KR101301326B1 - 정반 유니트 - Google Patents

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KR101301326B1
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surface plate
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KR1020130045911A
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다모츠 가네코
야스타카 다지마
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 간단하고 또한 염가로 제작할 수 있는 구성으로, 세라믹제의 정반에 대해, 가열 처리하는 유리기판을 금속제의 위치 결정 핀으로 위치 결정하는 것이 가능한 정반 유니트를 제공한다.
[해결수단] 가열 처리하는 유리기판(2)이 그 위에 재치되는 세라믹제의 정반(3)과, 정반에 유리기판을 위치 결정하는 위치에 배열하여, 상하방향으로 관통 형성한 복수의 루즈 홀(4)과, 이들 루즈 홀 내에 헐렁하게 삽입되는 복수의 금속제의 위치 결정 핀(5)과, 정반상에서 위치 결정 핀끼리를 연결하여, 루즈 홀로부터 정반상으로의 위치 결정 핀의 돌출 상태를 유지하는 연결부재(6)를 구비했다.

Description

정반 유니트 {SURFACE PLATE UNIT}
본 발명은 간단하고 또한 염가로 제작할 수 있는 구성으로, 세라믹제의 정반(定盤, surface plate)에 대해, 가열 처리하는 유리기판을 금속제의 위치 결정 핀으로 위치 결정하는 것이 가능한 정반 유니트에 관한 것이다.
종래, 박판(薄板) 모양의 워크(work)에 처리를 시행할 때에, 워크를 위치 유지하는 기술로서, 예를 들면 특허문헌 1 ~ 3이 알려져 있다. 특허문헌 1의 「워크의 승강장치」는 박판 형상의 워크를 흡착 유지하여 워크에 소정의 처리를 시행하는 플레이트에 대해서, 워크를 승강시키기 위한 워크의 승강장치로서, 워크를 승강시키기 위한 승강 핀과, 승강 핀을 승강 구동하기 위한 실린더를 구비하고, 승강 핀의 워크를 밀어 올리는 힘을 워크의 무게의 10배 이하로 설정하고 있다.
특허문헌 2의 「기판 홀더」는 투명한 직사각형 모양의 유리기판의 주연부(周緣部)를 재치(載置)하여 투과 조명용의 개구를 형성한 기판지지부재와, 상기 기판지지부재에 상기 개구를 둘러싸도록 마련되어 상기 유리기판의 위치 결정을 행하는 맞닿음 핀 및 가압 핀과, 상기 개구를 횡단하도록 복수 배치되고, 상기 기판지지부재에 재치된 상기 유리기판의 이면을 지지하는 지지 핀을 돌출하여 마련한 가늘고 긴 지지판과, 상기 기판지지부재에 마련되고, 상기 지지판을 상승시켜 상기 지지 핀을 상기 유리기판의 이면에 맞닿게 하여 상기 유리기판을 지지함과 아울러 상기 지지판을 하강시켜 상기 지지 핀을 상기 유리기판의 이면으로부터 이간시켜 상기 유리기판에 대한 지지를 해제하는 승강장치를 구비하고 있으며, 상기 승강장치는 상기 유리기판이 상기 기판지지부재에 위치 결정된 후에 상기 지지판을 상승시켜 상기 지지 핀에 의해 상기 유리기판을 지지하도록 되어 있다.
특허문헌 3의 「세터 글라스(SETTER GLASS), 위치 결정 핀 및 플라스마 디스플레이 패널의 제조방법」에서는, 세터 글라스는 유리기판의 열처리를 위해서, 유리기판을 재치한 상태로 열처리로 내에서 반송되는 세터 글라스로서, 유리기판이 재치되는 기판재치영역의 외주의 복수 개소에, 위치 결정 핀이 장착되는 핀 장착부가 형성되어 있다.
특허문헌 1은 워크를 플레이트에 흡착 유지하는 장치를 구비하고 있다. 특허문헌 2는 유리기판을 기판 홀더에 흡착 유지하고, 가압 핀과 맞닿음 핀으로 끼워 지지하는 장치를 구비하고 있다. 특허문헌 3에서는 박판 모양의 유리기판을 열처리할 때에, 유리기판을 내열성이 뛰어난 세라믹제의 세터(트레이)에 재치하고, 반송중에 세터상의 유리기판이 이동하지 않도록 세터에 위치 결정 핀을 마련하고 있다. 위치 결정 핀은 세터에 끼워맞춤되거나 나사로 나사 맞춤되어 있다.
[특허문헌 1] 일본국 특개2002-313893호 공보 [특허문헌 2] 일본국 특허 제3636235호 명세서 [특허문헌 3] 일본국 특개2005-174669호 공보
액정 등의 표시패널이나 터치패널은 해마다 박형으로 되어 있고, 그 기재(基材)가 되는 유리기판도 얇아져, 제조시의 취급이 어려워지고 있다. 그 유리기판에 가공을 행할 때는, 높은 정밀도가 요구되기 때문에, 유리기판을 가열 처리할 때에는, 정반에 위치 결정한 상태로 반송하는 것이 바람직하다.
이 때, 정반 유니트로서, 정반 및 위치 결정 핀에 내열성이 뛰어난 세라믹을 이용하면 비용이 상승한다. 또, 염가의 금속제의 위치 결정 핀을 세라믹제의 정반에 끼워맞춤하거나 나사로 나사 맞춤하면, 세라믹과 금속과의 열팽창율의 차이로부터, 세라믹제의 정반을 파손할 우려가 있다. 이 때문에, 가열 처리하는 유리기판을 위치 결정하여 유지하는 염가의 정반 유니트가 요구되고 있다.
본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 간단하고 또한 염가로 제작할 수 있는 구성으로, 세라믹제의 정반에 대해, 가열 처리하는 유리기판을 금속제의 위치 결정 핀으로 위치 결정하는 것이 가능한 정반 유니트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 정반 유니트는, 가열 처리하는 유리기판이 그 위에 재치되는 세라믹제의 정반과, 이 정반에 유리기판을 위치 결정하는 위치에 배열하여, 상하방향으로 관통 형성한 복수의 루즈 홀(loose hole)과, 이들 루즈 홀 내에 헐렁하게 삽입되는 복수의 금속제의 위치 결정 핀과, 상기 정반상에서 상기 위치 결정 핀끼리를 연결하여, 상기 루즈 홀로부터 이 정반상으로의 이 위치 결정 핀의 돌출 상태를 유지하는 연결부재를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 연결부재는 유리기판의 우각부(隅角部)를 위치 결정하기 위해서 당해 우각부를 사이에 두고 배열되는 상기 위치 결정 핀끼리를 이 우각부를 피해 연결하는 것을 특징으로 한다.
상기 연결부재는, 상기 위치 결정 핀에 대해, 이 위치 결정 핀에 의해서 유리기판으로부터 차단되는 위치에서 걸리는 걸기부를 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 위치 결정 핀에는 상기 연결부재가 헐렁하게 관통하는 가로방향 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 연결부재의 상기 걸기부는 상기 가로방향 관통구멍으로부터 상기 위치 결정 핀의 부근을 따라서 굽어 돌아간 만곡부로 형성되고, 이 만곡부는, 이것이 유리기판에 간섭하는 것을 규제하기 위해서, 상기 연결부재가 상기 가로방향 관통구멍 내에서 회전하는 것에 따라서 상기 위치 결정 핀에 맞닿아지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 정반 유니트에서는, 간단하고 또한 염가로 제조할 수 있는 구성으로, 세라믹제의 정반에 대해, 가열 처리하는 유리기판을 금속제의 위치 결정 핀으로 위치 결정할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 정반 유니트의 제1 실시형태의 구성을 설명하는 설명도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 정반 유니트에 적용되는 위치 결정 핀의 사시도이다.
도 3은 도 1의 정반 유니트로서, 유리기판의 우각부를 위치 결정하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 관한 정반 유니트의 제2 실시형태의 구성을 설명하는 설명도이다.
도 5는 도 4에 나타낸 정반 유니트로서 위치 결정 핀에 연결부재를 관통시킨 상태를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 5에 나타낸 연결부재의 걸기부를 설명하는 설명도이다.
도 7은 상정되는 문제점을 설명하는 설명도이다.
이하에, 본 발명에 관한 정반 유니트의 바람직한 실시형태를, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1에는 제1 실시형태의 정반 유니트(1)가 나타내어져 있다. 본 실시형태에 관한 정반 유니트(1)는, 예를 들면, 휴대용 통신기기에 이용되는, 두께가 대체로 1㎜ 이하의 박판 모양의 유리기판(2)을 가열 처리할 때에, 유리기판(2)을 정반(3)상에 위치 결정하여 가열로 내에 반송할 때에 이용된다. 본 실시형태에서는, 장방형(長方形) 모양의 유리기판(2)이 재치되는 정반 유니트(1)를 예로 들어 설명한다.
정반 유니트(1)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 가열 처리하는 유리기판(2)이 그 위에 재치되는 세라믹제의 정반(3)과, 이 정반(3)에 유리기판(2)을 위치 결정하는 위치에 배열하여, 상하방향으로 관통 형성한 복수의 루즈 홀(4)과, 이들 복수의 루즈 홀(4) 각각의 내측에 헐렁하게 삽입되는 복수의 금속제의 위치 결정 핀(5)과, 정반(3)상에서 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하여, 루즈 홀(4)에 삽입된 위치 결정 핀(5)이 루즈 홀(4)로부터 정반(3)상에 돌출한 상태로 유지하는 연결부재(6)를 구비하고 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 세라믹제의 정반(3)은 재치되는 유리기판(2)보다도 큰 면적을 가진다. 정반(3)에는 유리기판(2)이 위치 결정되어 재치되는 재치영역(R)을 둘러싸도록, 유리기판(2)을 위치 결정하는 위치에 8개의 루즈 홀(4)이 배열된다. 8개의 루즈 홀(4)은 유리기판(2)이 가지는 4개의 우각부(2a)를 위치 결정하기 위해서, 당해 4개의 우각부(2a)를 사이에 두는 위치에 2개씩 마련되어 있다.
도 2에는 정반 유니트(1)를 구성하는 위치 결정 핀(5)이 나타내어져 있다. 위치 결정 핀(5)의 상부는 원추대(圓錐臺) 모양으로 형성된다. 위치 결정 핀(5)의 하부는 상부의 원추대의 저면과 같은 직경의 원기둥 모양으로 형성된다. 이하에서는, 원추대 모양을 이루는 부위를 핀 상부(5a)로 하고, 원기둥 모양을 이루는 부위를 핀 하부(5b)로 칭하여 설명한다.
핀 상부(5a)는 그 하단의 직경이 정반(3)에 마련된 루즈 홀(4)의 직경보다도 작게 형성된다. 핀 상부(5a)는 하단에서 상단을 향하여 수평 단면의 직경이 작아지도록 형성된다. 이 때문에, 위치 결정 핀(5)은 핀 상부(5a)의 하단의 직경 및 핀 하부(5b)의 직경이 최대 외경으로 되며, 이 최대 외경은 루즈 홀(4)의 직경보다 작게 설정된다.
위치 결정 핀(5)에는 핀 하부(5b)에 위치시켜 당해 위치 결정 핀(5)의 직경 방향을 따라서 관통하여, 가로방향 관통구멍(7)이 형성된다. 가로방향 관통구멍(7) 내에는 연결부재(6)가 삽입 통과된다. 가로방향 관통구멍(7)의 직경은 위치 결정 핀(5)의 최대 외경보다 충분히 작게 형성된다.
제1 실시형태에 관한 정반 유니트(1)는, 가열 처리에 이용되기 때문에, 루즈 홀(4)이 형성되어 있는 세라믹제의 정반(3)과, 루즈 홀(4)에 삽입되는 금속제의 위치 결정 핀(5)과의 열팽창율의 차이를 고려하여, 가열 처리에 의해 열팽창한 위치 결정 핀(5)이 정반(3)에 손상을 주지 않도록, 루즈 홀(4)의 내경은 위치 결정 핀(5)의 외경보다도 충분히 크게 형성된다. 이 때문에, 위치 결정 핀(5)을 간단히 루즈 홀(4)에 삽입하면, 루즈 홀(4)로부터 정반(3)상으로의 위치 결정 핀(5)의 돌출 상태를 유지할 수 없다. 그래서, 본 실시형태에 관한 정반 유니트(1)에서는, 정반(3)상에서 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하는 연결부재(6)를 구비하고 있다.
연결부재(6)는, 예를 들면, 위치 결정 핀(5)에 마련된 가로방향 관통구멍(7)의 직경보다도 충분히 작은 직경으로 형성된 금속제의 선재(線材)이다. 따라서, 연결부재(6)는 가로방향 관통구멍(7) 내에 헐렁하게 관통된다.
도 3에는 유리기판(2)의 우각부(2a)를 위치 결정하고 있는 상태가 나타내어져 있다. 연결부재(6)는 정반(3)에 마련한 8개의 루즈 홀(4) 가운데, 유리기판(2)의 각 우각부(2a)를 위치 결정하기 위해서 당해 우각부(2a)를 사이에 두고 배열되어 있는 2개의 루즈 홀(4)에 삽입되는 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)에 관통되며, 우각부(2a)를 피해 이들 2개의 위치 결정 핀(5)끼리를 연결한다.
즉, 연결부재(6)는 우각부(2a)를 형성하는 유리기판(2)의 두 변(2b, 2c)과 맞닿아지도록 우각부(2a)를 사이에 두고 배열되는 2개의 위치 결정 핀(5)을 우각부(2a)를 피해 연결한다. 이 때문에, 연결부재(6)의 길이는 거의 직각으로 절곡한 다음, 각 위치 결정 핀(5)으로부터 돌출하는 길이로 설정된다. 이 절곡부(6a)의 형성에 의해, 위치 결정 핀(5)으로부터의 연결부재(6)의 빠짐도 방지된다.
정반 유니트(1)에 유리기판(2)을 재치할 때에는, 8개의 위치 결정 핀(5)을 이용하여 우선, 연결부재(6)로 위치 결정 핀(5)을 2개씩 연결한다. 이 때, 각 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)으로부터 연결부재(6)의 단부를 돌출시키도록 한다. 또, 우각부(2a)를 피하도록, 연결부재(6)를 절곡부(6a)에 의해, 예를 들면 거의 직각으로 절곡해 둔다.
다음에, 정반(3)에 마련한 8개의 루즈 홀(4) 가운데, 유리기판(2)의 각 우각부(2a)를 사이에 두는 위치 관계의 2개씩의 루즈 홀(4)에 맞추어, 연결부재(6)로 연결한 2개의 위치 결정 핀(5)의 간격을 조정한다. 다음에, 2개의 루즈 홀(4)에 각각, 위치 결정 핀(5)을 삽입한다. 이 때, 위치 결정 핀(5) 사이의 연결부재(6)가 정반(3)상에 재치됨으로써, 루즈 홀(4)로부터 정반(3)상으로의 위치 결정 핀(5)의 돌출 상태가 유지된다.
그 후, 정반(3) 위쪽으로부터 유리기판(2)을 반입하여, 재치영역(R)에 재치한다. 이 때, 각 위치 결정 핀(5)의 핀 상부(5a)가 원추대 형상으로 형성되어 있으므로, 유리기판(2)을 핀 상부(5a)의 경사를 이용하여, 재치영역(R)에 용이하고 또한 원활하게 위치 결정하여 배치할 수 있다.
제1 실시형태에 관한 정반 유니트(1)에 의하면, 정반(3)에 유리기판(2)을 위치 결정하는 위치 결정 핀(5)은 2개의 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)에 연결부재(6)가 삽입 통과됨으로써 연결되며, 정반(3)에 마련된 루즈 홀(4)에 삽입되어 루즈 홀(4)로부터 정반(3)상으로의 돌출 상태가 유지된다.
이것에 의해, 위치 결정 핀(5) 자신에게 스톱퍼 등을 마련하지 않고, 위치 결정 핀(5)을 정반(3)상으로 돌출시킨 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 정반(3)에는 루즈 홀(4)을 마련할 뿐이므로, 정반(3)에 대한 복잡한 가공을 필요로 하지 않는다. 위치 결정 핀(5) 및 연결부재(6)는 단순한 형상이므로 용이하게 가공할 수 있다.
위치 결정 핀(5)은 루즈 홀(4)에 헐렁하게 삽입하는 것만으로서 압입(壓入) 등 하지 않으므로, 루즈 홀(4)과 위치 결정 핀(5)과의 사이에 융통성이 있는 틈새를 마련할 수 있다. 이것에 의해, 가열 처리에 이용하는 정반 유니트(1)에 있어서, 위치 결정 핀(5)과 정반(3)과의 열팽창율이 달라도 악영향이 없고, 위치 결정 핀(5)을 고가의 세라믹으로 형성할 필요가 없다. 따라서, 재료 비용 및 가공 비용을 억제하여, 정반 유니트(1)를 염가로 제작할 수 있다.
연결부재(6)를 2개의 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)에 관통시켜 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하므로, 위치 결정 핀(5)을 루즈 홀(4)에 삽입한 상태에서는, 연결부재(6)가 위치 결정 핀(5)으로부터 빠지지 않는다. 이와 같이 연결부재(6)를 가로방향 관통구멍(7)에 관통시키는 것만으로, 위치 결정 핀(5)끼리를 연결할 수 있으므로, 뛰어난 작업성 및 생산성을 확보할 수 있다.
여기서, 유리기판(2)의 각 우각부(2a)를 사이에 두고 배치되는 2개의 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하는 연결부재(6)는 반드시 거의 직각으로 굽혀지지 않아도 되고, 적어도 우각부(2a)를 피해 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)을 관통하여, 2개의 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하면 된다.
연결부재(6)를 이용하지 않고 열팽창율이 다른 위치 결정 핀(5)을 정반(3)에 유지하는 경우에는, 위치 결정 핀(5)의 핀 상부(5a)의 하단의 직경을 핀 하부(5b)의 직경보다 크게 하는 등 하여, 루즈 홀(4)로부터 낙하하지 않도록 하는 방법도 있지만, 유리기판(2)은 얇고, 위치 결정 핀(5)은 가볍기 때문에, 정반 유니트(1)에 유리기판(2)을 재치하여 반송했을 때에, 그 진동에 의해 도 7의 A부와 같이, 핀 상부(5a)와 정반(3)과의 사이에 유리기판(2)이 기어들어 끼워 넣어져 버리는 것이 상정된다. 그렇다면, 유리기판(2)을 리프트 업할 때에, 유리기판(2)의 가장자리가 위치 결정 핀(5)에 걸려, 유리기판(2)을 파손할 우려가 있다.
이것에 대해, 본 실시형태에 관한 정반 유니트(1)는 정반(3)과 위치 결정 핀(5)이 상하로 겹쳐지는 부위가 전혀 존재하지 않으므로, 위치 결정 핀(5)이 유리기판(2)에 걸리는 등, 유리기판(2)을 파손하는 것을 방지할 수 있다.
정반(3)에 위치 결정 핀(5)을 장착할 때에는, 정반(3)의 위쪽으로부터 루즈 홀(4)에 위치 결정 핀(5)을 삽입할 뿐이므로, 정반(3)에 대해, 위쪽으로부터의 작업만으로 위치 결정 핀(5)을 세트할 수 있다. 즉, 위치 결정 핀(5)을 정반(3)의 하면 측으로부터 나사나 너트를 이용하여 고정하거나 하지 않으므로, 단시간에 간단하게 작업할 수 있다.
또, 정반(3)이 오손했을 때에는, 위치 결정 핀(5) 및 연결부재(6)를 용이하게 떼어내어 청소하거나, 이들 위치 결정 핀(5) 등을 교환할 수 있다. 이것에 의해, 뛰어난 작업성 및 메인터넌스성을 확보할 수 있으며, 염가로 하면서 제조 효율이 높은 정반 유니트(1)를 제작할 수 있다.
도 4에는 제2 실시형태에 관한 정반 유니트(1)가 나타내어져 있다. 상기 제1 실시형태에서는 유리기판(2)의 각 우각부(2a)를 사이에 두고 배열되는 위치 결정 핀(5)끼리를 연결하는 경우에 대해서 설명했지만, 제2 실시형태의 정반 유니트(1)에서는 유리기판(2)의 각 변을 따라서 배열된 위치 결정 핀(5)끼리를 연결함으로써, 루즈 홀(4)로부터 정반(3)상으로의 위치 결정 핀(5)의 돌출 상태를 유지하도록 되어 있다.
제2 실시형태에 관한 정반 유니트(1)를 구성하는 정반(3) 및 위치 결정 핀(5)은 제1 실시형태의 정반 유니트(1)와 동일하다. 제2 실시형태에서는, 연결부재(6)는 거의 직선 모양으로 형성되고, 그 상태로 위치 결정 핀(5)에 관통된다.
제2 실시형태에 이용되는 연결부재(6)도 제1 실시형태의 연결부재(6)와 마찬가지로, 위치 결정 핀(5)에 마련된 가로방향 관통구멍(7)의 직경보다 충분히 작은 직경으로 설정된 금속제의 선재이며, 헐렁하게 관통된다. 연결부재(6)의 길이는 정반(3)에 마련된 8개의 루즈 홀(4) 가운데, 위치 결정하는 유리기판(2)의 각 변을 따라서 배열되어 있는 각각 2개의 루즈 홀(4)에 삽입된 위치 결정 핀(5)을 관통하여 그들 단부가 돌출하도록 설정된다.
도 5는 연결부재(6)로 연결한 위치 결정 핀(5)을 정반(3)의 루즈 홀(4)에 삽입한 상태를 나타내고 있다. 정반 유니트(1)에 유리기판(2)을 재치하기 전에, 유리기판(2)을 위치 결정했을 때에 유리기판(2)의 각 변에 따르는 위치에 형성한 루즈 홀(4)에 삽입되는 위치 결정 핀(5)에 대해, 그들 가로방향 관통구멍(7)에 관통시켜 연결부재(6)를 마련하고, 연결부재(6)의 단부를 가로방향 관통구멍(7)으로부터 돌출시킨다(도 4 참조).
연결부재(6)는 거의 직선 모양을 이루고 있으므로, 2개의 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)으로부터 간단하게 빗나가 버릴 우려가 있다. 제2 실시형태에 관한 정반 유니트(1)에서는, 2개의 위치 결정 핀(5)을 관통한 연결부재(6)에 각 위치 결정 핀(5)에 걸리는 걸기부(6b)를 형성한다.
구체적으로는, 유리기판(2)의 각 변과 평행하게 늘어놓아 배열되는 각각 2씩의 루즈 홀(4)에 맞추어, 연결부재(6)가 관통된 2개의 위치 결정 핀(5)의 간격을 조정하고, 그 후, 위치 결정 핀(5)을 루즈 홀(4)에 삽입한다.
다음에, 2개의 위치 결정 핀(5)이 연결부재(6)로부터 빠지지 않도록, 도 5에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 핀(5)으로부터 돌출해 있는 연결부재(6)의 단부를 굽어 돌아가, 연결부재(6)에 위치 결정 핀(5)에 걸리는 걸기부(6b)를 형성한다. 즉, 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)으로부터 돌출하는 연결부재(6)의 단부를, 위치 결정 핀(5)의 부근을 따라서 굽어 돌아가 만곡시킨 만곡부가 걸기부(6b)로서 형성된다.
도 6에는 위치 결정 핀(5)을 관통하여 굽어 돌아간 연결부재(6)의 단부로 이루어지는 걸기부(6b)가 나타내어져 있으며, 도 6의 (a)에는 그 평면도가, 도 6의 (b)에는 그 종단면도가 나타내어져 있다. 연결부재(6)의 굽어 돌아간 걸기부(6b)는, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 핀(5)을 루즈 홀(4)에 삽입했을 때에, 위치 결정 핀(5)에 의해서 유리기판(2)으로부터 차단되는 위치, 즉 위치 결정 핀(5)에 대해, 유리기판(2)이 재치되는 재치영역(R)과 반대 측에 위치하도록, 양 걸기부(6b)도 위치 결정 핀(5)에 대해서 동일한 측으로 굽어 돌아간다.
또, 선재로 이루어지는 연결부재(6)에 있어서, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 걸기부(6b)의 내연과 위치 결정 핀(5)에 관통되어 있는 부위의 축심과의 거리(r)는 위치 결정 핀(5)이 정반(3)보다 위쪽으로 돌출하는 부위(대체로 핀 상부(5a))의 높이(h)보다 작아지도록 설정된다.
정반 유니트(1)를 반송할 때의 진동 등에 의해 연결부재(6)가 관통구멍(7) 내에서 회전해 버리는 것을 생각할 수 있지만, 이것에 의해, 연결부재(6)가 가로방향 관통구멍(7) 내에서 회전함에 따라서 걸기부(6b)가 위치 결정 핀(5)에 맞닿으므로, 연결부재(6)의 걸기부(6b)가 위치 결정 핀(5)을 넘어 재치영역(R) 측으로 이동하지 않고, 걸기부(6b)가 유리기판(2)과 간섭하는 것을 규제하여, 유리기판(2)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제2 실시형태에 관한 연결부재(6)는 걸기부(6b)가 위치 결정 핀(5)에 걸림으로써, 위치 결정 핀(5)으로부터의 빠짐이 방지되므로, 간단한 작업으로 안정되어 위치 결정 핀(5)의 돌출 상태를 유지할 수 있다.
특히, 제2 실시형태의 정반 유니트(1)는 연결부재(6)의 걸기부(6b)를 위치 결정 핀(5)의 부근을 따라서 굽어 돌아간 만곡부로 하고, 위치 결정 핀(5)에 의해 유리기판(2)으로부터 차단되는 위치에서 위치 결정 핀(5)에 걸리게 하며, 또한, 연결부재(6)가 가로방향 관통구멍(7) 내에서 회전해도 걸기부(6b)가 위치 결정 핀(5)에 맞닿아 유리기판(2) 측으로 이동하지 않게 함으로써, 걸기부(6b)가 유리기판(2)과 간섭하는 것을 규제하여, 정반 유니트(1)에 재치되는 유리기판(2)의 연결부재(6)에 의한 손상을 확실히 방지할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 유리기판(2)의 형상을 장방형 모양으로 했지만 이것에 한정하는 것은 아니다. 또, 상기 실시형태에서는, 위치 결정 핀(5)의 가로방향 관통구멍(7)을 핀 하부(5b)에 마련하는 경우에 대해서 설명했지만, 핀 상부(5a)에 마련하도록 해도 된다. 연결부재(6)는 선재뿐만 아니라, 대재(帶材) 등, 그 외 각 종의 형태를 채용할 수 있다.
연결부재(6)가 유리기판(2)의 우각부(2a)를 피한다는 것은, 접촉·간섭하지 않는 것을 말하며, 그 의미로 절곡에 한정하지 않고, 그 외의 모양이라도 되는 것은 물론이다. 걸기부(6b)에 대해서도 만곡부에 한정하지 않고, 갈고리 모양이나 그 외의 형태를 채용할 수 있는 것은 물론이다.
제2 실시형태로서도, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것은 물론이다. 또, 제1 실시형태의 연결부재(6)에 걸기부(6b)를 형성하도록 해도 되는 것은 물론이다.
1 정반 유니트 2 유리기판
2a 유리기판의 우각부 2b, 2c 유리기판의 변
3 정반 4 루즈 홀
5 위치 결정 핀 5a 핀 상부
5b 핀 하부 6 연결부재
6a 절곡부 6b 걸기부
7 가로방향 관통구멍 R 재치영역
h 위치 결정 핀이 정반보다 위쪽으로 돌출하는 부위의 높이
r 걸기부와 위치 결정 핀에 관통되어 있는 부위와의 거리

Claims (4)

  1. 가열 처리하는 유리기판이 그 위에 재치(載置)되는 세라믹제의 정반(定盤)과, 이 정반에 유리기판을 위치 결정하는 위치에 배열하여, 상하방향으로 관통 형성한 복수의 루즈 홀(loose hole)과, 이들 루즈 홀 내에 헐렁하게 삽입되는 복수의 금속제의 위치 결정 핀과, 상기 정반상에서 상기 위치 결정 핀끼리를 연결하여, 상기 루즈 홀로부터 이 정반상으로의 이 위치 결정 핀의 돌출 상태를 유지하는 연결부재를 구비한 것을 특징으로 하는 정반 유니트.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결부재는 유리기판의 우각부(隅角部)를 위치 결정하기 위해서 당해 우각부를 사이에 두고 배열되는 상기 위치 결정 핀끼리를, 이 우각부를 피해 연결하는 것을 특징으로 하는 정반 유니트.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 연결부재는, 상기 위치 결정 핀에 대해, 이 위치 결정 핀에 의해서 유리기판으로부터 차단되는 위치에서 걸리는 걸기부를 가지는 것을 특징으로 하는 정반 유니트.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 위치 결정 핀에는 상기 연결부재가 헐렁하게 관통하는 가로방향 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 연결부재의 상기 걸기부는 상기 가로방향 관통구멍으로부터 상기 위치 결정 핀의 부근을 따라서 굽어 돌아간 만곡부로 형성되며, 이 만곡부는 이것이 유리기판에 간섭하는 것을 규제하기 위해서, 상기 연결부재가 상기 가로방향 관통구멍 내에서 회전함에 따라서 상기 위치 결정 핀에 맞닿아지는 것을 특징으로 하는 정반 유니트.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105300111A (zh) * 2014-07-24 2016-02-03 中外炉工业株式会社 平台单元

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5724014B1 (ja) * 2014-04-22 2015-05-27 株式会社幸和 基板支持装置及び基板処理装置
CN109309041B (zh) * 2018-09-14 2020-12-11 惠科股份有限公司 基板处理装置及基板处理装置的调整方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01169798U (ko) * 1988-05-19 1989-11-30
JPH0614899U (ja) * 1991-01-31 1994-02-25 中小企業事業団 窯業製品のパレット
JP2005249372A (ja) 2004-02-02 2005-09-15 Pioneer Electronic Corp 焼成セッター、プラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0970953A (ja) * 1995-09-04 1997-03-18 Toshiba Electron Eng Corp 印刷装置
JP3636235B2 (ja) * 1996-01-08 2005-04-06 オリンパス株式会社 基板ホルダ
JP2003068620A (ja) * 2001-08-28 2003-03-07 Sendai Nikon:Kk 露光装置
JP2005174669A (ja) * 2003-12-09 2005-06-30 Pioneer Electronic Corp セッターガラス、位置決めピン及びプラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2005353811A (ja) * 2004-06-10 2005-12-22 Dainippon Printing Co Ltd 載置装置、載置台
CN2725934Y (zh) * 2004-07-07 2005-09-14 和鑫光电股份有限公司 玻璃基板载具

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01169798U (ko) * 1988-05-19 1989-11-30
JPH0614899U (ja) * 1991-01-31 1994-02-25 中小企業事業団 窯業製品のパレット
JP2005249372A (ja) 2004-02-02 2005-09-15 Pioneer Electronic Corp 焼成セッター、プラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105300111A (zh) * 2014-07-24 2016-02-03 中外炉工业株式会社 平台单元
CN105300111B (zh) * 2014-07-24 2018-09-25 中外炉工业株式会社 平台单元

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