KR101399420B1 - 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물 및 다층 박막의 식각방법 - Google Patents

강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물 및 다층 박막의 식각방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 강화유리 상에 형성된, 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 포함하는 다층(multi-layered) 박막을 선택적으로 식각하는데 있어, 식각 선택도가 우수하여 막 제거성능이 뛰어나고 강화유리의 손상을 방지할 수 있는 식각액 조성물을 제공한다.
또한, 본 발명의 일 실시예는, 강화유리 상에 다양한 색상을 구현할 수 있도록 함으로써 시각적인 효과를 크게 향상시킬 수 있는, 상기 식각액 조성물을 이용한 다층 박막의 식각방법을 제공한다.

Description

강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물 및 다층 박막의 식각방법{ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR ETCHING MULTI-LAYERED FILM FORMED ON TEMPERED GLASS AND METHOD OF ETCHING MULTI-LAYERED FILM}
본 발명은 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물 및 다층 박막의 식각방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 강화유리 상에 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층이 적층되어 형성된 다층 박막을 선택적으로 식각함으로써 강화유리 상에 다양한 색상을 구현할 수 있게 하는 식각액 조성물 및 다층 박막의 식각방법에 관한 것이다.
최근, 터치 스크린 방식을 채용한 스마트폰, 초박형 TV, LED 디스플레이 등의 보급이 급속도로 증가함에 따라, 상기 터치 스크린 방식을 구현하기 위해 필요한 터치부 재료에 대한 수요가 꾸준히 증가하고 있다.
한편, 상기 터치부는 제품의 최외각에 배치되는 것으로서, 일반적인 유리 또는 플라스틱 재료를 사용하는 경우, 휴대간 충격에 의하여 제품의 내부 구성이 파손되거나 터치부 자체가 파손될 우려가 있다.
제품의 내부 및 터치부 자체의 파손을 막기 위한 터치부 재료로서, 강화유리가 각광받고 있다. 또한, 강화유리의 기능이 다양해지면서 강화유리 상에 금속 산화물 막 등을 도포하여 시각적으로 여러 가지 기능을 할 수 있도록 하는 기술이 소개되고 있다.
대표적으로, 강화유리 상에 금속 산화물 막 등을 도포하여 박막을 형성한 후, 박막을 선택적으로 식각하여 다양한 색상 패턴을 구현하는 기술이 있다. 식각 공정에서 산성 용액이 식각액으로 이용될 수 있는데, 산성 식각액을 이용하는 종래 기술의 경우, 식각액과 장시간 접촉하면 강화유리 및 마스킹 층이 부식되고 고온에서 제품이 변성되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 식각 방식에 의할 경우, 강화유리 상에 구현할 수 있는 색상 패턴이 매우 제한적이라는 문제점이 있어, 상기 문제점을 해결할 수 있는 새로운 식각액 조성물 및 식각방법에 대한 연구 및 개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 강화유리 상에 형성된, 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 포함하는 다층(multi-layered) 박막을 선택적으로 식각하는데 있어, 식각 선택도가 우수하여 막 제거성능이 뛰어나고 강화유리의 손상을 방지할 수 있는 식각액 조성물을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 강화유리 상에 다양한 색상을 구현할 수 있도록 함으로써 시각적인 효과를 크게 향상시킬 수 있는, 상기 식각액 조성물을 이용한 다층 박막의 식각방법을 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물은, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른, 강화유리 상에 적층된 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 식각하기 위한 식각액 조성물은, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막의 식각방법은, 강화유리 상에 다층(multi-layer) 박막을 형성하는 단계; 상기 다층 박막 상의 일부에 마스킹 층을 형성하는 단계; 및 상기 마스킹 층을 식각 마스크로 이용하여 상기 다층 박막을 식각하는 단계를 포함하고, 상기 다층 박막을 식각하는 단계는, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각을 위한 식각액 조성물을 이용하여 이루어진다.
일 실시예에 있어서, 상기 다층 박막은 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 적층하는 것에 의하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 강화유리 상에 형성된 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 포함하는 다층 박막의 식각을 위한 식각액 조성물은, 식각 부분에 대한 선택도가 우수하여 막 제거성능이 뛰어나고 강화유리의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 식각액 조성물을 이용한 다층 박막의 식각방법은, 강화유리 상에 다양한 색상을 구현을 구현할 수 있도록 함으로써 시각적인 효과를 크게 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 다층(multi-layered) 박막의 층상 구조 나타내는 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 다층 박막 상의 일부에 대하여 마스킹 층을 형성하는 단계를 도시한 것이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 다층 박막 상의 일부를 식각하는 단계를 도시한 것이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도시되지는 않았으나, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물이 제공된다.
본 명세서에 사용된 용어 “강화유리” 는, 일반적인 유리보다 강도를 높인 유리를 말한다. 강화유리는, 예컨대, 성형 판유리를 500∼600 ℃로 가열하고, 압축한 냉각공기에 의해 급랭시켜 유리 표면부를 압축 또는 변형시키고 내부를 인장 변형시켜 만들 수 있다.
본 명세서에 사용된 용어 “식각”은, 박막과 같은 재료의 일부분에 대하여, 선택적으로 두께를 얇게 하거나 불필요한 부분을 제거하는 공정을 의미한다.
본 명세서에 사용된 용어 “식각액”은, 식각 공정에서 화학적 반응을 이용하여 불필요한 부분을 제거해 내기 위해 이용되는 액체 조성물을 의미한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물의 조성에 대하여 상세히 설명하고자 한다.
수산화나트륨( NaOH ) 10 내지 20 중량%
본 발명의 일 실시예에 따른 식각액 조성물의 수산화나트륨(NaOH)은 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 10 내지 20 중량% 포함될 수 있다.
수산화나트륨은 '가성소다'라고도 하고, 강한 알칼리성을 나타내는 대표적인 물질로 다른 물질을 쉽게 부식시킬 수 있다. 수산화나트륨 그 자체는 고체상이기 때문에 일반적으로 물에 녹여 수용액을 만들어 이용한다.
수산화나트륨은 상기 식각액 조성물의 주성분 중 하나로서, 10 중량% 미만으로 포함되는 경우 식각액 조성물의 막 제거성능이 현저하게 떨어질 수 있고, 20 중량%를 초과하여 포함되는 경우 식각액 조성물이 강한 알칼리성을 나타내게 되어 박막 부분 외에 마스킹 층 또는 강화유리의 손상을 유발할 수 있다.
수산화칼륨( KOH ) 10 내지 15 중량%
본 발명의 일 실시예에 따른 식각액 조성물의 수산화칼륨(KOH)은 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 10 내지 15 중량% 포함될 수 있다.
수산화칼륨은 '가성칼리'라고도 하고, 수산화나트륨(가성소다)과 같이 강한 알칼리성을 나타내므로 일반적으로 물과 희석하여 수용액을 만들어 이용한다.
수산화칼륨 또한 수산화나트륨과 같이 상기 식각액 조성물의 주성분 증 하나로서, 10 중량% 미만으로 포함되는 경우 식각액 조성물의 막 제거성능이 현저하게 떨어질 수 있고, 15 중량%를 초과하여 포함되는 경우 식각액 조성물이 강한 알칼리성을 나타내게 되어 박막 부분 외에 마스킹 층 또는 강화유리의 손상을 유발할 수 있다.
탄산칼슘( CaCO 3 ) 0.01 내지 5 중량%
본 발명의 일 실시예에 따른 식각액 조성물의 탄산칼슘(CaCO3)은 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 0.01 내지 5 중량% 포함될 수 있다.
일반적인 탄산칼슘은 무색의 결정 또는 백색 고체상으로서, 물에 잘 용해되지 않지만 수용액은 약한 알칼리성을 나타낸다.
탄산칼슘이 0.01 중량% 미만으로 포함되는 경우 다층 박막의 잔사가 남아 불균일한 식각이 되어 원하는 식각 특성을 얻을 수 없고 식각 속도가 저하될 수 있으며, 5 중량%를 초과하여 포함되는 경우 다층 박막이 부분적으로 과식각(over-etching)되거나 마스킹 층 또는 강화유리가 손상됨으로써 과식각된 부분과 과식각되지 않은 부분 사이에 편측 CD(critical dimension)가 커질 수 있고, 멀티증착 층의 부식 및 식각, 접착력 약화 등으로 인하여 블랙 매트릭스(blackmatrix)와 동시에 박리되는 현상이 발생할 수 있으며, 종횡비(aspect ratio), 식각 깊이(etch depth) 및 식각 시간(etch time)이 달라질 수 있다.
탄산나트륨( Na 2 CO 3 ) 0.01 내지 5 중량%
본 발명의 일 실시예에 따른 식각액 조성물의 탄산나트륨(Na2CO3)은 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 0.01 내지 5 중량% 포함될 수 있다.
탄산나트륨은 일반적으로 백색 분말인 고체상으로서, 수용액은 강한 알칼리성을 나타낸다.
탄산칼슘이 0.01 중량% 미만으로 포함되는 경우 불균일한 식각이 되어 원하는 식각 특성을 얻을 수 없고, 5 중량%를 초과하여 포함되는 경우 다층 박막이 부분적으로 과식각(over-etching)되거나 마스킹 층 또는 강화유리에 크랙(crack), 덴트(dent), 스크래치(scratch), 헤이즈(haze), 유막현상(Newton Ring) 등이 발생할 수 있다.
수산화마그네슘( Mg ( OH ) 2 ) 0.01 내지 3 중량%
본 발명의 일 실시예에 따른 식각액 조성물의 수산화마그네슘(Mg(OH)2)은 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 0.01 내지 3 중량% 포함될 수 있다.
수산화마그네슘은 물에 잘 녹지 않지만, 수용액은 약한 알칼리성을 나타낸다. 식각 공정에 이용되는 알칼리성 식각액 조성물에 포함되어 강한 알칼리성을 나타내는 식각액 조성물의 단점을 보완할 수 있는 완충 역할을 수행할 수 있다.
수산화마그네슘이 0.01 중량% 미만으로 포함되는 경우 불균일한 식각이 되어 원하는 식각 특성을 얻을 수 없고, 3 중량%를 초과하여 포함되는 경우 다층 박막이 부분적으로 과식각(over-etching)될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 강화유리 상에 다층(multi-layer) 박막을 형성하는 단계(S1); 상기 다층 박막 상의 일부에 마스킹 층을 형성하는 단계(S2); 및 상기 마스킹 층을 식각 마스크로 이용하여 상기 다층 박막을 식각하는 단계(S3)를 포함하고, 상기 다층 박막을 식각하는 단계는, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각을 위한 식각액 조성물을 이용하여 이루어지는 것인, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각방법이 제공된다.
도 1을 참고하여 강화유리 상에 다층 박막을 형성하는 단계(S1)에 대하여 상세히 설명한다. 도1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 강화유리(110) 상에 형성된 티타늄 산화물 층(121) 또는 실리콘 산화물 층(122)을 포함하는 다층(multi-layered) 박막(120)의 층상 구조를 도시한다.
최근 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 주요 소재인 강화유리의 기능이 다양화되는 추세에 따라, 강화유리 상에 특정 막을 도포하여 시각적으로 여러 가지 기능을 수행할 수 있도록 하는 신규한 기술이 소개되고 있다.
강화유리(110) 상에 금속 산화물 층 또는 비금속 산화물 층을 코팅하여 강화유리(110) 표면의 광학적 특성을 변화시킬 수 있다. 강화유리(110) 상의 다층 박막(120)의 층상 구조를 변화시킴으로써 박막을 투과할 수 있는 빛의 파장을 다양하게 조절할 수 있고, 이에 따라 강화유리(110) 상에 다양한 색상을 구현할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막(120)은 티타늄 산화물 층(121) 또는 실리콘 산화물 층(122)을 포함할 수 있다. 일반적으로 티타늄 산화물 층(121) 또는 실리콘 산화물 층(122)을 포함하는 다층 박막(120)은, 반사방지막(ARC, anti-reflective coating)으로 이용될 수도 있다.
상술한 금속 산화물을 포함하는 페이스트를 강화유리(110)의 일면에 코팅한 후 열처리함으로써 단층 박막을 반복 형성하여 다층 박막(120)을 형성할 수 있다. 코팅법에 따라 요구되는 페이스트의 물성도 조금씩 달라진다. 일반적으로 닥터 브레이드 또는 스크린 프린트 등의 방법으로 페이스트를 코팅하고, 투명막 형성을 위해서는 스핀 코팅 또는 스프레이 방법을 이용하기도 한다. 이 외에도 스퀴즈를 포함하여 일반적인 습식 코팅 방법을 적용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 강화유리(110) 상에 다층(multi-layer) 박막(120)을 형성하기 위한 티타늄 산화물 층(121) 또는 실리콘 산화물 층(122)을 배열하는 방법으로서, 예를 들어, 티타늄 산화물 층(121)으로만 배열하는 방법, 실리콘 산화물 층(122)으로만 배열하는 방법, 티타늄 산화물 층(121) 및 실리콘 산화물 층(122)을 함께 배열하되, 임의 배열하는 방법, 및 티타늄 산화물 층(121) 및 실리콘 산화물 층(122)을 교차 배열하는 방법을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 상기 티타늄 산화물 층(121) 또는 실리콘 산화물 층(122)을 코팅하여 형성될 수 있는 다층 박막(120)의 층수는, 예컨대, 1층 내지 8층일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 티타늄 산화물 층(121) 및 실리콘 산화물 층(122)은 각각 고유한 굴절률 값을 나타내므로, 다층 박막(120)의 구성, 층수와 같은 적층 구조에 따라 다층 박막(120)의 전체 굴절률 값은 다르게 나타날 수 있다.
결과적으로, 다층 박막(120)의 전체 굴절률 값을 달리함으로써 다층 박막(120)을 투과할 수 있는 빛의 파장을 조절할 수 있고, 이에 따라 강화유리(110) 상에 다양한 색상 패턴을 구현할 수 있도록 한 것이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 상의 일부에 대하여 마스킹 층을 형성하는 단계를 도식적으로 나타낸 것이다.
피식각 재료 표면 상에서 제거하고자 하는 부분과 원상태를 유지하고자 하는 부분을 나누어, 상기 원상태를 유지하고자 하는 부분이 식각액, 식각 기체, 또는 플라즈마 등과 같은 식각 물질에 의하여 손상 및 제거되는 것을 방지하기 위해 보호막을 형성할 수 있는데, 이러한 보호막을 마스킹 층, 마스킹 패턴, 또는 블랙매트릭스(blackmatrix)라고 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스킹 층(130)을 형성하는 단계는, 상기 다층 박막 상에서 식각 영역 및 비식각 영역을 구분하는 단계; 상기 비식각 영역의 형태에 대응하는 인쇄 금형을 제조하는 단계; 및 인쇄 금형을 이용하여 마스킹 층을 인쇄하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 마스킹 층을 인쇄하는 단계에 있어서, 이용 가능한 인쇄방식으로는, 예컨대, 실크스크린 인쇄(silk screen printing), 롤 인쇄(roll printing), 패드 인쇄(pad printing) 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 마스킹 층(130)은, 인쇄 회수에 따라 단일층(single-layered) 또는 다층(multi-layered) 구조일 수 있고, 상기 마스킹 층(130) 인쇄에 이용되는 물질로는, 예컨대, 금속, 금속산화물 등과 같은 무기화합물 또는 고분자 수지와 같은 유기화합물을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 마스킹 층을 인쇄하는 경우, 반사특성을 향상시키거나 광을 더욱 효과적으로 차단시키기 위해 다층 구조의 마스킹 층을 형성하는 것이 일반적이다. 다만, 이 경우 마스킹 층의 패터닝(patterning)에 필요한 부가적인 인쇄 공정 및 식각 공정에 의해 공정 비용이 증가할 수 있고, 마스킹 층이 두꺼워져 가공성 및 범용성이 저하될 수 있기 때문에, 단일층 구조의 마스킹 층을 형성하는 것이 바람직하다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막의 식각 공정을 도식적으로 나타낸 것으로서, 이를 참고하여 다층 박막의 식각 공정에 관하여 상세히 설명하고자 한다.
도 3에 나타난 것과 같이, 다층 박막(120) 상에 마스킹 층(130)을 형성한 후, 알칼리 수용액을 이용하여 다층 박막(120) 상의 노출 영역을 제거함으로써, 강화유리(110) 상의 일부 영역에 다양한 색상 패턴을 구현할 수 있다.
일반적으로, 기재(substrate) 상에 형성된 막(film)의 일정 부분을 식각하기 위한 방법으로, 진공 상태에서 기체상의 에천트(etchant)를 이용하는 건식 식각, 액체상의 에천트를 이용하는 습식 식각, 및 양자를 병용하는 형태의 식각방법을 들 수 있다.
상기 막(film)의 물리적, 화학적 특성, 식각 영역의 면적, 공정 비용 등을 고려하여 상기 방법들 중 적절한 것을 선택할 수 있는데, 본 발명에 따른 식각방법은 식각액 조성물을 이용하는 것으로서 습식 식각에 의해 이루어진다.
실리콘 산화막 또는 티타늄 산화막과 같은 금속 산화막을 습식 식각하는 경우, 이용될 수 있는 식각액 조성물로는 크게 산성 식각액 또는 알칼리성 식각액을 들 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 알칼리성 식각액 조성물을 이용한 다층 박막(120)의 식각방법이 제공되고, 보다 상세하게는, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 식각액 조성물을 이용하는 식각방법이 제공된다. 상기 알칼리성 식각액 조성물의 조성에 관하여는 상술한 것과 같다.
상기 알칼리성 식각액 조성물을 이용한 다층 박막의 식각방법에 따르면, 식각 부분에 대한 선택도가 우수하여 막 제거 성능이 뛰어나고 강화유리의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 강화유리 상에 다양한 색상을 구현을 구현할 수 있도록 함으로써 시각적인 효과를 크게 향상시킬 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110 : 강화유리
120 : 다층 박막
121 : 티타늄 산화물 층
122 : 실리콘 산화물 층
130 : 마스킹 층

Claims (4)

  1. 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 강화유리 상에 형성된 다층(multi-layer) 박막의 식각을 위한 식각액 조성물.
  2. 강화유리 상에 적층된 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 식각하기 위한 식각액 조성물로서, 상기 식각액 조성물은, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 식각액 조성물.
  3. 강화유리 상에 다층(multi-layer) 박막을 형성하는 단계;
    상기 다층 박막 상의 일부에 마스킹 층을 형성하는 단계; 및
    상기 마스킹 층을 식각 마스크로 이용하여 상기 다층 박막을 식각하는 단계를 포함하고, 상기 다층 박막을 식각하는 단계는, 전체 식각액 조성물 중량에 대하여, 수산화나트륨 10 내지 20 중량%, 수산화칼륨 10 내지 15 중량%, 탄산칼슘 0.01 내지 5 중량%, 탄산나트륨 0.01 내지 5 중량%, 수산화마그네슘 0.01 내지 3 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각을 위한 식각액 조성물을 이용하여 이루어지는 것인, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 다층 박막은, 티타늄 산화물 층 또는 실리콘 산화물 층을 적층하는 것에 의하여 이루어지는 것인, 강화유리 상에 형성된 다층 박막의 식각방법.
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