KR101302250B1 - 로봇용 모니터링 장치 - Google Patents

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KR101302250B1
KR101302250B1 KR1020117007383A KR20117007383A KR101302250B1 KR 101302250 B1 KR101302250 B1 KR 101302250B1 KR 1020117007383 A KR1020117007383 A KR 1020117007383A KR 20117007383 A KR20117007383 A KR 20117007383A KR 101302250 B1 KR101302250 B1 KR 101302250B1
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야스히코 하시모토
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가와사키 쥬코교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 물건을 보관하기 위한 진공 흡착 패드를 갖는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치이다. 패드는 엔드-이펙터에 의해 탄성적으로 지지된다. 본 발명에 따른 장치는, 전방 표면 및 관통 홀을 가지며, 전방 표면에 수직인 방향으로 이동가능하게 구성된 패드 수신부; 전방 표면에 수직인 방향으로 패드 수신부를 탄성적으로 지지하기 위한 탄성적 지지 유닛; 패드 수신부의 이동을 검출하기 위한 이동 검출 유닛; 관통 홀에 연결된 진공 센서; 및 이동 검출 유닛의 검출 결과 및 진공 센서의 검출 결과에 기초하여 패드의 진공 흡착의 상태 및 패드의 탄성적인 지지의 상태를 판단하기 위한 판단 유닛;을 포함한다.

Description

로봇용 모니터링 장치{MONITORING APPARATUS FOR ROBOT}
본 발명은 로봇의 엔드-이펙터(end-effector)의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치에 관한 것이다. 엔드-이펙터는 물건을 붙잡기 위해 엔드-이펙터에 의해 탄성적으로 지지되는 진공 흡착 패드를 갖는다.
특히, 본 발명의 모니터링 장치는 태양전지판(solar panel)에 사용되는 큰 크기의 유리 기판을 운반하는데 사용되는 운반 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하는데 적합하다.
진공 흡착 패드를 갖는 엔드-이펙터를 구비한 종래의 로봇이 존재한다. 이 종래의 로봇은 진공 흡착 패드의 흡착력을 사용함으로써 물건을 붙잡고 진공 흡착 패드에 의해 붙잡힌 물건을 운반한다.
물건이 작은 크기와 가벼운 무게를 갖는 경우에 있어서, 단일 진공 흡착 패드는 물건을 붙잡기에 그리고 물건을 운반하기에 충분할 수 있다.
다른 한편으로는, 물건이 큰 크기를 갖는 때, 물건이 진공 흡착 패드들 전부에 의해 흡착되도록 엔드-이펙터에는 복수의 진공 흡착 패드들이 제공될 수 있다.
예컨대, 태양전지판에 사용되는 직사각형 유리 기판은 큰 크기와 무거운 무게를 갖도록 2 미터 이상의 면을 갖는다. 이러한 크고 무거운 기판을 운반할 때, 엔드-이펙터에는 15 내지 20개의 진공 흡착 패드들이 제공된다.
물건이 흡착력을 갖는 진공 흡착 패드에 의해 확실하게 붙잡힐 수 있도록 엔드-이펙터에는 진공 흡착 패드를 탄성적으로 지지하기 위한 플로팅(floating) 메카니즘이 제공된다.
관련 기술은 JP 61-214988A, JP 62-102985A, 및 JP 5-47898A에 개시되어 있다.
진공 흡착 패드들에 의해 붙잡힌 물건을 운반하기 위한 이러한 로봇에 있어서, 진공 흡착 패드들이 파손 또는 노화에 기인하여 정상 진공 흡착력을 달성할 수 없게 되었을 때, 이러한 저하된 진공 흡착 패드들은 새로운 것으로 대체되야만 한다.
특히, 유리 기판은 운반 로봇에 의해 운반되어지기 전에 이미 크랙(crack)을 가질 수 있다. 이러한 상황에 있어서, 로봇의 진공 패드가 크랙에 대해 압축되는 때, 패드는 크랙의 에지에 의해 잘려질 수 있다.
더욱이, 유리 기판이 깨어진다면, 깨진 유리의 조각들은 진공 흡착 패드의 플로팅 메카니즘에 들러붙을 수 있어서 진공 흡착 패드의 전후방 이동이 조각들에 의해 저하될 수 있다.
진공 흡착 패드들 각각의 진공 흡착력을 검사하기 위해 진공 센서를 갖는 복수의 진공 흡착 패드들 각각을 제공하는 것이 고려된다. 이러한 경우에 있어서, 각 진공 흡착 패드 내의 압력 또는 진공 레벨은 물건이 진공 흡착 패드들에 의해 흡착되고 붙잡힌 상태에서 각 진공 센서에 의해 검출될 수 있다.
그러나, 진공 흡착 패드들 상에 장착된 진공 센서들은 물건이 흡착에 의해 붙잡히게 되고 운반될 때 야기될 수 있는 충격들에 기인하여 데미지를 입기 쉽다.
더욱이, 진공 흡착 패드 전부에 진공 센서들이 제공될 때, 진공 센서들의 오동작들에 기인하여 운반 로봇을 불필요하게 정지시키면 생산성이 더 나빠지게 될 수 있다.
더욱이, 복수의 진공 흡착 패드의 데어리(dairy) 검사들은 엄청난 양의 작업 부하를 요구한다. 따라서, 진공 흡착 패드들의 상태를 용이하고 확실하게 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하는 것이 바람직하다.
특히, 진공 흡착 패드들의 진공 흡착력의 비정상 상태들뿐만 아니라 진공 흡착 패드에 대한 플로팅 메카니즘에 의한 탄성적 지지 능력의 비정상 상태들을 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하는 것이 바람직하다.
엔드-이펙터 상의 복수의 진공 흡착 패드들을 갖는 운반 로봇을 위해, 진공 흡착 패드들의 일부가 불량이 때에도, 로봇은 물건을 안전하게 붙잡을 수 있고 남아있는 정상 진공 흡착 패드들을 가지고 물건을 운반할 수 있다.
그러므로, 로봇이 물건을 안전하게 운반할 수 없게 되는 시점을 정확하게 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명은 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 용이하고 확실하게 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하기 위해, 앞서 언급된 상황들을 고려하여 만들어졌다.
더욱이, 본 발명은 진공 흡착 패드들의 진공 흡착력의 비정상 상태들뿐만 아니라 진공 흡착 패드에 대한 플로팅 메카니즘에 의한 탄성 지지 능력의 비정상 상태들을 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하기 위해 만들어졌다.
더욱이, 본 발명은 그것의 엔드-이펙터 상에 복수의 진공 흡착 패드를 갖는 운반 로봇이 엔드-이펙터의 저하에 기인하여 물건을 안전하게 운반할 수 없게 될 시점을 정확하게 검출할 수 있는 모니터링 장치를 제공하기 위해 만들어졌다.
본 발명은, 로봇이 물건을 붙잡기 위한 진공 흡착 패드를 포함하며, 패드가 엔드 이펙터에 의해 탄성적으로 지지되도록 구성되는, 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치로서:
전방 표면 및 관통 홀을 가지며, 전방 표면에 수직인 방향으로 이동가능하게 구성된 패드 수신부;
전방 표면에 수직인 방향으로 패드 수신부를 탄성적으로 지지하도록 구성된 탄성적 지지 유닛;
패드 수신부의 이동을 검출하도록 구성된 이동 검출 유닛;
관통 홀에 연결된 진공 센서; 및
이동 검출 유닛의 검출 결과 및 진공 센서의 검출 결과에 기초하여 패드의 진공 흡착의 상태 및 패드의 탄성적인 지지의 상태를 판단하도록 구성된 판단 유닛;을 갖추어 이루어진다.
바람직하게는, 이동 검출 유닛은 진공 흡착 패드가 전방 표면에 대항하여 압축되는 상태에서 패드 수신부의 이동량이 주어진 값에 도달했을 때 검출 신호를 발생하도록 구성된다.
바람직하게는, 이동 검출 유닛은 근접 센서에 의해 검출될 참조 부재에 맞은 편에 배치된 근접 센서를 포함하고, 참조 부재가 근접 센서를 향해 패드 수신부와 함께 이동하도록 구성된다.
바람직하게는, 탄성적 지지 유닛은 엔드-이펙터 내의 진공 흡착 패드를 지지하기 위한 탄성적으로 지지하는 힘보다 더 큰 탄성적으로 지지하는 힘을 가지고 패드 수신부를 탄성적으로 지지하도록 구성된다.
바람직하게는, 탄성적 지지 유닛은 패드 수신부가 전후 방향으로 이동할 수 있게 패드 수신부를 지지하도록 구성된 라이너 가이드, 및 전방 표면에 수직인 방향으로 라이너 가이드의, 패드 수신부가 부착된, 이동가능한 부재를 압축하도록 구성된 압축 스프링을 갖추어 이루어진다.
바람직하게는 로봇은 복수의 진공 흡착 패드들을 포함하고, 모니터링 장치는 판단 유닛에 의한 판단 결과들이 각각의 진공 흡착 패드들을 식별하기 위한 정보와 함께 저장된 메모리 유닛을 더 갖추어 이루어진다.
바람직하게는, 판단 유닛은 메모리 유닛 내에 저장된 판단 결과들에 기초하여 복수의 진공 흡착 패드들의 상태가 미리 설정된 조건을 만족시키는지 판단하도록 구성된다.
바람직하게는, 미리 설정된 조건은 물건이 로봇에 의해 운반될 수 없는 상태를 나타내는 조건, 및 물건이 정상 운반 속도보다 낮은 운반 속도 하에서만 로봇에 의해 운반될 수 있는 상태를 나타내는 조건을 포함한다.
바람직하게는, 모니터링 장치는 엔드-이펙터를 향해 압축된 유체를 배출하도록 구성된 유체 배출 유닛을 더 갖추어 이루어진다.
본 발명의 하나의 양상은, 운반 로봇은 엔드-이펙터에 의해 탄성적으로 지지되는 복수의 진공 흡착 패드들을 포함하며, 물건은 운반 로봇에 의해 운반되어지도록 엔드-이펙터의 진공 흡착 패드들에 의해 붙잡히고 흡착되는, 운반 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치로서:
진공 흡착 패드가 압축되는 것에 대항하는 전방 표면을 갖고, 진공 흡착 패드의 압축 방향으로 이동가능하도록 구성된 패드 수신부;
진공 흡착 패드의 압축 방향에 반대 방향으로 패드 수신부를 탄성적으로 지지하도록 구성된 탄성적 지지 유닛;
진공 흡착 패드가 패드 수신부의 전방 표면에 대항하여 압축되는 때 패드 수신부의 이동을 검출하도록 구성된 이동 검출 유닛;
패드 수신부의 전방 표면에 접촉되어진 진공 흡착 패드 내부의 진공 상태를 검출하도록 구성된 진공 센서; 및
이동 검출 유닛의 검출 결과에 기초하여 진공 흡착 패드가 정상 상태에서 탄성적으로 지지되는지 판단하고 그리고 또한 진공 센서의 검출 결과에 기초하여 진공 흡착 패드가 정상 진공 상태를 달성할 수 있는지 판단하도록 구성된 판단 유닛을 갖추어 이루어진다.
도 1은 모니터링 장치와 함께, 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 장치에 의해 모니터링되는 운반 로봇의 측면도이고,
도 2는 도 1에 도시된 운반 로봇의 엔드-이펙터의 개략적인 정면도이고,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이고,
도 3a는 대기 상태를 나타내고,
도 3b는 접촉 상태를 나타내고,
도 3c는 압축 상태를 나타내고,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 장치가 운반 로봇 옆에 배치된 배열을 나타내는 계획도이고,
도 5는 운반 로봇의 엔드-이펙터의 진공 흡착 패드들에 각각 부여된 식별 번호를 설명하기 위한 도면이고,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 장치에 의해 운반 로봇의 비정상 상태를 판단하는 방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 6a은 심각하지 않은 비정상 상태를 나타내고,
도 6b은 심각한 비정상 상태를 나타낸다.
본 발명의 실시예에 따른 운반 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치는 도면을 참조하여 설명될 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 운반 로봇(1)은 로봇(1)의 암(arm: 2)의 말단(distal end)에 부착된 엔드-이펙터(3)를 갖는다. 이 운반 로봇(1)은 태양전지판을 위한 유리 기판과 같은 기판, 특히 큰 유리 기반을 운반하는데 적합하다.
엔드-이펙터(3)에는 도 2에 도시된 바와 같이 4행과 4열로 배열된 복수의 진공 흡착 패드들(4)이 제공된다. 진공 흡착 패드들(4) 각각은 플로팅 메카니즘들(6) 각각에 의해 탄성적으로 지지된다. 플로팅 메카니즘들(6)은 각각 진공 흡착 패드들(4) 각각이 전후방으로 이동할 수 있도록 버퍼 스프링(5)을 갖는다.
진공 흡착 패드들(4)은 청결하고 건조한 공기(CDA: clean dry air)를 공급하는 압축된 공기 소스(source)(미도시)에 연결된다. 더욱이, 진공 흡착 패드들(4)의 각각에는 예컨대, 벤츄리(Venturi)와 같은 각각의 진공 배출기(ejector)가 제공된다. 따라서, 각 패드(4)의 내측은 각 패드(4)에 배치된 각각의 진공 배출기에 의해 배기될 수 있다.
이러한 구성을 갖는 엔드-이펙터(3)에 따르면, 하나 또는 여러 진공 흡착 패드들(4)이 데미지를 입어서 정상 진공 상태를 달성하기 위한 그들의 능력을 잃어버렸을 때에도, 남아있는 진공 흡착 패드들(4)은 그들의 정상 진공 상태를 달성하기 위한 그들의 능력을 잃지 않는다.
그러므로, 하나 또는 여러 진공 흡착 패드들(4)이 예컨대, 유리 기판들의 크랙들에 의해 데미지를 입었을 때에도, 남아있는 정상 진공 흡착 패드들(4)이 유리 기판을 붙잡고 흡착할 수 있어서, 유리 기판이 슬립(slip)에 기인하여 떨어지는 것을 방지하기 할 수 있다.
그러나, 데미지를 입은 진공 흡착 패드들(4)의 수가 더 증가했을 때에는, 남아있는 정상 패드들(4)이 유리 기판을 흡착하고 붙잡는 것이 불가능해질 것이다.
깨어진 유리의 조각들이 플로팅 메카니즘(6)에 부착되었을 때 진공 흡착 패드(4)의 전후방 이동들은 저하될 수 있다. 따라서, 이러한 종류의 기능 불량 또한 검출되어질 필요가 있다.
그러므로, 유리 기판들이 그것들의 운송 동안의 슬립에 기인하여 떨어지는 것을 확실하게 방지하기 위해 본 실시예에 따른 모니터링 장치(10)는 복수의 진공 흡착 패드들(4) 및 플로팅 메카니즘들(6)의 상태를 검출하는데 사용된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 모니터링 장치(10)는 각 진공 흡착 패드(4)가 압축되는 것에 대항하는 전방 표면(11)을 포함하는 패드 수신부(12)를 갖는다.
관통 홀(13)은 전방 표면(11)으로부터 후방 표면까지 뻗어 있도록 패드 수신부(11)의 중심 부분에 형성된다. 관통 홀(13)은 그것의 후방 종단에서 진공 센서(14)에 연결된다.
진공 센서(14)로부터의 검출 신호들이 신호 라인을 매개로 판단 유닛(15)에 전송되도록 진공 센서(14)는 신호 라인을 매개로 판단 유닛(15)에 연결된다.
패드 수신부(12)가 진공 흡착 패드(4)의 압축 방향 즉, 전방 표면(11)에 수직한 방향으로 선형적으로 이동할 수 있도록 패드 수신부(12)는 베이스(16) 상에 장착된 라이너 가이드(17: liner guide)에 의해 지지된다. 라이너 가이드(17)에는 패드 수신부(12)가 그것의 전방 종단에 부착된 이동가능한 부재(18)가 제공된다.
라이너 가이드(17)의 이동가능한 부재(18)는 그것의 후방 종단에 이동가능한 지지 판(19)이 제공된다. 다른 한편으로는, 베이스(16)는 그것의 후방 종단에 움직이지 않는 지지 판(20)이 제공된다. 압축 스프링(21)은 이동가능한 지지 판(19)과 움직이지 않는 지지 판(20) 사이에 배치된다.
압축 스프링(21)은 플로팅 메카니즘(6)의 버퍼 스프링(5)의 탄성적으로 지지하는 힘보다 더 큰 탄성적으로 지지하는 힘을 가지고 패드 수신부(12)를 탄성적으로 지지한다.
탄성적 지지 유닛이 진공 흡착 패드(4)의 압축 방향에 반대되는 방향으로 패드 수신부(12)를 탄성적으로 지지하도록 탄성적 지지 유닛은 라이너 가이드(17), 이동가능한 부재(18), 이동가능한 지지 판(19), 움직이지 않는 지지 판(20), 및 압축 스프링(21)에 의해 구성된다.
이동가능한 지지 판(19)은 그것의 상부 종단에 검출될 참조 부재(22)가 제공된다. 움직이지 않는 지지 판(20)은 그것의 상부 종단에 참조 부재(22)와 마주하는 근접 센서(23)가 제공된다.
근접 센서(23)로부터의 검출 신호들이 판단 유닛(15)으로 전송되도록 근접 센서(23)는 신호 라인을 매개로 판단 유닛(15)에 연결된다.
진공 흡착 패드(4)가 전방 표면(11)에 대항하여 압축되는 때 이동 검출 유닛이 패드 수신부(12)의 이동을 검출하도록 이동 검출 유닛은 참조 부재(22) 및 근접 센서(23)에 의해 구성된다.
근접 센서(23)는 참조 부재(22)까지의 거리를 계속하여 측정하는 타입, 또는 참조 부재(22)까지의 거리가 0을 포함하는 주어진 값까지 감소했을 때 검출 신호를 발생시키는 타입으로 이루어질 수 있다.
판단 유닛(15)은 진공 센서(14) 및 근접 센서(23)로부터의 검출 신호들에 기초하여 진공 흡착 패드들(4) 및/또는 플로팅 메카니즘들(6)의 임의의 비정상적 상태가 존재하는지 판단한다.
그리고는, 판단의 결과가 테스트된 진공 흡착 패드들(4)을 식별하기 위한 정보와 함께 메모리 유닛(24)에 저장된다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 모니터링 장치(10)에는 엔드-이펙터(3)를 향해 CDA를 배출하기 위한 유체 배출 유닛(25)이 더 제공된다. 유체 배출 유닛(25)은 패드 수신부(12)를 통해 형성된 배출 포트(26), 배출 포트(26)와 교통하는 밸브(27), 및 밸브(27)에 연결된 압축된 공기 소스(미도시)를 갖는다.
다음으로, 본 실시예에 따른 모니터링 장치(10)를 사용하는 운반 로봇(1)의 엔드-이펙터(3)의 비정상 상태를 검출하는 방법이 이하에 설명될 것이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 운반 로봇(1) 외에도, 복수의 유리 기판들을 저장하기 위한 랙(30: rack) 및 운반 로봇(1)에 의해 랙(30)으로부터 빼내어진 유리 기판들이 장착되어지는 태양전지판(31, 32)이 존재한다.
본 실시예에 따른 모니터링 장치(10)는 유리 기판이 랙(30)으로부터 태양전지판(31)까지 운반되는 것을 따르는 운반 루트 옆에 배치된다.
모니터링 장치(10)에 의한 엔드-이펙터(3)의 테스트는 유리 기판들 전부가 하나의 랙(20)으로부터 들어내졌을 때 진공 흡착 패드들(4)의 일부 또는 전부에 대해 실행될 수 있다.
또는, 테스트는 유리 기판들의 각각이 랙(30)으로부터 태양전지판(31)까지 운반된 후에 각각의 리터닝(returning) 통로에서 하나 또는 여러 진공 흡착 패드들(4)에 대해서 실행될 수 있다.
진공 흡착 패드(4)의 테스트를 실행하는 때, 엔드-이펙터(3)가 패드 수신부(12)의 전방 표면(11)으로부터 주어진 거리(L)만큼 떨어져 이격되어 있는, 도 3a에 도시된 상태(대기 상태(Waiting State))로부터, 운반 로봇(1)은 패드 수신부(12)의 전방 표면(11)을 향해 엔드-이펙터(3)를 앞으로 이동하도록 구동된다.
이러한 상황에 있어서, 엔드-이펙터(3)의 배출 동작은 공기가 각각의 진공 흡착 패드(4)의 내측으로부터 배출되도록 하기 위해 활성화되도록 유지된다.
엔드-이펙터(3)가 패드 수신부(12)를 향해 앞으로 이동했을 때, 진공 흡착 패드(4)의 전방 종단은 도 3(b)에 도시된 바와 같이 전방 표면(11)과 접촉된다(접촉 상태(Contact State)).
이와 관련하여, 운반 로봇(1)의 암(2)은 패드 수신부(12)의 중심에서의 관통 홀(13)이 진공 흡착 패드(4)에 의해 커버되도록 동작된다.
진공 흡착 패드(4)의 전방 종단이 패드 수신부(12)의 전방 표면(11)에 가까이 접촉되는 때, 진공 흡착 패드(4)의 내측은 패드(4)의 내측이 배기되기 때문에 감압될 것이다.
그리고는, 진공 흡착 패드(4)의 내부 압력이 진공 센서(14)에 의해 검출되고, 진공 센서(14)의 검출 신호는 판단 유닛(15)으로 전송된다.
판단 유닛(15)은 진공 센서(14)로부터의 검출 신호에 기초하여, 테스트된 진공 흡착 패드(4)가 정상 진공 상태를 수행하는지 판단한다. 즉, 진공 흡착 패드(4)의 전방 종단이 전방 표면(11)에 가까이 접촉되는 상태 하에서, 진공 흡착 패드(4)의 진공 레벨이 주어진 값에 도달했는지가 판단된다.
도 3(b)에 도시된 상태로부터, 엔드-이펙터(3)는 소정 거리만큼 앞으로 더 이동된다. 그리고는, 플로팅 메카니즘(6)이 정상적으로 동작하는 경우에 있어서, 패드 수신부(12)가 후방으로 이동하지 않거나, 또는 단지 후방으로 약간 압축되도록 플로팅 메카니즘의 버퍼 스프링(5)은 압축된다.
다른 한편으로는, 플로팅 메카니즘(6)이 예컨대, 깨어진 유리의 부착된 조각들에 기인하여 정상적으로 동작하지 않는 경우에 있어서, 진공 흡착 패드(4)가 패드 수신부(12)의 전방 표면(11)에 대항하여 압축되는 때, 패드 수신부(12)는 모니터링 장치(10)의 압축 스프링(21)의 탄성력에 대항하여 후방으로 이동된다(푸시드-인 상태(Pushed-In State)).
그리고는, 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 참조 부재(22)는 근접 센서(23)에 가까워지도록 후방으로 이동된다. 근접 센서(23)는 참조 부재(22)까지의 거리가 0을 포함하는 주어진 거리까지 감소되는 때 검출 신호를 발생시킨다.
판단 유닛(15)은 근접 센서(23)로부터의 검출 신호에 기초하여 테스트된 패드(4)에 대한 플로팅 메카니즘(6)의 비정상 상태를 검출할 것이다. 즉, 진공 흡착 패드(4)는 플로팅 메카니즘(6)에 의해 정상 상태에서 탄성적으로 지지되지 않는다는 것이 검출된다.
압축된 공기는 유리의 부착된 조각들이 불어 날려지도록 유체 배출 유닛(25)으로부터 엔드-이펙터(3)를 향해 배출된다.
따라서, 저하된 플로팅 메카니즘(6)은 유체 배출 유닛(25)에 의한 세정 효과에 의해 그것의 탄성적 지지 기능을 회복할 수 있다. 그러므로, 유체 배출 유닛(25)에 의한 충분한 세정을 실행한 후에 근접 센서(23)를 갖는 이동 검출 유닛에 의한 검출 동작이 실행되는 것이 바람직할 것이다.
판단 유닛(15)에 의한 판단 결과들은 테스트된 진공 흡착 패드(4)를 식별하기 위한 정보와 함께 메모리 유닛(24) 내에 저장된다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 진공 흡착 패드들(4)에는 각각 그들의 식별 번호가 제공된다.
그리고는, 판단 유닛(15)은 메모리 유닛(24) 내에 저장된 판단 결과에 기초하여, 복수의 진공 흡착 패드들(4)의 검출된 비정상 상태가, 만약 있다면, 미리 설정된 조건을 만족시키는지 판단한다.
여기서, "미리 설정된 조건(given condition)"은 예컨대, 엔드-이펙터(3)가 유리 기판을 붙잡을 수 없고 그리고 유리 기판을 운반하는 동안 슬립에 기인하여 유리 기판을 떨어뜨릴 수 있는 상태로 정의된다. 구체적으로, 그것은 동일한 하나의 행 또는 열에 속하는 네 개의 패드들(4)이 데미지를 입는 경우일 수 있다. 또는, 그것은 패드들(4)의 전부 중에서 소정 수의 패드들(4)이 데미지를 입는 경우일 수 있다.
"미리 설정된 조건"은 비정상 상태들의 심각성에 따라 복수의 레벨들로 분류될 수 있다. 그리고는, 비정상 상태가 심각하지 않은 경우에 있어서, 운반 로봇(1)은 그것의 운반 동작을 계속하기 위해 정상 동작 속도보다 더 느린 동작 속도 하에서 동작된다. 다른 한편으로는, 비정상 상태가 심각한 경우에 있어서, 운반 로봇(1)은 엔드-이펙터(3)가 수리되도록 정지된다.
예컨대, 도 6a에 도시된 경우에 있어서, 네 개의 진공 흡착 패드들(4) (번호 1, 7, 10, 16)이 데미지를 입었다고 하더라도, 동일한 행 또는 열에 속하는 네 개의 패드들(4) 중에서 단 하나의 비정상 패드(4)가 존재한다.
이러한 경우에 있어서, 유리 기판의 운반 동작이 계속되도록 유리 기판은 남아있는 정상 패드들(4)에 의해 붙잡힐 수 있다고 판단된다. 이러한 경우에 있어서, 운반 로봇(1)은 정상 동작 속도보다 더 느린 동작 속도 하에서 동작될 수 있다.
다른 한편으로는, 동일한 행, 즉, 가장 윗 행에 속하는 네 개의 진공 흡착 패드들(4) (번호 1, 2, 3, 4) 전부가 데미지를 입은 도 6b에 도시된 경우에 있어서, 전체 유리 기판에 대한 흡착력의 균일도(uniformity)는 비정상 패드들(4)의 수가 도 6a에 도시된 경우의 그것과 동일함에도 불구하고 크게 저하된다.
그러므로, 도 6b에 도시된 경우에 있어서, 운반 로봇(1)이 유지보수를 위해 정지되도록 하기 위해 유리 기판은 안전하게 붙잡힐 수 없다고 판단된다.
운반 로봇(1)의 엔드-이펙터(3) 상에 장착된 진공 흡착 패드(4)의 수 및 배열은 운반되어질 물건의 무게 및 크기에 따라서 변화될 수 있다. 그러므로, 본 실시예의 모니터링 장치(10)에 의해 엔드-이펙터(3)의 비정상 상태를 판단하는데 사용되는, 앞서 언급한 "미리 설정된 조건"은 운반 로봇(1)의 엔드-이펙터(3) 상에 장착된 진공 흡착 패드들(4)의 수 및 배열에 따라서 변화될 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 본 실시예의 모니터링 장치(10)에 따르면, 엔드-이펙터(3)가 운반 로봇(1)으로부터 분리되어 배치된 모니터링 장치(10)에 의해 테스트되기 때문에, 모니터링 장치(10)의 진공 센서(14)는 진공 센서들이 진공 흡착 패드들 상에 장착된 경우와는 달리, 기판의 운반 동작 동안 데미지를 입지 않는 것이 가능하다. 더욱이, 진공 센서의 오동작들에 기인한 운반 로봇(1)의 불필요한 정지가 방지될 수 있다.
더욱이, 본 실시예의 모니터링 장치(10)에 따르면, 엔드-이펙터(3)의 진공 흡착 패드들(4)의 상태는 용이하고 확실하게 검출될 수 있다. 특히, 진공 흡착 패드들(4)의 진공 흡착력의 비정상 상태뿐만 아니라 플로팅 메카니즘(6)에 의한 진공 흡착 패드들(4)의 탄성적 지지 상태도 검출될 수 있다.
더욱이, 본 발명의 모니터링 장치(10)에 따르면, 각각의 진공 흡착 패드(4)의 비정상 상태에 대한 판단 결과들은 메모리 유닛(24) 내에 저장되고, 판단 유닛(15)은 복수의 진공 흡착 패드들(4)의 비정상 상태가 미리 설정된 조건을 만족하는지 판단한다. 그러므로, 운반 로봇(1)이 유리 기판들을 안전하게 운반할 수 없게 되는 시점이 정확하게 검출될 수 있다.
본 발명이 어느 정도의 상세함을 가지고 바람직한 실시예에서 설명되고 있다고 하더라도, 명백하게 많은 변형들 및 변동들이 가능할 수 있다. 그러므로 본 발명은 그것의 범위 및 사상으로부터 벗어남 없이 여기에서 구체적으로 설명된 것과 다르게 실행될 수 있다고 이해되어야만 한다.

Claims (9)

  1. 로봇이 물건을 붙잡기 위한 진공 흡착 패드를 포함하며, 패드가 엔드 이펙터에 의해 탄성적으로 지지되도록 구성되는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치로서,
    전방 표면 및 관통 홀을 가지며, 전방 표면에 수직인 방향으로 이동가능하게 구성된 패드 수신부;
    전방 표면에 수직인 방향으로 패드 수신부를 탄성적으로 지지하도록 구성된 탄성적 지지 유닛(17, 18, 19, 20, 및 21);
    패드 수신부의 이동을 검출하도록 구성된 이동 검출 유닛(22 및 23);
    관통 홀에 연결된 진공 센서; 및
    이동 검출 유닛의 검출 결과 및 진공 센서의 검출 결과에 기초하여 패드의 진공 흡착의 상태 및 패드의 탄성적인 지지의 상태를 판단하도록 구성된 판단 유닛;을 갖추어 이루어지는 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    이동 검출 유닛은, 진공 흡착 패드가 전방 표면에 대항하여 압축되는 상태에서 패드 수신부의 이동량이 주어진 값에 도달했을 때 검출 신호를 발생하도록 구성된 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    이동 검출 유닛이 근접 센서에 의해 검출될 참조 부재에 맞은 편에 배치된 근접 센서를 포함하고, 참조 부재가 근접 센서를 향해 패드 수신부와 함께 이동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    탄성적 지지 유닛이 엔드-이펙터에서의 진공 흡착 패드를 지지하기 위한 탄성적으로 지지하는 힘보다 더 큰 탄성적으로 지지하는 힘을 가지고 패드 수신부를 탄성적으로 지지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    탄성적 지지 유닛은, 패드 수신부가 전후 방향으로 이동할 수 있게 패드 수신부를 지지하도록 구성된 라이너 가이드, 및 전방 표면에 수직인 방향으로 라이너 가이드의, 패드 수신부가 부착된, 이동가능한 부재를 압축하도록 구성된 압축 스프링을 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    로봇이 복수의 진공 흡착 패드들을 포함하고,
    모니터링 장치는 판단 유닛에 의한 판단 결과들이 각각의 진공 흡착 패드들을 식별하기 위한 정보와 함께 저장된 메모리 유닛을 더 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    판단 유닛은, 메모리 유닛 내에 저장된 판단 결과들에 기초하여 복수의 진공 흡착 패드들의 상태가 미리 설정된 조건을 만족시키는지 판단하도록 구성되고, 미리 설정된 조건은 패드의 진공 흡착의 상태 또는 패드의 탄성적인 지지의 상태가 비정상임을 나타내는 조건인 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    미리 설정된 조건은, 물건이 로봇에 의해 운반될 수 없는 상태를 나타내는 조건, 및 물건이 정상 운반 속도보다 낮은 운반 속도 하에서만 로봇에 의해 운반될 수 있는 상태를 나타내는 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    엔드-이펙터를 향해 압축된 유체를 배출하도록 구성된 유체 배출 유닛을 더 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇의 엔드-이펙터의 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160118921A (ko) * 2015-04-02 2016-10-12 더 보잉 컴파니 트랙에 설치된 석션 컵들을 테스트하기 위한 장치 및 방법

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8289895B2 (en) 2009-04-24 2012-10-16 Research In Motion Limited Relay link HARQ operation
US8212533B2 (en) * 2009-12-23 2012-07-03 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Robot battery charging apparatuses and methods
US9884475B2 (en) 2011-01-19 2018-02-06 Precision Valve & Automation, Inc. Machine for optical bonding, system and method of use thereof
US20120180935A1 (en) * 2011-01-19 2012-07-19 Vannorden Jeffrey James Robotic placement machine for optical bonding, system and method of use thereof
TWI513643B (zh) * 2011-10-14 2015-12-21 Shuz Tung Machinery Ind Co Ltd 移載機構
US9120233B2 (en) * 2012-05-31 2015-09-01 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Non-contact optical distance and tactile sensing system and method
CN102996611B (zh) * 2012-11-23 2014-12-17 南京理工大学 一种自主开关行为的吸附单元及吸附装置
US10207830B2 (en) * 2013-06-07 2019-02-19 F.R. Drake Company Food product handling device
US10350769B2 (en) * 2013-06-07 2019-07-16 F.R. Drake Company Food product handling device, system, and related methods
DE102013017728B4 (de) * 2013-10-23 2015-05-07 Beumer Gmbh & Co. Kg Sauggreifvorrichtung
ES2845927T3 (es) * 2014-06-26 2021-07-28 Schmalz J Gmbh Instalación para la manipulación de piezas de trabajo
JP5926344B2 (ja) * 2014-09-22 2016-05-25 ファナック株式会社 非常停止時のロボットに関する不具合を防止するロボット制御装置
JP6325592B2 (ja) * 2016-03-30 2018-05-16 ファナック株式会社 ロボットシステム
JP6581050B2 (ja) * 2016-08-24 2019-09-25 川崎重工業株式会社 ロボットの遠隔監視システム
JP6646894B2 (ja) * 2016-12-28 2020-02-14 オムロン株式会社 保持可否結果出力装置
EP3375576A1 (de) * 2017-03-17 2018-09-19 TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Verfahren und vorrichtung zur zustandskontrolle von vakuumsaugern einer greifvorrichtung
DE102017110998A1 (de) * 2017-05-19 2018-11-22 Homag Plattenaufteiltechnik Gmbh Handhabungseinrichtung zum Handhaben von zumindest abschnittsweise ebenen Gütern, Verfahren zum Betreiben einer derartigen Handhabungseinrichtung
US20210023723A1 (en) * 2018-03-28 2021-01-28 Transitions Optical, Ltd. Diagnostic station for production line
DE102018110741A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 J. Schmalz Gmbh Unterdruckhandhabungsvorrichtung
MX2021003767A (es) * 2018-10-08 2021-05-27 Advanced Farm Tech Inc Cosechadora autonoma.
DE102019112867A1 (de) * 2019-05-16 2020-11-19 Homag Automation Gmbh Robotergreifer, Industrieroboter, Handhabungssystem und Verfahren zur Entnahme plattenförmiger Werkstücke von einem Stapel
KR20200142622A (ko) * 2019-06-12 2020-12-23 삼성디스플레이 주식회사 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
JP7342614B2 (ja) * 2019-10-25 2023-09-12 オムロン株式会社 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム
EP4076871A1 (en) * 2019-12-16 2022-10-26 Amp Robotics Corporation A suction gripper cluster device for material sorting and other applications
DE102019134764A1 (de) * 2019-12-17 2021-06-17 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Prüfvorrichtung sowie Verfahren zur Zustandskontrolle von Vakuumsaugern einer Greifeinrichtung
JP7422331B2 (ja) 2020-04-27 2024-01-26 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 部品搭載装置
US11712809B2 (en) * 2020-06-30 2023-08-01 WaferPath, Inc. Robot vacuum control and monitoring system
US11850756B2 (en) 2020-06-30 2023-12-26 WaferPath, Inc. Robot monitoring and error detection system
US11795012B1 (en) * 2020-11-06 2023-10-24 Aaron Thomas Bacon Multi-gripper system
WO2023009411A1 (en) * 2021-07-26 2023-02-02 Material Handling Systems, Inc. Vacuum cup damage detection system
DE102022100986B3 (de) * 2022-01-17 2023-02-09 J. Schmalz Gmbh Sauggreifereinrichtung mit Verschleißdetektionseinrichtung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61214988A (ja) * 1985-03-15 1986-09-24 三菱電機株式会社 産業用ロボツトのハンド装置
JPH0487788A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Morinaga Milk Ind Co Ltd ロボットハンド
JPH0547898A (ja) * 1991-08-12 1993-02-26 Hitachi Ltd 部品吸着搬送装置とその運転方法
JP2000159472A (ja) 1998-11-30 2000-06-13 Murata Mach Ltd 板材搬送システム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3372334D1 (en) 1982-09-21 1987-08-13 Fujitsu Ltd Supporting device
JPS62102985A (ja) 1985-10-30 1987-05-13 日立金属株式会社 ロボツトの把持装置
JPH09285986A (ja) * 1996-04-23 1997-11-04 Ricoh Co Ltd エンドエフェクタ
JPH10256345A (ja) 1997-03-13 1998-09-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置および基板搬送方法
JP3619032B2 (ja) 1998-11-13 2005-02-09 シーケーディ株式会社 真空圧力制御弁
JP2002263981A (ja) * 2001-03-14 2002-09-17 Murata Mach Ltd 板材吸着持ち上げ装置の吸着制御装置
US20050137751A1 (en) * 2003-12-05 2005-06-23 Cox Damon K. Auto-diagnostic method and apparatus
US7036794B2 (en) * 2004-08-13 2006-05-02 Vat Holding Ag Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers
US7971504B2 (en) * 2005-09-27 2011-07-05 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Articulated manipulator
JP5004612B2 (ja) * 2007-02-15 2012-08-22 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61214988A (ja) * 1985-03-15 1986-09-24 三菱電機株式会社 産業用ロボツトのハンド装置
JPH0487788A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Morinaga Milk Ind Co Ltd ロボットハンド
JPH0547898A (ja) * 1991-08-12 1993-02-26 Hitachi Ltd 部品吸着搬送装置とその運転方法
JP2000159472A (ja) 1998-11-30 2000-06-13 Murata Mach Ltd 板材搬送システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160118921A (ko) * 2015-04-02 2016-10-12 더 보잉 컴파니 트랙에 설치된 석션 컵들을 테스트하기 위한 장치 및 방법
KR102503034B1 (ko) * 2015-04-02 2023-02-22 더 보잉 컴파니 트랙에 설치된 석션 컵들을 테스트하기 위한 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN102171007B (zh) 2013-12-04
TW201028268A (en) 2010-08-01
EP2334474A4 (en) 2013-04-24
EP2334474B1 (en) 2014-06-18
JP2012504053A (ja) 2012-02-16
US20110166704A1 (en) 2011-07-07
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