KR101292317B1 - 시트 트레이 이송 장치 - Google Patents
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Abstract
시트의 이송 중 시트와 이송 유닛 간의 직접적인 접촉에 의해 발생하는 스크래치 불량을 미연에 방지할 수 있는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치는 시트의 표면에 수지물을 도포하고, 광원을 이용하여 상기 수지물을 경화시켜 코팅층을 형성하는 과정 시 상기 시트를 이송하는 데 사용되는 장치로써, 상기 시트의 하부에 장착되어 상기 시트의 이송을 제어하는 이송 유닛; 및 상기 이송 유닛 상에 장착되며, 상기 시트를 탑재하여 상기 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는 시트 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치는 시트의 표면에 수지물을 도포하고, 광원을 이용하여 상기 수지물을 경화시켜 코팅층을 형성하는 과정 시 상기 시트를 이송하는 데 사용되는 장치로써, 상기 시트의 하부에 장착되어 상기 시트의 이송을 제어하는 이송 유닛; 및 상기 이송 유닛 상에 장착되며, 상기 시트를 탑재하여 상기 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는 시트 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 시트 트레이 이송 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 시트의 이송 중 시트와 이송 유닛 간의 직접적인 접촉에 의해 발생하는 스크래치 불량을 미연에 방지할 수 있는 시트 트레이 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 시트의 표면을 코팅하는 방식으로는 슬릿 코팅 방식과 스핀 코팅 방식이 주로 이용되고 있다. 이러한 표면 코팅은 시트의 표면에 수지물을 균일하게 도포하기 위하여 실시하게 된다. 이러한 표면 코팅이 이루어진 수지물은 광원으로부터 조사되는 빛에 의해 경화된다.
이때, 시트는 작업 생산성 및 공정 수율을 향상시키기 위한 목적으로 이송 롤러나 컨베이어 벨트 상에 안착시킨 상태에서 코터로부터 광원으로 이송시키는 방식으로 각각의 공정을 수행하게 된다.
그러나, 종래에는 이송 롤러나 컨베이어 벨트 등의 이송 유닛 상에 시트를 안착시킨 상태에서 이송이 이루어지기 때문에 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉되는 데 기인하여 시트에 스크래치가 빈번히 발생하는 문제가 있었다. 이러한 스크래치는 최종적으로 제조되는 시트의 품질을 저해하는 요인으로 작용하여 생산 수율을 저하시키는 문제를 유발한다.
관련 선행문헌으로는 대한민국 공개특허공보 제10-2004-0079093호(2004.09.14. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 슬릿 코터 및 이를 이용한 포토레지스트 도포 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 코터(coater)를 이용한 코팅 공정 전후 시트가 이송될 때, 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉하는 데 기인하여 발생하는 스크래치 불량을 미연에 방지함으로써, 공정 시간 및 원가 절감 효과로 생산 수율을 향상시킬 수 있는 시트 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치는 시트의 표면에 수지물을 도포하고, 광원을 이용하여 상기 수지물을 경화시켜 코팅층을 형성하는 과정 시 상기 시트를 이송하는 데 사용되는 장치로써, 상기 시트의 하부에 장착되어 상기 시트의 이송을 제어하는 이송 유닛; 및 상기 이송 유닛 상에 장착되며, 상기 시트를 탑재하여 상기 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는 시트 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 시트 트레이 이송 장치는 시트와 이송 유닛 사이에 시트 트레이를 설치함으로써, 시트와 이송 유닛이 직접적으로 접촉하는 것을 미연에 방지하여 시트의 이송 중에 발생하는 스크래치 불량을 원천적으로 차단할 수 있다.
이를 통해, 본 발명에 따른 시트 트레이 이송 장치는 스크래치 불량에 따른 원가 상승이나 공정 지연 등의 문제를 미연에 방지할 수 있으므로, 생산 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치를 이용하여 광원에 의한 코팅층의 경화 과정을 나타낸 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예의 변형예들에 따른 시트 트레이를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예의 변형예들에 따른 시트 트레이를 나타낸 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치를 이용하여 광원에 의한 코팅층의 경화 과정을 나타낸 모식도이다.
도 1을 참조하면, 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치(100)는 시트(20)의 표면에 수지물(미도시)을 도포하고, 광원(40)을 이용하여 수지물을 경화시켜 코팅층(55)을 형성하는 과정 시, 시트(20)를 이송하는 데 사용된다.
특히, 본 발명에 따른 시트 트레이 이송 장치(100)는 이송 유닛(120) 및 시트 트레이(140)를 포함한다.
상기 이송 유닛(120)은 시트(20)의 하부에 장착되어, 시트(20)의 이송을 제어하는 역할을 한다. 이때, 이송 유닛(120)으로는 이송 롤러, 컨베이어 벨트 등이 이용될 수 있다.
상기 시트 트레이(140)는 이송 유닛(120) 상에 장착되며, 시트(20)를 탑재하여 시트(20)가 이송 유닛(120)과 직접적으로 맞닿는 것을 방지하는 역할을 한다. 즉, 시트(20)는 시트 트레이(140)에 적재된 상태로 이송 유닛(120)에 의해 이송된다. 따라서, 본 발명에서는 시트 트레이(140) 상에 시트(20)를 탑재시킨 상태에서 이송 유닛(120)을 이용하여 시트(20)를 이송하기 때문에 시트(20)와 이송 유닛(140)이 직접적으로 접촉되는 것이 미연에 방지될 수 있으므로, 시트(20)에 스크래치가 발생하는 것을 미연에 차단할 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이 이송 장치를 이용하여 시트에 코팅층을 형성하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 시트(20)를 이송 유닛(120)의 상부에 안착되는 시트 트레이(140) 상에 탑재한다. 이후, 시트 트레이(140) 상에 탑재된 시트(20)를 코터(미도시)가 장착된 위치로 이송한 후, 코터로부터 수지물을 적하하는 방식으로 코팅을 실시한다. 이때, 수지물을 코팅하는 방식으로는 슬릿 코팅 방식, 스핀 코팅 방식, 스프레이 코팅 방식 등에서 선택된 어느 하나의 방식이 이용될 수 있다.
다음으로, 코터에 의해 수지물이 도포된 시트(20)는 로더(160)에 적재된다. 이후, 로더(160)에 적재된 시트(20)는 이송 유닛(120)의 상부에 안착된 시트 트레이(140) 상에 안착된 상태에서 이송 유닛(120)에 의해 광원(40)이 장착되는 위치로 이송된다. 이때, 광원(40)을 지나면서 수지물이 경화되어 시트(20) 상에는 코팅층(55)이 형성된다. 이후, 코팅층(55)이 형성된 시트(20)는 이송 유닛(120) 상에 장착되는 시트 트레이(140)로부터 언로더(180)로 언로드된다.
즉, 상기 로더(160)는 시트(20)를 이송 유닛(120)에 적재하기 위한 목적으로 장착된다. 이때, 로더(160)에는 복수의 시트(20)가 적치되어 있을 수 있으며, 로더(160)에 적치되는 시트(20)는 이송 유닛(120)의 상부에 안착되는 시트 트레이(140)로 로봇(미도시) 등의 수단에 의해 개별적으로 탑재되게 된다.
상기 언로더(180)는 코팅층(55)이 형성된 시트(20)를 이송 유닛(120)으로부터 언로드하기 위한 목적으로 장착된다. 이때, 도면으로 도시하지는 않았지만, 이송 유닛(120)은 시트 트레이(140) 상에 안착되는 코팅층(55)이 형성된 시트(20)만을 로봇(미도시) 등의 수단에 의해 개별적으로 언로더(180)에 하차시킬 수 있다. 이때, 시트 트레이(140)는 전술한 바와 같이 표면 코팅 공정을 모두 완료한 후, 일련의 공정을 반복적으로 실시하는 순환형으로 설계되어 있을 수 있다.
한편, 시트(20)는 고분자 화합물인 PC(Polycarbonate) 수지와 ABS 수지의 혼합 슬러리를 사출 성형틀에 일정량 부어서 성형한 후, 건조대에서 건조시키는 방식으로 제조될 수 있다. 이러한 시트(20)는 일 예로 핸드폰 케이스일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 도면으로 도시하지는 않았지만, 시트(20)가 핸드폰 케이스일 경우, 핸드폰 케이스는 이의 내부에 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al) 등을 함침시켜 전자파가 외부로 흐르게 하는 전도체 역할을 하도록 함으로써, 전자파를 차폐하는 기능을 갖는 것이 이용될 수도 있다.
코터는 유입구를 통해 수지물을 공급받을 수 있다. 이러한 코터는 저면에 형성된 토출구를 통해 수지물을 적하하게 된다. 이때, 토출구는 바 형상으로 설계하는 것이 바람직하다. 이러한 바 형상의 토출구를 시트(20)의 폭과 대응되는 크기를 갖도록 설계할 경우, 코팅이 필요한 부분에만 수지물이 도포되도록 함으로써, 수지물의 소모량을 줄일 수 있게 된다.
이때, 수지물은 포토레지스트(photo-resist)일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이와 같은 방법으로 형성되는 코팅층은 코팅 물성 및 고객 사양에 따라 다양한 물성 및 두께로 형성될 수 있다.
광원(40)은 IR 히터(Infrared Rays Heater) 또는 UV 램프(Ultraviolet Lamp)가 이용될 수 있다. 이때, 수지물이 도포된 시트(20)에 광원(40)으로부터의 빛을 조사하게 되면, 수지물 내부의 잔여 솔벤트(Solvent) 등의 휘발성분이 제거되고, 이외의 고형분이 경화되어, 시트(20)의 표면에는 코팅층(55)이 형성되게 된다.
또한, 수지물을 IR 히터를 통해 1차로 건조한 후, UV 램프를 통과하며 2차로 경화시키는 공정으로 코팅층(55)을 형성할 수도 있다.
한편, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도로, 이를 참조하여 시트 트레이에 대하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
도 2를 참조하면, 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 트레이(140)는 트레이 몸체(142) 및 다수의 지지 핀(144)을 포함한다.
상기 트레이 몸체(142)는 일면이 개방되는 리세스(recess)를 구비하는 직육면체 형상을 가질 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)에 적재된 시트(도 1의 20)가 이송 중에 시트 트레이(140)로부터 이탈되지 않도록 지지해주는 역할을 한다. 이러한 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)의 리세스 바닥면에 고정되는 형태로 부착된다.
도면으로 도시하지는 않았으나, 다수의 지지 핀(144)은 일부가 트레이 몸체(142)의 가장자리에 고정되고, 나머지는 트레이 몸체(142)의 중앙에 고정되는 형태로 부착되어 있을 수 있다. 또한, 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)내에 횡 방향과 종 방향으로 다수개 서로 직교하는 방사형으로 부착될 수도 있다.
이때, 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)의 높이와 동일하거나, 또는 트레이 몸체(142)보다 낮은 높이를 갖도록 형성하는 것이 바람직한데, 이는 다수의 지지 핀(144)이 트레이 몸체(142) 보다 높게 설계될 경우 외부 충격에 의해 시트 트레이(140) 상에 안착되는 시트가 이탈될 우려가 있기 때문이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 시트 트레이를 나타낸 사시도이다.
도 3을 참조하면, 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 시트 트레이(140)는 일 실시예에 따른 시트 트레이와 실질적으로 동일한바, 중복된 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 다수의 지지 핀(144)은 바(bar), 원형 등의 형상을 가질 수 있다. 이때, 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)의 리세스 바닥면에 상호 일정 간격 이격되는 형태로 부착되어 있을 수 있다. 도면으로 도시하지는 않았지만, 다수의 지지 핀(144)은 트레이 몸체(142)의 리세스 바닥면에 랜덤한 형태로 부착되어 있을 수도 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예의 변형예들에 따른 시트 트레이를 나타낸 단면도이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 시트 트레이(140)는 트레이 몸체(142) 및 다수의 지지 핀(144)과 더불어, 상기 다수의 지지 핀(144)의 상면에만 형성된 스크래치 방지층(146)을 더 포함할 수 있다.
이때, 스크래치 방지층(146)은 시트(도 1의 20)가 다수의 지지 핀(144)과 접촉하는 데 기인하여 미세 스크래치가 발생하는 것을 미연에 차단하기 위한 목적으로 설계된다. 또한, 스크래치 방지층(146)은 다수의 지지 핀(144)의 강도 및 내식성을 향상시키는 역할을 병행할 수 있다,
한편, 도 5를 참조하면, 스크래치 방지층(146)은 다수의 지지 핀(144)의 상면뿐 아니라 측면까지도 형성될 수 있다. 이 경우, 시트가 다수의 지지 핀(144)과의 마찰로 인한 미세 스크래치의 발생을 보다 효과적으로 차단할 수 있는 이점이 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예들을 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
100 : 시트 트레이 이송 장치 120 : 이송 유닛
140 : 시트 트레이 142 : 트레이 몸체
144 : 지지 핀 146 : 스크래치 방지층
160 : 로더 180 : 언로더
20 : 시트 40 : 광원
55 : 코팅층
140 : 시트 트레이 142 : 트레이 몸체
144 : 지지 핀 146 : 스크래치 방지층
160 : 로더 180 : 언로더
20 : 시트 40 : 광원
55 : 코팅층
Claims (10)
- 시트의 표면에 수지물을 도포하고, 광원을 이용하여 상기 수지물을 경화시켜 코팅층을 형성하는 과정 시 상기 시트를 이송하는 데 사용되는 장치로써,
상기 시트의 하부에 장착되어 상기 시트의 이송을 제어하는 이송 유닛; 및
상기 이송 유닛 상에 장착되며, 상기 시트를 탑재하여 상기 시트가 이송 유닛과 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는 시트 트레이;를 포함하며,
상기 시트 트레이는
리세스(recess)를 구비하는 트레이 몸체와, 상기 트레이 몸체의 리세스 바닥면에 부착된 다수의 지지 핀 및 상기 다수의 지지 핀을 덮도록 형성되는 스크래치 방지층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 이송 유닛은
이송 롤러 또는 컨베이어 벨트 중 하나인 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 시트는
핸드폰 케이스인 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서
상기 다수의 지지 핀은
상기 트레이 몸체의 높이보다 낮거나 또는, 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서
상기 스크래치 방지층은
상기 다수의 지지 핀의 상면만을 덮도록 형성된 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 제1항에 있어서
상기 스크래치 방지층은
상기 다수의 지지 핀의 상면 및 측면을 덮도록 형성된 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 광원은
IR 히터(Infrared Rays Heater) 또는 UV 램프(Ultraviolet Lamp)인 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 시트 트레이 이송 장치는
상기 수지물이 도포된 시트를 이송 유닛에 적재하기 위한 로더와,
상기 코팅층이 형성된 시트를 이송 유닛으로부터 언로드하기 위한 언로더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 코팅용 시트 트레이 이송 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020120139652A KR101292317B1 (ko) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | 시트 트레이 이송 장치 |
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KR1020120139652A KR101292317B1 (ko) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | 시트 트레이 이송 장치 |
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KR101292317B1 true KR101292317B1 (ko) | 2013-07-31 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020120139652A KR101292317B1 (ko) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | 시트 트레이 이송 장치 |
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KR (1) | KR101292317B1 (ko) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990024825A (ko) * | 1997-09-08 | 1999-04-06 | 윤종용 | 이온주입설비의 웨이퍼 긁힘방지장치 |
JP2003159556A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-03 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルターの製造方法およびその製造装置 |
KR101064689B1 (ko) * | 2009-08-14 | 2011-09-14 | 주식회사 에스.제이테크 | 반도체칩 트레이 이송용 컨베이어 장치 |
JP2012126435A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板収納用トレイ |
-
2012
- 2012-12-04 KR KR1020120139652A patent/KR101292317B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990024825A (ko) * | 1997-09-08 | 1999-04-06 | 윤종용 | 이온주입설비의 웨이퍼 긁힘방지장치 |
JP2003159556A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-03 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルターの製造方法およびその製造装置 |
KR101064689B1 (ko) * | 2009-08-14 | 2011-09-14 | 주식회사 에스.제이테크 | 반도체칩 트레이 이송용 컨베이어 장치 |
JP2012126435A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板収納用トレイ |
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