KR101327499B1 - 트레이 세정 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 트레이 세정 방법에 있어서, 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드를 공급하는 트레이의 상부에서 일 방향으로 이동한다. 그리고, 트레이의 상부에서 에어를 하방으로 분사하여 트레이의 상부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 트레이의 상부면으로부터 제거한다. 또한, 에어의 분사에 의하여 트레이의 상부면으로부터 제거된 에폭시 몰딩 컴파운드를 이동 방향을 기준으로 에어가 분사되는 부분의 전후에서 진공을 이용하여 흡입한다. 따라서, 트레이에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거함으로써, 몰딩 공정에서의 제품의 불량을 방지하고 전체적인 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

트레이 세정 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS OF CLEANING A TRAY}
본 발명은 트레이 세정 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 트레이의 상부에서 에어를 분사하여 트레이의 상부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거하기 위한 트레이 세정 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지 공정은 웨이퍼를 절단하여 반도체 칩인 다이로 개별화하는 소잉(Sawing)공정, 개별화된 다이들을 기판에 부착하는 다이 본딩 공정, 상기 다이와 상기 기판의 접속 패드들을 전기적으로 연결하는 와이어 본딩 공정, 상기 다이와 상기 다이의 주변부를 몰딩하는 몰딩 공정 및 상기 기판의 볼 패드에 외부 접속 단자를 형성하는 공정을 포함한다.
상기 몰딩 공정은 금형 상에 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound, 이하 "이엠씨" 라고 함)를 공급하고 상기 다이를 상기 이엠씨에 위치시킨 상태에서 상기 다이 및 상기 이엠씨를 가압하여 이루어진다. 상기 이엠씨는 트레이에 의해 상기 금형으로 공급된다.
이 때, 상기 이엠씨를 운반하는 트레이의 표면, 특히 트레이의 하부면에 이엠씨 미분이 고착되거나 부착될 수 있다. 즉, 상기 분말 형태의 이엠씨가 상기 금형에 전부 공급되지 못하고 일부가 상기 트레이의 내부 및/또는 하부면에 잔재할 수 있다.
이에 따라, 상기 트레이에 잔재하는 이엠씨가 상기 트레이의 이송 중에 다른 공정 유닛들로 낙하되거나 탈락될 수 있으며, 상기 낙하된 이엠씨에 의해 상기 공정 유닛들이 오염되는 문제점이 발생한다. 또한, 상기 트레이의 내부에 장시간 잔재한 이엠씨가 새롭게 제공된 분말 형태의 이엠씨와 함께 상기 금형으로 제공될 경우, 상기 금형에서 진행된 결과물에 불량이 발생할 수 있다. 나아가, 상기 결과물의 불량에 의해 몰딩 공정의 전체적인 효율이 저하되고 전체적인 생산량이 감소되 는 문제점이 발생한다.
본 발명의 일 목적은 트레이에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 효율적으로 제거하기 위한 트레이 세정 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 언급한 트레이 세정 방법을 용이하게 수행할 수 있는 트레이 세정 장치를 제공하는데 있다.
상술할 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 방법에 있어서, 먼저 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound)를 공급하는 트레이의 상부에서 일 방향으로 이동한다. 그리고, 상기 트레이의 상부에서 에어를 하방으로 분사하여 상기 트레이의 상부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 상기 트레이의 상부면으로부터 제거한다. 또한, 상기 에어의 분사에 의하여 상기 트레이의 상부면으로부터 제거된 상기 에폭시 몰딩 컴파운드를 상기 이동 방향을 기준으로 상기 에어가 분사되는 부분의 전후에서 진공을 이용하여 흡입한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이의 상부면을 기준으로 높이를 조절하면서 분사할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이의 상부면에 잔재하는 상기 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거한 후, 상기 트레이의 상하부면을 반전시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 반전된 트레이의 상부에서 일 방향으로 이동한 다. 그리고, 상기 트레이의 하부면 상에서 에어를 하방으로 분사하여 상기 트레이의 하부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 상기 트레이의 하부면으로부터 제거한다. 또한, 상기 에어의 분사에 의하여 상기 트레이의 하부면으로부터 제거된 상기 에폭시 몰딩 컴파운드를 상기 이동 방향을 기준으로 상기 에어가 분사되는 부분의 전후에서 진공을 이용하여 흡입한다.
상술할 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따르면, 트레이 세정 장치는 몸체부, 에어 분사부 및 진공 흡입부를 포함한다. 상기 몸체부는 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드를 공급하는 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이의 제1 폭과 대응되는 크기를 가지며, 상기 트레이의 상부에서 상기 제1 폭과 수직한 제2 폭 방향으로 이동한다. 상기 에어 분사부는 상기 몸체부의 중앙부에 상기 제1 폭의 방향으로 절개되어 형성되고, 상기 몸체부의 하면을 통하여 에어를 하방으로 분사하여 상기 트레이의 상부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거한다. 상기 진공 흡입부는 상기 에어 분사부의 양측에 적어도 두 개가 형성되고, 상기 에어 분사부가 분사한 에어에 의해 제거되어 날아가는 에폭시 몰딩 컴파운드를 진공을 이용하여 흡입한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 몸체부는 상기 에어 분사부로부터 에어가 분사되는 경로를 기준으로 별도로 형성된 제1 몸체부 및 제2 몸체부를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 에어 분사부는 상기 몸체부의 하면으로부터 에어가 분사되는 경로를 제공하기 위한 분사부, 상기 분사부와 연결되고, 상 기 분사부보다 상대적으로 넓은 공간을 구비하여 상기 분사되는 에어의 압력을 조절하기 위한 공간부 및 상기 공간부와 연결되고, 외부로부터 상기 에어를 공급받아 상기 공간부에 전달하기 위한 전달부를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 진공 흡입부들은 상기 몸체부의 이동 방향을 기준으로 상기 에어 분사부의 전후에 각각 형성된 제1 진공 흡입부 및 제2 진공 흡입부를 포함한다. 예를 들어, 상기 진공 흡입부는 상기 제1 진공 흡입부 및 상기 제2 진공 흡입부와 연결되어 상기 제1 및 제2 진공 흡입부가 흡입한 에폭시 몰딩 컴파운드를 외부로 배기시키기 위한 진공 배기부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이 세정 장치는 상기 트레이의 상부면을 기준으로 상기 몸체부의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이 세정 장치는 상기 트레이의 하부면이 위로 향하도록 상기 트레이의 상하부면을 반전시키는 트레이 반전부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 오토 몰딩 시스템에 있어서 에어를 분사하여 트레이에 잔재하는 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거한다. 그리고 제거된 에폭시 몰딩 컴파운드를 에어가 분사되는 부분의 전후에서 진공 흡입함으로써, 제거된 에폭시 몰딩 컴파운드가 트레이에 재부착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제품의 불량률을 감소시키고 전체적인 공정의 효율 및 생산량을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다. 도 2는 도 1의 트레이 세정 장치를 상부에서 바라본 정면도이고, 도 3은 도 1의 트레이 세정 장치의 중앙부를 절단하여 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 장치(100)는 트레이(200)의 상, 하부면을 세정한다. 이에 트레이 세정 장치(100)는 몸체부(300), 에어 분사부(400) 및 진공 흡입부(500)를 포함한다.
트레이(200)는 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound, 이하 "이엠씨"라고 함)를 적재하고 상기 적재된 이엠씨를 금형(도시되지 않음)에 공급하기 위하여 상기 금형과 인접한 위치로 이동한다. 이에 트레이(200)가 상기 적재된 이엠씨를 상기 금형 내부로 공급한다. 즉, 트레이(200)는 이엠씨를 적재하고 이송하는 역할을 한다.
트레이(200)는 상기 금형에 이엠씨를 균일하게 공급하기 위하여 격벽(210)에 의해 실질적으로 동일한 양으로 구획된 적재 공간(220)을 구비한다. 또한, 트레 이(200)는 그 하부면에 셔터(도시되지 않음)를 포함한다. 상기 셔터는 트레이(200)의 내부에 적재된 이엠씨를 하방으로 투하되도록 개폐가 가능하도록 형성된다. 예를 들어, 상기 셔터는 직선 왕복 구동력을 제공하는 구동부(도시되지 않음)에 의해 개폐될 수 있다. 상기 구동부는 예를 들어, 공압 실린더, 유압 실린더 등을 포함한다.
몸체부(300)는 트레이(200)의 상부에 배치된다. 예를 들어, 몸체부(300)는 트레이(200)의 제1 폭(W1)과 대응되는 크기를 가진다. 한편, 몸체부(300)는 트레이(200)의 적재 공간(220)보다 상대적으로 크게 형성될 수 있다. 이는 적재 공간(220)에 잔재하는 이엠씨를 충분하게 제거하기 위함이다. 나아가, 몸체부(300)는 트레이(200)의 제1 폭(W1)을 충분하게 커버하도록 제1 폭(W1)과 대응하거나 더 크게 형성될 수 있다.
또한, 몸체부(300)는 서로 마주보도록 배치된 제1 몸체부(310) 및 제2 몸체부(320)를 포함한다. 제1 몸체부(310) 및 제2 몸체부(320)는 후술할 에어 분사부(400)로부터 에어가 분사되는 경로를 기준으로 서로 마주보면서 형성된다. 즉, 제1 몸체부(310) 및 제2 몸체부(320)는 에어 분사부(400)를 기준으로 서로 마주보면서 대응되도록 형성된다.
몸체부(300)는 트레이(200)의 상부에서 일정 방향으로 이동한다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 몸체부(300)는 트레이(200)의 제2 폭(W2) 방향으로 이동한다. 여기서, 제2 폭(W2)은 제1 폭(W1)과 실질적으로 수직한다. 즉, 몸체부(300)는 제1 폭(W1)과 수직하는 제2 폭(W2) 방향으로 이동한다. 이와 달리, 몸체부(300)가 트레 이(200)의 제2 폭(W2)과 대응되도록 형성되는 경우, 몸체부(300)는 제1 폭(W1) 방향으로 이동할 수 있다. 이와 같이, 몸체부(300)는 트레이(200)의 상부면(210) 전체를 커버할 수 있도록 이동할 수 있다.
에어 분사부(400)는 몸체부(300)의 중앙부에 형성된다. 예를 들어, 에어 분사부(400)는 몸체부(300)의 중앙부에 제1 폭(W1) 방향으로 절개되어 형성된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 몸체부(310)와 제2 몸체부(320)가 서로 마주보면서 결합될 경우, 에어 분사부(400)는 서로 결합되는 공간에 절개된 위치에 형성된다. 이와 같이, 에어 분사부(400)는 제1 및 제2 몸체부들(310, 320)이 결합에 의해 형성된다. 이와 달리, 에어 분사부(400)는 하나의 몸체부(300)의 중앙부를 일정 방향으로 절개하여 형성할 수도 있다. 여기서, 절개 방향은 제1 폭(W1) 방향이 될 수 있다.
에어 분사부(400)는 트레이(200)의 상부면(210)으로 에어를 분사하다. 예를 들어, 에어 분사부(400)는 몸체부(300)의 하면을 통하여 에어를 하방으로 분사할 수 있다. 이에 따라, 트레이(200)의 상부면(210)에 잔재하는 이엠씨들이 상기 에어에 의하여 상부면(210)으로부터 제거할 수 있다.
도 3을 참조하면, 에어 분사부(400)는 분사부(410), 공간부(420) 및 전달부(430)을 포함한다.
분사부(410)는 몸체부(300)의 하면으로부터 에어가 분사되는 경로를 제공한다. 또한, 공간부(420)는 분사부(410)와 연결되고, 분사부(410)보다 상대적으로 넓은 공간을 구비한다. 전달부(430)는 공간부(420)와 연결되고, 외부로부터 에어를 공급받아 공간부(420)에 전달한다. 즉, 외부로부터 공급된 에어가 전달부(430), 공간부(420)와 분사부(410)을 통하여 트레이(200)로 분사된다. 이와 같이, 상대적으로 넓은 공간을 갖는 공간부(420)통하여 분사부(410)에 전달됨으로써, 분사되는 에어의 압력이 상대적으로 높아질 수 있다. 따라서, 공간부(420)의 공간을 조절하여, 분사되는 에어의 압력을 적절하게 조절할 수 있다.
이와 같이, 몸체부(300)가 트레이(200) 상을 이동하는 경우, 에어 분사부(400)가 몸체부(300)의 하면을 통해 트레이(200)의 상부면(210)에 에어를 분사함으로써, 상부면(210)에 잔재하는 이엠씨 분진 또는 미분들이 제거된다. 따라서, 트레이(200)에 잔재하는 이엠씨가 제거되므로, 공정 공간이 오염되는 것이 방지된다. 또한, 상기 잔재한 이엠씨에 의해 제품이 불량해지는 것이 방지되어 전체적인 공정의 효율성 및 수율이 크게 향상될 수 있다.
한편, 몸체부(300)의 이동과 에어 분사부(400)의 에어 분사는 그 순서에 상관없이 진행될 수 있다. 즉, 몸체부(300)가 이동한 후, 에어 분사부(400)가 에어를 분사할 수 있으며, 이와 달리, 에어 분사부(400)가 에어를 분사한 후, 몸체부(300)가 이동할 수 있다. 또한, 몸체부(300)의 이동과 에어 분사부(400)의 에어 분사가 동시에 진행될 수도 있다.
진공 흡입부(500)는 에어 분사부(400)의 양측에 적어도 두 개가 형성된다. 예를 들어, 진공 흡입부(500)는 몸체부(400)의 이동 방향을 기준으로 에어 분사부(400)의 전후 양측에 각각 배치될 수 있다.
예를 들어, 진공 흡입부(500)는 몸체부(300)의 하면에 각각 형성된 제1 진공 흡입부(510)와 제2 진공 흡입부(520)를 포함할 수 있다. 제1 진공 흡입부(510)가 몸체부(300)의 이동 방향을 기준으로 에어 분사부(400)의 앞에 배치되고, 제2 진공 흡입부(520)가 에어 분사부(400)의 뒤에 배치된다. 이와 달리, 제1 진공 흡입부(510)와 제2 진공 흡입부(520)의 배치는 서로 변경될 수 있다.
또한, 진공 흡입부(500)는 제1 진공 흡입부(510) 및 제2 진공 흡입부(520)와 연결된 진공 배기부(530)를 포함한다. 진공 배기부(530)는 몸체부(300)의 하면에 형성된 제1 진공 흡입부(510) 및 제2 진공 흡입부(520)와 연결되고, 몸체부(300)를 관통하여 몸체부(300)의 외부까지 형성된다.
진공 흡입부(500)는 진공을 이용하여 트레이(200)의 상부면(210)으로부터 제거된 이엠씨를 흡입한다. 그리고, 진공 흡입부(500)는 상기 흡입한 이엠씨를 외부로 배출시킨다. 예를 들어, 분사부(400)의 전후에 배치된 제1 진공 흡입부(510)와 제2 진공 흡입부(520)가 트레이(200)의 상부면(210)으로부터 제거된 이엠씨를 진공을 이용하여 흡입한다. 특히, 제1 진공 흡입부(510)와 제2 진공 흡입부(520)가 제거되는 이엠씨를 에어 분사부(400)의 전후에서 흡입하므로, 제거된 이엠씨가 트레이(200)의 상부면(210)으로 재흡착되는 것이 방지된다. 그리고, 상기 흡입된 이엠씨가 진공 배기부(530)를 통하여 외부로 배출된다. 따라서, 에어에 의하여 트레이(200)의 상부면(210)으로부터 제거되어 탈루된 이엠씨가 진공 흡입부(500)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
이와 같이, 진공 흡입부(500)가 상기 제거된 이엠씨를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써, 트레이 세정 장치(100)의 내부가 상기 제거된 이엠씨에 의해 오염되는 것을 방지한다.
한편, 트레이 세정 장치(100)는 몸체부(300)의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부(600)를 더 포함할 수 있다.
높이 조절부(600)는 몸체부(300)와 연결되고, 트레이(200)의 상부면(210)을 기준으로 몸체부(300)의 높이를 조절한다. 이 때, 높이 조절부(600)는 분사되는 에어의 압력, 트레이(200)에 잔재하는 이엠씨 미분 또는 분진의 양, 종류 등에 대응하여 몸체부(300)의 높이를 조절한다. 예를 들어, 에어의 압력이 떨어지는 경우, 높이 조절부(600)는 몸체부(300)를 상부면(210)으로부터 더 높게 배치되도록 조절한다. 이에 에어 분사부(400)로부터 하방으로 분사되는 에어가 분사 압력과 중력에 의해 강한 압력을 가질 수 있다. 이와 달리, 높이 조절부(600)가 몸체부(300)의 높이를 낮게 조절하는 경우, 에어 분사부(400)와 이엠씨 사이의 거리를 감소시켜, 분사되는 에어를 특정 부분에 집중시킬 수도 있다.
이와 같이, 높이 조절부(600)가 몸체부(300)의 높이를 조절함으로써, 트레이(200)에 잔재하는 이엠씨를 효율적으로 제거할 수 있다.
또한, 트레이 세정 장치(100)는 트레이(200)의 상하를 반전시키기 위한 트레이 반전부(700)를 더 포함할 수 있다.
트레이 반전부(700)는 트레이(200)의 하부면(220)이 위로 향하도록 트레이(200)의 상, 하부면(210, 220)을 반전시킨다. 여기서, 트레이 반전부(700)는 트레이(200)의 상, 하부면(210, 220)을 반전시킬 수 있다면 다양한 장치들이 사용될 수 있다.
트레이 반전부(700)가 트레이(200)를 반전시킨 후, 몸체부(300)가 트레이(200)의 하부면(220) 상을 이동하고 에어 분사부(400)가 하부면(220)에 잔재하는 이엠씨로 에어를 분사한다. 특히, 에어 분사부(400)는 트레이(200)의 하부면(220)에 형성된 셔터의 틈으로 에어를 집중적으로 분사하여, 상기 셔터의 틈에 잔재하는 이엠씨를 효과적으로 제거할 수 있다. 이어서, 진공 흡입부(500)가 제거된 이엠씨를 진공 흡입하여 외부로 배출시킨다.
따라서, 트레이 반전부(700)가 트레이(200)의 상하를 반전시킴으로써, 트레이(200)의 상, 하부면(210, 220)에 잔재한 이엠씨를 모두 제거할 수 있다.
본 발명에 따르면, 에어 분사부(400)가 트레이(200)의 상, 하부면(210, 220)에 잔재한 이엠씨에 에어를 분사하여 제거함으로써, 제품의 불량을 방지하고 전체적인 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 방법에 있어서, 트레이의 상부에서 이동하면서(S100), 트레이의 상부에서 에어를 하방으로 분사하여 트레이의 상부면으로부터 이엠씨를 제거하며(S200), 제거된 이엠씨를 진공을 이용하여 흡입한다(S300).
구체적으로, 분말 형태의 이엠씨를 이송하여 공급하는 트레이의 상부를 일정 방향으로 이동한다. 예를 들어, 몸체부가 트레이를 전체적으로 커버하도록 트레이의 일단에서 타단으로 이동한다.
이 때, 몸체부의 하면을 통하여 트레이의 상부면 방향으로 에어를 분사한다. 예를 들어, 에어 분사부가 트레이의 상부면에 잔재하는 이엠씨의 미분 등을 제거하기 위하여 하방으로 에어를 분사한다. 따라서, 잔재하는 이엠씨가 트레이의 상부면으로부터 탈락될 수 있다.
여기서, 트레이의 상부면을 기준으로 높이를 조절하면서 에어를 분사할 수 있다. 예를 들어, 높이 조절부가 트레이의 상부면을 기준으로 몸체부의 높이를 조절하면서 에어를 분사할 수 있다. 따라서, 분사되는 에어의 압력, 잔재하는 이엠씨의 종류, 양 등에 따라 잔재하는 이엠씨 미분 등을 효율적으로 제거할 수 있다.
한편, 몸체부의 이동과 에어 분사부의 에어 분사는 그 순서에 상관없이 진행될 수 있다. 즉, 몸체부가 이동을 시작한 후, 에어 분사부가 에어를 분사할 수 있고, 이와 달리, 에어 분사부가 에어를 분사한 후, 몸체부가 이동할 수 있다. 물론, 몸체부의 이동과 에어 분사부의 에어 분사가 동시에 진행될 수도 있다.
그리고, 상기 에어에 의하여 제거된 이엠씨 미분 등을 진공을 이용하여 흡입한다. 예를 들어, 진공 흡입부가 에어 분사부의 전후에 배치되고, 각각의 진공 흡입부가 트레이의 상부면으로부터 제거되어 날아가는 이엠씨 미분 등을 효율적으로 흡입할 수 있다. 그리고, 진공 흡입부는 흡입한 이엠씨를 외부로 배출시켜, 트레이 세정 장치 내부에 이엠씨가 재부착되는 것을 방지한다.
이와 같이, 트레이 상부면에 부착된 이엠씨 미분 등에 에어를 공급하여 제거하고 진공을 이용하여 흡입하여 외부로 배출시킴으로써, 제품의 불량을 방지하고 제품의 수율 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 트레이의 상부면에 잔재한 이엠씨를 제거한 후, 트레이의 상하부면을 반전시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 따라서, 트레이 반전부가 트레이의 상하를 반전시키는 경우, 몸체부가 트레이의 하부면 상에서 일 방향으로 이동하고, 에어 분사부가 에어를 하방으로 분사할 수 있다. 그리고, 제거된 이엠씨는 진공 흡입부에 의하여 외부로 배출된다. 트레이의 반전 후의 이엠씨 제거 공정은 전술한 상부면에서의 공정과 실질적으로 동일하다. 이와 같이, 트레이의 반전을 통해서 트레잉의 상부면 뿐만 아니라 하부면에 잔재하는 이엠씨도 제거할 수 있다.
본 발명에 따르면, 전술한 트레이 세정 방법을 수행하여 트레이의 하부면과 상부면에 잔재한 이엠씨 미분과 분진을 효율적으로 제거할 수 있다. 따라서, 후에 진행될 몰딩 공정의 효율성이 향상되고, 제품의 불량률을 감소시킬 수 있다. 이와 같이, 분말 형태의 이엠씨를 이송하는 트레이의 상, 하부면에 잔재하는 이엠씨 분진과 미분들에 에어를 분사하여 제거할 수 있다. 따라서, 잔재하는 이엠씨에 의한 제품의 불량을 방지할 수 있으며 전체적인 제품의 수율 및 생산량을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 트레이 세정 방법 및 장치에 있어서, 트레이의 하부면 및/또는 상부면에 잔재하는 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드에 에어를 분사하여 트레이로부터 제거할 수 있다. 따라서, 금형에 에폭시 몰딩 컴파운드를 투입한 후, 트레이에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거함으로써, 후속 공정에서 제품의 불량률을 감소시킬 수 있다. 나아가, 제품의 불량을 방지하여 몰딩 공정의 효율을 향 상시키고 전체적인 생산량을 증가시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 트레이 세정 장치를 상부에서 바라본 정면도이다.
도 3은 도 1의 트레이 세정 장치의 중앙부를 절단하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 세정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 트레이 세정 장치 200 : 트레이
210 : 상부면 220 : 하부면
300 : 몸체부 310 : 제1 몸체부
320 : 제2 몸체부 400 : 에어 분사부
410 : 분사부 420 : 공간부
430 : 전달부 500 : 진공 흡입부
510 : 제1 진공 흡입부 520 : 제2 진공 흡입부
530 : 배기부 600 : 높이 조절부
700 : 트레이 반전부

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 분말 형태의 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound)를 공급하는 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이의 제1 폭과 대응되는 크기를 가지며, 상기 트레이의 상부에서 상기 제1 폭과 수직한 제2 폭 방향으로 이동하는 몸체부;
    상기 몸체부의 중앙부에 상기 제1 폭의 방향으로 절개되어 형성되고, 상기 몸체부의 하면을 통하여 에어를 하방으로 분사하여 상기 트레이의 상부면에 잔재하는 에폭시 몰딩 컴파운드를 제거하는 에어 분사부; 및
    상기 에어 분사부의 양측에 적어도 두 개가 형성되고, 상기 에어 분사부가 분사한 에어에 의해 제거되어 날아가는 에폭시 몰딩 컴파운드를 진공을 이용하여 흡입하는 진공 흡입부를 포함하고,
    상기 에어 분사부는 상기 몸체부의 하면으로부터 에어가 분사되는 경로를 제공하기 위한 분사부; 상기 분사부와 연결되고, 상기 분사부보다 상대적으로 넓은 공간을 구비하여 상기 분사되는 에어의 압력을 조절하기 위한 공간부; 및 상기 공간부와 연결되고, 외부로부터 상기 에어를 공급받아 상기 공간부에 전달하기 위한 전달부를 포함하고,
    상기 트레이의 상부면을 기준으로 상기 몸체부의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 세정 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 몸체부는
    상기 에어 분사부로부터 에어가 분사되는 경로를 기준으로 별도로 형성된 제1 몸체부 및 제2 몸체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 세정 장치.
  7. 삭제
  8. 제5 항에 있어서, 상기 진공 흡입부는
    상기 몸체부의 이동 방향을 기준으로 상기 에어 분사부의 전후에 각각 형성된 제1 진공 흡입부 및 제2 진공 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 세정 장치.
  9. 제8 항에 있어서, 상기 제1 진공 흡입부 및 상기 제2 진공 흡입부와 연결되어 상기 제1 및 제2 진공 흡입부가 흡입한 에폭시 몰딩 컴파운드를 외부로 배기시키기 위한 진공 배기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 세정 장치.
  10. 삭제
  11. 제5 항에 있어서, 상기 트레이의 하부면이 위로 향하도록 상기 트레이의 상하부면을 반전시키는 트레이 반전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 세정 장치.
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