KR101317612B1 - 전기적 접속체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 2개의 디바이스 사이에서 대향하는 제1 전극군과 제2 전극군을 전기적으로 접속하는 복수개의 접속자를 포함하는 전기적 접속체를, (a) 상기 접속자의 상기 제1 전극군의 전극과 접촉하는 제1 접점은, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점에 대응하고, (b) 상기 접속자의 상기 제2 전극군의 전극과 접촉하는 제2 접점은 적어도 2개의 군을 형성한다.

Description

전기적 접속체{ELECTRIC CONNECTOR}
본 발명은 전기적 접속체에 관한 것이다.
최근 반도체 집적도의 향상에 따라, 패키지 전극은 어레이 배치로 되고 전극수도 5000 핀클래스(pin classes)인 경우가 있다. 어레이형 패키지는 대다수의 경우 BGA(볼·그리드·어레이)로 기판에 직접 납땜되지만, 대형화에 따른 땜납의 열응력 균열이나 교환·유지의 요망으로부터, 압력 접속에 의해 소켓을 통하는 LGA(랜드·그리드·어레이) 방식이 증가하고 있다. 예컨대, LGA 패키지에 있어서는 그 외형 사이즈의 대형화와 전극 피치의 협소화가 진행되고 있어서, 이에 대응하는 LGA 소켓 등의 전기적 접속체가 요망되고 있다.
또한, 반도체의 생산성 향상을 위해 웨이퍼 사이즈가 직경 300 ㎜∼400 ㎜로 대형화되면, 동시에 검사하고자 하는 전극의 수는 수천 핀으로부터 수만 핀으로 비약적으로 높아진다. 따라서, 반도체 검사 장치에 있어서 프로브 등의 전기적 접속체도 이러한 웨이퍼의 대형화에 대응해 더욱 협피치화해야 한다. 한편, 제품 형태가 증가하는 등에 의해, 검사 장치도 웨이퍼측의 프로브의 전기적 접속체만을 교환하는 것이 요구되고 있다.
이와 같이 평면 전극끼리를 접속하는 박형 LGA 소켓의 접속자로는, 스프링 특성, 전기 특성, 비용 면에서 캔틸레버형이 주로 사용되고 있다. 캔틸레버형 접속자는 변위나 하중 요건의 충족을 위해 비스듬하게 상승하는 방향으로 일정한 빔 길이를 필요로 하기 때문에, 협피치화에 대응하기 위해서는 접속자의 배열 방법을 궁리해야 했다.
또한, 캔틸레버형인 경우 접속자의 선단이 디바이스 전극 상에서 미끄러지면서 표면의 산화 피막을 깨뜨려, 안정한 전기 접속을 얻는다고 하는 특징이 있다. 그러나 초과 다핀인 경우, 빔이 동일한 방향을 향하고 있으면 전체 미끄러짐력이 커져, 디바이스와 접속체 사이에 큰 반작용이 생긴다. 특히 접속체의 기재 부분이 필름형의 탄성체인 경우에는, 이 기재 부분에 주름이나 변형이 생겨, 안정한 접속을 저해하는 경우가 있었다.
이러한 문제를 해결하는 방법으로서, 1열 배열로 빔의 방향을 대항시켜, 전체로서 슬라이드력의 균형을 취하는 방법이 개시되어 있다(특허 문헌 1, 2, 3 등).
[특허 문헌 1] 미국 특허 제6293808호 명세서
[특허 문헌 2] 미국 특허 제6971885호 명세서
[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 제2006-49260호 공보
그러나, 특허 문헌 1, 2가 개시하는 방법은 빔의 배열 방향이 담체의 외변과 평행 또는 45°로 경사진 경우로 한정되고, 그 이외의 빔 배열 방향에 대해서는 개시하고 있지 않다. 또한, 이들의 특허 문헌에 있어서는, 어느 것도 접속자에 있어서의 상부 컨택트(1)와 하부 컨택트(2)의 접점은 동일한 위치에 있으며, 상하의 디바이스는 동일한 전극 패턴으로 하는 것을 전제로 하고 있다.
한편, 특허 문헌 3은 1열 배열이 아닌 구역으로 나누어 담체의 외변에 대해 45°방향의 컨택트를 대항시키고, 또한 상하의 접점 위치도 동일한 위치가 아닌 도면을 개시하고 있다. 그러나, 이 방법도 빔 길이보다 협피치화한 경우에 빔 길이를 확보할 수 있는 배열 구조에 대해서는 개시하지 않는다. 또한 MEMS(Micro Electro Mechanical System)로 빔을 일괄 형성하는 경우, 재료 방향이 한정되고 특성이나 수율이 희생되는 경우가 있다.
그래서, 본 발명은 협피치화하여도 기계적 특성이나 전기적 특성 등이 지금까지의 피치와 동등한 캔틸레버형의 접속자에 요청되는 특성을 얻을 수 있는 접속자 배열 구조를 갖는 전기적 접속체를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 다핀화에 따르는 미끄럼 이동력에 의해 전기적 접속체에 문제점이 발생하는 것을 회피 또는 억제할 수 있는 배열 구조를 갖는 전기적 접속체를 제공하는 것을 다른 하나의 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 효율적으로 접속자를 배열시킬 수 있는 접속자 배열 구조를 갖는 전기적 접속체를 제공하는 것을 다른 하나의 목적으로 한다.
본 발명자 등은 상기한 과제를 해결하기 위해 검토한 바, 디바이스의 전극에 접촉하는 접점의 배열 정보나 접속자에 요청되는 빔 길이에 관한 정보 등에 기초하여, 그 접속자에 요청되는 특성을 확보해서 미끄럼 이동력을 억제할 수 있는 배열 구조를 결정할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성하였다. 또한, 이러한 배열 구조를 이용함으로써 양호한 특성을 갖는 접속자를 제조할 수 있다는 것을 발견하여 본 발명을 완성했다. 즉, 본 발명에 따르면 이하의 수단이 제공된다.
본 발명에 의하면, 2개의 디바이스 사이에서 대향하는 제1 전극군과 제2 전극군을 전기적으로 접속하는 복수개의 접속자를 포함하는 전기적 접속체로서,
(a) 상기 접속자의 상기 제1 전극군의 전극과 접촉하는 제1 접점은, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점에 대응하고,
(b) 상기 접속자의 상기 제2 전극군의 전극과 접촉하는 제2 접점은 적어도 2개의 군을 형성하며, 인접하는 2개의 군 내에서는 인접하는 한쪽의 군에 있어서의 상기 접속자가 다른 쪽의 군과 대향형으로 각각 배열되고, 인접하는 상기 2개의 군은, 상기 접속자의 배열 방향을 따라 직접 대향하여 배열되는 상기 접속자의 상기 제2 접점이 이하의 식 (1)로 표시되는 거리만큼 이격되어 배치되는,
전기적 접속체가 제공된다.
(2c+1)√(a2+(nb)2) (1)
(단, n은 0 이상의 정수이고, c는, 상기 접속자의 배열 방향을 따르는 상기 제1 접점 사이의 거리에 대하여, 상기 접속자에 있어서의 상기 제1 접점과 상기 제2 접점 사이의 거리의 비율을 표시한다.)
또한, 본 발명의 전기적 접속체는, 추가로 (c) 상기 접속자는 상기 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선에 대해 이하의 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루어 배열되고 있어도 좋다. 이 경우, 식 (2)에 있어서 바람직하게는, n은 1 이상이다.
tanθ=nb/a (2)
(단, n은 0 이상의 정수이다.)
또한, 본 발명의 전기적 접속체는, (d) 상기 격자를 구성하는 격자선은, 상기 접속자의 배열 영역 중 어느 하나의 외변에 대해 상기 각도 θ를 이루고 있어도 좋다. 이 경우 식 (2)에 있어서 바람직하게는, n은 1 이상이다.
본 발명의 전기적 접속체에 있어서, 상기 접속자의 제2 접점은, 그 접속자의 제1 접점이 대응하는 상기 격자 상의 교점과는 상이한 교점에 대응하고 있어도 좋다. 또한, 상기 접속자의 제2 접점의 2개의 상기 군을 구분하는 경계선은, 상기 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선에 거의 평행하여도 좋고, 또한 상기 접속자의 제2 접점의 2개의 상기 군을 구분하는 경계선은 상기 격자의 대각선에 거의 평행하여도 좋으며, 또한 상기 접속자의 제2 접점의 2개의 상기 군을 구분하는 경계선은 상기 격자를 구성하는 격자선에 대해, 상기 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루고 있어도 좋다. 이 경우 식 (2)에 있어서 바람직하게는, n은 1 이상이다.
또한, 본 발명의 전기적 접속체에 있어서, 상기 격자를 구성하는 격자선은, 상기 제1 접점의 형성 영역의 윤곽을 구성하는 어느 하나의 외변에 대해 상기 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루고 있어도 좋다. 이 전기적 접속체에 있어서, n≥1이고, 0.2≤c≤4인 것이 바람직하다. 또한, 이 전기적 접속체에 있어서는, 상기 각도 θ는 25°이상 65°이하인 것이 바람직하다. 또한, a=b인 것도 바람직하다.
본 발명의 전기적 접속체에 있어서, 상기 접속자를 유지하는 담체를 탄성체로 할 수 있다.
본 발명의 전기적 접속체에 있어서, 상기 접속자는, 상기 제1 접점 및 상기 제2 접점에 각각 접촉하고, 판 두께가 스프링 두께에 대응하는 평판형 빔을 포함할 수 있으며, 또한 이 평판형 빔은, 제1 전극군 및 제2 전극군에 접촉하는 부하가 부여되었을 때의 응력이 한쪽 면에서는 인장 응력이 되고, 다른 쪽 면에서는 압축 응력이 되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 접속자와 전극과의 관계를 도시하는 도면 (a)와 전극의 배열을 도시하는 도면 (b)이다.
도 2는 접속자를 격자선에 대해 기울여 배열하는 예를 도시하는 도면 (a)∼(c)이다.
도 3은 제2 접점군에 있어서의 제2 접점 사이 거리를 도시하는 도면이다.
도 4는 제1 접점과 제2 접점의 배열의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 제1 접점과 제2 접점의 배열의 다른 일례를 도시하는 도면이다.
도 6은 제1 접점과 제2 접점의 배열의 다른 일례를 도시하는 도면이다.
도 7은 제1 접점과 제2 접점의 배열의 다른 일례를 도시하는 도면이다.
도 8은 격자의 각도 변환을 따라 제1 접점과 제2 접점의 배열의 일례를 도시하는 도면이다.
도 9는 실시예 1의 접속자의 배열 방향에 대한 설명도이다.
도 10은 실시예 1에 있어서의 접점의 배열의 일례를 도시하는 도면이다.
도 11은 실시예 2의 접속자의 배열 방향에 대한 설명도이다.
도 12는 실시예 2에 있어서의 접점의 배열의 일례를 도시하는 도면이다.
도 13은 실시예 3의 접속자의 배열 방향에 대한 설명도이다.
도 14는 실시예 3에 있어서의 접점의 배열에 대한 일례를 도시하는 도면이다.
본 발명의 전기적 접속체는, 2개의 디바이스 사이에서 대향하는 제1 전극군과 제2 전극군을 전기적으로 접속하는 복수개의 접속자를 포함하는 전기적 접속체로서,
(a) 상기 접속자의 상기 제1 전극군의 전극과 접촉하는 제1 접점은, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점에 대응하고,
(b) 상기 접속자의 상기 제2 전극군의 전극과 접촉하는 제2 접점은 적어도 2개의 군을 형성하며, 인접하는 2개의 군 내에서는 인접하는 한쪽의 군에 있어서의 상기 접속자가 다른 쪽의 군과 대향형으로 각각 배열되고, 인접하는 상기 2개의 군은, 상기 접속자의 배열 방향을 따라 직접 대향하여 배열되는 상기 접속자의 상기 제2 접점이 상기 식 (1)로 표시되는 거리만큼 이격되어 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 전기적 접속체에 의하면, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점을 제1 접점으로서 빔이 지향하는 접속자의 배열에 있어서, 제2 접점의 2개 이상의 군을 상기 식 (1)로 표시되는 거리만큼 이격하여 구비하게 함으로써, 미끄럼 이동력에 따른 반작용 등에 의한 전기적 접속체에의 문제점이 회피 또는 억제된 전기적 접속체를 얻을 수 있다. 또한, 상기 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루어 배열시킴으로써, 접속자에 요구되는 빔 방향에 대해 지금까지와 동등한 기계적 특성(변 위, 스프링 하중, 고온 특성 등)이나 전기적 특성(도체 저항, 고주파 특성)을 얻을 수 있는 접속자의 배열 구조를 얻을 수 있고, 따라서 본 발명의 전기적 접속체에 의하면 협피치화나 다핀화에 용이하게 대응 가능해지고 있다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
(전기적 접속체)
도 1의 (a)에는 본 발명의 전기적 접속체(2)의 일례의 부분 구조와 디바이스(100, 110)의 관계를 도시한다. 전기적 접속체(2)는 담체(4)와 접속자(10)를 구비하고 있고, 접속자(10)는 여러 가지의 형태로 담체(4)에 유지되어 있다.
(접속자)
접속자(10)의 형상은 특별히 한정하지 않는다. 그 선단측이 대향되는 디바이스(100, 110)의 전극(102, 104)에 접촉 가능한 접점(14a, 14b)을 갖는 컨택트(12a, 12b)를 구비하고 있어도 좋고, 이들의 컨택트(12a, 12b)를 각각 별개의 접속자로서 갖는 것이라도 좋다. 컨택트(12a, 12b)는 각각 또는 한쪽이 캔틸레버형이라도 좋고, 각종 형태의 버클링 스프링형이라도 좋다. 그러나 버클링 스프링은 선단의 위치 결정을 하기 위해 새로운 가이드판을 필요로 한다는 점이나, 변위의 크기 및 접촉 하중의 설계 자유도의 관점에서, 캔틸레버형인 것이 바람직하다.
캔틸레버형 접속자로는 특별히 한정하지 않지만, 예컨대 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 선단에 상측으로 배치되는 디바이스 전극과의 접점을 갖는 빔형 컨택트(12a)와 아래쪽으로 배치되는 디바이스 전극과의 접점을 갖는 컨택트(12b)를 구비하는 것이라도 좋고, 상하로 빔형 컨택트를 갖는 것이라도 좋다. 필요에 따라 접점(14a, 14b)에 땜납볼을 구비하는 것이라도 좋다.
컨택트(12a, 12b)는 평판형 빔이라도 좋고 와이어형 빔이라도 좋지만, 도체 저항을 저감시키는 관점에서 평판형 빔인 것이 바람직하다. 또한, 컨택트(12a, 12b)는 판 두께가 스프링 두께에 대응하는 평판형 빔인 것이 보다 바람직하다. 이러한 평판형 빔이면 용이하게 강도와 큰 변위를 얻을 수 있다. 또한, 평판형 컨택트(12a, 12b)는, 디바이스 전극에 접촉하는 것과 같은 부하가 걸렸을 때, 응력이 판 두께의 한쪽 면에서는 인장 응력이 되고, 판 두께의 다른 쪽 면에서는 압축 응력이 되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 전극 접촉 시에 있어서, 평판형 빔인 컨택트(12a, 12b)가 각각 판 두께에 대해 한쪽 측으로만 휘도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 평판형 컨택트(12a, 12b)에 의하면 컨택트(12a, 12b)의 길이로 변위를 조절하지만, 본 발명은 이러한 평판형 컨택트(12a, 12b)의 컨택트 길이를 컨택트 길이보다 좁은 피치 간격에서도 용이하게 확보할 수 있다.
또한, 평판형 컨택트로는 접속자(10)의 중앙측으로부터 선단측을 향해 폭이 좁아지도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 빔폭이 좁게 됨으로써 접속자(10)의 표면 응력을 그 컨택트(12a, 12b)의 길이 방향에 걸쳐 균일하게 하면서도, 큰 변위를 부여할 수 있다. 평판형 캔틸레버는, 평판을 정해진 형상으로 펀칭하거나 또는 에칭에 의해 부분적으로 제거하여 정해진 형상으로 가공함으로써 얻을 수 있다.
접속자(10)의 컨택트(12a, 12b)의 길이 방향은, 그 재료가 압연 금속 재료인 경우에 그 압연 방향과 일치하는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 바람직한 스프링 특성을 얻을 수 있다.
본 발명에 있어서는 컨택트 길이가 상이한 캔틸레버형 접속자를 대상으로 하는 것이 바람직하다. 이러한 접속자(10)의 경우 양쪽 컨택트의 접점 위치가 복잡화되기 때문에 접속자(10)의 배열을 결정하는 것이 곤란하지만, 본 발명을 적용함으로써 용이하게 접속자(10)의 배열을 결정할 수 있기 때문이다.
이러한 접속자(10)를 구성하는 재료로는 특별히 한정하지 않지만, 예컨대, 베릴륨구리, 티탄구리, 구리·니켈·주석합금, 구리·니켈·실리콘합금 및 니켈베릴륨에서 선택되는 어느 하나를 이용할 수 있다. 그 중에서도 도전성과 내구성의 관점에서 베릴륨구리를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 이러한 재료의 표면은 니켈 등의 하지 도금 등을 실시한 후 금 도금을 실시할 수 있다.
(담체)
접속자(10)를 유지하는 담체(4)에 대해서도 특별히 한정하지 않으며, 종래 공지된 각종의 담체를 이용할 수 있다. 전기적 접속체(2)의 담체(4)로서 특별히 한정하지 않지만, FR4 등의 유리섬유 함유 에폭시 수지, 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 엔지니어링플라스틱 외에, 각종 세라믹스를 들 수 있다. 특히, 본 발명의 전기적 접속체에 있어서는, 담체(4)가 탄성체인 경우가 바람직하다. 탄성체이면, 상대의 디바이스의 평면도에 따라 컨택트에 걸리는 힘에 의해 담체(4) 자체가(면 사이에서) 움직여, 컨택트에 필요 이상의 부하를 걸지 않고서 양호한 도통을 얻을 수 있기 때문이다.
(접속자의 배열)
다음으로, 전기적 접속체(2)에 있어서의 접속자(10)의 배열에 대해 설명한 다.
(제1 접점의 배열)
도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 전기적 접속체(2)는, 대향하는 전극(102)에 접촉하는 컨택트(12a, 12b)의 제1 접점(14a) 및 제2 접점(14b) 중 어느 하나는, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점에 대응하고 있는 것이 바람직하다. 여기서 격자는 주기적으로 배열된 사각형의 구획으로 이루어지는 기하학 모양이다. 사각형의 구획은 정사각형이라도 직사각형이라도 좋다. 격자는 담체(4)의 적어도 하나의 외변 또는 접속자(10)의 배열 영역의 적어도 하나의 외변에 대해 정립(正立)하여도 좋고, 경사져 있어도 좋다. 또, 접속자(10)의 배열 영역의 외변은, 배열된 접속자(10)의 접점(14a) 또는 접점(14b)의 가장 외측의 접점(14a) 또는 접점(14b)을 접속한 윤곽선이다. 이하, 격자가 담체(4)의 적어도 하나의 외변 또는 접속자(10)의 배열 영역의 외변에 대해 정립하고 있는 경우에 대해 설명하는 것으로 한다.
격자 상의 교점은 곧 전극(102)의 배치에 대응하고 있다. 격자 상의 교점을 접점(14a)으로 함으로써, 접속자(10)의 컨택트(12a) 방향을 용이하게 결정할 수 있다. 바람직하게는, 접속자(10)의 양방의 접점(14a, 14b)이 각각 격자 상의 교점에 대응하여, 그 교점에 있는 전극(102, 104)에 접촉하도록 되어 있다.
격자의 피치 사이즈 등에 대해서 특별히 한정하지 않는다. 통상, 0.5 ㎜ 이상 2.5 ㎜ 이하이다. 본 발명을 적용하기에 바람직한 피치 사이즈는 0.65 ㎜ 이상 1.27 ㎜ 이하이다. 이 범위에 있어서는, 종래 캔틸레버형 접속자를 효과적으로 배 열시키기 어려웠기 때문이다. 보다 바람직하게는 0.65 ㎜ 이상 1.0 ㎜ 이하이다. 또한, 피치 사이즈에 있어서의 a 및 b는 어떤 비율이라도 좋지만, a=b이면 전극 위치를 파악하기 쉽다는 점에서 유리하다.
또, 접점(14a)[전극(102)]의 격자와 접점(14b)[전극(104)]의 격자는 대다수의 경우 일치하지만, 협피치, 다핀의 경우에 빔 방향을 대향시키면 피치 사이즈가 일치하여도 그 위치 관계에 있어서 일치하는 경우는 한정되며, 대다수의 경우 전극(102)과 전극(104)의 위치, 즉 제1 접점(14a)과 제2 접점(14b)은 대향하는 디바이스(100, 110) 사이에 있어서 상이하다(오프셋되어 있다). 한정적으로 접점(14a)의 격자와 접점(14b)의 격자의 교점이 디바이스 사이에서 일부가 겹쳐지는(실질적으로 일치하는) 것은, 후술하는 바와 같이 대향 배치되는 2개의 제2 접점군에서 직접 대향하는 제2 접점(14b)의 이격 거리가 접점 사이 피치의 정수배가 될 때이다. 또한, c가 0.2 이하 등 작은 경우에는, 전극(102)과 전극(104)은 전극 위치가 실질적으로 동일하다.
(접속자의 배열 방향)
접속자(10)의 배열을 결정하는데 있어서, 배열하는 것이 더 곤란하다고 생각되는 컨택트를 기준으로 하는 것이 바람직하다. 예컨대, 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이 접속자(10)가 2개의 컨택트(12a, 12b)를 구비하는 경우에는, 보다 긴 컨택트(12a)를 기준으로 이용하여 접속자(10)의 배열 방향을 결정하는 것이 바람직하다. 이하, 접속자(10)의 보다 긴 컨택트(12a)의 길이 등에 기초하여 접속자(10)의 배열 방향을 결정하는 방법에 대해 설명한다.
접속자(10)는 컨택트(12a)의 접점(14a)이 격자 상의 교점에 도달되도록 배열되어 있으면 좋다. 접속자(10)는, 격자를 구성하는 격자선(피치 a 방향의 격자선 또는 피치 b 방향의 격자선)을 따라 접속자(10)의 컨택트(12a)를 배열시켜도 좋고, 격자선에 대해 기울어지게 배열시켜도 좋다. 특히, 협피치화, 다핀화할 때에 긴 빔 길이가 요구되는 경우에는, 접속자(10)의 컨택트(12a)를 격자선에 평행하지 않게 경사지게 하여, 그 접점(14a)이 격자 상의 교점에 도달하도록 배열하는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 실질적으로 긴 접점간 피치를 얻을 수 있다.
이를 위해, 상기 식 (2)에 있어서 n을 적절히 설정하고 각도 θ를 적절히 설정하여, 격자에 대해 접속자(10)를 각도 θ로 기울어지게 배치할 수 있다. 이렇게 함으로써, 전극(접점)간 거리로서 설정되어 있는 격자의 피치(a 및 b)를 변경하지 않고 접속자(10)의 컨택트(12) 방향에 따르는 제1 접점간 피치(이하, 단순히 접점간 피치라고도 함)를 크게 채용할 수 있다.
이하, 피치 a에 따르는 격자선에 대해 접속자(10)를 경사지게 하는 경우에 대해 설명한다. 도 2의 (a)에 도시하는 바와 같이, n이 0 이상의 정수일 때 상기 식 (2)에 있어서의 각도 θ로 기울어졌을 때의 접점간 거리는, √(a2+(nb)2)로 표시된다. 따라서, n=0일 때에 접점간 피치(√(a2+(nb)2))는 a이고, 격자 피치(a)와 다르지 않지만, 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이 n=1일 때에는 접점간 피치는 격자의 대각선의 길이(√(a2+ b2))가 되고, 또한 도 2의 (c)에 도시하는 바와 같이 n=2일 때에는 2개의 연속하는 격자의 대각선(√(a2+(2b)2))이 접점간 피치가 된다. 이와 같이 접속자(10)를 경사지게 하여 격자 피치(여기서는 a)보다도 실제의 접점간 피치를 크게 채용함으로써, 긴 빔끼리를 서로의 간섭을 억제하여 배열할 수 있게 된다. 긴 빔을 간섭없이 배열함으로써, 협피치화나 다핀화에 상관없이 빔 길이가 긴 접속자(10)를 배열시킬 수 있다.
또, n이 적절한지의 여부, 즉 각도 θ 내지 접점간 피치가 접속자(10)에 알맞은 것인지의 여부는, 접점간 피치가 접속자(10)의 정해진 길이의 컨택트(12a)보다도 긴지의 여부라든가, 컨택트(12a)의 특성을 발휘시키기에 충분한지의 여부로 판단할 수 있다.
(제2 접점의 배열)
본 발명에 있어서, 상기한 바와 같이 격자의 교점에 컨택트(12a)의 접점(14a)이 도달되도록 접속자(10)의 배열 방향을 결정할 수 있는 것과 동시에, 접속자(10)가 전극(102, 104)과 접촉할 때 미끄럼 이동력을 상쇄할 수 있는 것과 같은 배열을 결정할 수 있다. 즉, 정해진 배열 방향으로 배열된 접속자(10)를, 컨택트(12a)가 대향하도록 2군 이상으로 구획하여 담체(4) 상에 배열하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 인접하는 2개의 군에 포함되는 접속자(10)는 각 군에 있어서 컨택트(12a)의 접점(14a)이 동일한 방향을 지향하도록 배치되고, 다른 쪽의 군에 포함되는 접속자(10)의 컨택트(12a)의 접점(14a)과 대향하도록 배열되어 있다.
대향 배치되는 2개 이상의 군은, 2개의 대향 배치되는 군의 경계선(중앙선) 이 담체(4) 상의 접속자(10)의 형성 영역의 중앙에 위치하도록 배치되는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 미끄럼 이동력이 효과적으로 상쇄되기 때문이다. 경계선은 접속자(10)의 형성 영역을 상하로 이등분하는 것이라도 좋고, 좌우로 이등분하는 것이라도 좋으며, 또한 비스듬하게 이등분하는 것이라도 좋다.
또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 2개의 대향하는 군에 있어서, 접속자(10)의 배열 방향[컨택트(12a)의 신장 방향]을 따라 동축 상에서 직접 대향되는 접속자(10)에 있어서의 제2 접점(14b)이, 이하의 식 (1)로 산출되는 거리 이상 이격되어 있는 것이 바람직하다.
(2c+1)√(a2+(nb)2) (1)
(단, n은 0 이상의 정수이고, c는, 상기 접속자의 배열 방향을 따르는 상기 제1 접점 사이의 거리(접점간 피치)에 대하여, 상기 접속자에 있어서의 상기 제1 접점과 상기 제2 접점간의 거리의 비율을 표시한다.)
이와 같이 대향 배치되는 2개의 접속자(10)의 제2 접점(14b)이 상기 거리만큼 이격되어 있으면, 접속자(10)의 컨택트(12a)끼리의 간섭을 회피하여 미끄럼 이동력을 효과적으로 상쇄할 수 있다. 또, 상기 식 (1)에 있어서 n은 이미 접속자(10)의 배열 방향을 결정할 때의 각도 θ 산출식에 있어서의 n과 동일한 수치가 도입된다. 또한, 도 1의 (a) 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 접점과 제2 접점의 거리는 컨택트(12a)의 길이-컨택트(12b)의 길이로서, 컨택트(12a)의 돌출 길이에 상당하고 있다. 따라서, c는 접점간 피치에 대한 컨택트(12a)의 돌출량의 비율(컨택트 돌출 계수)이라고 할 수 있다.
이와 같이 접속자(10)의 배열 방향과, 대향 배치되는 제2 접점군의 배치와 그 이격 거리에 의해, 접속자(10)에 대해 배열이 결정된다. 대향 배치되는 2개의 군의 레이아웃을 도 4∼도 7에 도시한다.
도 4는 접속자(10)의 배열 방향이 n=0, 즉 피치 a 방향에 평행이고, c=0.5 정도이며, 대향 배치되는 2개의 군의 경계선이 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선(여기서는 피치 b 방향의 격자선)에 평행이 되도록 2개의 군을 배치한 예이다.
도 5는 접속자(10)의 배열 방향이 n=1, 즉 격자의 대각선 방향에 평행이고, c=0.7 정도이며, 대향 배치되는 2개의 군의 경계선이 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선(여기서는 피치 b 방향의 격자선)에 평행이 되도록 2개의 군을 배치한 예이다.
도 6은 접속자(10)의 배열 방향이 n=2, 즉 격자 2개 분량의 대각선 방향에 평행이고, c=1.8 정도이며, 대향 배치되는 2개의 군의 경계선이 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선(여기서는 피치 a 방향의 격자선)에 평행이 되도록 2개의 군을 배치한 예이다.
도 7은 접속자(10)의 배열 방향이 n=1, 즉 격자의 대각선 방향에 평행이고, c=0.8 정도이며, 대향 배치되는 2개의 군의 경계선이 격자의 대각선에 평행이 되도록 2개의 군을 배치한 예이다.
또한, 상기 경계선을 격자선에 대해 상기 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루는 선에 평행이 되도록 격자선에 대해 경사지도록 하여도 좋다. 이 경우, n은 1 이상인 것이 바람직하지만, n이 2 이상인 것이 더욱 바람직하다. n이 2 이상이면 접속자(10)를 배치하기 쉽기 때문이다. 또한, 각종의 레이아웃에 있어서 어느 것이나, 대향하는 2군 사이의 동축 상에서 직접 대향하는 제2 접점은, 상기 식 (1)로 산출되는 거리 이상 이격되어 있다.
이상 설명한 접속자(10)의 배열 결정에 있어서는, 상기 식 (1) 및 식 (2)에 있어서 n=0이고, 식 (1)에 있어서 c≥1인 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 협피치라도 종래의 빔과 같은 특성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라, 조립이 용이하게 되기 때문이다.
또, 접속자(10)의 배열 결정에 있어서는, 상기 식 (1) 및 식 (2)에 있어서 n=1이고, 상기 식 (1)에 있어서 0.2≤c≤0.9인 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 MEMS법에 있어서도 피치보다도 긴 빔을 배치할 수 있기 때문이다.
또한, 접속자(10)의 배열 결정에 있어서는, 상기 식 (1) 및 식 (2)에 있어서, n≥2이고, 상기 식 (1)에 있어서 0.2≤c≤0.9인 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 MEMS법에 있어서도 피치보다도 더욱 긴 빔을 배치할 수 있기 때문이다.
또한, 접속자(10)의 배열 결정에 있어서는, 상기 식 (1)에 있어서, c≥1인 것이 바람직하다. c가 1 이상인 것과 같은 빔 길이가 긴 컨택트를 본 발명을 적용함으로써 협피치화 및 다핀화에 용이하게 대응할 수 있게 된다.
(경사진 격자)
접속자(10)의 배열 결정에 있어서, 접점 및 전극에 대응하는 격자를 조정하 여도 좋다. 즉, 담체(4)의 적어도 하나의 외변 또는 접속자(10)의 배열 영역의 적어도 하나의 외변에 대해 경사진 격자를 이용함으로써, 전기적 접속체(2)에 있어서 접속자(10)의 배열 방향을 제조상 편이한 형태로 배열시키는 것이 가능해진다.
예컨대, 도 8(a)에 도시하는 바와 같이, 접속자(10)의 배열 방향의 결정의 기초로서 n을 1 이상의 정수로 한 경우, 접속자(10)는 격자선에 대해 각도 θ로 기울여 배열되도록 한다. 이 경우 도 8(b)에 도시하는 바와 같이 미리 상기 외변에 대해 각도 θ로 회전시킨 격자를 이용함으로써, 격자에 대해 각도 θ로 경사했을 때에 접속자(10)의 배열 방향을 상기 외변에 대해 평행으로 할 수 있다. 이렇게 함으로써, 전기적 접속체(2) 상에 있어서 접속자(10)의 배열을 복잡화시키지 않고, 또한 접속자의 재료 채용도 용이하게 행할 수 있다. 또한, 접속자(10)의 방향이 금속 압연 방향으로 일치하는 등 재료의 방향성을 고려하고 싶을 때에 유리하다.
이 때 상기 식 (2)에 있어서 0.2≤c≤4인 것이 바람직하다. 컨택트 돌출 계수(c)가 이러한 넓은 범위에 걸쳐 이와 같은 경사진 격자의 이용이 유효하다. 또한, 격자를 경사시킴에 있어서 각도 θ는 35°이상 55°이하인 것이 바람직하다. 이 범위이면 가공, 조립이 용이하기 때문이다. 또한, 이러한 격자 각도 변환에 따른 접속자(10)의 배열에 있어서도, 상기와 동일하게 제2 접점의 배열을 결정함으로써, 바람직한 접속자(10)의 배열을 얻을 수 있다.
이하, 본 발명을 실시예를 들어 구체적으로 설명하지만 본 발명은 이하의 실시예에 한정되지 않는다.
실시예 1
본 실시예는, 피치 사이즈가 a×b(a=b=1.27 ㎜)인 격자의 교점 상에 정해진 컨택트 길이의 접속자(10)의 제1 접점(14a)을 배치하고, 제2 접점(14b)의 배열을 결정하여 접속자(10)의 배열 구조를 결정하는 공정에 대해 설명한다.
우선, 접속자(10)의 컨택트(12a)의 배열 방향(기울기)을 결정했다. 본 실시예에서는 2.0 ㎜의 컨택트(12a)를 갖는 접속자(10)를 배열하는 것으로 한다. 이를 위해 접점간 거리는 2 ㎜ 이상인 것이 바람직하다. 여기서 본 실시예에서는, 도 9에 도시하는 바와 같이 1.27 ㎜×1.27 ㎜의 격자에 대해 n=2가 되는 각도 θ, 즉 약 64°(tanθ=nb/a n=2,) 기울어졌다. 이에 따라 접점간 거리는 √(a2+(nb)2)(=약 2.84 ㎜)가 된다. 이 결과로부터 2.0 ㎜의 빔 길이를 갖는 접속자를 64°로 격자에 경사지도록 배치하는 것으로 했다. 이렇게 함으로써 충분한 제2 접점간 피치가 확보되기 때문에, 2.0 ㎜의 빔 길이라도 간섭없이 배열시킬 수 있다. 또, n=2로 함으로써, n=1일 때의 각도 θ인 45°방향의 제1 접점간 피치(약1.80 ㎜)라도 배열할 수 없는 길이 2.0 ㎜의 빔을 갖는 접속자를 배열시킬 수 있게 되었다. 또, 빔 길이가 2.0 ㎜인 접속자를 이 방향에서 고정하면, 원래 피치(1.27 ㎜)의 배의 피치(2.54 ㎜)로 경사시키지 않고서 빔을 고정했을 때와 동일한 스프링 특성을 얻을 수 있게 된다.
다음으로, 제2 접점(14b)의 배열을 결정했다. 상기한 바와 같이 접속자(10)의 각도 변환을 행한 상태의 전체의 배열 구조를 도 10에 도시한다. 도 10에 도시하는 바와 같이 동일한 컨택트 방향으로 대향하는 접속자(10)의 제2 접점(14b)은 (2C+1)√(a2+(nb)2)만큼 떨어지는 것으로 한다. 접속자(10)의 컨택트 돌출 계수(C)가 0.8일 때, n=2이면 이 거리는 2.6×2.84=7.38 ㎜이 되어, 접점간 거리의 약 2.6배가 되었다. 또한, 컨택트 돌출 계수(C)가 1이면 3.0배가 되었다. 이격 거리가 정수배인 경우에는 상하의 격자점이 겹쳐지기 때문에 설계 제작상 이해하기 쉽다고 하는 메리트가 있다. 또, 이 경우에는 컨택트 방향으로 제2 접점이 존재하지 않는 열이 2열 형성되게 된다. 또한, 이격되는 2개의 제2 접점군은, 접점의 배열 영역을 거의 중앙에서 이등분하는 것으로 했다.
이와 같이 필요한 특성을 얻기 위한 컨택트 길이를 확보 가능하게 컨택트(12a)의 배열 방향을 결정하고, 그 컨택트 방향을 따라 대향형으로 접속자(10)를 배치하는 데 필요한 거리에 기초하여 제2 접점의 배열을 결정함으로써, 사용하고자 하는 접속자(10)에 알맞은 배열 구조를 용이하게 결정할 수 있다. 또한, 이러한 배열 구조에 의하면, 접속자(10)의 특성을 발휘할 수 있고, 미끄럼 이동력에 의한 문제점도 효과적으로 회피할 수 있다.
실시예 2
본 실시예는, 피치 사이즈가 a×b(a=b=0.65 ㎜)인 격자의 교점 상에 정해진 컨택트 길이의 접속자(10)의 제1 접점(14a)을 배치하고, 제2 접점(14b)의 배열을 결정하여 접속자(10)의 배열 구조를 결정하는 공정에 대해 설명한다.
우선, 접속자(10)의 컨택트의 방향(기울기)을 결정했다. 본 실시예에서는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 접속자(10)의 컨택트(12a)를 경사지게 하지 않고 0.65 ㎜ 피치의 원래 격자의 격자선을 따라 수평(n=0, tanθ=nb/a) 방향을 향해, 접점간 피치를 격자의 피치(=0.65 ㎜)로 하여 2.0 ㎜의 길이의 컨택트(12a)를 겹치도록 배열했다. 이에 따라, 본 실시예의 4배인 2.54 ㎜ 피치의 격자로 사용하는 것과 동일한 스프링 특성을 얻을 수 있게 된다.
다음으로, 제2 접점(14b)의 배열을 결정했다. 도 12에 있어서 빔 방향으로 대향하는 접속자(10)의 제2 접점(14b)은, 컨택트 방향으로 (2C+1)√(a2+(nb)2)만큼 떨어지도록 했다. 컨택트 돌출 계수(C)를 3, n을 0으로 하면, 7 피치만큼, 즉 직접 대향하는 접속자(10)의 제2 접점(14b) 사이에, 6열의 제2 접점이 없는 영역을 설치하도록 하여 2개의 제2 접점군을 형성하면 되는 것을 알았다. 한편, 이 접속자(10)가 접촉해야 할 디바이스는 이러한 배치로 전극을 가질 필요가 있는 것을 알았다. 또한, 이격되는 2개의 제2 접점군은 접점 배열 영역을 거의 중앙에서 이등분하는 것으로 했다.
이와 같이 본 실시예에 의하면, 제1 접점이 격자의 교점에 대응하여 양호한 스프링 특성을 얻을 수 있는 경우에, 제2 접점을 상기 식 (2)에 따르는 정해진 거리만큼 이격시킴으로써 접속자가 바람직한 배열 구조를 얻을 수 있는 것을 알았다.
실시예 3
본 실시예는, 피치 사이즈가 a×b(a=b=1.0 ㎜)인 격자의 교점 상에 정해진 컨택트 길이의 접속자(10)의 제1 접점(14a)을 배치하고, 제2 접점(14b)의 배열을 결정하여 접속자(10)의 배열 구조를 결정하는 공정에 대해 설명한다.
우선, 접속자(10)의 컨택트 방향(기울기)을 결정했다. 즉, 본 실시예에서는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 담체(4)의 한 변에 대해 45°로 미리 경사진 1.0 ㎜ 피치의 격자를 준비했다. 이러한 경사진 격자는, 예컨대 기울기가 없는 제1 접점군으로 이루어지는 격자를 45°(n=1, tanθ=nb/a) 경사하여 형성하여도 좋다.
이 경사진 격자 상에 있어서, 컨택트 길이를 고려하여 n을 1로 하고, 격자선에 대해 45°경사진 컨택트 방향을 설정했다. 이렇게 함으로써 접점간 피치는 도 10에 도시하는 바와 같이 약 1.41 ㎜{√(a2+ b2)}로 되었다. 또한, 접속자(10)의 컨택트(12a)는 격자선에 대해서는 경사지지만, 담체의 외변에 거의 평행하게 따르는 것으로 되었다.
다음으로, 제2 접점(14b)의 배열을 결정했다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 컨택트 방향을 따라 대향하는 접속자(10)는 격자의 사변 방향으로 (2C+1)√(a2+(nb)2)만큼 떨어져 있는 것으로 했다. 컨택트 돌출 계수(C)를 0.8로 하고 n을 1로 하면, 직접 대향하는 접속자(10)의 제2 접점 간에 약 3피치만큼, 즉 제2 접점(14b)이 없는 영역을 2열 형성하도록 이격시키면 되는 것을 알았다. 또한, 이격되는 2개의 제2 접점군은 접점 배열 영역을 거의 중앙에서 이등분하는 것으로 했다.
본 실시예에 의하면, 접속자(10)의 배열 방향을 격자의 방향성에 의존시키지 않고, 필요에 따라 격자를 정해진 각도만큼 회전시킴으로써 제2 접점군의 경계 영역을 전기적 접속체의 접점 형성 영역의 변에 평행한 것으로 할 수 있다. 이에 따라, 접속자(10)의 컨택트(12a)를 격자에 대해 각도 θ로 경사지게 했을 때라도, 제2 접점군이 접점 형성 영역 내에서 비스듬히 대향하거나, 그 결과 제2 접점군의 형성 영역이 찌그러진 형상이 되는 것을 회피할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 압연 방향을 따라 많은 접속자(10)를 효율적으로 채취할 수 있는 것과 같은 가공 패턴을 형성할 수 있다. 일반적으로, 접속자(10)는 동일 방향으로 배열된 복수개의 접속자(10)를 갖는 접속자 재료로 이루어지는 캐리어를 형성한다. 제조 효율 상에서는 될 수 있는 한 동수(同數)의 접속자를 갖는 캐리어로 하는 것이 바람직하다. 그러나, 예컨대 도 7에 도시하는 접속자 배열 구조에 의하면, 1개로부터 8개까지의 접속자를 각각 갖는 8종류의 캐리어가 필요하게 된다. 이에 비해, 도 14에 도시하는 접속자 배열 구조에 의하면, 6개 및 7개의 접속자(10)를 각각 갖는 두 종류의 캐리어가 있으면 충분하게 되어, 수율의 향상이 실현된다. 또한, 접속자(10)를 압연 금속 재료로 형성하는 경우에는 컨택트 방향을 압연 방향과 일치시키는 것이 바람직하지만, 이러한 때에는 도 12에 도시한 접속자 배열 구조에 의하면, 모든 접속자를 압연 방향에 따른 상태로 금속 압연 재료로부터 취득할 수 있고, 내구성이 우수한 접속자(10)를 갖는 전기적 접속체를 얻을 수 있다.
또, 본 실시예에서는 n=1인 경우를 나타내지만, 실시예 1의 경우와 같이 n=2인 경우에는, 그 경우의 각도 θ(약 64°) 격자를 약 64°경사지게 하는 것에 의해, 컨택트 피치를 따른 빔의 방향을 접점 형성 영역 중 어느 하나의 변과 수평으로 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의하면, 작은 피치 간격으로 격 자형으로 제1 접점이 배열되어 있더라도, 필요에 따라 접속자(10)의 컨택트 방향을 격자에 대해 경사지게 함으로써 긴 컨택트 길이의 접속자를 배치하는 것이 가능하게 되어, 협피치라도 대형 디바이스와의 접속 신뢰성을 확보할 수 있게 된다. 또한, 다핀화하여도 컨택트 방향으로 컨택트의 방향을 대향시켜 배치한 결과, 미끄럼 이동력이 상쇄되고 담체의 변형이 없는 안정한 접촉을 확보할 수 있게 된다.
또한, 이들 실시예에 의하면, 접속자(10)의 배열 구조와 제1 접점(14a) 및 제2 접점(14b)의 위치, 즉 접촉해야 할 전극(102, 104)의 배치를 바꿈으로써, 접속자(10)로서 한 쪽의 캔틸레버형 접속자에 대해서도 용이하게 배열할 수 있게 된다.
이들 실시예에서는 제2 접점군을 2개 설치하는 구성으로 하였지만, 여기에 한정하지 않고 3 이상의 제2 접점군을 설치하는 구성으로 하여도 좋다. 모든 제2 접점군에 있어서 직접 대향하는 제2 접점이 정해진 거리만큼 이격되는 것이라도 좋고, 이러한 관계를 갖지 않는 제2 접점군을 갖고 있어도 좋다.
또한, 이러한 본 발명의 전기적 접속체가 장착되는 디바이스로는, 어레이형(전체가 어레이형 혹은 영역 어레이형)으로 배열된 상기 전극을 구비하는 반도체, IC 칩 등을 들 수 있다. 또한, 본 발명의 전기적 접속체의 용도로는, 이러한 디바이스에 있어서의 전기적 접속을 확보하는 소켓이나 인터포저, 프로브 카드를 들 수 있다. 또한, 본 발명의 전기적 접속체를 장착하여 구비하는 전자 기기로는, IC 칩을 구비한 것을 들 수 있으며, 예컨대 PC, 통신 기기 등을 포함하고 있다. 또한, IC 칩이나 반도체 검사 장치도 들 수 있으며, 예컨대 반도체 검사 장치 등을 들 수 있다.
또, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되지 않으며 본 발명의 범위 내에서 실시할 수 있다. 예컨대, 고정화된 접속자가 갖는 굴곡부의 형태나 개수는 필요에 따라 적절하게 변경할 수 있고, 접속자에 있어서 담체를 협지하는 개소나 담체 표면에 접촉하는 개소도 적절하게 변경할 수 있다.
본 출원은, 2006년 9월 20일에 출원된 일본국 특허 출원 제2006-254911호를 우선권 주장의 기초로 하고 있고, 인용에 의해 그 내용의 전부가 본 명세서에 포함된다.
본 발명은, 예컨대 반도체 디바이스를 제조하는 전자 산업 등에 이용 가능하다.

Claims (18)

  1. 2개의 디바이스 사이에서 대향하는 제1 전극군과 제2 전극군을 전기적으로 접속하는 복수개의 접속자를 포함하는 전기적 접속체로서,
    (a) 상기 접속자의 상기 제1 전극군의 전극과 접촉하는 제1 접점은, 피치 사이즈가 a×b인 격자 상의 교점에 대응하고,
    (b) 상기 접속자의 상기 제2 전극군의 전극과 접촉하는 제2 접점은 적어도 2개의 군을 형성하며, 인접하는 2개의 군 내에서는 인접하는 한쪽의 군에 있어서의 상기 접속자가 다른 쪽의 군과 대향형으로 각각 배열되고, 인접하는 상기 2개의 군은, 상기 접속자의 배열 방향을 따라 직접 대향하여 배열되는 상기 접속자의 상기 제2 접점이 이하의 식 (1)로 표시되는 거리만큼 이격되어 배치되는 것인 전기적 접속체.
    (2c+1)√(a2+(nb)2)……………………(1)
    (단, n은 O 이상의 정수이고, c는, 상기 접속자의 배열 방향을 따르는 상기 제1 접점간의 거리에 대한 상기 접속자에 있어서의 상기 제1 접점과 상기 제2 접점간의 거리의 비율을 표시함.)
  2. 제1항에 있어서, (c) 상기 접속자는, 상기 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선에 대해 이하의 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루어 배열되는 것인 전기적 접속체.
    tanθ=nb/a………………………………(2)
    (단, n은 0 이상의 정수임.)
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, n=0이고, c≥1인 것인 전기적 접속체.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, n=1이고, 0.2≤c≤0.9인 것인 전기적 접속체.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, n≥2이고, 0.2≤c≤0.9인 것인 전기적 접속체.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, c≥1인 것인 전기적 접속체.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, n≥2인 것인 전기적 접속체.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속자의 제2 접점은, 상기 접속자의 제1 접점이 대응하는 상기 격자 상의 교점과는 상이한 교점에 대응하는 것인 전기적 접속체.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 군을 구분하는 경계선은, 상기 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선에 평행한 것인 전기적 접속체.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 군을 구분하는 경계선은, 상기 격자의 대각선에 평행한 것인 전기적 접속체.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 군을 구분하는 경계선은, 상기 격자를 구성하는 어느 하나의 격자선에 대해, 이하의 식 (2)로 표시되는 각도 θ를 이루는 것인 전기적 접속체.
    tanθ=nb/a………………………………(2)
    (단, n은 0 이상의 정수임.)
  12. 제2항에 있어서, (d) 상기 격자를 구성하는 격자선은, 상기 접속자의 배열 영역 중 어느 하나의 외변에 대해 상기 각도 θ를 이루는 것인 전기적 접속체.
  13. 제12항에 있어서, n≥1이고, 0.2≤c≤4인 것인 전기적 접속체.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 각도 θ는 25°이상 65°이하인 것인 전기적 접속체.
  15. 제1항 또는 제2항에 있어서, a=b인 것인 전기적 접속체.
  16. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속자를 유지하는 담체는 탄성체인 것인 전기적 접속체.
  17. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속자는, 상기 제1 접점 및 상기 제2 접점에 각각 접촉하고, 판 두께가 스프링 두께에 대응하는 평판형 빔을 포함하는 것인 전기적 접속체.
  18. 제17항에 있어서, 상기 평판형 빔은, 상기 제1 전극군 및 상기 제2 전극군에 접촉하는 부하가 부여되었을 때의 응력이 한쪽 면에서는 인장 응력이 되고 다른 쪽 면에서는 압축 응력이 되도록 구성되어 있는 것인 전기적 접속체.
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