KR101699903B1 - 워크 적재 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 워크 적재 장치(200)는, 복수의 지주, 및 지지부재를 포함한다. 복수의 지주는, 사각형의 판상체인 워크의 저면에 당접하는 복수의 지지부재를, 상하방향에 따라서 등간격으로 배치된 복수의 지지위치 각각에서 유지되는 것이며, 각각이 수평면 내에서 워크(W)보다 큰 사각형상의 영역(R)의 대향하는 1쌍의 변의 각각의 일단 및 타단에 각각 배치되는 2개의 제1 지주(21A, 21B) 및 2개의 제2 지주(22A, 22B)로 이루어진다. 지지부재는, 제1 지지부재(31A, 31B) 및 제 2 지지부재(32A, 32B)를 구비한다. 제1 지지부재(31A, 31B)는, 제 1 지주(21A, 21B)로부터, 평면시에서 2개의 제1 지주(21A, 21B)를 묶는 사각형상의 영역(R)의 변에 평행으로 돌설되는 봉상 부재이다. 제 2 지지부재(32A, 32B)는, 인접하는 제1 및 제2 지주(21A, 21B)에, 사각형상의 영역(R)의 내측, 한편으로, 평면시에서 인접하는 제1 및 제2 지주(21A, 21B)를 묶는 사각형상의 영역의 변에 평행하게 유지되는 단일 봉체로 이루어진다.

Description

워크 적재 장치{APPARATUS FOR STOCKING WORK}
본 발명은, 반도체 제조의 열처리 장치 등에 사용되어, 유리 기판 등의 사각형의 판상체의 워크를 소정의 간격을 두고 다단으로 적재하는 워크 적재 장치에 관한 것이다.
반도체 제조시에는, 사각형의 판상체인 유리 기판 등의 워크에 대한 열처리가 포함된다. 열처리의 작업 효율을 향상하기 위해서는, 열처리 장치 내에 여러 장의 워크를 수납하는 것이 고려되고, 여러 장의 워크를 소정의 간격을 두고 여러 단으로 적재하는 워크 적재장치가 사용되고 있다.
이러한 워크 적재 장치에서는, 통상 워크의 휨을 억제하기 위하여 수지(피크(PEEK)재 등) 핀으로 여러 점(点)으로 지지하지만, 고온(300℃ 이상)에서는 수지가 녹기 때문에 사용할 수 없다. 고온에서도 녹지 않는 SUS(스테인리스)나 석영 등의 핀으로 워크를 다점(多点) 지지하면, 워크 저면의 중앙 프로세스 패턴 영역에 상처가 생기는 문제가 있다. 그래서, 고온 처리의 경우는, 워크 외주부에서 워크 저면을 지지하는 것이 일반적이다.
예를 들면, 특허 문헌 1에 개시된 워크 적재 장치(100)는, 도 7과 같이, 전면(前面) 개방의 직방체형의 소성로(101)의 측벽 및 속벽 내면에, 소성로(101)의 중앙을 향해서 수평으로 돌출하는 복수의 지지 핀(103)을 가지는 선반(102)을 상하에 여러 단으로 설치하고, 모든 지지 핀(103)에 걸쳐 평면시에서 대략 ㄷ자형의 판상의 지지부재(104)를 가설하고, 이 지지부재(104) 위에 워크(W)를 재치하는 것이 개시되어 있다. 도 8에 나타나듯이, 워크(W)는, 그 외주부에서 지지부재(104)에 의해 수평으로 지지된다. 소성로(101)의 로(爐)내부 온도는 히터(105)에 의해 300~700℃가 되고, 고온의 소성로(101) 내에서 워크(W)가 열처리된다.
도 7, 도 8에 나타난 종래 워크 적재 장치(100)에 의하면, 워크(W)의 저면 및 지지부재(104)가 면접촉하고 있기 때문에, 안정하게 워크(W)를 지지하는 것이 가능하다. 하지만 다른 한편으로, 그 워크 적재 장치(100)에서는, 워크(W)와 지지부재(104)의 접촉면적이 큰 만큼, 워크(W)의 온도가 낮아지기 쉽고, 열처리에 긴 시간이 필요하다는 과제가 발생한다. 또한, 도 9, 도 10에 나타나듯이, 판상 지지판(104)을 대신하여, 평면시에서 대략 ㄷ자형의 봉형의 지지부재(204)를 사용한 워크 적재장치(200)로 하는 것도 가능하다. 이렇게 구성된 워크 적재장치(200)에서는, 워크(W)의 저면 및 지지부재(204)가 선접촉하고, 접촉면적이 적어지기 때문에, 워크(W)가 저온이 되는 문제가 없다.
봉형의 지지부재(204)는 필요한 길이로 자른 복수 개(이 도면의 예에서는 5개)의 단일 봉체(예를 들면 석영 파이프)를 동일 도면에 나타나는 형상에 평면상에서 나열하여, 봉체의 단부끼리를 용접하여 접합함으로써 제작된다. 따라서, 워크(W)가 대형화하면, 지지부재(204)도 큰 것이 필요하게 되지만, 지지부재(204)가 크게 되면, 지지면의 평면정도가 나오기 어렵거나, 용접 부분에 응력이 작용하여 지지부재(204)가 부러지기 쉬워지거나 하여, 워크 낙하의 위험이 있다. 또한, 지지부재(204)가 용접 공정을 거쳐서 제작되기 때문에 단가도 높아지는 문제가 있다.
특허문헌1: 일본특허공개공보 특개 2010-14397호 공보 (도 6, 도7 참조)
본 발명은, 저렴한 지지부재를 사용하여, 워크가 대형화하여도 지지부재와 워크의 접촉면적을 증가시키지 않고 워크의 외주부에서 워크의 저면을 확실하게 지지하는 것이 가능한 워크 적재 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 워크 적재 장치는, 복수의 지주(支柱), 및 지지부재를 포함한다. 복수의 지주는, 사각형의 판상체인 워크의 저면에 당접하는 복수의 지지부재를, 상하 방향에 따라서 등간격으로 배치된 복수의 지지위치의 각각에서 유지하는 것이고, 각각이 수평면 내에서 워크보다 큰 사각형상의 영역의 대향하는 1쌍의 변의 각각의 일단(一端) 및 타단(他端)에 각각 배치되는 2개의 제1 지주 및 2개의 제2 지주로 이루어진다. 지지부재는, 제1 및 제2 지지부재를 구비한다. 제1 지지부재는, 제1 지주로부터, 수평시에서 2개의 제1 지주를 묶는 사각형의 영역의 변에 수평으로 돌설(突設)된 봉상(棒狀) 부분이다. 제2 지지부재는, 인접하는 제1 및 제2 지주에, 사각형상의 영역 내측, 한편으로, 평면시에서 인접하는 제1 및 제2 지주를 묶는 사각형상 영역의 변에 수평으로 유지되는 단일 봉체(棒體)로 이루어진다.
이 구성에 의하면, 복수의 지지 위치 각각에 있어서, 워크 저면은, 그 대향하는 1쌍의 변에 따라 단일 봉체의 제2 지지부재에 의해 약 전장(全長)에 걸쳐서 연속적으로 지지됨과 동시에, 또 다른 1쌍의 변의 일방에 따라 봉상의 제1 지지부재에 의해 지지된다. 즉, 복수의 지지위치 각각에 있어서, 워크는, 그 저면의 3개 변에 따라 제1 및 제2의 지지부재의 상단이 선접촉하는 형태로 안정적으로 지지된다.
또한, 본 발명의 워크 적재 장치에 있어서는, 복수의 지지부재가, 제 3의 지지부재를 더 구비한다. 제 3 지지부재는, 2개의 제 2 지주에, 2개의 제2 지주를 묶는 상기 사각형상의 영역의 변에 평행하게 유지되는 단일 봉체로 이루어진다.
이 구성에 의하면, 복수의 지지위치 각각에 있어서, 워크는, 그 저면의 4개의 변(모든 변)을 따라서 제1, 제2 및 제3의 지지부재의 상단이 선접촉으로 당접하는 형태로서 보다 안정적으로 지지된다.
또한, 본 발명의 워크 적재 장치에 있어서는, 제 1 및 제2 지주의 복수의 지지위치에는, 사각형상의 영역 내에 수평방향으로 연출하는 복수의 수용구가 설치되어 있다. 그리고, 인접하는 제1 및 제2 지주의 복수의 수용구 각각의 사이에 제2 지지부재가 횡으로 걸쳐진다. 이 구성에 의하면, 제2 지지부재가 수용구에 자유롭게 착탈 가능하게 유지된다.
이 경우, 제1 및 제2 지주의 복수의 수용구 각각에, 제2 지지부재가 감입되는 凹부를 설치한다면, 제2 지지부재의 착탈이 간편하게 되어 바람직하다.
또는, 본 발명의 워크 적재 장치에 있어서는, 제1 및 제2 지주의 복수의 지지위치에는, 사각형상의 영역 내에 수평방향으로 연출하는 복수의 수용구가 설치된다. 그리고, 인접하는 제1 및 제2 지주의 복수의 수용구 각각의 사이에 제2 지지부재가 횡으로 걸쳐지고, 2개의 제2 지주의 복수의 수용구 각각의 사이에 제3 지지부재가 횡으로 걸쳐진다. 이 구성에 의하면, 제2 및 제3 지지부재가 수용구에 자유롭게 착탈 가능하게 유지된다.
이 경우, 제1 및 제2 지주의 복수의 수용구 각각에, 제2 지지부재가 감입되는 凹부를 설치함과 동시에, 제2 지주의 복수의 수용구 각각에, 제3 지지부재가 감입되는 凹부를 설치한다면, 제2 및 제3 지지부재의 착탈이 간편하게 되어 바람직하다.
본 발명에 의하면, 저렴한 지지부재를 사용하여, 워크가 대형화 하여도 지지부재와 워크의 접촉면적을 증가시키는 일 없이 워크의 외주부에서 워크의 저면을 확실하게 지지할 수 있는 워크 적재 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시태양에 따른 워크 적재 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 워크 적재 장치에서의 지지 위치의 평단면도이다.
도 3은 도 1의 워크 적재 장치에서의 지지 위치의 측단면도이다.
도 4는 도 1의 워크 적재 장치에서의 지지 위치의 일부의 사시도이다.
도 5는 도 1의 워크 적재 장치에서의 지지 위치의 다른 일부의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 태양에 따른 워크 적재 장치에서의 지지 위치의 평단면도이다.
도 7은 종래의 워크 적재 장치의 일 예에서의 지지 위치의 평단면도이다.
도 8은 도 7의 종래의 워크 적재 장치에서의 워크가 지지되는 평단면도이다.
도 9는 종래의 워크 적재 장치의 또 다른 예에서의 지지 위치에 워크가 지지되는 평단면도이다.
도 10은 도 9의 종래 워크 적재 장치에 사용되는 지지부재를 나타내는 사시도이다.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 태양에 따라 워크 적재 장치(10)에 관하여 설명한다.
도 1에서 나타나듯이, 워크 적재 장치(10)는, 예를 들면, 도면에 나타나지 않은 가열장치 내에 배치되어, 액정 패널 등의 재료가 되는 유리 기판 등의 박(薄)판상의 워크(W)를 소정의 간격을 두고 여러 단으로 적재한다.
워크 적재 장치(10)는, 2개의 제1 지주(21A, 21B), 2개의 제2 지주(22A, 22B), 2개의 제1 지주부재(31A, 31B), 2개의 제2 지주부재(32A, 32B), 제3 지지부재(33), 틀부재(51)를 구비한다. 제1 및 제2 지주(21A, 21B)의 길이방향인 수직방향에 따라서, 복수의 지지위치를 구비하고 있다. 복수의 지지위치 각각에는, 2개의 제1 지지부재(31A, 31B), 2개의 제2 지지부재(32A, 32B), 제3 지지부재(33)가 설치되어 있다.
도 2에서 나타나듯이, 제 1, 제2 지주(21A, 22A 및 21B, 22B)는, 각각이 수평면 내에서 워크(W)보다 큰 사각형상의 영역(R)의 대향하는 1쌍의 변의 각각의 일단 및 타단에 각각 배치된다.
제1 지지부재(31A, 31B)는 봉상(棒狀)으로서, 각각 제1 지주(21A, 21B)로부터, 평면시에서 2개의 제1 지주(21A, 21B)를 묶는 사각형상의 영역(R)의 변에 평행으로 돌설(突設)된다. 본 실시예에서는, 제1 지지부재(31A, 31B)는 제1 지주(21A, 21B)와 일체로 형성되어 있지만, 다른 부재로서 나사 등의 고정수단을 사용하여 제1 지주(21A, 21B)에 고정하도록 하여도 좋다.
제 2 지지부재(32A, 32B) 및 제3 지지부재(33)는, 예를 들어 석영을 재료로하여 제작되는, 단일 봉체(俸體)이다. 본 실시예에서는, 제2 지지부재(32A, 32B) 및 제3 지지부재(33)는 단면이 원형인 원봉이지만, 봉체라면, 그 단면 형상은 타원, 삼각형, 사각형 등의 임의의 형상을 채용하는 것이 가능하다.
일방의 제2 지지부재(32A)는, 인접하는 제1 및 제2 지주(21A, 22A)에, 사각형상의 영역(R)의 내측, 한편으로는, 평면시에서 인접하는 제1 및 제2 지주(21A, 22A)를 묶는 사각형상의 영역(R)의 변에 평행하게 유지된다.
타방의 제2 지지부재(32B)는, 인접하는 제1 및 제2 지주(21B, 22B)에, 사각형상의 영역(R)의 내측, 한편으로는, 평면시에서 인접하는 제1 및 제2 지주(21B, 22B)를 묶는 사각형상의 영역(R)의 변에 평행하게 유지된다.
제3 지지부재(33)는, 2개의 제2 지주(22A, 22B)에, 2개의 제2 지주(22A, 22B)를 묶는 사각형상의 영역(R)의 변에 평행하게 유지된다.
또한, 본 발명에 있어서 제3 지지부재(33)는 필수 구성이 아니다. 즉, 제1 및 제2 지지부재 만으로 워크(W)를 안정적으로 지지할 수 있는 경우에는, 제3 지지부재(33)는 없어도 좋다.
도 2 및 도 4에 나타나듯이, 제1 지주(21A, 21B)는, 각 지지위치에 수용구(41)를 사각형상의 영역(R) 내로 수평방향으로 연출시켜서 구비하고 있다. 수용구(41)는, 상면이 개방한 凹부(411)를 구비하고 있다. 凹부(411)에는, 제2 지지부재(32A, 32B)의 일단이 감입된다. 본 실시예에서는, 도 4에 나타나듯이, 수용구(41)가 제1 지주(21A, 21B)와 일체로 형성되어 있지만, 다른 부재로서 제작해 두어, 나사 등의 고정 수단을 사용하여 제1 지주(21A, 21B)에 고정하도록 하여도 좋다.
또한, 본 실시예에서는, 도 4에 나타나듯이, 제1 지지부재(31A, 31B)의 근본 부분을 수용구(41)와 일체로 형성하고, 양자의 상면을 하나의 면(面一)으로 형성하고 있다. 그리고, 凹부(411)의 깊이는 제2 지지부재(32A, 32B)의 외경과 거의 동일한 치수로 설정되어 있어, 凹부(411)에 감입한 제2 지지부재(32A, 32B)의 상단은 수용구(41)의 상면과 하나의 면으로 된다. 이로써, 도 3에 나타나듯이, 제1 및 제2 지지부재에 지지되는 워크(W)의 저면이, 수용구(41)의 상면과도 당접하기 때문에, 보다 안정하게 워크(W)를 지지하는 것이 가능하게 된다.
도 2 및 도 5에 나타나듯이, 제2 지주(22A, 22B)는, 각 지지위치에 수용구(42)를 사각형상의 영역(R) 내로 수평방향으로 연출시켜서 구비된다. 수용구(42)는, 상면이 개방한 凹부(421, 422)를 구비하고 있다. 凹부(421)에는, 제 2 지지부재(32A, 32B)의 타단이 감입된다. 凹부(422)에는, 제 3 지지부재(33)의 일단 및 타단이 감입된다. 본 실시예에서는, 도 5에 나타나는 것과 같이, 수용구(42)가 제2 지주(22A, 22B)와 일체로 형성되어 있지만, 다른 부재로서 제작해 두어, 나사 등의 고정수단을 사용하여 제2 지주(22A, 22B)에 고정하도록 하여도 좋다.
凹부(421, 422)의 깊이는 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B, 및 33)의 외경 보다도 작게 되어 있어, 凹부(421 및 422)에 감입된 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)의 상단은 수용구(42)의 상면보다도 위쪽에 노출한다. 또한, 본 실시예에서는, 수용구(42)의 두께를 얇게 하고 있는 관계로, 상기와 같이 凹부(421, 422)의 깊이를, 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)의 외경보다도 작게 하였지만, 수용구(42)의 두께를 상하로 증가시킴으로써, 수용구(41)의 凹부(411, 도 4참조)와 동일하게, 凹부(421, 422)의 깊이를, 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)의 외경과 동일하게 하는 것이 가능하다. 이 경우, 凹부(421 및 422)에 감입한 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)의 상단은 수용구(42)의 상면과 하나의 면이 된다.
수용구(41, 42)는, 지주의 상하방향을 따라서 소정의 간격을 두어 복수 배치되어 있다. 따라서, 복수의 지지위치는, 지주의 상하 방향에 따라서 소정의 간격으로 배치되어 있다. 소정의 간격은, 2장의 워크 사이에 로봇 암이 반출입방향(X)을 따라서 진퇴(進退)하여, 워크를 로봇 암과 워크 적재장치와의 사이에서 이동하기 위해 충분한 거리이다.
이로써, 제2 지지부재(32A, 32B)는, 수용구(41, 42) 사이에 수평으로 자유롭게 착탈 가능하도록 횡으로 걸쳐진다. 또한, 제 3의 지지부재(33)는 2 개의 수용구(41, 42) 사이에 수평으로 자유롭게 착탈 가능하게 횡으로 걸쳐진다.
도 1에 나타나듯이, 제1 및 제2 지주(21A, 21B 및 22A, 22B)는, 하단에 구비한 다리부(23)로 바닥면에 수직으로 자립한다. 하지만, 이 상태에서는 불안정하기 때문에, 사각형상의 영역(R)의 4변에 걸친 다리(桁)를 일체로 형성한 사각형상의 틀부재(51)를 사용하여 지주의 상단을 결속함으로써, 제1 및 제2 지주(21A, 22B 및 22A, 22B)를 안정시키고 있다. 또한, 틀부재(51) 대신에, 제1 지주(21A, 21B) 사이, 제1, 제2 지주(21A, 21B)사이, 및 제2 지주(22A, 22B)사이를, 이들 지주와 일체로 형성한 다리(桁)로 연결하도록 하여도 좋다.
제1 지주(21A, 21B)에 고정된 제1 지지부재(31A, 31B)의 상단, 제1, 제2 지주(21A, 22A 및 21B, 22B)에 유지된 제2 지지부재(32A 및 32B)의 상단, 및 제2 지주(22A 및 22B)에 유지된 제 3 지지부재(33)의 상단은, 동일 평면 내에 위치한다. 따라서, 각 지지위치에 있어서 워크(W)는, 저면을 제1 지지부재(31A, 31B), 제2 지지부재(32A, 32B) 및 제3 지지부재(33)의 각각의 상단에 당접시켜서 수평으로 유지된다. 또한, 가열장치 내의 열풍을 효율 좋게 워크에 쐬도록 하기 위하여, 의도적으로 수평에서 기울여서 워크(W)를 지지하도록 하여도 좋다.
또한, 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)는 수용구(41, 42)로부터 자유롭게 착탈 가능하고, 이들 장착은 수용구(41, 42)의 凹부에 감입하는 것만이어도 좋고, 이들의 떼어내는 것도 凹부로부터 뽑는 것만이기 때문에, 착탈이 매우 용이하다.
또한, 제 2 및 제 3의 지지부재(32A, 32B 및 33)는, 단일 봉체이기 때문에, 제조가 용이하고 부품 단가도 싸게 될 수 있다.
또한, 제 2 및 제3 지지부재(32A, 32B 및 33)는, 여분의 돌기가 없기 때문에, 복수의 지지부재를 묶어서 효율 좋게 반송 가능하다.
또한, 제2 및 제3 지지부재(32A, 32B)는, 워크(W)의 외주부에서 워크(W)의 저면에 선접촉으로 당접하고 있다. 따라서, 워크(W)와 지지부재의 접촉면적이 적어도 괜찮으며, 열처리 시의 온도 저하를 억제가능하다. 또한, 워크(W)의 저면에서의 지지위치는 프로세스 패턴 영역의 외측이 되어, 프로세스 패턴 영역에 상처나 온도 차이를 발생시키지 않는다.
도 6은, 본 발명의 워크 적재 장치의 또 다른 실시 태양에서의 지지위치의 평단면도이다. 도 6에 나타나듯이, 이 실시태양의 워크 적재장치(11)는, 제2 지주(22A, 22B (도 2참조))를 제 1 지주(21B, 22A)에서 대용하는 것이다. 이 실시예의 워크 적재 장치(11)에서는, 제1 및 제2 지주의 공용화가 실현된다.
상술한 실시 태양의 설명은, 모든 점에 있어서 예시이며, 제한적인 것으로 생각되어서는 안 된다. 본 발명의 범위는 상술한 실시 태양이 아닌, 특허 청구 범위에 의해 나타난다. 더욱이, 본 발명의 범위에는, 특허 청구 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.
10: 워크 적재 장치 21A, 21B: 제1 지주
22A, 22B: 제2 지주 31A, 31B: 제1 지지부재
32A, 32B: 제2 지지부재 33: 제 3 지지부재
W: 워크

Claims (7)

  1. 사각형의 판상체인 워크의 저면에 당접하는 복수의 지지부재를, 상하방향을 따라 등간격으로 배치된 복수의 지지위치의 각각에서 유지하는 복수의 지주를 구비한 워크 적재 장치에 있어서,
    상기 복수의 지주는, 각각이 수평면 안에서 상기 워크보다 큰 사각형상 영역에 대향하는 한 쌍의 변의 각각의 일단 및 타단에 각각 배치되는 2개의 제1 지주 및 2개의 제2 지주로 이루어 지고,
    상기 복수의 지지부재는, 상기 2개의 제1 지주 각각으로부터, 평면시(平面視)에서 상기 2개의 제1 지주를 묶는 상기 사각형상 영역의 변에 평행하게 돌설(突設)되는 봉상(棒狀)의 제1 지지부재로서 서로의 사이에 간극을 두고 배치되는 제1 지지부재와; 인접하는 상기 제1 및 제2 지주에, 상기 사각형상 영역의 내측, 한편으로, 평면시에서 인접하는 제1 및 제2 지주를 묶는 상기 사각형상 영역의 변에 평행하게 유지되는 단일 봉체(棒體)로 이루어진 제2 지지부재;를 포함하며,
    상기 제1 및 제2 지주의 상기 복수의 지지위치에는, 상기 사각형상 영역 내에 수평방향으로 연출(延出)하는 복수의 수용구가 설치되고,
    상기 제1 지주의 상기 복수의 수용구의 각각은, 상면이 상기 제1 지지부재의 상면과 동일한 수평면 내에 위치하고, 상기 제2 지지부재의 제1 단부가 상방으로부터 감입하는 凹부이며 상기 제2 지지부재의 외경에 동일한 깊이의 凹부를 가지고,
    상기 제2 지주의 상기 복수의 수용구의 각각은, 상기 제2 지지부재의 제2 단부가 상방으로부터 감입하는 凹부를 가지는, 워크 적재 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 지지부재는, 상기 2개의 제2 지주에, 상기 2개의 제2 지주를 묶는 상기 사각형상 영역의 변에 평행하게 유지되는 단일 봉체로 이루어진 제3 지지부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 워크 적재 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 지주의 상기 복수의 수용구는, 상기 제3 지지부재의 단부가 감입하는 凹부를 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크 적재 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 지주의 상기 복수의 지지위치의 각각에, 상기 제2 지지부재의 제2 단부가 상방으로부터 감입하는 凹부와, 상기 제3 지지부재의 단부가 상방으로부터 감입하는 凹부가 형성된 단일의 수용구를 설치한 것을 특징으로 하는 워크 적재 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 지주의 상기 복수의 수용구 각각의 상기 제2 지지부재의 제2 단부가 상방으로부터 감입하는 凹부는, 상기 제2 지지부재의 외경보다 얕은 것을 특징으로 하는 워크 적재 장치.
  6. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 지지부재 및 상기 제3 지지부재 중 하나 이상은, 석영을 소재로 하는 것을 특징으로 하는 워크 적재 장치.
  7. 삭제
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