KR101309080B1 - 반도체소자 검사 장비용 커넥터 및 번인 테스터용 테스트보드 - Google Patents

반도체소자 검사 장비용 커넥터 및 번인 테스터용 테스트보드 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체소자 검사 장비용 커넥터에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 커넥터의 연결핀들을 행렬 형태로 배치하고, 더 나아가 연결핀들의 돌출 길이를 다르게 함으로써 커넥터가 적용되는 장비의 처리 용량을 향상시키고 저전력에 의해 접촉 동작이 구현될 수 있도록 하여 생산단가를 절감시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

반도체소자 검사 장비용 커넥터 및 번인 테스터용 테스트보드{Connector for Semiconductor device Testing Equipment and Test board for Burn-In Tester}
본 발명은 반도체소자 검사 장비용 커넥터에 관한 것이다.
반도체소자는 생산된 후 여러 가지 전기적인 테스트를 거치게 되는데, 그러한 테스트를 통해 패턴이 제대로 형성되었는지 여부, 고온 또는 저온 환경에서도 전기적인 동작이 잘 이루어지는지 여부 등을 확인할 수 있게 된다.
일반적으로 반도체소자는 전기적 신호의 인가에 따라 동작하게 되기 때문에, 검사 장비(예를 들어 테스터)와 반도체소자 간에 전기적인 연결이 이루어진 상황에서 테스트가 이루어져야 한다. 따라서 반도체소자 검사 장비에는 반도체소자 측과 테스터 측 간에 전기적인 연결을 위해 다수의 커넥터(전기 접속용 소켓)가 사용되고 있다.
예를 들어, 고온 환경에서 패키지된 반도체소자를 테스트하기 위해 번인 테스터가 사용되는데, 번인 테스터에는 테스트보드에 적재된 다수의 반도체소자를 테스트하기 위한 테스터기판이 구비되어야 하며, 반도체소자들은 테스트보드의 커넥터를 통해 테스터기판에 전기적으로 연결된다. 이러한 경우 테스트보드에는 숫 커넥터가 구비되고, 테스터기판 측에는 숫 커넥터가 끼워질 수 있는 암 커넥터가 구비될 수 있다. 그리고 숫 커넥터가 암 커넥터에 끼워짐으로써 테스트보드에 적재된 반도체소자들이 테스터기판에 전기적으로 연결되면, 테스터기판은 테스트 신호를 반도체소자들로 인가한 후 피드백(Feedback)되는 결과 신호를 통해 반도체소자의 불량 여부를 판정하게 된다.
번인 테스터에서 반도체소자와 테스터기판 간의 전기적 연결을 위한 기술적 사항은 대한민국 공개특허 10-2008-0051762호(발명의 명칭 : 번인 보드 접속 장치, 이를 구비한 번인 테스트 장치 및 번인 보드 접속 방법)나 대한민국 등록실용 20-0370634호(고안의 명칭 : 반도체 검사를 위한 번인 테스터의 피드 슬로우 보드 장착 구조) 등에 제시되어 있다.
한편, 일회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 것은 처리용량의 향상을 위해 항상 연구되는 과제이다. 만일 일회에 테스트될 수 있는 반도체소자를 늘이기 위해서는 테스트보드에 적재된 반도체소자의 개수를 늘릴 필요가 있다.
그런데, 종래에는 얇은 판의 면에 단자를 형성하는 슬롯 방식의 커넥터를 사용함으로 인하여 테스트보드에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 것에 구조적인 한계를 가졌다.
따라서 본 발명의 목적은 연결핀이 적용된 반도체소자 검사 장비용 커넥터에 관한 기술을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 검사 장비용 커넥터는, AⅹB(A, B는 2보다 큰 자연수) 행렬 형태로 배열되는 복수의 연결핀; 및 상기 복수의 연결핀을 수용 및 지지하는 수용 프레임; 을 포함한다.
상기 복수의 연결핀 중 일부의 연결핀들의 끝단은 다른 일부의 연결핀들의 끝단보다 암 커넥터 측으로 더 돌출되어 있다.
상기한 다른 일부의 연결핀들은 상기한 일부의 연결핀들에 의해 양 측으로 나뉘는 상태로 배치된다.
상기 복수의 연결핀을 통해 전송되는 전기적 신호의 특성 개선을 위해 적어도 하나 이상 구비되는 판 형상의 그라운드 플레이트; 를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 번인 테스터용 테스트보드는, 반도체소자들이 적재되는 적재보드; 및 상기 적재보드에 적재된 반도체소자를 테스터기판에 전기적으로 연결시키기 위해 구비되는 커넥터; 를 포함하고, 상기 커넥터는 전술한 반도체소자 검사 장비용 커넥터이다.
위와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 연결핀을 사용하기 때문에 행렬 형태의 배치가 가능함으로 인하여 궁극적으로 테스트보드에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 처리 용량을 향상시킬 수 있게 된다.
둘째, 복수의 연결핀들 끝단의 돌출 정도를 다르게 함으로써 저전력으로 전기적인 연결구동이 가능해질 수 있어서 생산단가를 절감할 수 있게 된다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 검사 장비용 커넥터에 대한 개략적인 사시도이다.
도2는 도1의 커넥터에 구비된 연결핀들의 돌출 정도를 과장되게 도시한 과장도이다.
도3 내지 도6은 다른 실시예들에 따른 반도체소자 검사 장비용 커넥터에서 연결핀들의 돌출 정도를 과장되게 도시한 과장도이다.
도7은 본 발명의 일 실시예에 따른 번인 테스터용 테스트보드에 대한 개략도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
<커넥터에 대한 설명>
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 검사 장비용 커넥터(120, 이하 '커넥터'라고 약칭 함)에 대한 개략적인 사시도이다. 참고로 같은 실시예 상에서 같은 기능을 하는 구성들에는 그 길이에 장단의 차이가 있어도 같은 부호를 부여하여 설명한다.
본 실시예에 따른 커넥터(120)는, 도1에서 참조되는 바와 같이, 복수의 연결핀(121), 다수개의 그라운드 플레이트(122) 및 수용 프레임(123) 등을 포함하여 구성된다.
복수의 연결핀(121)은, 암 커넥터(도시되지 않음)의 삽입홈들에 삽입됨으로써 연결 대상 측 전기적 접촉단자(예를 들면 암 커넥터 측 단자)와 전기적으로 연결되기 위해 마련되며, 9 ⅹ 29 행렬(9행 29열) 형태로 배열된다. 여기서 실시하기에 따라서는 하나의 행과 하나의 열에 2 이상의 연결핀(121)이 구비되면 본 발명을 만족하겠지, 판 형태의 면에 단자가 형성된 슬롯 방식도 판의 양면에 단자를 형성할 수도 있으므로 본 발명에 따른 이점을 가지기 위해서는 하나의 행과 하나의 열에 3 이상의 연결핀(121)이 구비되는 것이 바람직하다. 또한, 복수의 연결핀(121)들 중 일부인 9 내지 21열의 연결핀(121)들의 끝단은, 도2에서 참조되는 바와 같이, 다른 나머지 일부인 1열 내지 8열의 연결핀(121)들과 22열 내지 29열의 연결핀(121)들의 끝단보다 암 커넥터 측 방향(도1에서 화살표 D 방향)으로 더 돌출되어져 있다. 즉, 1 내지 8열의 연결핀(121)들과 22 내지 29열의 연결핀(121)들은 중앙에 배열된 9 내지 21열의 연결핀(121)들에 의해 나뉘어진 상태로 배치되어진다. 물론, 도3과 같은 다른 일예처럼 끝단이 더 돌출된 연결핀(121a)들과 끝단이 덜 돌출된 연결핀(121a)들이 양 측으로 구분되게 배치될 수도 있지만, 차후 암 커넥터 측과의 접촉 동작 시에 마찰 반발력이 편향될 수 있어서 도2와 같은 예가 더 바람직하다. 따라서 도4와 같은 다른 일예처럼 끝단이 덜 돌출된 연결핀(121b)들이 중앙에 위치하고 끝단이 더 돌출된 연결핀(121b)들이 끝단이 덜 돌출된 연결핀(121b)들에 의해 양 측으로 나뉘어 배치되는 것도 바람직하게 고려될 수 있다. 또한, 도5와 같은 다른 일예처럼, 끝단의 돌출 정도가 다른 연결핀(121c)들이 교호적이거나 또는 다른 임의적인 형태로 배치될 수도 있지만, 이러한 경우 일일이 돌출정도를 살펴가면서 커넥터를 조립하여야 하기 때문에 도2와 같은 배열을 취하는 것이 더 바람직하다. 더 나아가 본 실시예에서는 연결핀(121) 끝단의 돌출된 정도의 다름이 2가지 형태이지만, 도6에서 참조되는 바와 같이, 연결핀(121d) 끝단의 돌출된 정도의 다름이 3 이상의 형태로 구현되는 것도 얼마든지 가능하다.
그라운드 플레이트(122)는, 연결핀(121)들을 통해 전송되는 전기적 신호의 특성 개선을 위해 연결핀(121)들의 열과 열 사이에 배치(일 측 끝 1개의 그라운드 플레이트 제외)되며, 판 형상으로 구비된다.
수용 프레임(123)은 연결핀(121)들과 그라운드 플레이트(122)를 수용 및 지지하기 위해 마련된다.
위와 같은 커넥터(120)에 의하면, 암 커넥터와 접촉될 시에 끝단이 더 돌출된 연결핀(121)들이 암 커넥터의 대응되는 삽입홈에 먼저 삽입된 후 끝단이 덜 돌출된 연결핀(121)들이 암 커넥터의 대응되는 삽입홈에 나중에 삽입되기 때문에 연결핀(121)들의 끝단이 동일한 경우보다 더 적은 힘으로도 암 커넥터와의 연결이 이루어질 수 있게 된다. 따라서 모터나 실린더 같은 구동원을 저전력형으로 적용하는 것이 가능하고, 그 만큼 생산단가를 절감할 수 있게 되는 것이다. 물론, 이와 같은 생산단가 절감의 이점이 있다는 설명은 본 실시예에처럼 하나의 커넥터만을 가지고 설명할 경우에 설득력이 없다고 생각될 수 있지만, 배경기술에서 설명된 기술들에서 참조되는 바와 같이 많은 수의 커넥터가 한꺼번에 연결되는 상황을 고려하면 충분히 납득될 수 있을 것이다.
<테스트보드에 대한 설명>
도7은 도1의 커넥터(120)가 적용된 번인 테스터용 테스트보드(100, 이하 '테스트보드'라약칭 함)에 대한 개략도이다.
본 실시예에 따른 테스트보드(100)는 적재보드(110) 및 도1의 커넥터(120)를 포함하여 구성된다.
적재보드(110)는 반도체소자들을 적재시키기 위해 마련된다.
그리고 커넥터(120)는 적재보드(110)에 적재된 반도체소자들을 테스터기판(도시되지 않음)에 전기적으로 연결시키기 위해 구비된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 테스트보드
110 : 적재보드
120 : 커넥터
121 : 연결핀 122 : 그라운드 플레이트
123 : 수용 프레임

Claims (5)

  1. 삭제
  2. AⅹB(A, B는 2보다 큰 자연수) 행렬 형태로 배열되는 복수의 연결핀; 및
    상기 복수의 연결핀을 수용 및 지지하는 수용 프레임; 을 포함하고,
    상기 복수의 연결핀 중 일부의 연결핀들의 끝단은 다른 일부의 연결핀들의 끝단보다 암 커넥터 측으로 더 돌출되어 있어서, 암 커넥터와 접촉될 시에 끝단이 더 돌출된 상기 다른 일부의 연결핀들이 암 커넥터의 대응되는 삽입홈에 먼저 삽입된 후 끝단이 덜 돌출된 상기 일부의 연결핀들이 암 커넥터의 대응되는 삽입홈에 나중에 삽입될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 검사 장비용 커넥터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기한 다른 일부의 연결핀들은 상기한 일부의 연결핀들에 의해 양 측으로 나뉘는 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 검사 장비용 커넥터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 연결핀을 통해 전송되는 전기적 신호의 특성 개선을 위해 적어도 하나 이상 구비되는 판 형상의 그라운드 플레이트; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 검사 장비용 커넥터.
  5. 반도체소자들이 적재되는 적재보드; 및
    상기 적재보드에 적재된 반도체소자를 테스터기판에 전기적으로 연결시키기 위해 구비되는 커넥터; 를 포함하고,
    상기 커넥터는 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 반도체소자 검사 장비용 커넥터인 것을 특징으로 하는
    반도체소자 검사 장비용 테스트보드.
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