JP2012504053A - ロボットの監視装置 - Google Patents
ロボットの監視装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012504053A JP2012504053A JP2011528500A JP2011528500A JP2012504053A JP 2012504053 A JP2012504053 A JP 2012504053A JP 2011528500 A JP2011528500 A JP 2011528500A JP 2011528500 A JP2011528500 A JP 2011528500A JP 2012504053 A JP2012504053 A JP 2012504053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- pad
- robot
- suction pad
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000012636 effector Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 26
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 25
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
- B25J13/087—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices for sensing other physical parameters, e.g. electrical or chemical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0095—Means or methods for testing manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/917—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/02—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by suction means
- B66C1/0218—Safety measures, e.g. sensors, duplicate functions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/02—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by suction means
- B66C1/0237—Multiple lifting units; More than one suction area
- B66C1/0243—Separate cups
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】ロボットのエンドエフェクタの状態を簡易且つ確実に検出できる監視装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロボットのエンドエフェクタの状態を監視するための監視装置である。ロボットは物品を保持する真空吸着パッドを含み、真空吸着パッドはエンドエフェクタによって弾性的に支持されている。この監視装置は、前面及び貫通孔を含み、前面に垂直な方向に沿って移動可能なパッド受け部と、前面に垂直な方向にパッド受け部を弾発的に支持する弾発支持手段と、パッド受け部の移動を検出する移動検出手段と、貫通孔に接続された真空センサと、移動検出手段の検出結果及び真空センサの検出結果に基づいて真空吸着パッドの弾発支持状態及び真空吸着パッドの真空状態を判定する判定手段と、を備える。
【解決手段】本発明は、ロボットのエンドエフェクタの状態を監視するための監視装置である。ロボットは物品を保持する真空吸着パッドを含み、真空吸着パッドはエンドエフェクタによって弾性的に支持されている。この監視装置は、前面及び貫通孔を含み、前面に垂直な方向に沿って移動可能なパッド受け部と、前面に垂直な方向にパッド受け部を弾発的に支持する弾発支持手段と、パッド受け部の移動を検出する移動検出手段と、貫通孔に接続された真空センサと、移動検出手段の検出結果及び真空センサの検出結果に基づいて真空吸着パッドの弾発支持状態及び真空吸着パッドの真空状態を判定する判定手段と、を備える。
Description
本発明は、弾発的に支持された真空吸着パッドを含むエンドエフェクタによって物品を保持するロボットの前記エンドエフェクタの状態を監視するための監視装置に関する。
特に、本発明による監視装置は、ソーラーパネル等に使用される大型ガラス基板を搬送するための搬送ロボットのエンドエフェクタの状態監視に適している。
従来より、エンドエフェクタに真空吸着パッドを設け、この真空吸着パッドの吸着力を利用して物品を保持して搬送するロボットが知られている。
物品が小型軽量のものであれば、１つの真空吸着パッドにより該物品を保持して搬送することができる。
一方、大型重量の物品を搬送する場合には、エンドエフェクタに複数の真空吸着パッドを設け、複数のパッドを同時に物品に吸着させて搬送する。
例えば、ソーラーパネルに用いられる角形のガラス基板は、その一辺が２ｍを超える大型の重量物である。このような大型且つ重量の基板を搬送する際には、エンドエフェクタに例えば１５〜２０個の真空吸着パッドが設けられる。
また、物品を確実に吸着保持するために、フローティング機構によって真空吸着パッドを弾発的に支持する構成を採用する場合もある。
日本国・特開昭６１−２１４９８８号公報
日本国・特開昭６２−１０２９８５号公報
日本国・特開平５−４７８９８号公報
従来、真空吸着パッドを用いて物品を保持して搬送するロボットにおいては、破損や老朽化等により真空吸着パッドが正常な真空吸着力を達成できなくなった場合には、当該真空吸着パッドを交換している。
特に、ガラス基板においては、搬送ロボットで搬送する前に既にガラスに亀裂が入っている場合があり、当該亀裂の部分に真空吸着パッドを押し当てると、亀裂の刃先によってパッドが切れてしまうことがある。
また、ガラス基板が割れてしまった場合には、破損したガラスの細かい破片が真空吸着パッドのフローティング機構に付着して、真空吸着パッドの進退動作に不具合が生じるという問題もある。
真空吸着パッドの真空吸着力を確認するための方法としては、例えば、複数の真空吸着パッドの各々に真空センサを設け、物品を吸着保持した状態での各真空吸着パッドの内部の圧力（真空度）を検出することが考えられる。
しかしながら、このように真空吸着パッドに真空センサを設けた場合、物品の吸着保持及び搬送の際の衝撃により真空センサが破損する可能性がある。
また、すべての真空吸着パッドに真空センサを設けると、真空センサの誤作動により搬送ロボットが不必要に停止してしまう可能性が高くなり、却って生産効率を低下させてしまう可能性がある。
また従来より、複数の真空吸着パッドの状態を確認するための日常点検作業の負担が大きく、真空吸着パッドの状態を簡易且つ確実に検出できる監視装置が望まれていた。
特に、真空吸着パッドの真空吸着力の異常のみならず、フローティング機構による真空吸着パッドの弾発支持状態の異常も検出できる監視装置が望まれていた。
また、エンドエフェクタに複数の真空吸着パッドが設けられた搬送ロボットにおいては、複数の真空吸着パッドのうちの幾つかが機能不全となった場合でも、他の正常な真空吸着パッドによって物品を保持して安全に搬送できる場合がある。
このため、物品を安全に搬送することが不可能となった時点を正確に検出できる監視装置が望まれていた。
本発明は、上述した事情を考慮してなされたものであって、ロボットのエンドエフェクタの状態を簡易且つ確実に検出できる監視装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、真空吸着パッドの真空吸着力の異常のみならず、フローティング機構による真空吸着パッドの弾発支持状態の異常も検出できる監視装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、エンドエフェクタに複数の真空吸着パッドが設けられた搬送ロボットにおいて、エンドエフェクタの不具合によって物品を安全に搬送することが不可能となった時点を正確に検出できる監視装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明は、ロボットのエンドエフェクタの状態を監視するための監視装置であって、前記ロボットは物品を保持する真空吸着パッドを含み、前記真空吸着パッドは前記エンドエフェクタによって弾性的に支持されている、ロボットの監視装置において、前面及び貫通孔を含み、前記前面に垂直な方向に沿って移動可能なパッド受け部と、前記前面に垂直な方向に前記パッド受け部を弾発的に支持する弾発支持手段と、前記パッド受け部の移動を検出する移動検出手段と、前記貫通孔に接続された真空センサと、前記移動検出手段の検出結果及び前記真空センサの検出結果に基づいて前記真空吸着パッドの弾発支持状態及び前記真空吸着パッドの真空状態を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
好ましくは、前記移動検出手段は、前記真空吸着パッドが前記前面に押し付けられた際の前記パッド受け部の移動量が所定値に達した時に検出信号を発信するように構成されている。
好ましくは、前記移動検出手段は、前記パッド受け部と一体に移動する被検出部に対向して離間配置された近接センサを含む。
好ましくは、前記弾発支持手段は、前記エンドエフェクタにおける前記真空吸着パッドの弾発支持力よりも大きな弾発支持力によって前記パッド受け部を弾発支持するように構成されている。
好ましくは、前記弾発支持手段は、前記パッド受け部を進退可能に支持するリニアガイドと、前記パッド受け部が取り付けられた前記リニアガイドの可動部材を前記前面に垂直な方向に向けて押圧する圧縮バネと、を有する。
好ましくは、前記ロボットは複数の前記真空吸着パッドを有し、前記監視装置は、前記判定手段による判定結果を、検査対象の真空吸着パッドを特定するための情報と共に記憶する記憶手段を更に備える。
好ましくは、前記判定手段は、前記記憶手段に記憶された判定結果に基づいて、前記複数の真空吸着パッドの異常状態が所定の条件を満たしているか否かを判定するように構成されている。
好ましくは、前記所定の条件は、前記物品の搬送が不可能となる重度の異常状態に対応する条件と、前記物品の搬送は可能であるが、通常よりも搬送速度を低下させる必要がある軽度の異常状態に対応する条件と、を含む。
好ましくは、前記エンドエフェクタに向けて圧縮流体を噴射する流体噴射手段を更に備える。
本発明の一形態は、弾発的に支持された複数の真空吸着パッドを含むエンドエフェクタによって物品を吸着保持して搬送する搬送ロボットの前記エンドエフェクタの状態を監視するための監視装置において、前記真空吸着パッドが押し付けられる前面を含み、前記真空吸着パッドの押付け方向に沿って移動可能なパッド受け部と、前記真空吸着パッドの前記押付け方向に対向する方向に向けて前記パッド受け部を弾発的に支持する弾発支持手段と、前記真空吸着パッドが前記パッド受け部の前記前面に押し付けられた際の前記パッド受け部の移動を検出する移動検出手段と、前記パッド受け部の前記前面に当接された状態にある前記真空吸着パッドの内部の真空状態を検出する真空センサと、前記移動検出手段の検出結果に基づいて前記真空吸着パッドが正常に弾発支持されているか否かを判定すると共に、前記真空センサの検出結果に基づいて前記真空吸着パッドが正常に真空状態を達成できるか否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
本発明の一実施形態による搬送ロボットのエンドエフェクタの監視装置について、図面を参照して説明する。
図１に示したように搬送ロボット１は、アーム２の先端に装着されたエンドエフェクタ３を備えている。なお、この搬送ロボット１は、基板の搬送に適したものであり、特にソーラーパネル用ガラス基板のような大型のガラス基板の搬送に適したものである。
エンドエフェクタ３には複数の真空吸着パッド４が設けられており、図２に示したようにこれらの真空吸着パッド４は、縦横４列に並べられている。各真空吸着パッド４は、緩衝バネ５を含むフローティング機構６によって進退自在に弾発的に支持されている。
真空吸着パッド４は、清浄な乾燥空気（CDA: Clean Dry Air）を供給する圧縮空気源（図示を省略）に接続されている。また、複数の真空吸着パッド４のそれぞれに対して、真空エジェクタ（ベンチュリ等）が設けられている。これにより、パッド毎に設けられた各真空エジェクタを用いて各パッド内を排気できるように構成されている。
このような構成を備えたエンドエフェクタ３においては、１つ又は幾つかの真空吸着パッド４が損傷して真空状態を達成できない場合でも、他の真空吸着パッド４の吸着性能が毀損されることがない。
このため、ガラス基板の亀裂によって１つ又は幾つかの真空吸着パッド４が損傷を受けた場合でも、他の正常な真空吸着パッド４によってガラス基板を吸着保持し、ガラス基板の滑落を防止することができる。
しかしながら、損傷を受けた真空吸着パッド４の数が増えてくると、残余の正常な真空吸着パッド４によってガラス基板を吸着保持することができなくなる。
また、割れたガラスの破片等がフローティング機構６に付着して、真空吸着パッド４の進退動作に不具合が生じることがあるので、このような不具合の有無についても確認する必要がある。
そこで、搬送ロボット１による搬送時のガラス基板の滑落を確実に防止するために、本実施形態による監視装置１０を用いて複数の真空吸着パッド４及びフローティング機構６の状態を検査する。
図３に示したように監視装置１０は、１つの真空吸着パッド４が押し付けられる前面１１を含むパッド受け部１２を有している。
パッド受け部１２の中央部分には、前面１１から裏面に向けて貫通する貫通孔１３が形成されており、この貫通孔１３の後端には真空センサ１４が接続されている。
真空センサ１４は、信号ラインを介して判定手段１５に接続されており、真空センサ１４の検出信号が判定手段１５に伝送される。
パッド受け部１２は、基台１６に設けられたリニアガイド１７によって、真空吸着パッド４の押付け方向、即ち前面１１に垂直な方向に沿って直動可能に支持されている。リニアガイド１７は、前端部にパッド受け部１２が取り付けられた可動部材１８を備えている。
可動部材１８の後端部には可動支持板１９が設けられている。一方、基台１６の後端部には固定支持板２０が設けられている。可動支持板１９と固定支持板２０との間には圧縮バネ２１が介装されている。
この圧縮バネ２１は、フローティング機構６の緩衝バネ５による真空吸着パッド４の弾発支持力よりも大きな弾発支持力によって、パッド受け部１２を弾発的に支持している。
リニアガイド１７、可動部材１８、可動支持板１９、固定支持板２０、及び圧縮バネ２１によって、真空吸着パッド４の押付け方向に対向する方向に向けてパッド受け部１２を弾発的に支持する弾発支持手段が構成されている。
可動支持板１９の上端には被検出部２２が設けられており、一方、固定支持板２０の上端には、被検出部２２に対向して近接センサ２３が設けられている。
近接センサ２３は、信号ラインを介して判定手段１５に接続されており、近接センサ２３の検出信号が判定手段１５に伝送される。
被検出部２２及び近接センサ２３によって、真空吸着パッド４が前面１１に押し付けられた際のパッド受け部１２の移動を検出する移動検出手段が構成されている。
なお、近接センサ２３は、被検出部２２までの距離を連続的に測定するタイプのものでも良いし、或いは、被検出部２２までの距離が予め設定された所定値（ゼロを含む。）まで減少したときに検出信号を発信するタイプのものでも良い。
判定手段１５は、真空センサ１４及び近接センサ２３からの検出信号に基づいて、検査対象の真空吸着パッド４及びフローティング機構６の異常状態の有無を判定する。
そして、判定手段１５による判定結果は、検査対象の真空吸着パッド４を特定するための情報と共に記憶手段２４に記憶される。
図３（Ｂ）に示したように監視装置１０は、さらに、エンドエフェクタ３に向けて清浄な乾燥圧縮空気（ＣＤＡ）を噴射する流体噴射手段２５を備えている。この流体噴射手段２５は、パッド受け部１２に貫通形成された噴射孔２６と、この噴射口２６に連通する弁２７と、この弁２７に連通する圧縮空気源（図示を省略）とを備えている。
次に、本実施形態による監視装置１０を用いて、搬送ロボット１のエンドエフェクタ３の異常状態の有無を検出する方法について説明する。
図４に示したように搬送ロボット１の傍らには、複数のガラス基板を格納したラック３０と、搬送ロボット１によりラック３０から取り出されたガラス基板が装着されるソーラーパネル３１、３２とが配置されている。
本実施形態による監視装置１０は、ラック３０から一方のソーラーパネル３１にガラス基板を搬送する際の搬送ルート沿いに配置されている。
監視装置１０によるエンドエフェクタ３の検査は、例えば、１つのラック３０内のガラス基板のすべてを運び出した時点で、一部又は全部の真空吸着パッド４について行うようにする。
或いは、ラック３０から取り出した一枚のガラス基板を一方のソーラーパネル３１に搬送した後、帰りのパスにおいてエンドエフェクタ３の一つ又は複数の真空吸着パッド４について検査を行うこともできる。
真空吸着パッド４を検査する際には、まず、図３（Ａ）に示したようにパッド受け部１２の前面１１からエンドエフェクタ３を所定距離Ｌだけ離間させた状態（待機状態）から、搬送ロボット１を駆動してエンドエフェクタ３をパッド受け部１２の前面１１に向けて前進させる。
このとき、エンドエフェクタ３の排気機能は作動しており、各真空吸着パッド４の内部から空気が吸い込まれている。
エンドエフェクタ３がパッド受け部１２に向けて前進すると、図３（Ｂ）に示したように真空吸着パッド４の前端部が前面１１に当接される（当接状態）。
このときパッド受け部１２の中央にある貫通孔１３が真空吸着パッド４によって覆われるように、搬送ロボット１のアーム２が操作される。
真空吸着パッド４の前端部がパッド受け部１２の前面１１に密着すると、真空吸着パッド４の内部は排気されているので、その圧力が低下する。
そして、真空吸着パッド４の内部圧力が真空センサ１４によって検出され、その検出結果が判定手段１５に伝送される。
判定手段１５は、真空センサ１４からの検出信号に基づいて、検査対象の真空吸着パッド４が正常に真空状態を達成しているか否かを判定する。即ち、真空吸着パッド４の前端部が前面１１に当接された状態において、真空吸着パッド４の内部の真空度が所定値に達しているか否かを判定する。
図３（Ｂ）に示した状態から、さらにエンドエフェクタ３を所定量前進させる。すると、フローティング機構６が正常に機能している場合には、フローティング機構６の緩衝バネ５が縮み、パッド受け部１２は後退しないか或いは僅かに押し込まれるのみである。
一方、破損したガラスの破片等が付着してフローティング機構６が正常に動作していない場合には、真空吸着パッド４をパッド受け部１２の前面１１に押し付けることにより、監視装置１０の圧縮バネ２１の弾発力に抗してパッド受け部１２が押し込まれる（押込み状態）。
すると、図３（Ｃ）に示したように、被検出部２２が移動して近接センサ２３に接近する。近接センサ２３は、被検出部２２が予め設定された所定距離（ゼロを含む。）まで近づいたときに検出信号を発信する。
判定手段１５は、近接センサ２３からの検出信号を受けて、検査対象の真空吸着パッド４のフローティング機構６の異常を検出する。即ち、真空吸着パッド４がフローティング機構６によって正常に弾発支持されていないことを検出する。
なお、流体噴射手段２５からはエンドエフェクタ３に向けて圧縮空気が噴射されており、これにより、エンドエフェクタ３に付着しているガラス片等を吹き飛ばすようにしている。
このため、流体噴射手段２５によるクリーニング効果によって、フローティング機構６の弾発支持機能が回復することもある。従って、近接センサ２３を含む移動検出手段による検出は、流体噴射手段２５によるクリーニングを十分に行った後に実施することが望ましい。
判定手段１５による判定結果は、検査対象の真空吸着パッド４を特定する情報と共に記憶手段２４に記憶される。例えば、図５に示したように複数の真空吸着パッド４のそれぞれに対して割当て番号を付与し、この割当て番号と共に判定結果を記憶手段２４に記憶する。
そして判定手段１５は、記憶手段２４に記憶された判定結果に基づいて、複数の真空吸着パッド４の異常状態が所定の条件を満たしているか否かを判定する。
ここで、「所定の条件」とは、例えば、エンドエフェクタ３によるガラス基板の保持が困難となり、搬送中にガラス基板が滑落してしまう可能性があるような場合を言う。具体的には、縦又は横の一つの列に属するすべての真空吸着パッド４に異常が発生した場合、或いは、全個数のうちの所定個数以上の真空吸着パッド４に異常が発生した場合とすることができる。
また「所定の条件」は、異常状態の深刻度に応じて複数のレベルに分類しても良い。そして、軽度の異常状態の場合には、通常よりも遅い動作速度で搬送ロボット１を駆動しながら、搬送作業を継続させる。一方、異常状態が重度の場合には、搬送ロボット１を停止してエンドエフェクタ３を補修する。
例えば、図６（１）に示したケースにおいては、４つの真空吸着パッド４（Ｎｏ．１，７，１０，１６）に異常が発生しているが、縦横の各列について見ると異常パッドは４個中１つである。
このような場合には、残余の正常なパッドによってガラス基板を保持できると判断し、ガラス基板の搬送作業を継続する。このとき、通常よりも遅い動作速度で搬送ロボット１を駆動するようにしても良い。
一方、図６（２）に示したように横方向の一列（最上段）に属する４つの真空吸着パッド４（Ｎｏ．１，２，３，４）に異常が発生している場合、異常パッドの個数は図６（１）の場合と同じであるが、ガラス基板全体に対する吸着力の均一性が大きく劣化している。
そこで、図６（２）のケースにおいては、ガラス基板を安全に保持できないと判断し、搬送ロボット１を停止してメインテナンスを実施する。
なお、搬送ロボット１のエンドエフェクタ３に装着される真空吸着パッド４の個数及び配置は、搬送対象物の寸法や重量に合わせて適宜変更されるものである。従って、本実施形態による監視装置１０を用いてエンドエフェクタ３の異常判定を行う際の上記所定の条件についても、エンドエフェクタ３に装着される真空吸着パッド４の個数や配置によって適宜変更される。
以上述べたように本実施形態による監視装置１０によれば、搬送ロボット１とは別個に設けた監視装置１０によってエンドエフェクタ３を検査するようにしたので、真空吸着パッド側に真空センサを設けた場合のように基板搬送時に真空センサが破損する懸念がなく、また、真空センサの誤作動による搬送ロボット１の不必要な停止を防止することができる。
また、本実施形態による監視装置１０によれば、エンドエフェクタ３の真空吸着パッド４の状態を簡易且つ確実に検出することができる。特に、真空吸着パッド４の真空吸着力の異常のみならず、フローティング機構６による真空吸着パッド４の弾発支持状態の異常も検出することができる。
また、本実施形態による監視装置１０によれば、各真空吸着パッド４に関する異常判定の結果を記憶手段２４で保存し、複数の真空吸着パッド４の異常状態が所定の条件を満たしているかを判定手段１５により判定するようにしたので、搬送ロボット１がガラス基板を安全に搬送することが不可能となる時点を正確に検出することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の範囲内で適宜変更することができる。
１ 搬送ロボット
３ エンドエフェクタ
４ 真空吸着パッド
５ 緩衝バネ
６ フローティング機構
１０ 搬送ロボットのエンドエフェクタの監視装置
１１ パッド受け部の前面
１２ パッド受け部
１４ 真空センサ
１５ 判定手段
１７ リニアガイド
２１ 圧縮バネ
２３ 近接センサ
２４ 記憶手段
２５ 流体噴射手段
３ エンドエフェクタ
４ 真空吸着パッド
５ 緩衝バネ
６ フローティング機構
１０ 搬送ロボットのエンドエフェクタの監視装置
１１ パッド受け部の前面
１２ パッド受け部
１４ 真空センサ
１５ 判定手段
１７ リニアガイド
２１ 圧縮バネ
２３ 近接センサ
２４ 記憶手段
２５ 流体噴射手段
Claims (9)
- ロボットのエンドエフェクタの状態を監視するための監視装置であって、前記ロボットは物品を保持する真空吸着パッドを含み、前記真空吸着パッドは前記エンドエフェクタによって弾性的に支持されている、ロボットの監視装置において、
前面及び貫通孔を含み、前記前面に垂直な方向に沿って移動可能なパッド受け部と、
前記前面に垂直な方向に前記パッド受け部を弾発的に支持する弾発支持手段と、
前記パッド受け部の移動を検出する移動検出手段と、
前記貫通孔に接続された真空センサと、
前記移動検出手段の検出結果及び前記真空センサの検出結果に基づいて前記真空吸着パッドの弾発支持状態及び前記真空吸着パッドの真空状態を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とするロボットの監視装置。 - 前記移動検出手段は、前記真空吸着パッドが前記前面に押し付けられた際の前記パッド受け部の移動量が所定値に達した時に検出信号を発信するように構成されている請求項１記載のロボットの監視装置。
- 前記移動検出手段は、前記パッド受け部と一体に移動する被検出部に対向して離間配置された近接センサを含む請求項２記載のロボットの監視装置。
- 前記弾発支持手段は、前記エンドエフェクタにおける前記真空吸着パッドの弾発支持力よりも大きな弾発支持力によって前記パッド受け部を弾発支持するように構成されている請求項１乃至３のいずれか一項に記載のロボットの監視装置。
- 前記弾発支持手段は、前記パッド受け部を進退可能に支持するリニアガイドと、前記パッド受け部が取り付けられた前記リニアガイドの可動部材を前記前面に垂直な方向に向けて押圧する圧縮バネと、を有する請求項１乃至４のいずれか一項に記載のロボットの監視装置。
- 前記ロボットは複数の前記真空吸着パッドを有し、
前記監視装置は、前記判定手段による判定結果を、検査対象の真空吸着パッドを特定するための情報と共に記憶する記憶手段を更に備えた請求項１乃至５のいずれか一項に記載のロボットの監視装置。 - 前記判定手段は、前記記憶手段に記憶された判定結果に基づいて、前記複数の真空吸着パッドの異常状態が所定の条件を満たしているか否かを判定するように構成されている請求項６記載のロボットの監視装置。
- 前記所定の条件は、前記物品の搬送が不可能となる重度の異常状態に対応する条件と、前記物品の搬送は可能であるが、通常よりも搬送速度を低下させる必要がある軽度の異常状態に対応する条件と、を含む請求項７記載のロボットの監視装置。
- 前記エンドエフェクタに向けて圧縮流体を噴射する流体噴射手段を更に備えた請求項１乃至８のいずれか一項に記載のロボットの監視装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2008/068126 WO2010038315A1 (en) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | Monitoring apparatus for robot |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012504053A true JP2012504053A (ja) | 2012-02-16 |
| JP5010050B2 JP5010050B2 (ja) | 2012-08-29 |
Family
ID=42073107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011528500A Active JP5010050B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | ロボットの監視装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8855818B2 (ja) |
| EP (1) | EP2334474B1 (ja) |
| JP (1) | JP5010050B2 (ja) |
| KR (1) | KR101302250B1 (ja) |
| CN (1) | CN102171007B (ja) |
| TW (1) | TWI401145B (ja) |
| WO (1) | WO2010038315A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016064448A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-28 | ファナック株式会社 | 非常停止時のロボットに関する不具合を防止するロボット制御装置 |
| JP2016197096A (ja) * | 2015-04-02 | 2016-11-24 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 軌条（ｔｒａｃｋ）に取り付けられた吸引カップの試験のための装置及び方法 |
| WO2021079738A1 (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-29 | オムロン株式会社 | 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム |
| JP7422331B2 (ja) | 2020-04-27 | 2024-01-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品搭載装置 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8289895B2 (en) | 2009-04-24 | 2012-10-16 | Research In Motion Limited | Relay link HARQ operation |
| US8212533B2 (en) * | 2009-12-23 | 2012-07-03 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Robot battery charging apparatuses and methods |
| US20120180935A1 (en) * | 2011-01-19 | 2012-07-19 | Vannorden Jeffrey James | Robotic placement machine for optical bonding, system and method of use thereof |
| US9884475B2 (en) | 2011-01-19 | 2018-02-06 | Precision Valve & Automation, Inc. | Machine for optical bonding, system and method of use thereof |
| TWI513643B (zh) * | 2011-10-14 | 2015-12-21 | Shuz Tung Machinery Ind Co Ltd | 移載機構 |
| US9120233B2 (en) * | 2012-05-31 | 2015-09-01 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Non-contact optical distance and tactile sensing system and method |
| CN102996611B (zh) * | 2012-11-23 | 2014-12-17 | 南京理工大学 | 一种自主开关行为的吸附单元及吸附装置 |
| US10350769B2 (en) * | 2013-06-07 | 2019-07-16 | F.R. Drake Company | Food product handling device, system, and related methods |
| MY189520A (en) | 2013-06-07 | 2022-02-16 | F R Drake Co | Food product handling device |
| DE102013017728B4 (de) * | 2013-10-23 | 2015-05-07 | Beumer Gmbh & Co. Kg | Sauggreifvorrichtung |
| ES2845927T3 (es) * | 2014-06-26 | 2021-07-28 | Schmalz J Gmbh | Instalación para la manipulación de piezas de trabajo |
| JP6325592B2 (ja) * | 2016-03-30 | 2018-05-16 | ファナック株式会社 | ロボットシステム |
| JP6581050B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2019-09-25 | 川崎重工業株式会社 | ロボットの遠隔監視システム |
| JP6646894B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2020-02-14 | オムロン株式会社 | 保持可否結果出力装置 |
| EP3375576A1 (de) * | 2017-03-17 | 2018-09-19 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur zustandskontrolle von vakuumsaugern einer greifvorrichtung |
| DE102017110998A1 (de) * | 2017-05-19 | 2018-11-22 | Homag Plattenaufteiltechnik Gmbh | Handhabungseinrichtung zum Handhaben von zumindest abschnittsweise ebenen Gütern, Verfahren zum Betreiben einer derartigen Handhabungseinrichtung |
| MX2020010251A (es) * | 2018-03-28 | 2020-11-24 | Transitions Optical Ltd | Estacion de diagnostico para linea de produccion. |
| DE102018110741A1 (de) * | 2018-05-04 | 2019-11-07 | J. Schmalz Gmbh | Unterdruckhandhabungsvorrichtung |
| JP7173148B2 (ja) * | 2018-08-06 | 2022-11-16 | 株式会社島津製作所 | クロマトグラフ用の試料容器搬送装置 |
| JP2022508625A (ja) * | 2018-10-08 | 2022-01-19 | アドヴァンスド ファーム テクノロジーズ インコーポレイテッド | 自律的作物収穫機 |
| DE102019112867A1 (de) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | Homag Automation Gmbh | Robotergreifer, Industrieroboter, Handhabungssystem und Verfahren zur Entnahme plattenförmiger Werkstücke von einem Stapel |
| KR20200142622A (ko) * | 2019-06-12 | 2020-12-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
| WO2021126879A1 (en) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | AMP Robotics Corporation | A suction gripper cluster device for material sorting and other applications |
| DE102019134764A1 (de) * | 2019-12-17 | 2021-06-17 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Prüfvorrichtung sowie Verfahren zur Zustandskontrolle von Vakuumsaugern einer Greifeinrichtung |
| US11850756B2 (en) * | 2020-06-30 | 2023-12-26 | WaferPath, Inc. | Robot monitoring and error detection system |
| US11712809B2 (en) * | 2020-06-30 | 2023-08-01 | WaferPath, Inc. | Robot vacuum control and monitoring system |
| US11795012B1 (en) * | 2020-11-06 | 2023-10-24 | Aaron Thomas Bacon | Multi-gripper system |
| US20230025083A1 (en) * | 2021-07-26 | 2023-01-26 | Material Handling Systems, Inc. | Vacuum cup damage detection system |
| DE102022100986B3 (de) * | 2022-01-17 | 2023-02-09 | J. Schmalz Gmbh | Sauggreifereinrichtung mit Verschleißdetektionseinrichtung |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214988A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-24 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツトのハンド装置 |
| JPS62102985A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-13 | 日立金属株式会社 | ロボツトの把持装置 |
| JPH0487788A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Morinaga Milk Ind Co Ltd | ロボットハンド |
| JPH0547898A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Hitachi Ltd | 部品吸着搬送装置とその運転方法 |
| JPH10256345A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送方法 |
| JP2000159472A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Murata Mach Ltd | 板材搬送システム |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0104871B1 (en) * | 1982-09-21 | 1987-07-08 | Fujitsu Limited | Supporting device |
| JPH09285986A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Ricoh Co Ltd | エンドエフェクタ |
| JP3619032B2 (ja) | 1998-11-13 | 2005-02-09 | シーケーディ株式会社 | 真空圧力制御弁 |
| JP2002263981A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-17 | Murata Mach Ltd | 板材吸着持ち上げ装置の吸着制御装置 |
| US20050137751A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Cox Damon K. | Auto-diagnostic method and apparatus |
| US7036794B2 (en) | 2004-08-13 | 2006-05-02 | Vat Holding Ag | Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers |
| KR101323918B1 (ko) * | 2005-09-27 | 2013-10-31 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 다관절 머니퓰레이터 |
| JP5004612B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2012-08-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2008
- 2008-09-30 KR KR1020117007383A patent/KR101302250B1/ko active IP Right Grant
- 2008-09-30 CN CN2008801313400A patent/CN102171007B/zh active Active
- 2008-09-30 JP JP2011528500A patent/JP5010050B2/ja active Active
- 2008-09-30 WO PCT/JP2008/068126 patent/WO2010038315A1/en active Application Filing
- 2008-09-30 US US13/062,426 patent/US8855818B2/en active Active
- 2008-09-30 EP EP08811412.9A patent/EP2334474B1/en active Active
-
2009
- 2009-09-28 TW TW098132717A patent/TWI401145B/zh active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214988A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-24 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツトのハンド装置 |
| JPS62102985A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-13 | 日立金属株式会社 | ロボツトの把持装置 |
| JPH0487788A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Morinaga Milk Ind Co Ltd | ロボットハンド |
| JPH0547898A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Hitachi Ltd | 部品吸着搬送装置とその運転方法 |
| JPH10256345A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送方法 |
| JP2000159472A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Murata Mach Ltd | 板材搬送システム |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016064448A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-28 | ファナック株式会社 | 非常停止時のロボットに関する不具合を防止するロボット制御装置 |
| US9782898B2 (en) | 2014-09-22 | 2017-10-10 | Fanuc Corporation | Robot controller for avoiding problem regarding robot at the time of emergency stop |
| JP2016197096A (ja) * | 2015-04-02 | 2016-11-24 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 軌条（ｔｒａｃｋ）に取り付けられた吸引カップの試験のための装置及び方法 |
| WO2021079738A1 (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-29 | オムロン株式会社 | 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム |
| JP2021065993A (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-30 | オムロン株式会社 | 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム |
| JP7342614B2 (ja) | 2019-10-25 | 2023-09-12 | オムロン株式会社 | 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム |
| JP7422331B2 (ja) | 2020-04-27 | 2024-01-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品搭載装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2334474B1 (en) | 2014-06-18 |
| TWI401145B (zh) | 2013-07-11 |
| EP2334474A4 (en) | 2013-04-24 |
| US8855818B2 (en) | 2014-10-07 |
| TW201028268A (en) | 2010-08-01 |
| CN102171007A (zh) | 2011-08-31 |
| CN102171007B (zh) | 2013-12-04 |
| KR20110052726A (ko) | 2011-05-18 |
| EP2334474A1 (en) | 2011-06-22 |
| KR101302250B1 (ko) | 2013-09-02 |
| WO2010038315A1 (en) | 2010-04-08 |
| US20110166704A1 (en) | 2011-07-07 |
| JP5010050B2 (ja) | 2012-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5010050B2 (ja) | ロボットの監視装置 | |
| JP2007109748A (ja) | 配線基板の搬送方法および搬送装置 | |
| JP2009170644A (ja) | 分離装置及び基板の検査装置 | |
| JP2017037910A (ja) | 半導体ウエハの搬送方法および半導体ウエハの搬送装置 | |
| KR20150079821A (ko) | 반송 장치, 부품 실장 장치 및 파지구 | |
| TW201408384A (zh) | 用於傳送電子器件的傳送裝置 | |
| JP2009166955A (ja) | 分離装置及び基板の検査装置 | |
| CN111604274B (zh) | 摄像头保护玻璃模块检测系统 | |
| WO2014109196A1 (ja) | プローブ装置及びウエハ搬送システム | |
| CN101211808A (zh) | 用在搬送机中的捡拾器和使该捡拾器放置封装芯片的方法 | |
| JP2013102246A (ja) | 基板コンベヤ | |
| CN102514933A (zh) | 一种金属基板自动收放板系统 | |
| KR20190014392A (ko) | 칩 이젝팅 장치 및 이를 포함하는 칩 본딩 설비 | |
| WO2006064925A1 (ja) | 板材収納方法および装置 | |
| KR101791933B1 (ko) | 방수커넥터 누설 검사 장치 | |
| JP2009115663A (ja) | 搬送装置、ハンドラおよび試験装置 | |
| JP2016132567A (ja) | 印刷システム、印刷装置、カード搬送装置、及び印刷方法 | |
| KR101258404B1 (ko) | 글라스 디스크 반송장치 | |
| CN216208149U (zh) | 一种全自动混凝土抗压强度检测装置 | |
| JP5457016B2 (ja) | 基板支持装置 | |
| JP3578567B2 (ja) | 遊技機製造用搬送ライン切替装置 | |
| JP5178050B2 (ja) | ワーク搬送方法及びワーク搬送装置。 | |
| JP2000176889A (ja) | 電子部品の切断搬送装置 | |
| KR20240058005A (ko) | 박리 장치, 박리 시스템 및 박리 방법 | |
| JP2014009040A (ja) | 基板供給方法および基板供給装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120518 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120531 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5010050 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |