KR101296143B1 - Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치 - Google Patents

Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101296143B1
KR101296143B1 KR1020127011236A KR20127011236A KR101296143B1 KR 101296143 B1 KR101296143 B1 KR 101296143B1 KR 1020127011236 A KR1020127011236 A KR 1020127011236A KR 20127011236 A KR20127011236 A KR 20127011236A KR 101296143 B1 KR101296143 B1 KR 101296143B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrical conduit
electrical
optically active
display element
display
Prior art date
Application number
KR1020127011236A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120064123A (ko
Inventor
제프리 브라이언 샘프셀
Original Assignee
퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. filed Critical 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크.
Publication of KR20120064123A publication Critical patent/KR20120064123A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101296143B1 publication Critical patent/KR101296143B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
    • G09G3/3466—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on interferometric effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/02—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00—Control of display operating conditions
    • G09G2320/02—Improving the quality of display appearance
    • G09G2320/0271—Adjustment of the gradation levels within the range of the gradation scale, e.g. by redistribution or clipping
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/2007—Display of intermediate tones
    • G09G3/207—Display of intermediate tones by domain size control
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/2007—Display of intermediate tones
    • G09G3/2074—Display of intermediate tones using sub-pixels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명의 장치는 복수개의 전기 도관; 및 상기 복수개의 전기 도관 중 적어도 2개와 각각 전기 통신되는 복수개의 표시 소자를 포함하는 화소를 포함하되, 상기 화소는 높은 강도 범위들과 낮은 강도 범위들을 포함하는 복수개의 강도 범위를 지니고, 상기 낮은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도는 상기 높은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도보다 높다.

Description

ＭＥＭＳ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치{APPARATUS FOR LOW RANGE BIT DEPTH ENHANCEMENT FOR MEMS DISPLAY ARCHITECTURES}
본 발명은 마이크로전자기계 시스템(MEMS: microelectromechanical system)에 관한 것이다.
마이크로전자기계 시스템(MEMS)은 마이크로기계 부품, 액추에이터 및 전자 기기를 포함한다. 마이크로기계 부품은 기판 및/또는 증착된 재료층의 일부를 에칭해내거나 층들을 추가하여 전기 및 전자기계 장치를 형성하는 증착, 에칭 및/또는 다른 미세기계가공(micromachining) 공정들을 이용하여 형성될 수도 있다. MEMS 장치의 한 형태는 간섭계 변조기(interferometric modulator)라 불린다. 본 명세서에서 사용된 것처럼, 간섭계 변조기 또는 간섭계 광 변조기(interferometric light modulator)라는 용어는 광학적 간섭의 원리를 이용하여 광을 선택적으로 흡수 및/또는 반사하는 장치를 의미한다. 소정의 실시형태에 있어서, 간섭계 변조기는 1쌍의 도전판을 포함할 수도 있는 데, 상기 1쌍의 도전판의 어느 하나 또는 양쪽 모두가 전체 또는 부분적으로 투과형 및/또는 반사형일 수도 있고 적절한 전기 신호의 인가시 상대 운동을 할 수 있다. 특별한 실시형태에 있어서, 하나의 도전판은 기판에 증착된 고정층을 포함할 수도 있고, 다른 하나의 도전판은 공기 간극(air gap)에 의해 고정층과 분리된 금속막을 포함할 수도 있다. 본 명세서에서 보다 더 상세히 설명하는 바와 같이, 도전판의 상대적 위치에 의해서 간섭계 변조기로 입사되는 광의 광학적 간섭은 변화될 수 있다. 이러한 장치들의 적용 범위는 광범위한데, 기존의 제품들을 향상시키는 데 있어서, 그리고 아직 개발되지 않은 새로운 제품들을 만들어내는 데 있어서 이러한 유형의 장치 특성들이 사용될 수 있도록 이들 장치들의 특징들을 이용 및/또는 변경하는 것은 해당 기술 분야에서 유용할 것이다.
본 발명의 시스템, 방법 및 장치는 각각 수개의 측면을 가지지만, 이들의 단일의 것이 그의 바람직한 속성을 단독으로 담당하는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 제한하는 일없이, 그의 더욱 우수한 특징들을 이하 간단히 설명할 것이다. 당업자는, 이들 설명을 고려한 후에, 특히 이하의 "실시예"란을 읽은 후에, 본 발명의 특징들이 다른 표시 장치보다 장점을 어떻게 제공하는 지를 이해할 수 있을 것이다.
소정의 실시형태에 있어서, 본 발명의 장치는 복수개의 전기 도관(electrical conduit); 및 상기 복수개의 전기 도관 중 적어도 2개와 각각 전기 통신되는 복수개의 표시 소자를 포함하는 화소를 포함하되, 상기 화소는 높은 강도 범위들과 낮은 강도 범위들을 포함하는 복수개의 강도 범위를 지니고, 상기 낮은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도는 상기 높은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도보다 높다.
보다 구체적으로는, 상기 화소는 적어도 하나의 양자화 단계(quantization step)를 각각 포함하는 복수개의 양자화 레벨(quantization level)을 구비하고, 상기 복수개의 양자화 레벨은 중간 양자화 레벨, 상기 중간 양자화 레벨보다 높은 제1의 복수개의 양자화 레벨 및 상기 중간 양자화 레벨보다 낮은 제2의 복수개의 양자화 레벨을 포함하며, 상기 제2의 복수개의 양자화 레벨은 상기 제1의 복수개의 양자화 레벨보다 많은 양자화 단계를 포함한다. 또, 상기 제2의 복수개의 양자화 레벨 내의 순차적인 상기 양자화 단계들 간의 강도차는 약 4% 미만으로 인간 시각계(human visual system)에 의해 식별할 수 없는 것이다. 또한, 상기 화소는 복수개의 양자화 단계를 가지며, 상기 화소는 약 4% 미만이고 인간 시각계에 의해 식별할 수 없는 낮은 강도 범위에서 순차적인 상기 양자화 단계들 간에 강도 변화를 지닌다. 상기 복수개의 표시 소자는 적어도 4개의 표시 소자를 포함한다. 상기 복수개의 전기 도관은 제1전기 도관; 및 상기 제1전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2전기 도관을 포함하고; 상기 복수개의 표시 소자는 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자; 및 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자를 포함하며, 상기 제1 광학적 활성 영역/상기 제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1이다. 상기 제1 광학적 활성 영역/상기 제2 광학적 활성 영역의 비 중의 상기 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 15, 31, 63, 127, 255 혹은 2n-1이되, n은 2와 동일하거나 혹은 2보다 큰 정수이다. 상기 복수개의 전기 도관은 제1전기 도관; 및 상기 제1전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2전기 도관을 포함하고; 상기 복수개의 표시 소자는 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자; 및 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1광학적 활성 영역보다 작은 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자를 포함하며, 상기 제1표시 소자는 상기 제2표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성되어 있다. 상기 복수개의 전기 도관은 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기적으로 절연된 제3전기 도관; 및 상기 제1 전기 도관, 상기 제2 전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기적으로 절연된 제4전기 도관을 더 포함하고; 상기 복수개의 표시 소자는 상기 제1 전기 도관 및 상기 제3 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1 및 제2 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제3광학적 활성 영역을 지니는 제3표시 소자; 및 상기 제3 전기 도관 또는 상기 제4전기 도관 중 어느 한쪽 및 상기 제1 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1, 제2 및 제3 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제4광학적 활성 영역을 지니는 제4표시 소자를 더 포함한다. 상기 제4광학적 활성 영역은 상기 제3광학적 활성 영역보다 크다. 상기 제4 표시 소자는 상기 제1전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기 통신하며, 상기 제4 표시 소자는 상기 제3표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성되어 있다. 상기 복수개의 전기 도관은 제1전기 도관; 상기 제1 전기 도관과 전기적으로 절연된 제2전기 도관; 상기 제1전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기적으로 절연된 제3전기 도관; 및 상기 제1 전기 도관, 상기 제2 전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기적으로 절연된 제4전기 도관을 포함하고; 상기 복수개의 표시 소자는 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자; 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1광학적 활성 영역보다 작은 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자; 상기 제1 전기 도관 및 상기 제3 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1 및 제2 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제3광학적 활성 영역을 지니는 제3표시 소자; 및 상기 제3 전기 도관 또는 상기 제4전기 도관 중 어느 한쪽 및 상기 제1 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1, 제2 및 제3 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제4광학적 활성 영역을 지니는 제4표시 소자를 포함한다. 상기 제4광학적 활성 영역은 상기 제3광학적 활성 영역보다 크다. 상기 제4 표시 소자는 상기 제3표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성되어 있다. 상기 복수개의 표시 소자는 각각 간섭계 변조기를 포함한다.
도 1은 제1간섭계 변조기의 이동(movable) 반사층이 이완 위치에 있고, 제2간섭계 변조기의 이동 반사층이 작동 위치에 있는 간섭계 변조기 디스플레이의 일 실시예의 일부를 나타낸 등각 투상도;
도 2는 3×3 간섭계 변조기 디스플레이를 내장한 전자 장치의 일 실시예를 예시한 시스템 블록도;
도 3은 도 1의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예에 대해 이동 미러(movable mirror)의 위치 대 인가된 전압을 나타낸 선도;
도 4는 간섭계 변조기 디스플레이를 구동하는 데 사용될 수 있는 1세트의 행방향(row) 전압 및 열방향(column) 전압을 나타낸 도면;
도 5a는 도 2의 3×3 간섭계 변조기 디스플레이에 있어서의 표시 데이터의 하나의 예시적인 프레임을 예시한 도면;
도 5b는 도 5a의 프레임을 기록하는(write) 데 이용될 수 있는 행방향 신호 및 열방향 신호의 하나의 예시적인 타이밍 선도를 나타낸 도면;
도 6a 및 도 6b는 복수개의 간섭계 변조기를 포함하는 비쥬얼 표시 장치(visual display device)의 일 실시예를 나타낸 시스템 블록도;
도 7a는 도 1의 장치의 단면도;
도 7b는 간섭계 변조기의 대안적인 실시예의 단면도;
도 7c는 간섭계 변조기의 다른 대안적인 실시예의 단면도;
도 7d는 간섭계 변조기의 또 다른 대안적인 실시예의 단면도;
도 7e는 간섭계 변조기의 추가의 대안적인 실시예의 단면도;
도 8은 흑백(monochrome) 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 9는 그레이스케일(grayscale) 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 10은 컬러 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 11은 각 행이 3개의 하위행(subrow)으로 더욱 나뉘어 있는 것인 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 12는 각 행이 3개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고 이들은 공통 행 드라이버 접속부와 연통(즉, 통신)하도록 구성된 것인 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 13은 네스트된(nested) 안정성 창(stability windows)을 지니는 3개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 및 음 전압의 선도;
도 14는 예시된 표시 배열을 생성하도록 도 12의 어레이의 실시예의 상부 행에 인가된 일련의 행 및 열 방향 신호를 나타낸 타이밍 선도;
도 15는 간섭계 변조기 어레이를 구동하는 방법의 일 실시예를 나타낸 순서도;
도 16은 각 행이 4개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 17은 해방 전압(release voltage)은 대략 동일하지만 작동 전압은 상이하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 지닌 2개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 전압의 선도;
도 18은 해방 전압은 상이하지만 작동 전압은 대략 동일하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 지닌 2개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 전압의 선도;
도 19는 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;
도 20은 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;
도 21은 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;
도 22는 도 16의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;
도 23은 각 행이 4개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 행은 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 다른 실시예의 개략도;
도 24는 도 23의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;
도 25는 도 23의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;
도 26은 각 행이 5개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 하나의 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있으며, 2개의 다른 하위행은 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 27은 도 26의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;
도 28은 도 26의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;
도 29는 각 행이 6개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 하나의 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있으며, 2개의 다른 하위행은 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있고, 나머지 2개의 하위행은 또 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 일 실시예의 부분 개략도;
도 30은 도 29의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면.
이하의 상세한 설명은 본 발명의 임의의 특정 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명은 다양한 방법들로 구현될 수 있다. 본 설명에 있어서, 전체적으로 동일한 구성 요소들은 동일한 참조 번호들로 표기된 도면을 참조한다. 이하의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 실시예들은 동화상(예를 들어, 비데오)인지 또는 정지화상(예를 들어, 스틸 이미지(still image))인지, 그리고 문자인지 그림인지의 여부에 따라 이미지(즉, 화상)를 표시하도록 구성되는 장치이면 어떠한 장치에서도 구현될 수도 있다. 더욱 상세하게는, 휴대폰, 무선 장치, PDA(personal data assistant), 초소형 또는 휴대용 컴퓨터, GPS 수신기/네비게이션, 카메라, MP3 플레이어, 캠코더, 게임 콘솔(game console), 손목 시계, 시계, 계산기, 텔레비젼 모니터, 평판형 디스플레이, 컴퓨터 모니터, 자동차 표시 장치(예를 들어, 주행 기록계 디스플레이 등), 콕핏 제어기(cockpit control) 및/또는 디스플레이, 카메라 뷰 디스플레이(예를 들어, 차량의 리어 뷰(rear view) 카메라의 디스플레이), 전자 사진, 전자 광고판 또는 간판, 프로젝터, 건축 구조물, 포장물 및 미술 구조물(예를 들어, 보석류에 대한 이미지의 디스플레이)을 포함하지만 이들로 한정되지는 않는 다양한 전자 장치들로 또는 그 다양한 전자 장치들과 관련되어 구현될 수 있는 것을 고려할 수 있다. 본 명세서에서 설명하는 것들과 유사한 구조체의 MEMS 장치는 또한 전자 스위칭 장치에서와 같이 표시장치(즉, 디스플레이)가 아닌 응용품에 사용될 수 있다.
실질적으로 동일한 작동 전압 및 상이한 해방 전압을 지니거나, 또는 실질적으로 동일한 해방 전압 및 상이한 작동 전압을 지니는 한 세트의 표시 소자가 제공된다. 이들 히스테리시스(hysteresis) 창을 이용하는 동작은, 표시 소자가 공통 행 및 열 방향 드라이버를 공유할 수 있기 때문에, 전기 도관의 수의 저감을 가능하게 한다. 몇몇 실시예에 있어서, 상기 표시 소자의 광학적 활성 영역은 증강된 낮은 범위 비트 심도를 제공하도록 가중치 부여되어 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 상기 표시 소자의 광학적 활성 영역의 비는 3, 7, 15, 31, 127 또는 255이다.
간섭계 MEMS 표시 소자를 포함하는 간섭계 변조기 디스플레이의 일 실시예가 도 1에 예시되어 있다. 이들 장치에 있어서, 화소들은 밝은 상태 또는 어두운 상태이다. 밝은("온(on) 또는 "열린") 상태에서, 표시 소자는 입사되는 가시 광선의 많은 부분을 사용자에게 반사시킨다. 어두운("오프(off)" 또는 "닫힌") 상태에서, 표시 소자는 입사되는 가시 광선을 사용자에게 거의 반사하지 않는다. 본 실시예에 따르면, "온" 및 "오프" 상태의 광 반사 특성은 역전될 수도 있다. MEMS 화소들은 선택된 색깔에서 우선적으로 반사하도록 구성되어 흑백 표시 외에도 컬러 표시를 가능하게 한다.
도 1은 비쥬얼 디스플레이의 일련의 화소에 있어서 두 개의 인접한 화소들을 나타낸 등각 투상도인 데, 여기서 각 화소는 MEMS 간섭계 변조기를 포함한다. 몇몇 실시예에서, 간섭계 변조기 디스플레이는 이들 간섭계 변조기의 행/열 어레이를 포함한다. 각각의 간섭계 변조기는 서로 간에 가변적이고 제어 가능한 거리에 위치된 1쌍의 반사층을 포함하여 적어도 하나의 가변 치수를 가진 공진 광학 공동부(resonant optical cavity)를 형성한다. 일 실시예에 있어서, 반사층들 중 하나는 두 위치 사이에서 움직일 수도 있다. 여기서 이완 위치라고도 칭해지는 제1위치에서, 이동 반사층은 고정된 부분 반사층으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한다. 여기서 작동 위치라고도 칭해지는 제2위치에서, 이동 반사층은 상기 부분 반사층에 더 가까이 인접하여 위치한다. 두 반사층에서 반사된 입사광은 이동 반사층의 위치에 따라서 보강 간섭 또는 소멸 간섭하여 각 화소에 대해 전체 반사 상태 또는 비반사 상태를 생성한다.
도 1에 있어서 화소 어레이의 도시된 부분은 두 개의 인접한 간섭계 변조기(12a), (12b)를 포함한다. 왼쪽에 위치한 간섭계 변조기(12a)에는 부분 반사층을 포함하는 광학 적층부(optical stack)(16a)로부터 소정 거리 떨어진 이완 위치에 이동 반사층(14a)이 예시되어 있다. 오른쪽에 위치한 간섭계 변조기(12b)에는 광학 적층부(16b)에 인접한 작동 위치에 이동 반사층(14b)이 예시되어 있다.
여기서 참조 기호로 표시되는 바와 같은 광학 적층부(16a), (16b)(일괄해서 광학 적층부(16)라 표기함)는 전형적으로 수 개의 융합층(fused layer)을 포함하는 데, 이들 융합층은 인듐 주석 산화물(indium tin oxide: ITO)과 같은 전극층, 크롬과 같은 부분 반사층 및 투명 유전체를 포함할 수 있다. 따라서, 광학 적층부(16)는 전도성이고, 부분적으로 투명하며, 부분적으로 반사성이고, 예를 들어 하나 이상의 상기 층들을 투명 기판(20) 위에 증착함으로써 제조될 수 있다. 부분 반사층은 다양한 금속류, 반도체류 및 유전체류와 같은 부분 반사성인 다양한 재료들로 형성될 수 있다. 부분 반사층은 하나 이상의 재료 층으로 형성될 수 있는 데, 각각의 층은 단일 재료 또는 조합된 재료로 형성될 수 있다.
몇몇 실시예에서는, 이하에 더욱 설명되는 바와 같이, 광학 적층부(16)의 층들은 평행 스트립(strip)들로 패터닝되고, 표시 장치 내에서 행방향 전극들을 형성할 수도 있다. 이동 반사층(14a), (14b)은 기둥(18) 사이에 증착되는 중재 희생 재료 및 기둥(18)의 상부면에 증착된 증착 금속층 또는 증착 금속층들(광학 적층부(16a), (16b)의 횡방향 전극에 직교)로 이루어진 일련의 평행 스트립들로서 형성될 수도 있다. 희생 재료를 에칭하여 제거했을 때, 이동 반사층(14a), (14b)은 광학 적층부(16b), (16b)로부터 소정의 간극(19)만큼 분리된다. 알루미늄과 같은 고 전도성·반사성 재료가 반사층(14)으로 사용될 수 있고, 이들 스트립들은 표시 장치에서 열방향 전극들을 형성할 수도 있다.
도 1에 있어서 화소(12a)로 표시된 바와 같이, 전압이 인가되지 않을 경우, 이동 반사층(14a)은 기계적으로 이완 상태인 채로, 간극, 즉 공동부(19)가 이동 반사층(14a)과 광학 적층부(16a) 사이에서 유지된다. 그러나, 선택된 행 및 열에 전위차가 인가될 경우, 대응하는 화소의 행방향 전극과 열방향 전극의 교차점에 형성된 커패시터는 충전되고, 정전기력은 전극들을 함께 당긴다. 전압이 충분히 높다면, 이동 반사층(14)은 변형이 일어나 광학 적층부(16)에 대해서 힘을 가한다. 도 1의 오른쪽에 위치한 화소(12b)로 표시된 바와 같이, 광학 적층부(16) 내의 유전체 층(이 도면에서는 도시 생략)은 단락이 방지되어 층(14)과 층(16) 간의 이격 거리를 조절한다. 이러한 거동은 인가된 전위차의 극성에 상관없이 동일하다. 이와 같이 해서, 반사 화소 상태 대 비 반사 화소 상태를 조절할 수 있는 행/열방향 작동은 종래의 LCD 및 다른 디스플레이 기술에서 사용되는 것과 여러 면에서 유사하다.
도 2 내지 도 5b는 디스플레이 적용에 있어서 간섭계 변조기들의 어레이를 사용하기 위한 하나의 예시적 과정 및 시스템을 예시한다.
도 2는 본 발명의 측면들을 포함할 수도 있는 전자 장치의 일 실시예를 예시한 시스템 블록도이다. 예시적 실시예에 있어서, 전자 장치는 프로세서(21)를 포함하는 데, 이 프로세서는 ARM, 펜티엄(Pentium)(등록상표), 펜티엄 II(등록상표), 펜티엄 III(등록상표), 펜티엄 IV(등록상표), 펜티엄(등록상표) Pro, 8051, MIPS(등록상표), Power PC(등록상표), ALPHA(등록상표)와 같은 범용 단일 칩 프로세서 또는 멀티 칩 마이크로 프로세서, 또는 디지털 신호 프로세서, 마이크로 제어기와 같은 특수 목적의 마이크로 프로세서, 또는 프로그래밍 가능한 게이트 어레이일 수도 있다. 종래 기술에서와 같이, 상기 프로세서(21)는 하나 이상의 소프트웨어 모듈을 실행하도록 구성될 수도 있다. 오퍼레이팅 시스템(operating system)의 실행과 더불어, 상기 프로세서는 웹 브라우저(web browser), 전화 애플리케이션(application), 이메일 프로그램 또는 기타 임의의 소프트웨어 애플리케이션을 비롯한 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 실행하도록 구성될 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 프로세서(21)는 또한 어레이 드라이버(22)와 연통하도록 구성된다. 일 실시예에 있어서, 어레이 드라이버(22)는 디스플레이 어레이 또는 패널(30)에 신호들을 제공하는 행방향 드라이버 회로(24) 및 열방향 드라이버 회로(26)를 포함한다. 도 1에 예시된 어레이의 단면은 도 2의 1-1 라인에 의해 도시된다. MEMS 간섭계 변조기에 대해서, 행/열방향 작동 프로토콜은 도 3에 도시된 이들 장치의 히스테리시스 특성을 이용할 수도 있다. 예를 들어, 이완 상태에서부터 작동 상태로 이동층을 변형시키기 위해 10 볼트 전위차가 필요할 수도 있다. 그러나, 이러한 값으로부터 전압이 감소될 경우, 전압이 10 볼트 미만으로 다시 떨어질 때에 이동층은 그 상태를 유지한다. 도 3의 예시적 실시예에 있어서, 전압이 2 볼트 미만으로 떨어질 때까지 이동층은 완전히 이완되지 않는다. 이와 같이 해서, 도 3에 예시된 예에서 약 3 볼트 내지 7 볼트의 인가된 전압의 창이 존재하고, 이 범위 내에서 장치가 이완 또는 작동 상태에서 안정적이다. 이것을 여기서는 "히스테리시스 창" 또는 "안정성 창"이라고 칭한다. 도 3의 히스테리시스 특성을 가지는 디스플레이 어레이에 대해서, 행방향 스트로빙(strobing) 동안 스트로빙된 행에 있는 작동될 화소들이 약 10 볼트의 전압차에 노출되고, 이완될 화소들이 0 볼트에 근접한 전압차에 노출되도록 행/열방향 작동 프로토콜을 설계할 수 있다. 스트로빙 후에, 화소들은 약 5 볼트의 정상 상태 전압차에 노출되므로, 이들은 행방향 스트로빙이 화소들을 어떤 상태에 두었던지 그 상태를 유지하게 된다. 이러한 예에서, 각 화소는, 기록된 후에, 3 볼트 내지 7 볼트의 "안정성 창" 내에서 전위차를 보인다. 이러한 특성으로 작동 또는 이완의 기존 상태에서 동일한 인가 전압 조건하에서 도 1에 예시된 화소 설계는 안정화된다. 간섭계 변조기의 각 화소는 작동 상태인지 혹은 이완 상태인지에 따라 본질적으로 고정 반사층 및 이동 반사층에 의해 형성된 커패시터이기 때문에, 이러한 안정한 상태는 전력 손실이 거의 없이 히스테리시스 창 내의 전압에서 유지될 수 있다. 인가된 전위가 고정되어 있다면 화소로 들어가는 전류 흐름은 실질적으로 없다.
전형적인 응용에 있어서, 제1행에 있는 원하는 세트의 작동 화소에 따라 열방향 전극 세트를 어서트(assert)함으로써 표시 프레임을 생성할 수도 있다. 다음에, 행방향 펄스가 제1행의 전극에 인가되어 어서트된 열방향 라인에 대응하는 화소를 작동시킨다. 그 후, 어서트된 세트의 열방향 전극은 제2행에 있는 원하는 세트의 작동 화소에 대응하도록 변경된다. 이어서, 펄스가 제2행의 전극에 인가되어, 어서트된 열방향 전극들에 따라서 제2행에 있는 적절한 화소들을 작동시킨다. 제1행의 화소들은 제2행의 펄스의 영향을 받지 않고 제1행의 펄스 동안 그들이 설정되었던 상태로 유지된다. 이것은 프레임을 작성하기 위하여 일련의 전체 행들에 대해서 순차적으로 반복될 수도 있다. 일반적으로, 이러한 과정을 초당 원하는 프레임 수만큼 계속적으로 반복함으로써 프레임들은 새로운 표시 데이터로 리프레시(refresh) 및/또는 갱신된다. 더불어, 표시 프레임을 작성하는 화소 어레이의 행방향 전극 및 열방향 전극을 구동하기 위한 매우 다양한 프로토콜은 잘 알려져 있고, 이것은 본 발명과 관련하여 사용될 수도 있다.
도 4, 도 5a 및 도 5b는 도 2의 3×3 어레이 위에 표시 프레임을 생성하기 위한 하나의 가능한 작동 프로토콜을 예시한다. 도 4는 도 3의 히스테리시스 곡선을 나타내는 화소를 위해 사용될 수도 있는 가능한 세트의 행방향 전압 레벨들 및 열방향 전압 레벨들을 예시한다. 도 4의 실시예에서, 화소를 작동시키기 위해서는 적절한 열을 -Vbias로 설정하고 적절한 행을 +ΔV로 설정하는 것이 필요한데, -Vbias 및 +ΔV는 각각 -5 볼트 및 +5 볼트에 대응한다. 화소에 대한 볼트 전위차가 0이 되는 동일한 +ΔV로 적절한 행을 설정하고 +Vbias로 적절한 열을 설정함으로써 화소의 이완을 수행한다. 행방향 전압이 0볼트로 유지되는 이들 행에서, 열이 -Vbias이거나 +Vbias인 것에 상관없이, 화소들은 그들의 원래 상태가 어떠하든 안정하다. 도 4에 또한 예시된 바와 같이, 앞서 설명한 것과 반대 극성의 전압이 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 화소를 작동시키는 것은 적절한 열을 +Vbias로 설정하고 적절한 행을 -ΔV로 설정하는 것을 수반할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 화소에 대한 0 볼트 전위차를 생성하는 동일한 -ΔV로 적절한 행을 설정하고 -Vbias로 적절한 열을 설정함으로써 화소의 이완을 수행한다.
도 5b는 도 5a에 예시된 디스플레이 구성으로 되는 도 2의 3×3 어레이에 인가되는 일련의 행방향 신호들 및 열방향 신호들을 나타낸 타이밍도로서, 여기서 작동 화소들은 비반사적이다. 도 5a에 예시된 프레임을 기록하기에 앞서, 화소들은 임의의 상태에 있을 수 있고, 이 예에서, 모든 행들은 0볼트이고 모든 열들은 +5 볼트이다. 이들 인가 전압에 의하면, 화소는 모두 그들의 기존의 작동 또는 이완 상태에서 안정하다.
도 5a의 프레임에서, (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) 및 (3,3) 화소들이 작동된다. 이것을 달성하기 위해서, 제1행에 대한 "라인 시간"(line time) 동안 제1열과 제2열은 -5볼트로 설정되고, 제3열은 +5볼트로 설정된다. 이것은 임의의 화소들의 상태를 변화시키지 않는 데, 그 이유는 모든 화소들이 3볼트 내지 7볼트 안정성 창에 유지되기 때문이다. 다음에, 제1행은 0볼트에서 5볼트까지 가고 다시 0볼트로 가는 펄스로 스트로빙된다. 이것은 (1,1) 화소 및 (1,2) 화소를 작동시키고 (1,3) 화소를 이완시킨다. 어레이의 다른 화소들은 영향을 받지 않는다. 원하는 제2행을 설정하기 위하여, 제2열을 -5볼트로 설정하고 제1열 및 제3열을 +5볼트로 설정한다. 다음에, 제2행에 인가된 동일한 스트로브(strobe)는 (2,2) 화소를 작동시키고 (2,1) 및 (2,3) 화소를 이완시킬 것이다. 재차, 어레이의 다른 화소들은 영향받지 않는다. 제3행은 제2열 및 제3열을 -5볼트로 설정하고 제1열을 +5볼트로 설정함으로써 마찬가지로 설정된다. 제3행의 스트로브는 도 5a에 도시된 바와 같이 제3행의 화소들을 설정한다. 프레임을 기록한 후에, 행방향 전위들은 0이고 열방향 전위들은 +5볼트 또는 -5볼트로 유지될 수 있게 되어 디스플레이는 도 5a의 배열에서 안정하다. 수십 또는 수백 개의 행과 열들을 가진 어레이들에 대해서 동일한 과정을 이용할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 행 및 열을 작동시키는 데 사용되는 타이밍, 수순 및 전압 레벨들은 상기의 일반적인 원리 범위 안에서 매우 다양할 수 있고, 상기 예는 다만 예시적인 것에 불과하며, 다른 작동 전압 방법이 여기에서 설명되는 시스템 및 방법과 함께 사용될 수 있다는 것을 또한 이해할 수 있을 것이다.
도 6a 및 도 6b는 표시 장치(40)의 실시예를 예시한 시스템 블록도이다. 예를 들어, 표시 장치(40)는 이동 전화기 또는 휴대 전화기일 수 있다. 그러나, 표시 장치(40)의 동일한 구성 요소들 또는 그것의 약간의 변형으로는 또한 텔레비전 및 휴대용 미디어 플레이어와 같은 다양한 유형의 표시 장치를 들 수 있다.
표시 장치(40)는 하우징(housing)(41), 디스플레이(30), 안테나(43), 스피커(45), 입력 장치(48) 및 마이크(46)를 포함한다. 일반적으로 하우징(41)은 사출 성형 및 진공 성형을 비롯한 당업자들에게 잘 알려진 다양한 제조 과정들 중의 어떤 것으로 형성된다. 또한, 하우징(41)은 플라스틱, 금속, 유리, 고무 및 세라믹, 또는 이들의 조합을 포함하지만, 이들로 한정되지 않는 다양한 재료 중의 어떤 것으로 만들어질 수도 있다. 일 실시예에 있어서, 하우징(41)은 다른 색깔을 가지거나 다른 로고, 그림 또는 기호를 포함하는 분리 가능한 부분들과 호환될 수도 있는 분리 가능한 부분(도시 생략)을 포함한다.
예시적인 표시 장치(40)의 디스플레이(30)는 여기에서 설명되는 바와 같이, 쌍안정 디스플레이를 비롯한 다양한 디스플레이들 중의 어떤 것일 수도 있다. 다른 실시예에 있어서, 당업자들에게 잘 알려진 바와 같이, 디스플레이(30)는 앞서 설명한 바와 같은 플라즈마, EL, OLED, STN LCD 또는 TFT LCD와 같은 평판형 디스플레이, 또는 CRT나 다른 종류의 관(tube) 장치와 같은 비평판형(non-flat-panel) 디스플레이를 포함한다. 그러나, 본 실시예를 설명할 목적으로, 상기 디스플레이(30)는 여기에서 설명하는 바와 같이 간섭계 변조기를 포함한다.
예시적 표시 장치(40)의 일 실시예의 구성 요소들은 도 6b에 개략적으로 도시되어 있다. 도시된 예시적 표시 장치(40)는 하우징(41)을 포함하고 적어도 그 속에 부분적으로 수용된 추가적인 구성 요소들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에 있어서, 예시적 표시 장치(40)는 트랜스시버(transceiver)(47)에 결합된 안테나(43)를 포함하는 네트워크 인터페이스(27)를 포함한다. 트랜스시버(47)는 컨디셔닝 하드웨어(conditioning hardware)(52)에 연결된 프로세서(21)에 접속된다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 신호를 조절(예를 들어, 신호를 필터링)하도록 구성될 수도 있다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 스피커(45) 및 마이크(46)에 연결된다. 프로세서(21)는 입력 장치(48) 및 드라이버 제어기(29)에도 연결된다. 드라이버 제어기(29)는 프레임 버퍼(frame buffer)(28)에 그리고 어레이 드라이버(22)에 결합되고, 어레이 드라이버(22)는 이어서 디스플레이 어레이(30)에 결합된다. 전력 공급 장치(50)는 특정한 예시적 표시 장치(40) 설계에 요구되는 바와 같이 모든 구성 요소들에 전력을 제공한다.
네트워크 인터페이스(27)는 예시적 표시 장치(40)가 네트워크를 통하여 하나 이상의 장치와 연통할 수 있도록 안테나(43) 및 트랜스시버(47)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)의 요건을 경감할 수 있는 몇몇 처리 능력도 가질 수 있다. 안테나(43)는 신호들을 송수신하기 위해, 당업자들에게 알려진 소정의 안테나이다. 일 실시예에 있어서, 안테나는 IEEE 802.11(a), (b) 또는 (g)를 비롯한 IEEE 802.11 표준에 따라서 RF 신호들을 송수신한다. 다른 실시예에 있어서, 안테나는 블루투스(BLUETOOTH) 표준에 따라서 RF 신호들을 송수신한다. 이동 전화기의 경우, 안테나는 CDMA, GSM, AMPS 또는 무선 이동 전화 네트워크 내에서 연통하기 위해 사용되는 기타 공지된 신호들을 수신하도록 설계되어 있다. 트랜스시버(47)는 안테나(43)로부터 수신된 신호들을 미리 처리하여 이들 신호가 프로세서(21)에 의해 수신되고 나아가 조작될 수도 있다. 트랜스시버(47)는 프로세서(21)로부터 수신된 신호들도 처리하여 이들 신호가 안테나(43)를 거쳐서 예시적 표시 장치(40)로부터 전송될 수 있게 한다.
대안적인 실시예에 있어서, 트랜스시버(47)는 수신기로 대체될 수 있다. 또 다른 대안적인 실시예에 있어서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)에 전송될 이미지 데이터를 저장하고 생성할 수 있는 이미지 소스 혹은 이미지 공급원(image source)으로 대체될 수 있다. 예를 들어, 이미지 공급원은 이미지 데이터를 포함하는 디지털 비디오 디스크(DVD: digital video disc)나 하드 디스크 드라이브, 또는 이미지 데이터를 생성하는 소프트웨어 모듈일 수 있다.
프로세서(21)는 일반적으로 예시적 표시 장치(40)의 전체적인 동작을 제어한다. 프로세서(21)는 네트워크 인터페이스(27) 또는 이미지 공급원으로부터의 압축된 이미지 데이터와 같은 데이터를 수신하고, 해당 데이터를 원천 이미지 데이터(raw image data)로 또는 원천 이미지 데이터로 즉시 처리할 수 있는 포맷으로 처리한다. 그 후, 프로세서(21)는 처리된 데이터를 드라이버 제어기(29)로 또는 저장을 위해 프레임 버퍼(28)로 보낸다. 원천 데이터는 전형적으로 이미지 내의 각각의 위치에서 이미지 특성들을 식별하는 정보를 의미한다. 예를 들어, 이러한 이미지 특성들은 색깔, 색의 순도(saturation), 계조 레벨(gray scale level)을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 프로세서(21)는 마이크로 제어기, CPU, 또는 예시적 표시 장치(40)의 동작을 제어하는 논리 유닛을 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 일반적으로 신호들을 스피커(45)에 전송하기 위해, 그리고 마이크(46)로부터 신호들을 수신하기 위해 증폭기들 및 필터들을 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 예시적 표시 장치(40) 내에 있는 별도의 구성 요소일 수도 있거나 프로세서(21) 혹은 기타 구성 요소들 내에 내장되어 있을 수도 있다.
드라이버 제어기(29)는 프로세서(21)에서 생성된 원천 이미지 데이터를 프로세서(21)로부터 혹은 프레임 버퍼(28)로부터 직접 취하여 어레이 드라이버(22)로 고속 전송하기 위해 원천 이미지 데이터를 적절하게 재포맷한다. 특히, 드라이버 제어기(29)는 원천 이미지 데이터를 래스터 유사 포맷(raster like format)을 가진 데이터 흐름으로 재포맷하여 디스플레이 어레이(30)에 걸쳐 스캐닝하기에 적합한 시간 순서를 가진다. 다음에, 드라이버 제어기(29)는 포맷된 정보를 어레이 드라이버(22)에 보낸다. 비록 LCD 제어기와 같은 드라이버 제어기(29)가 독립형 집적 회로(stand-alone Integrated Circuit(IC))로서 시스템 프로세서(21)와 종종 관련되지만, 이러한 제어기들은 다양한 방법들로 구현될 수도 있다. 이들은 프로세서(21) 내에 하드웨어로서 삽입될 수 있거나, 소프트웨어로서 프로세서(21) 내에 삽입될 수도 있거나, 또는 어레이 드라이버(22)와 함께 하드웨어에 완전히 일체화될 수도 있다.
전형적으로, 어레이 드라이버(22)는 포맷된 정보를 드라이버 제어기(29)로부터 수신하고 디스플레이의 x-y 매트릭스 화소들로부터 나온 수백, 때로는 수천개의 인출선에 초당 여러번 인가되는 병렬 세트의 파형들로 비디오 데이터를 재포맷한다.
일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29), 어레이 드라이버(22) 및 디스플레이 어레이(30)는 여기서 설명하는 디스플레이들의 유형 중 어느 것에나 적합하다. 예를 들어, 일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29)는 종래의 디스플레이 제어기 또는 쌍안정 디스플레이 제어기(예를 들어, 간섭계 변조기 제어기)이다. 다른 실시예에 있어서, 어레이 드라이버(22)는 종래의 드라이버 또는 쌍안정 디스플레이 드라이버(예를 들어, 간섭계 변조기 디스플레이)이다. 일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29)는 어레이 드라이버(22)와 일체형이다. 이러한 일 실시예는 이동 전화기, 시계 및 기타 소형 디스플레이와 같은 고집적 시스템에 있어서 일반적이다. 또 다른 실시예에 있어서, 디스플레이 어레이(30)는 전형적인 디스플레이 어레이 또는 쌍안정 디스플레이 어레이(예를 들어, 간섭계 변조기들의 어레이를 포함하는 디스플레이)이다.
입력 장치(48)는 사용자로 하여금 예시적 표시 장치(40)의 동작을 제어하도록 한다. 일 실시예에 있어서, 입력 장치(48)는 QWERTY 키보드 또는 전화기 키패드와 같은 키패드, 버튼, 스위치, 터치 센스 스크린, 또는 감압 또는 감열 막을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 마이크(46)는 예시적 표시 장치(40)에 대한 입력 장치이다. 이 장치에 데이터를 입력하기 위해 마이크(46)가 사용되는 경우, 음성 명령들이 사용자에 의해 제공되어 예시적 표시 장치(40)의 동작들을 제어할 수도 있다.
전력 공급 장치(50)는 당업계에 잘 알려져 있는 다양한 에너지 저장 장치들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 니켈-카드뮴 배터리 또는 리듐 이온 배터리와 같은 충전용 배터리이다. 다른 실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 재생 가능 에너지 원, 커패시터, 또는 플라스틱 태양 전지, 태양 전지 페인트를 비롯한 태양 전지이다. 다른 실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 벽에 붙은 콘센트에서 전력을 받도록 구성된다.
몇몇 실시예에 있어서, 제어 프로그램은 앞서 설명한 바와 같이 전자 디스플레이 시스템 안의 몇몇 장소에 위치될 수 있는 드라이버 제어기 내에 존재한다. 몇몇 실시예에 있어서, 제어 프로그램은 어레이 드라이버(22) 내에 존재한다. 당업자들은 앞서 설명한 최적화들을 다수의 하드웨어 및/또는 소프트웨어 구성 요소들 및 다양한 형태로 구현할 수도 있음을 인식할 것이다.
앞서 설명한 원리들에 따라서 작동되는 간섭계 변조기의 상세한 구조는 매우 다양할 수 있다. 예를 들어, 도 7a 내지 도 7e는 이동 반사층(14) 및 그의 지지 구조체들의 다섯 개의 서로 다른 실시예를 나타낸다. 도 7a는 도 1의 실시예의 단면도인데, 여기서 금속 재료(14)의 스트립은 직교 방향으로 연장된 지지부(18) 상에 증착된다. 도 7b에 있어서, 이동 반사층(14)은 줄(tether)(32) 상에 단지 모서리에서 지지부에 부착된다. 도 7c에 있어서, 이동 반사층(14)은 가요성 금속을 포함할 수도 있는 변형가능한 층(34)으로부터 매달려 있다. 변형가능한 층(34)은 해당 변형가능한 층(34) 주변의 기판(20)에 직접적으로 혹은 간접적으로 연결된다. 여기서, 이들 연결부를 지지 기둥이라 칭한다. 도 7d에 나타낸 실시예는 변형가능한 층(34)이 안착되는 지지 기둥 플러그(42)를 가진다. 이동 반사층(14)은 도 7a 내지 도 7c에 있어서와 마찬가지로 공동부 위에 매달린 채 유지되지만, 변형가능한 층(34)은 해당 변형가능한 층(34)과 광학 적층부(16) 사이의 구멍들을 채움으로써 지지 기둥을 형성하지 않는다. 오히려, 지지 기둥은 평탄화 재료로 형성되고, 이것은 지지 기둥 플러그(42)를 형성하는 데 이용된다. 도 7e에 나타낸 실시예는 도 7d에 나타낸 실시예에 의거한 것이지만, 도 7a 내지 도 7c에 나타낸 실시예뿐만 아니라 도시하지 않은 추가적인 실시예의 어느 것과 함께 작용하도록 적합화될 수도 있다. 도 7e에 나타낸 실시예에 있어서, 금속 또는 기타 전도성 재료의 필요 이상의 층은 버스 구조체(44)를 형성하는 데 이용되어왔다. 이것에 의해 신호가 간섭계 변조기의 이면을 따라 송신될 수 있고, 그렇지 않으면 기판(20) 상에 형성될 수도 있는 다수의 전극을 제거할 수 있다.
도 7a 내지 도 7e에 나타낸 것과 같은 실시예에 있어서, 간섭계 변조기는 직시형(direct-view) 장치로서 기능하는 데, 여기서 이미지들은 투명 기판(20)의 앞면 쪽으로부터 보이고 그 반대편에는 변조기들이 배열되어 있다. 이들 실시예에 있어서, 반사층(14)은 변형가능한 층(34)을 비롯한, 기판(20)의 반대편의 반사층 쪽에 있는 간섭계 변조기의 일부를 광학적으로 차단한다. 이것에 의해 상기 차단된 영역은 화질에 나쁜 영향을 미치는 일없이 구성되고 작동될 수 있게 된다. 이러한 차단은 도 7e의 버스 구조체(44)를 가능하게 하여, 어드레싱(addressing) 및 그 어드레싱에 기인한 움직임과 같은 변조기의 전자 기계적 특성들로부터 상기 변조기의 광학적 특성들을 분리할 수 있는 능력을 제공한다. 이 분리 가능한 변조기 구조체로 인해 해당 변조기의 광학적 측면들 및 전자 기계적 측면들에 대해 사용되는 재질들 및 구조 설계가 선택되어 서로 독립적으로 기능하게 된다. 더욱이, 도 7c 내지 도 7e에 도시된 실시예는 변형가능한 층(34)에 의해 수행되는, 기계적 특성들로부터 반사층(14)의 광학적 특성들을 분리함으로써 얻어지는 추가적인 장점들을 가진다. 이로 인해 반사층(14)에 사용되는 구조 설계 및 재질들이 광학적 특성에 대해서 최적화되고, 변형가능한 층(34)에 사용되는 구조 설계 및 재질들이 원하는 기계적 특성에 대해서 최적화된다.
도 8은 화소 당 하나의 간섭계 변조기를 포함하는 흑백 디스플레이(표시장치)의 일 실시예를 예시하고 있고, 변조기의 "온" 혹은 "오프" 상태는 화소 당 1비트의 데이터의 값에 의거해서 설정된다. 화소는 하나의 열방향 도관과 하나의 행방향 도관과 연통하도록 구성되어 있다. 그레이스케일 이미지는 화소 당 수 비트의 데이터를 포함할 수 있다. 예를 들어, "3-비트" 그레이스케일 디스플레이는 각 화소에 할당될 수 있는 그레이의 8(23)개의 색조(shade) 중 하나에 대응하는 화소 당 3비트의 데이터를 포함한다. 상기 화소는 하나의 열방향 도관과 3개의 행방향 도관과 연통하도록 구성되어 있다. 도 9는 각 화소(90)에 대해 3개의 간섭계 변조기(91), (92), (93)를 포함하는 3-비트 그레이스케일 이미지를 표시하는 디스플레이의 예시적인 실시예를 나타내고 있다. 8개의 색조를 얻기 위해서, 3개의 변조기(91), (92), (93)는 다양한 크기 비에 따라 광을 반사한다. 이러한 하나의 실시예에 있어서, 각각의 간섭계 변조기(91), (92), (93)는 4:2:1의 비에 따라 변하는 반사성 표면 영역을 지니는 미러를 포함한다. 하나의 미러 혹은 변조기의 반사성 부분은 "마주 대하는 부분"(subtending)으로서 지칭될 수도 있다. 예를 들어, 4:2:1 실시예 중에서 하나의 표면 영역을 가진 미러는 화소의 약 1/7과 마주 대한다. 하나의 화소 중의 특정 색조는, 3비트의 데이터의 대응하는 비트의 2진값에 의거해서 "온" 혹은 "오프" 상태로 각 변조기를 설정함으로써 얻어진다.
도 10은, 화소(100)가 적색 간섭계 변조기(101), (102), (103), 녹색 간섭계 변조기(104), (105), (106) 및 청색 간섭계 변조기(101), (102), (103)의 군을 포함하는 것을 제외하고, 도 9의 그레이스케일 화소(90)와 마찬가지로 작용하는 화소(100)를 지니는 컬러 디스플레이의 일 실시예를 나타내고 있다. 예를 들어, 화소(100)는 3비트의 3개의 군이 각각 3색에 대응하는 9-비트 신호에 대해 응답한다. 다른 예로서, 12-비트 컬러 디스플레이에 있어서, 12 비트 중 4 비트는 적색, 녹색 혹은 청색 간섭계 변조기에 의해 생성되는 적색, 녹색 및 청색의 16가지 강도의 각각에 대응한다.
이러한 그레이스케일 혹은 컬러 디스플레이는 흑백 디스플레이를 어드레스하는 것보다 더욱 많은 표시소자를 지닌다. 그레이 혹은 컬러 디스플레이의 이러한 실시예에 대해서 이들 표시 소자를 어드레스하기 위해서, 표시 제어에 대한 도관의 수(또는 "드라이버 접속부" 혹은 "어드레스 라인" 또는 "리드"(lead))는 전형적으로 증가한다. 예를 들어, 도 11은 3-비트 그레이스케일 디스플레이의 일 실시예를 예시하고 있고, 여기서, 화소는 3개의 행이 각각 변조기의 3개의 하위행으로 더욱 나뉜 상태의 3×3 형태이다. 이러한 실시예는 3×3 흑백 디스플레이에 사용되는 6개의 드라이버 접속부보다는 오히려 총 12개의 드라이버 접속부에 대해 9개의 행 드라이버 접속부와 3개의 열 드라이버 접속부를 지닌다. 드라이버 접속부의 수를 저감시키는 하나의 방법은, 단일의 행방향 도관, 예를 들어(도 12에 예시된 바와 같이), 전술한 3-비트 그레이스케일 실시예에서의 3개의 하위행과 연통하고, 변조기의 군의 선택된 서브셋(subset)의 상태를 변화시키는 신호에 의해 상기 변조기의 군을 구동시키도록 해당 변조기의 군을 구성하는 것이다.
소정의 실시예에 있어서, 각각의 하위행의 간섭계 변조기는, 단일의 행방향 도관과 연통되도록 구성되어 있는 하위행의 군이 개별적으로 어드레스될 수 있도록 변화되는 작동 전압 및 해방 전압을 가질 수 있다. 도 13은 네스트된 안정성 창을 지닌 3개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예를 나타내고 있는 이동 미러 위치 대 인가된 양 및 음 전압의 선도이다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, "네스트된"이란 용어는 작동 전압과 해방 전압의 양쪽 모두에서 이용할 수 있는 차이를 의미한다. 자취(trace)(802)로 표시된 최내 네스트된 히스테리시스 창은 8 볼트 및 4 볼트의 크기를 각각 지니는 작동 전압 및 해방 전압을 가진다. 이 히스테리시스 창은 자취(804)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트되고, 자취(806)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트된다. 자취(804)로 표시된 다음에 네스트된 히스테리시스 창은 각각 10 볼트 및 2 볼트의 크기를 지닌 작동 전압 및 해방 전압을 가진다. 이 히스테리시스 창은 자취(806)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트된다. 자취(806)로 표시된 최외 히스테리시스 창은 각각 12 볼트 및 0 볼트의 크기를 지닌 작동 전압 및 해방 전압을 가진다.
각 하위행과 관련된 변조기의 히스테리시스 창은 변조기의 기하학적 형태 및/또는 재료를 변화시킴으로써 선택될 수 있다. 특히, 작동 전압 및 해방 전압의 폭(작동 전압과 해방 전압 간의 차이), 위치(작동 전압 및 해방 전압의 절대값) 및 상대값은 변조기의 기하학적 형태 및 재료 특성을 변화시킴으로써 선택될 수 있다. 이 변화된 특성으로는, 예를 들어, 이동 미러 지지부 간의 거리, 미러 및/또는 미러를 이동시키는 층 혹은 기구의 스프링 상수, 두께, 인장 응력 또는 강직도(stiffness)에 대한 이동 미러와 관련된 질량, 및 정지 전극과 이동 전극 사이의 유전체 층의 유전 상수 및/또는 두께를 들 수 있다. 간섭계 변조기의 히스테리시스 특성의 선택의 더욱 상세는 미국 특허 출원 제11/193,012호(발명의 명칭 "히스테리시스 창의 선택적 조정 방법 및 장치", 출원일: 2004년 9월 27일)에 개시되어 있고, 이 출원은 본 명세서에 그의 전문이 참조 인용되어 있다.
하위행의 각각의 변조기가 서로 내부에 네스트된 히스테리시스 안정성 창을 지닌 일 실시형태에 있어서, 상기 간섭계 변조기는 도 12에서처럼 배열되어 있다. 예시된 실시예에 있어서, 안정성 창들은, 도 13에 예시된 창처럼 상부의 하위행으로부터 하부의 하위 행까지, 즉, 외부로부터 내부까지 네스트되어 있다. 도 14는 도 12의 제1행에 예시된 표시 배열을 생성하도록 이러한 일 실시예의 상부 행(제1행)에 인가된 일련의 행방향 신호 및 열방향 신호를 예시한 예시적인 타이밍 선도이다. 일반적으로, 양 전압 방식(regime)과 음 전압 방식은 도 13에 나타낸 바와 같이 실질적으로 서로 등가이다. 본 명세서에서는 양 전압 방식을 감안해서 설명되고 예시되었지만, 소정의 실시예에서, 간섭계 변조기는 마찬가지로 음 전압 방식으로 동작될 수도 있다. 행 펄스는 상부로부터 하부까지의 하위행에 대응해서 왼쪽으로부터 오른쪽으로 크기가 감소한다. 펄스의 크기의 이 감소는 작동 전압이 보다 작고 해방 전압이 보다 큰 하위행 내의 이들 변조기에만 어드레스하도록 선택된다. 예를 들어, 예시된 실시예에 있어서, +6 및 -6 볼트의 전위가 열에 인가되고, +6, +4 및 +2 볼트의 행 펄스가 행에 인가된다.
도 14의 펄스는 디스플레이의 제1행의 상태를 다음과 같이 도 12에 도시된 것으로 설정한다. 제1행, 제1열의 제1 라인 시간에 대해서, -6 볼트의 제1열 전위가 +6 볼트의 행 펄스에 따라 인가되어 제1행, 제1열의 변조기에 대해 12볼트 차이를 생성하여, 도 14의 하부를 따라 예시된 바와 같이 작동 위치에 있어서 제1행, 제1열 하위행의 변조기의 상태를 설정한다. 제1열 전위가 나머지 제1행 라인 시간에 대해서 -6에서 유지되어, 제1행, 제1열 하위행 내의 소자의 각각의 상태를 작동 위치로 계속 설정한다. 제2열에 있어서, +6 볼트의 제2열 전위가 제1 라인 시간에 있어서의 +6볼트에서 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 0전위차를 생성하여, 제1행, 제2열의 하위행 내의 변조기를 모두 해방시킨다. 제1행의 제2 라인 시간 동안, -6 볼트의 제2열 전위가 +4 볼트의 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 10볼트 차를 생성하여, 제1행, 제2열의 하부의 2개의 하위행을 작동시킨다. 제1행의 제3행 시간 동안, 제2열 전위가 +2 볼트의 행 펄스와 관련해서 +6 볼트가 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 4볼트 차를 생성하여, 제1행, 제2열의 하부 하위행 내의 변조기를 해방시킨다. 제3열에 있어서, -6 볼트의 제3열 전위가 제1 라인 시간에 있어서 +6 볼트에서 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제3열의 변조기에 대해 12볼트 차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하위행 내의 변조기를 모두 작동시킨다. 제1행의 제2 라인 시간 동안, +6 볼트의 제3열 전위가 +4 볼트의 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제3열의 변조기에 대해 2볼트차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하부의 2개의 하위행을 해방시킨다. 제1행의 제3행 시간 동안, 제3열 전위가 +2 볼트의 행 펄스와 관련해서 -6 볼트로 인가되어, 제1행, 제3열의 변조기에 대해 8볼트차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하부 하위행 내의 변조기를 작동시킨다.
도 15는 도 12에 도시된 것과 같은 디스플레이의 실시예를 갱신하는 방법(850)의 일 실시예를 나타낸 순서도이다. 상기 방법(850)은 도 2의 드라이버(22)가 하위행의 이미지 데이터 값을 수신하는 블록(852)에서 시작된다. 일 실시예에 있어서, 드라이버(22)는 프레임 버퍼로부터 데이터 값을 수신한다. 다음에, 블록(854)에서, 드라이버(22)는 이미지 데이터 값에 상당하는 열 전위를 따라 간섭계 변조기의 모든 하위행에 행 스트로브를 인가한다. 블록(856)으로 이동해서, 드라이버(22)는 다음의 하위행의 데이터를 수신한다. 다음에, 블록(860)에서, 블록(854), (856)의 동작이 하위행의 각각에 대해 반복된다. 일 실시예에 있어서, 블록(854), (856)의 동작은 적어도 부분적으로 동시에 일어난다.
본 발명의 적어도 일 측면은, 양자화 레벨 간의 퍼센트 변화가 보다 낮은 강도에서 크기 때문에 양자화 가공물(quantization artifact)이 고강도 영역 내의 것보다 저강도 영역에서 사용자에게 더욱 가시화되는 것을 실현한 것이다. 예를 들어, 7-비트(27 = 128 양자화 레벨) 시스템에 있어서, 레벨 100에서 레벨 101로의 강도 변화는 1%이다. 대부분의 이용자는 약 4% 이하의 강도 변화를 인식할 수 없으므로, 이 양자화 레벨에서 혹은 그 이하에서의 과도부(transition)는 원활하게 나타난다. 그러나, 레벨 10에서 레벨 11로의 변화는 10%이고, 그 강도 변화는 대부분의 사용자에 의해 용이하게 보여진다. 따라서, 낮은 강도의 양자화 레벨에서, 아날로그 데이터의 개별적으로 디지털화된 양자화 단계로의 양자화는 가공물로서 명백하게 보여진다. 이 문제에 대한 가장 직접적인 접근법은 보다 높은 비트 밀도에서 디지털화하는 것이다. 예를 들어, 상기 강도 범위에 대해 7비트로 디지털화하는 대신에, 주어진 신호는 해당 강도 범위에 대해 10 비트(210 = 1,024 양자화 레벨)로 디지털화되므로, 128-레벨 형태에서 레벨 10 부근으로 떨어지는 아날로그 양자화 레벨은 1,024 레벨 형태에서 레벨 80 부근으로 떨어진다. 레벨 80에서 레벨 81로의 과도부는 약 1.2%이고, 따라서, 이것은 사용자에게 인식되기 어렵다. 그러나, 시스템 비트 밀도에서의 이러한 증가는 보다 큰 시스템 복잡화 및 비용을 초래할 수 있다(예를 들어, 드라이버 접속부의 수는 3×3 7-비트 그레이스케일 디스플레이에서의 24개에서 3×3 10-비트 그레이스케일 디스플레이에서의 33개로 약 38%만큼 증가할 것이다).
간섭계 변조기 기반 시스템에 있어서, 이들 복잡성 논점은 드라이버 집적 회로의 비용 및 복잡성 및 시스템 자체의 비용 및 복잡성에 영향을 주는 경향이 있다. 간섭계 변조기 시스템에 대한 훨씬 더 작동적인 제한과 보다 타이트한 제조 허용도에 대한 영향을 희생하여 드라이버 복잡성 및 비용을 저감시킨 복잡한 간섭계 변조기 디스플레이의 몇몇 구동 계획 방법은 개시되어 있다. 이들 구동 계획의 다수는 또한 간섭계 변조기에 대한 추가의 어드레싱 사이클을 추가하는 것을 포함한다. 이들 추가의 사이클은 간섭계 변조기의 최대 프레임 높이 및 속도 성능을 저감시키거나 혹은 이전의 레벨의 프레임 속도를 유지하기 위해 간섭계 변조기의 추가의 기술 발전을 필요로 하는 경향이 있다. 비록 신호 범위의 높은 강도 말기에 단차 크기를 저감시킬 필요가 없을 지라도(예를 들어, 적어도 약 30에서 31까지의 양자화 단계 이상, 이것은 단지 3.3%임), 디지털화된 신호의 전체 범위를 통해서 양자화 단계 크기를 저감시키는 의미에서 많은 이들 해결책 및 개선점이 과잉희생되고 있다.
도 16은 컬러 간섭계 변조기 화소(160)의 일 실시예의 개략도이다. 도 16에 예시된 실시예에 있어서, 도 10의 간섭계 변조기(101)는 공통 행방향 도관과 연통하도록 구성된 2개의 하위행에 배열된 2개의 간섭계 변조기(161), (162)(또는 "표시 소자")로 구획화되거나 대체되어 있다. 도 10에 있어서, 변조기(101)는 제1열의 면적의 약 4/7과 마주 대한다. 도 16에서와 마찬가지로 구획화되어 있는 경우, 변조기(161)는 제1열의 약 절반(7/14)과 마주 대하고, 변조기(162)는 제1열의 약 1/14와 마주 대한다. 제1 표시 소자(161)는 제1 광학적 활성 영역을 지니고, 제2 표시 소자(162)는 제2 광학적 활성 영역을 지닌다. 소정의 실시예에 있어서, 제1 광학적 활성 영역/제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1(예를 들어, 7 대 1, 7:1, 7/1)과 대략 동일하다. 몇몇 실시예에 있어서, 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 또는 10이다. 몇몇 실시예에 있어서, 정수는 3, 7, 15, 31, 63, 127, 255 또는 임의의 수 2n-l이고, 이때 n은 2와 동일하거나 그 보다 큰 정수이다.
변조기(161), (162)의 양쪽 모두가 함께 구동될 경우, 화소(160)의 기능은 도 10에 개략적으로 도시된 화소(100)로부터 변화되지 않는다. 도 16은 도 10에 있어서의 변조기(101), (104) 및 (107)를 구획화하는 실시예를 나타내지만, 이러한 구획화는 또한 (예를 들어, 도 9에 도시된 변조기(91)를 구획화함으로써) 그레이스케일 디스플레이에 대해 적합화될 수 있다
본 명세서에서 이용되는 바와 같이, 각종 실시예의 복수의 간섭계 변조기 또는 미러와 관련해서 "분할된", "구획화된" 및 "대체된"이란 용어는 보다 큰 간섭계 변조기 또는 미러가 실질적으로 작성되고 나서 보다 작은 간섭계 변조기 또는 미러로 구획화되는 것을 필요로 하지 않는다. 대신에, 이 용어는 상기 관련된 구조를 전술한 형태와 비교하기 위해 이용된다. 예를 들어, 도 16에 있어서의 변조기(161), (162)는, 도 10에 도시된 바와 같이 단일의 변조기(101)로서 형성되고 이어서 보다 작은 변조기로 구획화하는 것과 반대로 되도록, 전형적으로 서로 독립적으로 형성된다. 또한, 독립적인 작성은, 일부의 실시예에 있어서 전술한 바와 같이 변조기(161), (162)의 히스테리시스 곡선의 개별적인 조정을 가능하게 하는 것이 바람직하다.
도 17은 작동 전압은 상이하지만, 해방 전압은 대략 동일한 히스테리시스 곡선 안정성 창을 가진 2개의 간섭계 변조기(예를 들어, 도 16에 도시된 2개의 변조기(161), (162))의 예시적인 일 실시예를 나타내고 있는 변조기 위치 대 인가된 양 전압의 선도이다. 자취(810)는 변조기(161)의 히스테리시스 루프를 나타내고, 자취(808)는 변조기(162)의 히스테리시스 루프를 나타낸다. 소정의 실시예에 있어서, 상기 2개의 변조기(161), (162)의 해방 전압은 상기 각각의 해방 전압 간의 어떠한 차이도 한쪽 변조기를 선택적으로 해방시키지만 다른 쪽은 해방시키지 않는 데 이용되지 않을 경우 서로 실질적으로 동일한 것으로 간주된다. 자취(808)로 표시된 히스테리시스 루프는, 작동 전압이 약 9 볼트이고 해방 전압은 약 1 볼트이다. 자취(810)로 표시되는 히스테리시스 루프는, 작동 전압이 약 15 볼트이고 해방 전압은 약 1 볼트이다. 도 17의 히스테리시스 루프의 해방 전압이 서로 이용가능하게 상이하지 않기(즉, 하나의 변조기를 신뢰성있게 해방하고 다른쪽 변조기를 해방하지 않도록 인가될 수 있는 전압이 없기) 때문에, 도 17의 히스테리시스 루프는 본 명세서에 정의된 "네스트된"이라고 말할 수 없다.
도 18은, 해방 전압은 상이하지만 작동 전압이 대략 동일하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 가지는 2개의 간섭계 변조기(예를 들어, 도 16에 도시된 2개의 변조기(161), (162))의 다른 예시적인 실시예를 나타내고 있는 변조기 위치 대 인가된 양 전압의 선도이다. 자취(814)는 변조기(161)의 히스테리시스 루프를 나타내고, 자취(812)는 변조기(162)의 히스테리시스 루프를 나타낸다. 소정의 실시예에 있어서, 2개의 변조기(161), (162)의 작동 전압은, 각각의 작동 전압 사이의 어떠한 차이도 변조기 중 한쪽을 선택적으로 작동시키고 다른쪽 변조기를 선택적으로 작동시키기 않는 데 이용되지 않을 경우 서로 실질적으로 동일한 것으로 간주된다. 자취(812)로 표시되는 히스테리시스 루프는 작동 전압이 약 15 볼트이고 해방 전압이 약 6 볼트이다. 자취(814)로 표시되는 히스테리시스 루프는 작동 전압이 약 15 볼트이지만, 해방 전압이 약 1 볼트이다. 도 18의 히스테리시스 루프의 작동 전압이 서로 이용가능하게 상이하지 않기(즉, 하나의 변조기를 신뢰성있게 작동하고 다른쪽 변조기를 작동하지 않도록 인가될 수 있는 전압이 없기) 때문에, 이들 히스테리시스 루프는 본 명세서에 정의된 "네스트된"이라고 말할 수 없다.
네스트된 히스테리시스 창이 상이한 전압에서 변조기를 선택적으로 작동/선택적으로 해방하는 양쪽 모두에 이용되도록 의도되어 있는 전술한 실시예와 달리, 도 16 내지 도 18에 도시된 예시적인 실시예는 부가적인 제조 이점을 제공한다. 도 13의 네스트된 히스테리시스 루프의 각각의 작동 전압 및 해방 전압은 서로 아주 가깝다. 예를 들어, 루프(804)의 해방 전압은 약 2 볼트이고, 루프(802)의 해방 전압은 약 4 볼트이다. 따라서, 루프(802)로 표시되는 변조기를 선택적으로 해방시키지만 루프(804)로 표시되는 변조기를 선택적으로 해방시키지 않도록 하기 위해서, 인가된 전압은 2 내지 4 볼트, 바람직하게는 약 3 볼트일 것이다. 이 전압 정확성은 2 볼트 및 4 볼트에서 해방되는 변조기의 제조 허용도가 충분히 정확하지 않을 경우 문제가 존재할 수 있다. 예를 들어, 루프(802)로 표시되는 변조기가 그의 해방 전압이 3.5 볼트로 되도록 제조되고, 루프(804)로 표시되는 변조기가 그의 해방 전압이 2.5 볼트로 되도록 제조된 경우, 인가된 전압의 허용 창은 상당히 수축될 것이다. 이 인가된 전압은 또한 변조기에의 3 볼트의 인가가 실제로 2.5 볼트에 가까운 변조기에 대한 전압차로 될 수 있도록 제조 허용도에 따라 변화될 수도 있다. 이와 같이 해서, 루프(802)로 표시되는 변조기를 해방하기 위하여 변조기에 인가된 전압은 루프(804)로 표시되는 변조기를 부주의하게 해방시킬 수도 있다. 도 13에 표시된 3개의 하위행의 각각에 대한 제조 허용도는, 3개의 변조기의 각각을 정확하게 차동적으로 작동/해방시키기 위해 달성될 필요가 있는 6개의 정확한 작동 전압 및 해방 전압이 있는 것처럼 고도로 정확하게 될 필요가 있다. 이에 대해서, 도 17 또는 도 18에 있어서의 히스테리시스 루프로 표시되는 2개의 변조기는 해당 2개의 변조기를 차동적으로 작동/해방시키도록 선 A, B 및 C로 표시되는 단지 3개의 전압만을 필요로 한다. 부가적으로, 변조기(161)와 변조기(162) 간의 크기 차이가 크기 때문에, 작동 및/또는 해방 전압은 도 13에 나타낸 형태의 전압보다 덜 정확하게 되므로 유리할 수 있다.
도 19는 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 레벨을 개략적으로 예시하고 있다. 변조기의 어느 것도 레벨 0에서 "온" 상태가 아니고, 변조기는 모두 레벨 7에서 "온" 상태이다. 몇몇 변조기는 레벨 1 내지 6에서 "온" 상태이고, 단, 강도량은 변화된다. 낮은 강도 범위에서의 비트 밀도는 높은 강도 범위에서의 비트 밀도와 동일하다. 예를 들어, 도 10의 화소(100)를 위해 도 20에 나타낸 바와 같이, 레벨 4 이하의 강도의 순차적인 양자화 단계 간의 강도 차(예를 들어, 0의 강도 차)는 레벨 4 이상의 강도의 순차적인 양자화 단계 간의 강도차(예를 들어, 1의 강도 차)와 동일하다.
도 17의 히스테리시스 곡선(810), (808)을 지닌 도 16의 2개의 변조기(161), (162)는 소정의 실시예에서는 보다 높은 강도 범위에 비해서 보다 낮은 강도 범위에서 보다 높은 비트 밀도를 제공하는 데 이용된다. 예를 들어, 각 열에 의해 제공될 수 있는 레벨 0 내지 7의 수순에 있어서(예컨대, 도 20에 도시된 바와 같이), 변조기(161)는 레벨 4 이상에 대해서만 "온" 상태에서 작동하거나 놓일 수 있다. 따라서, 레벨 4 미만의 모든 양자화 단계에 대해서, 변조기(161), (162)에 대한 작동 구동 전압은 변조기(162)만이 선택적으로 작동되도록 감소될 수 있다. 이 변조기(162)는 바람직하게는 변조기(164)의 미러의 절반 정도의 광학 중량을 지니는 미러를 가지므로, 변조기(162), (164), (163)는 각각 1:2:4의 비율로 중량을 지니며, 도 21에 예시된 바와 같이 양자화 레벨 4 이하의 8개의 양자화 단계를 생성하는 데 이용될 수 있다. 레벨 4 이하의 양자화 단계는 도 22에 예시되어 있다. 마찬가지로, 도 18의 히스테리시스 곡선(814), (812)를 지닌 도 16의 2개의 변조기(161), (162)는, 다른 소정의 실시예에 있어서, 보다 높은 강도 범위에 비해서 보다 낮은 강도 범위에서 보다 높은 비트 밀도를 제공하는 데 이용된다.
도 16을 재차 참조하면, 미러(164), (163), (162), (161)가 각각 2:4:1:7의 비로 화소와 마주 대할 경우, 순차적인 양자화 단계의 수는 표시 강도 범위의 하부에서 두배 이상이고, 상기 강도 범위의 하부는 대부분 보다 미세한 양자화를 필요로 하는 양자화 범위의 일부이다. 예를 들어, 도 20 및 도 22를 비교하면, 도 22에 있어서 레벨 4 이하의 강도에 대해서 순차적인 양자화 단계의 수(예를 들어, 8)는 도 20 또는 도 22에 있어서의 레벨 4 이상의 강도에 대해서 순차적인 양자화 단계의 수(예를 들어, 3)의 2배 이상이다. 즉, 도 19 및 도 20에 나타낸 바와 같이, 7개의 양자화 단계(이중 4개가 제4 양자화 레벨 이하임)를 달성하기 위해 3개의 변조기를 작동/해방시키기 보다는 오히려, 도 21 및 도 22에 나타낸 바와 같이, 11개의 양자화 단계(이중 8개가 제4 양자화 레벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조기를 작동/해방시킨다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, "양자화 단계"란 용어는 하나의 양의 강도로부터 다음 양의 강도로의 변화를 의미하며, "양자화 레벨"이란 용어는 하나의 비트 깊이로부터 다음 비트 깊이로의 변화를 의미한다. 예를 들어, 도 21의 상부 열에 있어서의 하나의 변조기로부터 다음 변조기로의 강도 변화는 양자화 단계이지만, 양자화 레벨은 아니며, 한편, 도 21의 하부 행에 있어서의 하나의 변조기로부터 다음 변조기로의 강도 변화는 양자화 단계와 양자화 레벨의 양쪽 모두이다. 그 효과는 3-비트보다 큰 비트 심도에서 훨씬 더 현저한 것임을 인식할 수 있을 것이다.
도 23은 컬러 간섭계 변조기 화소(230)의 일 실시예의 개략도이다. 도 23은 도 10에 있어서의 변조기(102), (105), (108)를 구획화하는 일 실시예를 나타내지만, 이러한 구획화는 (예를 들어, 도 9에 나타낸 변조기(92)를 구획화함으로써) 그레이스케일 디스플레이에 대해서 적합할 수도 있다. 도 23에 예시된 실시예에 있어서, 변조기(104)는 공통 행방향 도관과 연통하도록 구성된 하위행에 배열된 2개의 변조기(232), (233)(또는 "표시 소자")로 분할되어 있다. 도 10에 있어서, 변조기(102)는 제1열의 면적의 약 2/7과 마주 대한다. 도 23에 있어서와 마찬가지로 구획화된 경우, 변조기(232)는 제1열의 약 3/14와 마주 대하고, 변조기(233)는 제1열의 약 1/14와 마주 대한다. 변조기(232), (233)가 양쪽 모두 함께 구동될 경우, 화소(200)의 기능은 도 10에 개략적으로 도시된 화소(100)로부터 변하지 않는다. 변조기(232), (233)의 히스테리시스 루프는 도 17 및 도 18에서 표시된 바와 같이 공통 작동 전압 혹은 공통 해방 전압을 공유할 수 있다.
변조기(234), (233), (232), (231)가 각각 2:1:3:8의 비율로 화소와 마주 대할 경우, 순차적인 양자화 단계의 수(예를 들어, 2)는 디스플레이 양자화 범위의 레벨 2 이하의 2배로 되고, 상기 범위는 대부분 보다 미세한 양자화를 필요로 하는 양자화 범위의 부분의 일부이다. 도 21 및 도 22에 도시된 바와 같이, 11개의 양자화 단계(그 중 8개는 제4 양자화 레벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조기를 작동/해방시키기 보다는 오히려, 도 24 및 도 25에 도시된 바와 같이 11개의 양자화 단계(그 중 6개는 제4 양자화 레벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조기를 작동/해방시킨다. 도 16에 예시된 개략도는 레벨 2와 레벨 4 사이에 보다 미세한 양자화 단계를 제공하기 때문에, 도 10의 미러(101)를 구획화하는 것이 도 10의 미러(104)를 구획하는 것보다 바람직하다.
더욱 미세한 양자화는, 도 26에 있어서의 개략도로 표시된 바와 같이, 도 10에 나타낸 미러(101)와 미러(104)를 양쪽 모두 구획화함으로써 작성될 수 있다. 도 27 및 도 28에 나타낸 바와 같이, 이러한 개략도는 17개의 양자화 단계로 되며, 그 중 12개는 제4 양자화 레벨 이하로 된다. "양자화 단계"와 "양자화 레벨" 간의 차이의 다른 예에 대해서, 도 27의 상부 행의 왼쪽에서 두번째 변조기로부터 도 27의 상부 행의 왼쪽에서 세번째 변조기까지의 강도 변화가 양자화 단계이지만, 도 27의 상부 행에서 왼쪽에서 첫번째 변조기로부터 도 27의 상부 행의 왼쪽에서 다섯번째 변조기까지의 강도 변화가 양자화 레벨이다.
더욱 더 미세한 양자화는, 도 29의 개략도에 예시된 바와 같이, 도 10에서의 3개의 미러(101), (104), (107)를 모두 구획화함으로써 달성된다. 도 30에 나타낸 바와 같이, 이러한 구성은 26개의 양자화 단계로 되고, 그 중 18개는 제4 양자화 레벨 이하이다. 따라서, 단지 6개만을 모두 유지하면서 컬러 화소로 되지만, 양자화 단계의 수는 7에서 26까지 유리하게 증가하고, 이중 대다수는 대부분 보다 미세한 양자화를 필요로 하는 낮은 강도의 영역에 있게 된다. 이 구성은, 드라이버 IC로부터 어드레스 라인의 수를 증가시키는 일없이, 낮은 강도에서 이간되어 있는 양자화 레벨을 극적으로 감소시키고, 이 표시 범위는 대부분 필요로 된다.
이상 각종 구체적인 실시예가 설명되어 있다. 본 발명은 이들 구체적인 실시예를 참조해서 설명되었지만, 그 설명은 본 발명을 예시하기 위해 의도된 것일 뿐, 제한하기 위해 의도된 것은 아니다. 당업자라면 첨부된 청구의 범위 내에 정의된 바와 같은 본 발명의 진정한 범위로부터 벗어나는 일없이 각종 변경 및 응용을 행할 수 있다.

Claims (15)

  1. 복수개의 전기 도관(electrical conduit); 및
    상기 복수개의 전기 도관 중 적어도 2개와 각각 전기 통신되는 복수개의 표시 소자를 포함하는 화소를 포함하되,
    상기 화소는 높은 강도 범위들과 낮은 강도 범위들을 포함하는 복수개의 강도 범위를 지니고, 상기 낮은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도는 상기 높은 강도 범위들에서의 상기 화소의 비트 밀도보다 높은 것인 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화소는 적어도 하나의 양자화 단계(quantization step)를 각각 포함하는 복수개의 양자화 레벨(quantization level)을 구비하고,
    상기 복수개의 양자화 레벨은 중간 양자화 레벨, 상기 중간 양자화 레벨보다 높은 제1의 복수개의 양자화 레벨 및 상기 중간 양자화 레벨보다 낮은 제2의 복수개의 양자화 레벨을 포함하며, 상기 제2의 복수개의 양자화 레벨은 상기 제1의 복수개의 양자화 레벨보다 많은 양자화 단계를 포함하는 것인 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2의 복수개의 양자화 레벨 내의 순차적인 상기 양자화 단계들 간의 강도차는 약 4% 미만으로 인간 시각계(human visual system)에 의해 식별할 수 없는 것인 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 화소는 복수개의 양자화 단계를 가지며, 상기 화소는
    약 4% 미만이고 인간 시각계에 의해 식별할 수 없는 낮은 강도 범위에서 순차적인 상기 양자화 단계들 간에 강도 변화를 지니는 것인 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 표시 소자는 적어도 4개의 표시 소자를 포함하는 것인 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 전기 도관은
    제1전기 도관; 및
    상기 제1전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2전기 도관을 포함하고;
    상기 복수개의 표시 소자는
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자; 및
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자를 포함하며,
    상기 제1 광학적 활성 영역/상기 제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1인 것인 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 광학적 활성 영역/상기 제2 광학적 활성 영역의 비 중의 상기 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 15, 31, 63, 127, 255 혹은 2n-1이되, n은 2와 동일하거나 혹은 2보다 큰 정수인 것인 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 전기 도관은
    제1전기 도관; 및
    상기 제1전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2전기 도관을 포함하고;
    상기 복수개의 표시 소자는
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자; 및
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1광학적 활성 영역보다 작은 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자를 포함하며,
    상기 제1표시 소자는 상기 제2표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성된 것인 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 복수개의 전기 도관은
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기적으로 절연된 제3전기 도관; 및
    상기 제1 전기 도관, 상기 제2 전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기적으로 절연된 제4전기 도관을 더 포함하고;
    상기 복수개의 표시 소자는
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제3 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1 및 제2 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제3광학적 활성 영역을 지니는 제3표시 소자; 및
    상기 제3 전기 도관 또는 상기 제4전기 도관 중 어느 한쪽 및 상기 제1 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1, 제2 및 제3 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제4광학적 활성 영역을 지니는 제4표시 소자를 더 포함하는 것인 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제4광학적 활성 영역은 상기 제3광학적 활성 영역보다 큰 것인 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 제4 표시 소자는 상기 제1전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기 통신하며, 상기 제4 표시 소자는 상기 제3표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성된 것인 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 전기 도관은
    제1전기 도관;
    상기 제1 전기 도관과 전기적으로 절연된 제2전기 도관;
    상기 제1전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기적으로 절연된 제3전기 도관; 및
    상기 제1 전기 도관, 상기 제2 전기 도관 및 상기 제3전기 도관과 전기적으로 절연된 제4전기 도관을 포함하고;
    상기 복수개의 표시 소자는
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 제1광학적 활성 영역을 지니는 제1표시 소자;
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1광학적 활성 영역보다 작은 제2광학적 활성 영역을 지니는 제2표시 소자;
    상기 제1 전기 도관 및 상기 제3 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1 및 제2 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제3광학적 활성 영역을 지니는 제3표시 소자; 및
    상기 제3 전기 도관 또는 상기 제4전기 도관 중 어느 한쪽 및 상기 제1 전기 도관과 전기 통신하고, 상기 제1, 제2 및 제3 광학적 활성 영역의 각각과는 상이한 제4광학적 활성 영역을 지니는 제4표시 소자를 포함하는 것인 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제4광학적 활성 영역은 상기 제3광학적 활성 영역보다 큰 것인 장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 제4 표시 소자는 상기 제3표시 소자가 작동 상태에 있을 경우에만 작동 상태에 있도록 구성된 것인 장치.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수개의 표시 소자는 각각 간섭계 변조기(interferometric modulator)를 포함하는 것인 장치.
KR1020127011236A 2006-06-15 2007-04-30 Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치 KR101296143B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/454,162 US7471442B2 (en) 2006-06-15 2006-06-15 Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US11/454,162 2006-06-15
PCT/US2007/010499 WO2007145720A2 (en) 2006-06-15 2007-04-30 Method and apparatus for low range bit depth enhancement for mems display architectures

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097000664A Division KR20090023687A (ko) 2006-06-15 2007-04-30 Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을위한 방법 및 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120064123A KR20120064123A (ko) 2012-06-18
KR101296143B1 true KR101296143B1 (ko) 2013-08-19

Family

ID=38814584

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127011236A KR101296143B1 (ko) 2006-06-15 2007-04-30 Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치
KR1020097000664A KR20090023687A (ko) 2006-06-15 2007-04-30 Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을위한 방법 및 장치

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097000664A KR20090023687A (ko) 2006-06-15 2007-04-30 Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을위한 방법 및 장치

Country Status (10)

Country Link
US (3) US7471442B2 (ko)
EP (2) EP2383726A1 (ko)
JP (2) JP4981131B2 (ko)
KR (2) KR101296143B1 (ko)
CN (2) CN101467198B (ko)
BR (2) BRPI0712548A2 (ko)
CA (1) CA2654185A1 (ko)
RU (2) RU2440623C2 (ko)
TW (2) TW200807060A (ko)
WO (1) WO2007145720A2 (ko)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7719500B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7471442B2 (en) 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US20080111834A1 (en) * 2006-11-09 2008-05-15 Mignard Marc M Two primary color display
US7916378B2 (en) * 2007-03-08 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing a light absorbing mask in an interferometric modulator display
US8111262B2 (en) 2007-05-18 2012-02-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity
US7847999B2 (en) 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7969638B2 (en) 2008-04-10 2011-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having thin black mask and method of fabricating the same
US7791783B2 (en) * 2008-06-25 2010-09-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US9344694B2 (en) * 2008-08-26 2016-05-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator sub-pixel architecture and method
KR101542400B1 (ko) * 2008-12-29 2015-08-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 구동 방법
US8270056B2 (en) 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
US8736590B2 (en) * 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
KR101588000B1 (ko) * 2009-08-18 2016-01-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 구동 방법 및 이를 이용한 표시 장치
US20110148837A1 (en) * 2009-12-18 2011-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge control techniques for selectively activating an array of devices
WO2011126953A1 (en) 2010-04-09 2011-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer of an electromechanical device and methods of forming the same
BR112012026329A2 (pt) 2010-04-16 2019-09-24 Flex Lighting Ii Llc sinal compreendendo um guia de luz baseado em película
CA2796519A1 (en) 2010-04-16 2011-10-20 Flex Lighting Ii, Llc Illumination device comprising a film-based lightguide
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US20130003158A1 (en) * 2011-06-28 2013-01-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for optical decoupling
US8872804B2 (en) * 2011-07-21 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Touch sensing display devices and related methods
US20130127926A1 (en) * 2011-11-11 2013-05-23 Qualcomm Mens Technologies, Inc. Systems, devices, and methods for driving a display
US9181086B1 (en) 2012-10-01 2015-11-10 The Research Foundation For The State University Of New York Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof
US20140168223A1 (en) * 2012-12-13 2014-06-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel actuation voltage tuning
US10341622B2 (en) 2013-05-07 2019-07-02 Dolby Laboratories Licensing Corporation Multi-half-tone imaging and dual modulation projection/dual modulation laser projection
BR122020009989B1 (pt) 2013-05-07 2022-11-16 Dolby Laboratories Licensing Corporation Método, projetor e visor para imageamento de múltiplos meios-tons e projeção de modulação dual/ projeção laser de modulação dual
US20150317944A1 (en) * 2014-05-02 2015-11-05 Qualcomm Incorporated Mobile device based color management of digital displays
US20150317928A1 (en) * 2014-05-02 2015-11-05 Qualcomm Incorporated Mobile device based color management of digital displays
CN110190093A (zh) * 2019-05-22 2019-08-30 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及其发光亮度的控制方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1439515A2 (en) * 2003-01-18 2004-07-21 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Sub-pixel assembly with dithering
WO2006036427A2 (en) * 2004-09-27 2006-04-06 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window

Family Cites Families (289)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US3037189A (en) 1958-04-23 1962-05-29 Sylvania Electric Prod Visual display system
US3247392A (en) * 1961-05-17 1966-04-19 Optical Coating Laboratory Inc Optical coating and assembly used as a band pass interference filter reflecting in the ultraviolet and infrared
US3210757A (en) 1962-01-29 1965-10-05 Carlyle W Jacob Matrix controlled light valve display apparatus
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
FR1603131A (ko) 1968-07-05 1971-03-22
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3725868A (en) 1970-10-19 1973-04-03 Burroughs Corp Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications
US3701586A (en) 1971-04-21 1972-10-31 George G Goetz Light modulating deflectable membrane
US3755190A (en) * 1971-11-09 1973-08-28 Ncr Capsule manufacture
JPS4946974A (ko) 1972-09-11 1974-05-07
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US4087810A (en) 1976-06-30 1978-05-02 International Business Machines Corporation Membrane deformographic display, and method of making
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4196396A (en) 1976-10-15 1980-04-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Interferometer apparatus using electro-optic material with feedback
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
US4377324A (en) 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
JPS60159731A (ja) 1984-01-30 1985-08-21 Sharp Corp 液晶表示体
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4560435A (en) 1984-10-01 1985-12-24 International Business Machines Corporation Composite back-etch/lift-off stencil for proximity effect minimization
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US4655554A (en) 1985-03-06 1987-04-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Spatial light modulator having a capacitively coupled photoconductor
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
GB2186708B (en) 1985-11-26 1990-07-11 Sharp Kk A variable interferometric device and a process for the production of the same
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
DE3716485C1 (de) 1987-05-16 1988-11-24 Heraeus Gmbh W C Xenon-Kurzbogen-Entladungslampe
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
JP2700903B2 (ja) 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5446479A (en) * 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
KR100202246B1 (ko) * 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US4900395A (en) 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
US5500635A (en) * 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
CH682523A5 (fr) 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
DE69113150T2 (de) 1990-06-29 1996-04-04 Texas Instruments Inc Deformierbare Spiegelvorrichtung mit aktualisiertem Raster.
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
US5062689A (en) 1990-08-21 1991-11-05 Koehler Dale R Electrostatically actuatable light modulating device
US5034351A (en) 1990-10-01 1991-07-23 Motorola, Inc. Process for forming a feature on a substrate without recessing the surface of the substrate
US5192395A (en) 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5602671A (en) * 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
US5136669A (en) 1991-03-15 1992-08-04 Sperry Marine Inc. Variable ratio fiber optic coupler optical signal processing element
CA2063744C (en) 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
US5315370A (en) 1991-10-23 1994-05-24 Bulow Jeffrey A Interferometric modulator for optical signal processing
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
EP0562424B1 (en) 1992-03-25 1997-05-28 Texas Instruments Incorporated Embedded optical calibration system
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
US5638084A (en) 1992-05-22 1997-06-10 Dielectric Systems International, Inc. Lighting-independent color video display
JPH06214169A (ja) * 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) * 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5293272A (en) 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
JP3240724B2 (ja) 1993-02-09 2001-12-25 ソニー株式会社 配線形成方法
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7830587B2 (en) 1993-03-17 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with semiconductor substrate
US5337191A (en) 1993-04-13 1994-08-09 Photran Corporation Broad band pass filter including metal layers and dielectric layers of alternating refractive index
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
US5489952A (en) * 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5510824A (en) * 1993-07-26 1996-04-23 Texas Instruments, Inc. Spatial light modulator array
US5497197A (en) * 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5894686A (en) * 1993-11-04 1999-04-20 Lumitex, Inc. Light distribution/information display systems
US5500761A (en) * 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US5796378A (en) 1994-03-29 1998-08-18 Casio Computer Co., Ltd. Birifringence control type liquid crystal display device and apparatus and method of driving the same
US5457900A (en) 1994-03-31 1995-10-17 Roy; Avery J. Footwear display device
GB9407116D0 (en) 1994-04-11 1994-06-01 Secr Defence Ferroelectric liquid crystal display with greyscale
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7808694B2 (en) 1994-05-05 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7852545B2 (en) 1994-05-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7738157B2 (en) 1994-05-05 2010-06-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US7460291B2 (en) 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US7826120B2 (en) 1994-05-05 2010-11-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for multi-color interferometric modulation
US20010003487A1 (en) 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US5499062A (en) * 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
US5619059A (en) * 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5726480A (en) * 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US6046840A (en) * 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5835256A (en) 1995-06-19 1998-11-10 Reflectivity, Inc. Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements
US6849471B2 (en) * 2003-03-28 2005-02-01 Reflectivity, Inc. Barrier layers for microelectromechanical systems
US5739945A (en) * 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
US5740150A (en) * 1995-11-24 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Galvanomirror and optical disk drive using the same
US5889568A (en) 1995-12-12 1999-03-30 Rainbow Displays Inc. Tiled flat panel displays
JP3799092B2 (ja) * 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
JP3597305B2 (ja) 1996-03-05 2004-12-08 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置およびその作製方法
US5867301A (en) 1996-04-22 1999-02-02 Engle; Craig D. Phase modulating device
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
US5786927A (en) 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
US6123431A (en) 1997-03-19 2000-09-26 Sanyo Electric Co., Ltd Backlight apparatus and light guide plate
US6034752A (en) 1997-03-22 2000-03-07 Kent Displays Incorporated Display device reflecting visible and infrared radiation
DE69806846T2 (de) * 1997-05-08 2002-12-12 Texas Instruments Inc., Dallas Verbesserungen für räumliche Lichtmodulatoren
FI104658B (fi) 1997-05-26 2000-03-15 Nokia Mobile Phones Ltd Kahden näytön näyttöjärjestely ja päätelaite
US5959777A (en) 1997-06-10 1999-09-28 The University Of British Columbia Passive high efficiency variable reflectivity image display device
US6285424B1 (en) 1997-11-07 2001-09-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Black mask, color filter and liquid crystal display
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
US6100861A (en) 1998-02-17 2000-08-08 Rainbow Displays, Inc. Tiled flat panel display with improved color gamut
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
US6282010B1 (en) 1998-05-14 2001-08-28 Texas Instruments Incorporated Anti-reflective coatings for spatial light modulators
JP3865942B2 (ja) 1998-07-17 2007-01-10 富士フイルムホールディングス株式会社 アクティブマトリクス素子、及びアクティブマトリクス素子を用いた発光素子、光変調素子、光検出素子、露光素子、表示装置
GB2341476A (en) 1998-09-03 2000-03-15 Sharp Kk Variable resolution display device
JP4074714B2 (ja) * 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6323834B1 (en) * 1998-10-08 2001-11-27 International Business Machines Corporation Micromechanical displays and fabrication method
US6171945B1 (en) * 1998-10-22 2001-01-09 Applied Materials, Inc. CVD nanoporous silica low dielectric constant films
US6335831B2 (en) * 1998-12-18 2002-01-01 Eastman Kodak Company Multilevel mechanical grating device
US6465956B1 (en) 1998-12-28 2002-10-15 Pioneer Corporation Plasma display panel
US6358021B1 (en) * 1998-12-29 2002-03-19 Honeywell International Inc. Electrostatic actuators for active surfaces
US6215221B1 (en) * 1998-12-29 2001-04-10 Honeywell International Inc. Electrostatic/pneumatic actuators for active surfaces
JP3864204B2 (ja) 1999-02-19 2006-12-27 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネル
DE19911287C1 (de) * 1999-03-13 2000-08-31 Thyssenkrupp Stahl Ag Verfahren zum Erzeugen eines Warmbandes
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6862029B1 (en) * 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6518944B1 (en) 1999-10-25 2003-02-11 Kent Displays, Inc. Combined cholesteric liquid crystal display and solar cell assembly device
US7061678B1 (en) 1999-11-10 2006-06-13 Thomson Licensing Stereoscopic display device with two back light sources
AU1813001A (en) * 1999-12-03 2001-06-12 California Institute Of Technology Optically efficient liquid crystal display device
US6552840B2 (en) * 1999-12-03 2003-04-22 Texas Instruments Incorporated Electrostatic efficiency of micromechanical devices
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
US6545335B1 (en) * 1999-12-27 2003-04-08 Xerox Corporation Structure and method for electrical isolation of optoelectronic integrated circuits
US6548908B2 (en) * 1999-12-27 2003-04-15 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in passive devices
WO2001063588A1 (en) 2000-02-24 2001-08-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Display device comprising a light guide
US6836366B1 (en) 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
US6747775B2 (en) * 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same
JP3480710B2 (ja) * 2000-03-28 2003-12-22 松下電器産業株式会社 送信電力制御装置及び送信電力制御方法
US7008812B1 (en) * 2000-05-30 2006-03-07 Ic Mechanics, Inc. Manufacture of MEMS structures in sealed cavity using dry-release MEMS device encapsulation
EP1170618B1 (en) 2000-07-03 2010-06-16 Sony Corporation Optical multilayer structure, optical switching device, and image display
CA2352729A1 (en) * 2000-07-13 2002-01-13 Creoscitex Corporation Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
JP3823016B2 (ja) 2000-07-21 2006-09-20 株式会社日立製作所 液晶表示装置
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
JP2002062490A (ja) 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子
US6376787B1 (en) * 2000-08-24 2002-04-23 Texas Instruments Incorporated Microelectromechanical switch with fixed metal electrode/dielectric interface with a protective cap layer
JP4304852B2 (ja) * 2000-09-04 2009-07-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 非平面液晶表示素子及びその製造方法
CN1480000A (zh) 2000-10-12 2004-03-03 ���ŷ� 基于数字光线处理的3d投影系统与方法
JP2002333870A (ja) * 2000-10-31 2002-11-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置、ｅｌ表示装置及びその駆動方法、並びに副画素の表示パターン評価方法
JP3466148B2 (ja) * 2000-11-02 2003-11-10 富士通株式会社 ガルバノミラーの製造方法およびガルバノミラー
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
TW565726B (en) 2000-11-27 2003-12-11 Asulab Sa Reflective liquid crystal display device with improved display contrast
US6847752B2 (en) 2000-12-07 2005-01-25 Bluebird Optical Mems Ltd. Integrated actuator for optical switch mirror array
US6906847B2 (en) 2000-12-07 2005-06-14 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
JP2002221678A (ja) 2001-01-25 2002-08-09 Seiko Epson Corp 光スイッチングデバイス、その製造方法および画像表示装置
JP3818857B2 (ja) 2001-02-07 2006-09-06 シャープ株式会社 表示装置
GB0108309D0 (en) 2001-04-03 2001-05-23 Koninkl Philips Electronics Nv Matrix array devices with flexible substrates
JP4603190B2 (ja) 2001-04-16 2010-12-22 株式会社日立製作所 液晶表示装置
US6600587B2 (en) 2001-04-23 2003-07-29 Memx, Inc. Surface micromachined optical system with reinforced mirror microstructure
JP4181495B2 (ja) 2001-06-29 2008-11-12 シチズンホールディングス株式会社 液晶表示パネル
US6862022B2 (en) * 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6661562B2 (en) 2001-08-17 2003-12-09 Lucent Technologies Inc. Optical modulator and method of manufacture thereof
US6870581B2 (en) * 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
US6574043B2 (en) * 2001-11-07 2003-06-03 Eastman Kodak Company Method for enhanced bit depth in an imaging apparatus using a spatial light modulator
EP1446791B1 (en) * 2001-11-20 2015-09-09 E Ink Corporation Methods for driving electrophoretic displays
US20050117109A1 (en) * 2001-12-10 2005-06-02 Johannes Marra Display panel comprising a light guide
CN1639866B (zh) 2001-12-14 2010-04-28 莱尔德技术公司 包括有损耗的介质的电磁干扰屏蔽件
US20030128175A1 (en) 2002-01-09 2003-07-10 International Business Machines Corporation Stereoscopic display system and method
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
GB0205479D0 (en) 2002-03-08 2002-04-24 Koninkl Philips Electronics Nv Matrix display devices
JP4348457B2 (ja) 2002-03-13 2009-10-21 ドルビー ラボラトリーズ ライセンシング コーポレイション 高ダイナミックレンジのディスプレイ、ディスプレイコントローラ及び画像表示方法
EP1497820A4 (en) 2002-04-11 2009-03-11 Genoa Color Technologies Ltd COLOR DISPLAY DEVICES AND METHODS HAVING IMPROVED ATTRIBUTES
US6778034B2 (en) 2002-05-07 2004-08-17 G.M.W.T. (Global Micro Wire Technology) Ltd. EMI filters
DE10221301B4 (de) 2002-05-14 2004-07-29 Junghans Uhren Gmbh Vorrichtung mit Solarzellenanordnung und Flüssigkristallanzeige
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6674033B1 (en) * 2002-08-21 2004-01-06 Ming-Shan Wang Press button type safety switch
US7071895B2 (en) 2002-08-22 2006-07-04 Novus Communication Technologies, Inc. Pseudo bit-depth system for dynamic billboards
JP2004145264A (ja) 2002-08-30 2004-05-20 Victor Co Of Japan Ltd 投射型表示装置
WO2004027497A1 (ja) 2002-09-20 2004-04-01 Hitachi Displays, Ltd. 半透過反射型液晶表示装置
US6885409B2 (en) 2002-09-27 2005-04-26 Eastman Kodak Company Cholesteric liquid crystal display system
TW594155B (en) 2002-12-27 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd Optical interference type color display and optical interference modulator
KR100491257B1 (ko) 2002-12-31 2005-05-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반투과형 액정표시장치
US7250930B2 (en) 2003-02-07 2007-07-31 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transparent active-matrix display
US7459402B2 (en) 2003-02-12 2008-12-02 Texas Instruments Incorporated Protection layers in micromirror array devices
KR100925195B1 (ko) 2003-03-17 2009-11-06 엘지전자 주식회사 대화형 디스크 플레이어의 이미지 데이터 처리장치 및처리방법
US6913942B2 (en) * 2003-03-28 2005-07-05 Reflectvity, Inc Sacrificial layers for use in fabrications of microelectromechanical devices
TW583469B (en) 2003-03-28 2004-04-11 Au Optronics Corp Back light module and liquid crystal display
TWI226504B (en) * 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
US7072093B2 (en) * 2003-04-30 2006-07-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical interference pixel display with charge control
JP4012118B2 (ja) * 2003-05-19 2007-11-21 キヤノン株式会社 画像表示装置
TW591716B (en) * 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
US7190380B2 (en) 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
JP4552400B2 (ja) * 2003-08-07 2010-09-29 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置、画像表示方法及び画像表示プログラム
TW200506479A (en) 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
US6880959B2 (en) * 2003-08-25 2005-04-19 Timothy K. Houston Vehicle illumination guide
US6982820B2 (en) 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US7324176B2 (en) 2003-10-07 2008-01-29 American Panel Corporation Flat panel display having integral heater, EMI shield, and thermal sensors
US7265809B2 (en) 2003-10-07 2007-09-04 Universal Avionics Systems Corporation Flat panel display having integral metal heater optically hidden behind an EMI shield
US7545553B2 (en) * 2006-08-30 2009-06-09 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Display control system for spatial light modulators
US7782523B2 (en) * 2003-11-01 2010-08-24 Fusao Ishii Analog micromirror devices with continuous intermediate states
US7142346B2 (en) * 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
TWI256941B (en) * 2004-02-18 2006-06-21 Qualcomm Mems Technologies Inc A micro electro mechanical system display cell and method for fabricating thereof
US20050195370A1 (en) 2004-03-02 2005-09-08 Gore Makarand P. Transmissive/reflective light engine
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
TW200530669A (en) 2004-03-05 2005-09-16 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
TWI261683B (en) 2004-03-10 2006-09-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference reflective element and repairing method thereof
US7612759B2 (en) 2004-05-12 2009-11-03 Shimano Inc. Cycle computer display apparatus
EP1779173A1 (en) 2004-07-29 2007-05-02 Idc, Llc System and method for micro-electromechanical operating of an interferometric modulator
US7564612B2 (en) 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7327510B2 (en) 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7321456B2 (en) 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7532195B2 (en) * 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7630119B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7554714B2 (en) 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Device and method for manipulation of thermal response in a modulator
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
CN1755750A (zh) * 2004-09-27 2006-04-05 Idc公司 显示区域架构
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7893919B2 (en) * 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7184202B2 (en) 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
KR100815337B1 (ko) 2004-10-08 2008-03-19 삼성전기주식회사 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기
US7170697B2 (en) 2004-10-20 2007-01-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Programmable waveform for lamp ballast
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
JP4743846B2 (ja) 2005-05-10 2011-08-10 シチズン電子株式会社 光通信装置及びそれを用いた情報機器
JP4641478B2 (ja) * 2005-09-27 2011-03-02 キヤノン株式会社 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置
US8574823B2 (en) 2005-10-05 2013-11-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multi-level layer
US7513327B1 (en) * 2005-10-13 2009-04-07 Kent Peterson System for converting a recreational vehicle
US7628493B2 (en) 2006-04-18 2009-12-08 Xerox Corporation Projector based on tunable individually-addressable Fabry-Perot filters
US20070268201A1 (en) 2006-05-22 2007-11-22 Sampsell Jeffrey B Back-to-back displays
US7321457B2 (en) 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
US7471442B2 (en) 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US7566664B2 (en) * 2006-08-02 2009-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants
US7403180B1 (en) 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1439515A2 (en) * 2003-01-18 2004-07-21 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Sub-pixel assembly with dithering
WO2006036427A2 (en) * 2004-09-27 2006-04-06 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window

Also Published As

Publication number Publication date
US7471442B2 (en) 2008-12-30
US7898725B2 (en) 2011-03-01
RU2011131707A (ru) 2013-02-10
KR20120064123A (ko) 2012-06-18
US20100328755A1 (en) 2010-12-30
US7808695B2 (en) 2010-10-05
EP2383726A1 (en) 2011-11-02
TW200807060A (en) 2008-02-01
CN101467198A (zh) 2009-06-24
JP4981131B2 (ja) 2012-07-18
JP2009540382A (ja) 2009-11-19
WO2007145720A3 (en) 2008-03-13
KR20090023687A (ko) 2009-03-05
EP2027575A2 (en) 2009-02-25
US20070290961A1 (en) 2007-12-20
BRPI0722427A2 (pt) 2013-11-26
CA2654185A1 (en) 2007-12-21
RU2008146783A (ru) 2010-07-20
US20090103168A1 (en) 2009-04-23
RU2440623C2 (ru) 2012-01-20
BRPI0712548A2 (pt) 2012-10-16
CN101467198B (zh) 2013-02-27
TW201145246A (en) 2011-12-16
JP2011237812A (ja) 2011-11-24
WO2007145720A2 (en) 2007-12-21
CN103021350A (zh) 2013-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101296143B1 (ko) Ｍｅｍｓ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을 위한 장치
KR101331585B1 (ko) Ｍｅｍｓ 디스플레이 요소들에 데이터를 기록하는 방법 및시스템
US8405649B2 (en) Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US7948457B2 (en) Systems and methods of actuating MEMS display elements
KR101293202B1 (ko) 디스플레이의 전력 소비를 저감시키는 방법 및 시스템
KR101162189B1 (ko) 미소 기전 시스템 디스플레이를 어드레싱하는 시스템 및방법
US7920136B2 (en) System and method of driving a MEMS display device
US8736590B2 (en) Low voltage driver scheme for interferometric modulators
CA2578029A1 (en) Systems and methods of actuating mems display elements
KR20060092906A (ko) 간섭 변조기에서의 다중 레벨 밝기를 위한 시스템 및 방법
US8194056B2 (en) Method and system for writing data to MEMS display elements
KR20090033457A (ko) 디스플레이 입력을 역다중화하기 위한 수동적 회로
KR20130052728A (ko) 교호 방향으로의 프레임 버퍼 저장 및 검색을 위한 시스템 및 방법
KR20120098776A (ko) 컬러 행 및 에너지 절감 행 구동 시퀀스를 구비하는 디스플레이
US8884940B2 (en) Charge pump for producing display driver output
KR20120101134A (ko) 소자의 어레이를 선택적으로 활성화시키는 전하 제어 기법

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee