적 신호를 검출하는 프로브 셀 어레 이 및 전기적 신호를 저장하는 메모리 셀 어레이를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참고하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, ″및/또는″은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 또, 이하 명세서 전체에 걸쳐 동일 참고 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 또한 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참고 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시예들에 따른 바이오 칩은 바이오 시료에 포함되어 있는 바이오 분자(bimolecular)를 분석함으로써, 유전자 발현 분석(gene expression profiling), 유전자형 분석(genotyping), SNP(Single Nucleotide Polymorphism)와 같은 돌연 변이(mutation) 및 다형(polymorphism)의 검출, 단백질 및 펩티드 분석, 잠재적인 약의 스크리닝, 신약 개발과 제조 등을 하는 데에 이용된다. 바이오 칩은 분석하고자 하는 바이오 시료의 대상에 따라 그에 맞는 프로브(probe)들을 채용한다. 바이오 칩에 채용될 수 있는 프로브의 예는 DNA 프로브, 효소나 항체/항원, 박테리오로돕신(bacteriorhodopsin) 등과 같은 단백질 프로브, 미생물 프로브, 신경세포 프로브 등을 포함한다. 바이오 칩은 예컨대, 각각 채용되는 프로브의 종류에 따라 DNA칩, 단백질칩, 세포칩, 뉴런칩 등일 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 바이오 칩은 프로브로서 올리고머 프로브를 포함할 수 있다. 올리고머 프로브는 채용되는 프로브의 모노머 수가 올리고머 수준임을 암시한다. 여기서, 올리고머는 공유 결합된 두개 이상의 모노머로 이루어진 폴리머 중 분자량이 대략 1000 이하일 수 있다. 구체적으로 약 2-500개의 모노머, 바람직하기로는 5-30개의 모노머를 포함하는 것일 수 있다. 그러나, 올리고머 프로브의 의미가 상기 수치에 제한되는 것은 아니다.
올리고머 프로브를 구성하는 모노머는 분석 대상이 되는 바이오 시료의 종류에 따라 변형 가능하며, 예를 들면 뉴클레오사이드, 뉴클레오타이드, 아미노산, 펩티드 등일 수 있다. 뉴클레오사이드 및 뉴클레오타이드는 공지의 퓨린 및 피리미딘 염기를 포함할 뿐만 아니라 메틸화된 퓨린 또는 피리미딘, 아실화된 퓨린 또는 피리미딘 등을 포함할 수 있다. 또, 뉴클레오사이드 및 뉴클레오타이드는 종래의 리보스 및 디옥시리보스 당을 포함할 뿐만 아니라 하나 이상의 하이드록실기가 할로겐 원자 또는 지방족으로 치환되거나 에테르, 아민 등의 작용기가 결합한 변형된 당을 포함할 수 있다. 아미노산은 자연에서 발견되는 아미노산의 L-, D-, 및 비키랄성(nonchiral)형 아미노산뿐만 아니라 변형 아미노산(modified amino acid), 또는 아미노산 유사체(analog) 등일 수 있다. 펩티드란 아미노산의 카르복실기와 다른 아미노산의 아미노기 사이의 아미드 결합에 의해 생성된 화합물을 지칭한다.
특별히 다른 언급이 없는 한, 이하의 실시예들에서 예시적으로 상정되는 프로브는 DNA 프로브로서, 약 5-30개의 뉴클레오타이드의 모노머가 공유 결합된 올리고머 프로브이다. 그러나, 본 발명이 그에 제한되는 것은 아니며, 상술한 다양한 프로브들이 적용될 수 있음은 물론이다.
또한 이하에서 작용기란 유기 합성 공정의 시발점(starting point)으로 사용될 수 있는 기를 포함하는 의미로 정의된다. 즉 미리 합성된(synthetic) 올리고머 프로브와 같은 프로브 또는 인-시츄(in-situ) 합성을 위한 모노머, 예컨대 뉴클레오사이드, 뉴클레오타이드, 아미노산, 펩티드 등의 모노머가 커플링될 수 있는 기, 예컨대 공유 또는 비공유 결합할 수 있는 기를 지칭하며 커플링될 수 있는 한 특정한 제한이 없다. 작용기로는 하이드록실기, 알데히드기, 카르복실기, 아미노기, 아미드기, 티올기, 할로기 또는 술포네이트기 등을 예로 들 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 따른 바이오 칩에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩은 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)를 포함한다. 여기서 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)는 차례로 적층되어 형성될 수 있으며, 특히 각각 다른 기판에 형성되어 적층될 수 있다.
구체적으로, 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)는 서로 다른 기판에서 별개의 공정의 의하여 형성된 후, 패키징(packaging)되어 단일 바이오 칩이 완성될 있다. 예를 들어, 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)는 서로 다른 제조 공정에서 형성된 후, 반도체 소자의 제조 공정 등에서 사용되는 멀티-스택 패키지(multi-stack package) 공정 등을 이용하여 하나의 바이오 칩으로 패키징되어 완성될 수 있다.
이에 의해, 단일 기판에 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)가 함께 형성되는 것에 비해, 바이오 칩의 제조 수율(yield)이 향상될 수 있다. 즉, 하나의 프로브 셀 어레이(100), 광센서(200) 및 메모리 셀 어레이(300)를 포함하는 바이오 칩을 제조함에 있어, 일부 구성 요소에 불량이 발생하더라도 전체 바이오 칩에 불량이 발생되는 것이 아니라, 불량이 난 일부 구성 요소를 대체하여 패키징하면 되므로 제조 수율이 향상될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 셀 및 광센서 픽셀을 설명하는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 프로브 셀 어레이(100)는 제1 기판(102)에 형성되며, 바이오 시료와 커플링할 수 있는 다수의 프로브 셀(115)을 포함한다. 구체적으로, 프로브 셀 어레이(100)는 프로브(110)가 커플링되는 다수의 프로브 셀(115)과 프로브(110)가 커플링되지 않는 비프로브 셀 영역(116)을 포함한다.
하나의 프로브 셀(115)에는 동일한 서열의 프로브(110)들이 제1 기판(102) 상에 커플링되어 고정되고, 서로 다른 프로브 셀(115)들에는 서로 상이한 서열의 프로브(110)들이 커플링되어 고정될 수 있다. 서로 다른 프로브 셀(115)은 비프로브 셀 영역(116)에 의해 분리되어 있다. 따라서 각 프로브 셀(115)은 비프로브 셀 영역(116)에 의해 둘러싸여 독립적으로 분리되고, 비프로브 셀 영역(116)은 하나로 연결되어 있을 수 있다. 또한 복수의 프로브 셀(115)은 예컨대, 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다.
바이오 시료는 상보적인 서열의 프로브(110)와 혼성화될 수 있으므로, 이에 의해 바이오 시료에서의 바이오 분자를 검출할 수 있다. 예컨대, 형광물질이 표지된 바이오 시료와 프로브(110)를 혼성화 반응시킨 후, 바이오 칩 표면에 남은 형광 물질로부터 발산되는 광신호를 검출함으로써, 바이오 시료에서의 바이오 분자를 검출할 수 있다.
광센서(200)는 제2 기판(202)에 형성되며, 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀(115)에서 제공되는 광신호를 검출하여 디지털 전기 신호로 변환하는 역할을 한다.
여기서 광센서(200)는 예컨대, CCD(Charge Coupled Device)와 CIS(CMOS Image Sensor) 등의 다양한 광센서를 포함할 수 있다. 특히, CIS는 구동 방식이 간편하고 다양한 스캐닝(scanning) 방식으로 구현 가능하며, 신호 처리 회로를 단일칩에 집적할 수 있어 제품의 소형화가 가능하다. 또한, CMOS 공정 기술을 호환하여 사용할 수 있어 제조 단가룰 낮출 수 있며, 전력 소모 또한 매우 낮아 배터리 용량이 제한적인 제품에 적용이 용이하다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 광센서(200)로 CIS를 예시하여 설명하나, 이에 제한되는 것은 아니며 광센서(200)로 CCD 등 다른 광센서 소자를 적용할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술의 당업자에게 자명하다.
도 3은 도 1의 광센서를 설명하는 예시적인 블록도이다.
도 3을 참고하면, 광센서(200)는 프로브 셀 어레이(100)에 대응되어 배치된 광센서 픽셀 어레이(210), X-로직(220), Y-로직(240) 및 아날로그-디지털 컨버터(Analog-Digital Converter; ADC, 240)를 포함한다.
광센서 픽셀 어레이(210)는 프로브 셀 어레이(100)에 대응되어 배치되며, 2차원적으로 배열된 다수의 광센서 픽셀(215)을 포함한다. 각 광센서 픽셀(215)은 각 프로브 셀(115)의 하부에 대응되어 배치되며, 프로브 셀(115)에서 제공되는 광신호를 검출하여 아날로그 전기 신호로 변환하는 역할을 한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 광센서(200)의 광센서 픽셀 어레이(210)는 프로브 셀 어레이(100)와 대응되어 배치되며, 광센서 픽셀 어레이(210)에서 각각의 광센서 픽셀(215)은 소자 분리 영역(216)에 의해 각각 분리되어 형성된다. 구체적으로 광센서 픽셀(215)의 상부에는 프로브 셀(115)이 배치되며, 소자 분리 영역(216)의 상부에는 비프로브 셀 영역(116)이 배치될 수 있다.
광센서 픽셀(215)은 N+형의 포토 다이오드(215b) 및 P+++형의 피닝층(pinning layer, 215a)을 포함한다. 포토 다이오드(215b)에는 상부의 프로브 셀(115)에 커플링된 바이오 시료의 형광 물질에서 제공되는 광신호에 대응하여 전하가 축적될 수 있다. 또한 피닝층(215a)은 제2 기판(202) 영역에서 열적으로 생성된 EHP(Electron-Hole Pair)를 줄임으로써, 암전류를 방지할 수 있다. 즉, 제2 기판(202) 영역의 표면의 댕글링 본드에서 열적으로 생성된 EHP 중에서 양전하는 P+++형의 피닝층(215a)을 통해서 접지된 기판으로 확산되고, 음전하는 피닝층(215a)을 확산하는 과정에서 양전하와 재결합하여 소멸할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩은 프로브 셀 어레이(100)와 광센서(200)가 하나의 바이오 칩 내에 형성되며, 각 프로브 셀(115)의 하부에는 각 광센서 픽셀(215)이 대응되어 배치되어 있으므로 보다 효율적으로 광신호를 검출할 수 있다. 또한, 각 프로브 셀(115)에서 제공되는 광신호를 대응된 각 광센서 픽셀(215)에서 검출할 수 있으므로, 형광 스캐너의 광원에서 한번의 빛 조사에 의하 여 프로브의 혼성화 여부를 검출할 수 있다. 즉, 일반적인 바이오 칩에서 별도의 공촛첨 현미경(confocal microscope) 또는 CCD 카메라 등을 사용하여 개별적인 프로브 셀(115) 또는 몇 개의 프로브 셀(115) 단위로 프로브 셀(115)의 혼성화 여부를 검출하는 것에 비해, 더 짧은 시간 내에 그리고 정확하게 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출할 수 있다.
광센서 픽셀 어레이(210)는 X-로직(220)에서 제공되는 광센서 픽셀 선택 신호, 리셋 신호, 전하 전송 신호 등 다수의 구동 신호를 수신하여 구동될 수 있다. 그리고 변환된 아날로그 전기 신호는 아날로그-디지털 컨버터(230)에 제공될 수 있다.
X-로직(220)은 다수의 단위 광센서 픽셀(215)들을 구동하기 위한 다수의 구동 신호를 광센서 픽셀 어레이(210)에 제공한다. 일반적으로 광센서 픽셀 어레이(210)에서 단위 광센서 픽셀(215)들이 행렬 형태로 배열된 경우에는 각 행(row)별로 구동 신호가 제공될 수 있다.
아날로그-디지털 컨버터(230)는 광센서 픽셀(215)에서 제공되는 아날로그 전기 신호를 디지털 전기 신호로 변환한다. 여기서 변환된 디지털 전기 신호는 Y-로직(240)에 제공될 수 있다.
도면에서는 예시적으로 광센서 픽셀 어레이(210) 외부에 별도의 아날로그-디지털 컨버터(230)가 형성되어 있는 것을 도시하였으나, 본 발명의 다른 실시예에서는 각 아날로그-디지털 컨버터(230)가 각 광센서 픽셀(215)에 대응하여 병렬적으로 배치될 수도 있다. 이 경우, 아날로그-디지털 컨버터(230)의 동작 속도가 빨라질 수 있으며, 아날로그 노이즈가 작아질 수 있다.
Y-로직(240)은 디지털 전기 신호를 랫치(latch)하고, 랫치된 신호를 열(column) 디코딩 결과에 따라 순차적으로 메모리 셀 어레이(300)에 제공할 수 있다.
또한 도면에는 도시하지 않았지만, 광센서 픽셀 어레이와 아날로그-디지털 컨버터 사이에는 상관 이중 샘플러가 개재될 수도 있다. 상관 이중 샘플러는 광센서 픽셀 어레이에서 형성된 아날로그 전기 신호를 수신하여 유지(hold) 및 샘플링한다. 즉, 특정한 기준 전압 레벨(잡음 레벨(noise level))과 형성된 아날로그 전기 신호에 의한 전압 레벨(신호 레벨)을 이중으로 샘플링하여, 잡음 레벨과 신호 레벨의 차이에 해당하는 차이 레벨을 출력할 수 있다. 이에 의해 광센서에서 보다 정확하게 광신호를 검출하여 디지털 전기 신호로 변환할 수 있다.
도면에는 도시하지 않았지만, 광센서(200)의 광센서 픽셀(215) 상부에는 빛을 모으는 렌즈가 형성될 수 있다. 이에 의해 프로브 셀(115)에서 제공되는 광신호가 포토 다이오드(215b)에 보다 효율적으로 제공될 수 있다.
메모리 셀 어레이(300)는 제3 기판에 형성되며, 광센서(200)에서 제공되는 디지털 전기 신호를 저장하는 역할을 한다. 여기서 메모리 셀 어레이(300)는 전원이 공급되지 않아도 저장된 디지털 전기 신호를 계속 유지하는 플래시 메모리 셀 어레이와 같은 비휘발성 메모리 셀 어레일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 다른 실시예에서 메모리 셀 어레이(300)는 휘발성 메모리 셀 어레이일 수도 있다.
메모리 셀 어레이(300)는 프로브 셀 어레이(100)에서 바이오 시료와 프로브(110)의 혼성화 결과에 따라 제공되는 디지털 전기 신호를 저장하는 역할을 한다. 메모리 셀(315)에는 프로브 셀(115) 및 광센서 픽셀(215)과 대응되어, 각 프로브 셀(115)에 고정된 프로브(110)의 혼성화 결과에 따른 디지털 전기 신호가 저장될 수 있다. 비록 도 1에는 각 프로브 셀(115), 광센서 픽셀(215) 및 메모리 셀(315)이 일대일로 대응되는 것으로 도시하였지만, 메모리 셀의 구성에 따라 각 메모리 셀에는 다수의 프로브 셀에 고정된 프로브의 혼성화 결과가 저장될 수도 있다.
이에 의해, 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩은 프로브 셀 어레이(100)에서 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출할 때마다, 형광 스캐너 등을 이용하여 혼성화 여부를 검출하지 않아도 될 수 있다. 즉, 프로브 셀 어레이(100)에서 프로브(110)의 혼성화 결과에 따라 제공되는 광신호가 메모리 셀 어레이(300)에 디지털 전기 신호로 저장되므로, 이후에 프로브(110)의 혼성화 결과를 알기 위하여 형광 스캐너 등을 이용한 별도의 스캐닝 과정을 거치지 않아도 될 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩은 혼성화 여부 검출 및 검출 결과의 저장이 하나의 칩 내에서 이루어지므로, 보다 효율적으로 바이오 시료를 검출하고 검출 결과를 파악할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 바이오 칩이 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩과 다른 점은 광센서(201)와 메모리 셀 어레이(30)가 스택 되어 형성되지 않는다는 점이다. 구체적으로 광센서(201)와 메모리 셀 어레이(301)가 동일한 평면 상에 배치될 수도 있다. 예컨대, 광센서(201)와 메모리 셀 어레이(301)가 다른 기판에 형성되고, 평면적으로 분리되어 형성될 수도 있다.
또한 도면에는 도시하지 않았지만, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩은 광센서와 메모리 셀 어레이가 동일한 기판에 하나의 공정에 의하여 형성될 수도 있다. 즉, CMOS 제조 기술 등을 사용하여, 단일 기판에 CIS와 같은 광센서와 플래시 메모리와 같은 비휘발성 메모리 셀 어레이를 형성할 수도 있다. 그리고 다른 공정에서 제조된 프로브 셀 어레이를 패키징 공정 등을 이용하여 광센서 상에 형성할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩이 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩과 다른 점은 프로브 셀(115a)에서 제공되는 광신호에 의해 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출하는 것이 아니라, 프로브 셀(115a)에서 제공되는 전기적 신호에 의해 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출한다는 점이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩은 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀(115a)에서 제공되는 전기적 신호를 검출하는 프로브 셀 어레이(101) 및 전기적 신호를 저장하는 메모리 셀 어레이(300)를 포함한다. 프로브 셀 어레이(101)와 메모리 셀 어레이(300)는 앞에서 언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오칩과 같이 차례로 적층되어 형성될 수 있으며, 특히 각각 다른 기판에 형성되어 적층될 수 있다.
프로브 셀(115a)에서 제공되는 전기적 신호는 바이오 시료가 커플링된 프로브 셀(115a)의 컨덕턴스 변화에 따른 신호, 유전율의 변화에 따른 신호 등 다양한 신호일 수 있다. 또한, 이러한 전기적 신호를 제공하는 프로브 셀 어레이(101)는 선택되는 신호에 따라 다양한 형태로 구성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 한국 특허 출원 번호 제 10-2007-0094290 호에 개시된 프로브 셀 어레이를 예로 들며, 상기 출원 특허의 내용은 본 명세서에서 충분히 개시된 것처럼 원용되어 통합된다. 하지만, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩의 프로브 셀 어레이(101)는 이하에서 예시된 것에 한정되지 않는다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩에서 프로브 셀 어레이(101)을 설명하는 예시적인 레이아웃이다. 도 7은 도 6의 프로브 셀을 설명하는 정면도이며, 도 8은 도 7의 반도체 나노 구조물을 설명하는 사시도이다. 도 9는 도 7의 Ⅸ-Ⅸ'을 따라 절단된 단면도이다.
도 6 내지 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩의 프로브 셀 어레이(101)는 하나의 프로브 셀(115a)과 제1 및 제2 라인(160)을 포함한다.
프로브 셀(115a)는 프로브 셀 영역(PCR)에 하나 이상 형성된 반도체 나노 구조물(117)을 포함한다. 여기서 반도체 나노 구조물(117)을 형성하는 물질은 예컨대, Si, ZnO, GaN, Ge, InAs, GaAs, C 등을 포함하거나, 이들의 조합을 포함할 수 있다. 또한, 반도체 나노 구조물(117)은 코어(core) 및 코어를 감싸는 적어도 하나의 쉘(shell)을 포함하는 다중 나노 구조물일 수 있다. 적용 가능한 반도체 나노 구조물(117)은 예컨대, 나노 스케일의 나노 와이어, 나노 튜브 및 나노 파티클 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 나노 와이어 형태의 반도체 나노 구조물(117)을 예로 들어 설명한다.
또한, 반도체 나노 구조물(117)의 표면에는 도 8에 도시된 것과 같이 코팅막(120)이 형성되어 있을 수 있다. 코팅막(120)은 반도체 나노 구조물(117)의 안정성 확보 내지 보호 기능, 채널(즉, 반도체 나노 구조물) 방향 이외의 방향으로의 인접하는 반도체 나노 구조물(117) 간 전기적 소통 방지 기능, 링커 및/또는 프로브를 커플링하기 위한 활성층으로서의 기능, 및 게이트 절연막으로서의 기능 중 적어도 하나를 수행하기 위하여 형성될 수 있다. 코팅막(120)은 예컨대, PE-TEOS막, HDP 산화막 또는 P-SiH4 산화막, 열산화막, 자연 산화막, 패드 산화막 등의 실리콘 산화막, 하프늄 실리케이트, 지르코늄 실리케이트 등의 실리케이트, 실리콘 산질화막, 하프늄산질화막, 지르코늄산질화막 등의 금속 산질화막, 티타늄 산화막, 탄탈륨 산화막, 알루미늄 산화막, 하프늄 산화막, 지르코늄 산화막, ITO 등의 금속 산화막, 또는 폴리스티렌, 폴리아크릴산, 폴리비닐 등의 폴리머로 형성될 수 있다.
반도체 나노 구조물(117) 상에는 바이오 시료와 선택적으로 커플링할 수 있는 프로브(110)가 커플링되어 고정화된다. 프로브(110)는 예컨대, 대전된 바이오 시료와 커플링되어 반도체 나노 구조물(117)의 표면 전하값 차이를 발생시킬 수 있다. 이에 의해 바이오 시료와 선택적으로 커플링되어 프로브(110)가 고정화된 반도체 나노 구조물(117)의 컨덕턴스(conductance)가 변할 수 있으며, 이러한 컨덕턴스 변화에 의한 전기적 신호에 의해 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출할 수 있다.
반도체 나노 구조물(117)의 양단에는 제1 라인(150) 및 제2 라인(160)이 전기적으로 연결되며, 반도체 나노 구조물(117) 상에는 게이트 라인(130)이 형성될 수 있다. 즉, 반도체 나노 구조물(117)은 게이트 라인(130), 제1 라인(150)및 제2 라인(160)과 함께 트랜지스터를 구성할 수 있다.
게이트 라인(130)은 반도체 나노 구조물(117) 상에 형성되어, 채널에 문턱 전압을 제공하여 프로브 셀(115a)의 프로브(110) 혼성화 여부 검출시 정확한 검출을 가능케 한다.
제1 라인(150) 및 제2 라인(160)은 각각 소정의 방향으로 연장되어 배치될 수 있으며, 제1 라인(150) 및 제2 라인(160) 각각은 채널에 연결된 소오스 라인 및 드레인 라인일 수 있다. 여기서 제1 라인(150)은 반도체 구조물(117)의 일측과 제1 콘택 패드(141) 및 제1 콘택(151)을 매개하여 전기적으로 연결될 수 있으며, 제2 라인(160)은 반도체 나노 구조물(117)의 타측과 제2 콘택 패드(142) 및 제2 콘택(162)을 매개하여 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 라인(150) 및 제2 라인(160)은 반도체 나노 구조물(117)에서 컨덕턴스 변화에 의한 전기적 신호를 전기적 신호 검출 회로(미도시)로 전달할 수 있다.
메모리 셀 어레이(300)는 프로브 셀 어레이(100)에서 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 프로브 셀(115a)에서 제공되는 전기적 신호를 저장하는 역할을 한다. 즉, 메모리 셀 어레이(300)는 프로브 셀 어레이(100)에서 바이오 시료와 프로브(110)의 혼성화 결과에 따라 제공되는 전기적 신호가 저장될 수 있다.
이에 의해, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩은 보다 안정적으로 프로브(110)의 혼성화 여부를 검출할 수 있다. 구체적으로, 바이오 칩은 바이오 시료가 프로브(110)에 혼성화된 후, 혼성화 후 시간 경과, 바이오 칩이 놓여진 주변 환경 등에 의해 프로브(110)의 혼성화 결과에 따라 제공되는 전기적 신호가 약해질 수 있다. 하지만, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩은 프로브(110)가 혼성화된 후 그 결과가 바로 메모리 셀 어레이(300)에 저장되므로, 이후에 보다 안정적으로 혼성화 여부를 판독할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩은 혼성화 여부 검출 및 검출 결과의 저장이 하나의 칩 내에서 이루어지므로, 보다 효율적으로 바이오 시료를 검출하고 검출 결과를 파악할 수 있다.
도면에는 도시하지 않았지만, 본 발명의 또 다른 실시예에서 프로브 셀 어레이 및 메모리 셀 어레이는 동일한 또는 다른 기판에 형성되되, 평면적으로 분리되어 형성될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 셀 및 광센서 픽셀을 설명하는 도면이다.
도 3은 도 1의 광센서를 설명하는 예시적인 블록도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩을 설명하는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 바이오 칩에서 프로브 셀 어레이(101)을 설명하는 예시적인 레이아웃이다.
도 7은 도 6의 프로브 셀을 설명하는 정면도이다.
도 8은 도 7의 반도체 나노 구조물을 설명하는 사시도이다.
도 9는 도 7의 Ⅸ-Ⅸ'을 따라 절단된 단면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100, 101: 프로브 셀 어레이 110: 프로브
115, 115a: 프로브 셀 200, 201: 광센서
210: 광센서 픽셀 어레이 215: 광센서 픽셀
300, 301: 메모리 셀 어레이 315: 메모리 셀

Claims (17)

  1. 바이오 시료와 커플링할 수 있는 다수의 프로브 셀을 포함하는 프로브 셀 어레이;
    상기 바이오 시료와 선택적으로 커플링된 상기 프로브 셀에서 제공되는 광신호를 검출하여 디지털 전기 신호로 변환하는 광센서; 및
    상기 디지털 전기적 신호를 저장하는 메모리 셀 어레이를 포함하고,
    상기 프로브 셀 어레이는 상기 광센서 상에 스택되어 형성되되, 상기 프로브 셀 어레이는 제1 기판에 형성되며, 상기 광센서는 제2 기판에 형성되는 바이오 칩.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 광센서는 상기 메모리 셀 어레이 상에 스택되어 형성되고, 상기 메모리 셀 어레이는 제3 기판에 형성된 바이오 칩.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 광센서와 상기 메모리 셀 어레이는 동일 기판에 형성되되, 평면적으로 분리되어 형성된 바이오 칩.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 기판은 광투과성 기판인 바이오 칩.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 광센서는 상기 각 프로브 셀에 대응되어 배치되며 상기 광신호를 아날로그 전기 신호로 변환하는 다수의 광 센서 픽셀을 포함하는 광센서 픽셀 어레이와
    상기 아날로그 전기 신호를 디지털 전기 신호로 변환하는 아날로그-디지털 컨버터를 포함하는 바이오 칩.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 광센서는 다수의 아날로그-디지털 컨버터를 포함하며,
    상기 각 아날로그-디지털 컨버터는 상기 각 광센서 픽셀에 대응되어 배치된 바이오 칩.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 광센서는 CIS(CMOS Image Sensor)인 바이오 칩.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 메모리 셀 어레이는 비휘발성 메모리 셀 어레이인 바이오 칩.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9697460B2 (en) 2009-11-30 2017-07-04 Trustees Of Boston University Biological analog-to-digital and digital-to-analog converters
JP5685898B2 (ja) * 2010-01-08 2015-03-18 ソニー株式会社 半導体装置、固体撮像装置、およびカメラシステム
US20110312712A1 (en) * 2010-06-17 2011-12-22 Geneasys Pty Ltd Genetic analysis loc for pcr amplification of nucleic acids from whole blood
US9622650B2 (en) 2011-05-12 2017-04-18 DePuy Synthes Products, Inc. System and method for sub-column parallel digitizers for hybrid stacked image sensor using vertical interconnects
KR101359379B1 (ko) * 2012-03-28 2014-02-07 광주과학기술원 Ｃｍｏｓ 이미지 센서의 픽셀 분석을 이용한 고감도 바이오센서
MX344146B (es) 2012-07-26 2016-12-07 Depuy Synthes Products Inc Sistema de cámara con sensor de imagen cmos monolítico de area mínima.
AU2014233190B2 (en) 2013-03-15 2018-11-01 DePuy Synthes Products, Inc. Image sensor synchronization without input clock and data transmission clock
US10750933B2 (en) 2013-03-15 2020-08-25 DePuy Synthes Products, Inc. Minimize image sensor I/O and conductor counts in endoscope applications

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003053535A2 (en) 2001-08-03 2003-07-03 Nanosphere, Inc. Nanoparticle imaging system and method
US20030134267A1 (en) 2001-08-14 2003-07-17 Kang Seong-Ho Sensor for detecting biomolecule using carbon nanotubes
KR20040025932A (ko) * 2001-07-18 2004-03-26 마이크로나스 게엠베하 바이오센서 및 시간분해발광에 의하여 분석물을 검출하는방법
JP2008529025A (ja) * 2005-02-02 2008-07-31 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 集積された検出器を備えた生物学的分析のためのデバイス

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4085459B2 (ja) * 1998-03-02 2008-05-14 セイコーエプソン株式会社 ３次元デバイスの製造方法
EP1182602B1 (en) * 2000-08-25 2007-04-25 STMicroelectronics S.r.l. A system for the automatic analysis of DNA microarray images
US7723120B2 (en) * 2005-10-26 2010-05-25 General Electric Company Optical sensor array system and method for parallel processing of chemical and biochemical information

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040025932A (ko) * 2001-07-18 2004-03-26 마이크로나스 게엠베하 바이오센서 및 시간분해발광에 의하여 분석물을 검출하는방법
WO2003053535A2 (en) 2001-08-03 2003-07-03 Nanosphere, Inc. Nanoparticle imaging system and method
US20030134267A1 (en) 2001-08-14 2003-07-17 Kang Seong-Ho Sensor for detecting biomolecule using carbon nanotubes
JP2008529025A (ja) * 2005-02-02 2008-07-31 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 集積された検出器を備えた生物学的分析のためのデバイス

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