JP3114328U - 基板アンダーレイ - Google Patents

Abstract

【課題】マガジンに収納された基板の撓みを矯正して発塵を抑制し、かつ狭ピッチでの積み上げを可能にする。４辺からのロボットハンドのアクセスを可能にする。
【解決手段】基板支持ピン３とスペーサ２をマトリクス状に配置して、ベース板１の４辺全周を支持する。支持ピン３を基板中央部に設けて、基板４の撓みを矯正する。
【選択図】図１

Description

考案の詳細な説明

考案が解決しようとする課題

マガジンに収納されたガラス基板・プリント回路基板・四角形板等は、中央部を支持する有効な手段が無く、自重により中央部から出口部にかけて大きく撓んで垂れ下がる。そのため、支持部とずれを生じて摩擦し発塵する。

加えて、ロボットハンドに装着するに際して、上下にある基板の間隔を大きくしなければロボットハンドの挿入が出来ず、また、ハンドを上昇させて平面に戻すに際して、ずれを生じて摩擦し発塵する。撓みを少なくし、発塵を抑制する担架方法が求められる。

課題を解決するための手段

マガジンを廃止し、マトリクス状に支持ピンを配置したアンダーレイ基板を支持し、４辺に配置したスペーサにより積み上げ可能なアンダーレイに変更する。スペーサには硬質な素材を用い、４辺全周でベース板を支持する。

ベース板には基板を位置決めする機能として、位置決めピン・吸着装置・案内板等が設けられるが、支持ピンあるいは吸着パッドのような点支持による場合、マトリクス状にこれを配置して基板中央部を支持し撓みを矯正する。

清浄環境での使用に際しては、スペーサは材質を硬質材料ピン・セラミクスピン・超高分子プラスチクスピン等の摩耗し発塵することが無い素材を用いる。

考案の効果

この考案によるアンダーレイを用いれば、撓みが矯正されるので積み上げピッチを小さく出来、多数枚の収納が可能になり、工場面積が小さく出来る。撓みが少なくなると発麈が抑制でき、載置時の垂れ下がりによる発塵とロボットハンドによる持ち上げ時の発塵が抑制される。

周囲の４辺のスペーサと基板を支持する支持ピンマトリクス状に関連付けて配置することにより、４方向いずれからもロボットハンドによる基板の供給と排出が行え、ラインの編成自由度を高められる。

アンダーレイはマガジンに比し、分離して洗浄が容易に行えるので、高度な清浄環境を低コストで保ち得る。

ロボットハンドやコンベアにより枠体をハンドリングすれば、脆弱なガラス基板を直接ハンドリングする際のかけや汚染やマーキングの危険が回避でき、工程安全度が高くなる。

２本指ハンドに対するアンダーレイの平面図と側面図 積み上げ時の側面図。 ３本指ハンドに対するアンダーレイの平面図。

符号の説明

１ ベース板
２ スペーサ
３ 支持ピン
４ 基板
５ ２本指ハンド
６ ベース板
７ ３本指ハンド

Claims (2)

1. 基板を水平姿勢で保持するアンダーレイにおいて、支持ピンをマトリクス状に配置して、その支持ピン高さをロボットハンドの厚さ寸法に撓みを考慮した隙間を加えた高さに設定することにより、４辺の４方向から基板を挿入しあるいは取り出すことを特徴とする基板アンダーレイ。
2. アンダーレイ外周４辺の基板外縁にスペーサを配置し、単体あるいは積み重ねた状態で基板とアンダーレイの撓みが減少することを特徴とする基板アンダーレイ。

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