KR101290102B1 - 평면 표시패널 제조장치 - Google Patents

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KR101290102B1
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KR1020120016187A
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서종현
최기철
심상원
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주식회사 엘티에스
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Abstract

본 발명은 기판과, 기판상에 적층되는 버퍼층과, 버퍼층상에 적층되는 가요성 필름, 가요성 필름상에 적층되는 반도체층을 포함하는 평면 표시패널에서, 기판의 상측으로부터 레이저빔을 조사하여 버퍼층을 용융함으로써 가요성 필름으로부터 기판을 분리하는 평면 표시패널 제조장치에 관한 것으로서, 레이저 조사부와, 기판 분리부를 포함한다. 레이저 조사부는 기판을 투과하여 버퍼층에 레이저빔을 조사한다. 기판 분리부는 기판의 상면 일측부를 흡착하여 들어올리면서, 기판의 일측부, 기판의 중앙부 및 기판의 타측부를 가요성 필름으로부터 순차적으로 분리시킨다.

Description

평면 표시패널 제조장치{Apparatus for manufacturing flat display panel}
본 발명은 평면 표시패널 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 리프트 오프 공정을 이용하여 가요성 필름으로부터 기판을 분리하는 평면 표시패널 제조장치에 관한 것이다.
정보화 사회의 발달로 인해, 정보를 표시할 수 있는 표시패널이 활발히 개발되고 있다. 표시장치에는 액정 표시패널(liquid crystal display panel), 유기발광 표시패널(organic electro-luminescence display panel), 플라즈마 표시패널(plasma display panel) 및 전계방출 표시패널(field emission display panel) 등이 있다.
최근 들어, 표시패널에 플렉시블(flexible) 성능을 강화하여 구부림이 가능한 플렉시블 평면 표시패널이 활발히 연구되고 있다. 플렉시블 평면 표시패널 중 유기발광 표시패널은 액정 표시패널과 달리 백라이트 유닛이 필요하지 않으므로 두께를 최소화함과 아울러 소비 전력을 줄일 수 있는 장점이 있다.
이러한 플렉시블 유기발광 표시패널에서는, 폴리이미드와 같은 가요성 필름 위에 양극, 유기막(홀 수송층, 발광층, 전자 수송층), 음극으로 구성된 반도체층 형성하는 공정이 중요한 핵심 공정이다.
도 1은 플렉시블 유기발광 표시패널의 제조공정의 일례를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 유리 기판과 같은 캐리어 기판(11) 위에 버퍼층(12)을 형성하고, 그 상부에 구부려질 수 있는 폴리이미드 재질의 가요성 필름(13)을 적층하며, 가요성 필름(13) 위에 양극, 유기막(홀 수송층, 발광층, 전자 수송층), 음극으로 구성된 반도체층(14)을 직접 적층한 후, 가요성 필름(13)으로부터 캐리어 기판(11)을 분리시킨다.
캐리어 기판(11)을 분리시키는 과정은, 우선 유리 기판(11)이 상부에 위치하도록 평면 표시패널(10)을 뒤집은 다음, 유리 기판(11) 상측으로부터 레이저빔(L)을 조사하여 버퍼층(12)을 용융한 후 유리 기판(11)을 분리하는 레이저 리프트 오프(Laser lift-off) 공정이 이용된다.
평면 표시패널(10)에 레이저빔(L)을 조사한 후 가요성 필름(13)으로부터 기판(11)을 분리하는 과정에서는, 통상적으로 작업자의 손에 의한 수작업으로 이루어지고 있다. 소면적의 평면 표시패널에서는 작업자가 손으로 로딩, 언로딩하고 가요성 필름과 기판을 분리하는 과정까지 가능하지만, 평면 표시패널이 대면적화되면서 가요성 필름으로부터 기판을 신속정확하고 안정적이며 효율적으로 분리하는 장치의 개발이 필요하다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 플렉시블 평면 표시패널을 제조하는 공정에서 버퍼층에 레이저빔을 조사하여 버퍼층을 용융시킨 후 기판의 일측부, 기판의 중앙부 및 기판의 타측부를 가요성 필름으로부터 순차적으로 분리시킴으로써, 분리 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판을 신속정확하고 효율적으로 분리하며, 대면적화되는 평면 표시패널의 제조 공정에 부합하는 평면 표시패널 제조장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평면 표시패널 제조장치는, 기판과, 상기 기판상에 형성되는 버퍼층과, 상기 버퍼층상에 배치되는 가요성 필름, 상기 가요성 필름상에 형성되는 반도체층을 포함하는 평면 표시패널에서, 상기 가요성 필름으로부터 상기 기판을 분리하는 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 상기 버퍼층을 용융시키기 위하여 상기 기판을 투과하여 상기 버퍼층에 레이저빔을 조사하는 레이저 조사부; 및 상기 기판의 상면 일측부를 흡착하여 들어올리면서, 상기 기판의 일측부, 상기 기판의 중앙부 및 상기 기판의 타측부를 상기 가요성 필름으로부터 순차적으로 분리시키는 기판 분리부;를 포함하며, 상기 기판 분리부는, 상기 기판의 상면 일측부에 흡착되며, 상기 기판의 일측부에 접촉되는 제1단부와, 상기 제1단부보다 상기 기판의 중앙부에 가까운 위치에 접촉되는 제2단부를 구비하는 흡착부; 상기 기판에 흡착된 흡착부를 상승시키는 제1구동부; 및 상기 흡착부의 제2단부보다 상기 흡착부의 제1단부가 더 높게 배치되도록 상기 흡착부를 기울이는 경사 형성부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 경사 형성부는, 상기 제1구동부에 결합되는 승강 플레이트; 일단부는 상기 승강 플레이트에 결합되고 타단부는 상기 흡착부의 제2단부에 결합되며, 길이가 신축되는 제1연결부재; 상기 제1연결부재의 하측에 설치되고, 일단부는 상기 승강 플레이트에 결합되고 타단부는 상기 흡착부의 제1단부에 결합되며, 길이가 고정되어 있는 제2연결부재;를 포함한다.
본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1연결부재의 길이가 신장될 때 상기 흡착부의 제2단부가 상기 기판을 과도하게 압박하는 것을 방지하기 위하여, 상기 제1연결부재의 길이가 신장될 때 상기 제1구동부를 통해 상기 흡착부를 상승시키도록 제어하는 제어부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1구동부에 의해 상기 흡착부가 상승하는 동안, 상기 기판 분리부를 상승시키는 제2구동부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 흡착부는 다공성 재질로 형성된다.
본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 레이저빔이 조사되어 상기 버퍼층이 용융된 평면 표시패널이 투입되는 투입위치와, 상기 평면 표시패널에 공기 또는 초음파를 공급하는 처리위치와, 상기 기판 분리부를 이용하여 상기 기판을 분리하는 분리위치와, 상기 기판이 제거된 평면 표시패널을 외부로 배출하는 배출위치가 원호 방향으로 이격되게 배치되어 있고, 상기 투입위치, 상기 처리위치, 상기 분리위치, 상기 배출위치에서 상기 평면 표시패널을 각각 지지하며, 상기 평면 표시패널이 상기 투입위치, 상기 처리위치, 상기 분리위치, 상기 배출위치에 순차적으로 위치하도록 회전되는 회전 플레이트;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 처리위치에 설치되며, 상기 처리위치에 위치한 평면 표시패널을 감싸는 챔버;를 더 포함하고, 상기 챔버 내부로 공기 또는 초음파가 공급된다.
본 발명의 평면 표시패널 제조장치에 따르면, 분리 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판을 신속정확하고 효율적으로 분리할 수 있다.
또한, 본 발명의 평면 표시패널 제조장치에 따르면, 다양한 크기의 평면 표시패널에 대하여 호환성 있게 가요성 필름으로부터 기판을 분리할 수 있다.
또한, 본 발명의 평면 표시패널 제조장치에 따르면, 기판의 효과적인 분리를 위해 필요한 시간적인 여유를 제공함과 동시에 생산성의 저하를 막을 수 있다.
도 1은 플렉시블 유기발광 표시패널의 제조공정의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 표시패널 제조장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 기판 분리부를 도시한 도면이고,
도 4는 도 2의 평면 표시패널 제조장치에 있어서 기판 분리부의 흡착부가 기울어진 상태를 도시한 도면이고,
도 5는 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 기판 분리부가 가요성 필름으로부터 기판을 분리하는 작동원리를 설명하는 도면이고,
도 6은 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 챔버를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 평면 표시패널 제조장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 평면 표시패널(10)은 유기발광 표시패널인 경우를 예로 들어 설명한다. 도 1을 참조하면, 유기발광 표시패널은 캐리어 기판의 기능을 수행하는 유리 기판(11)과, 레이저빔이 조사되면 용융되는 버퍼층(12)과, 구부려질 수 있는 폴리이미드 등과 같은 재질의 가요성(可撓性) 필름(13)과, 가요성 필름(13) 상에 적층되는 반도체층(14)을 포함한다. 반도체층(14)은 가요성 필름(13)상에 순차적으로 적층되는 양극, 유기막(홀 수송층, 발광층, 전자 수송층), 음극을 포함하는 개념이다.
이외에도 평면 표시패널(10)이 액정 표시패널인 경우, 반도체층은 박막 트랜지스터층과 액정층을 포함할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 표시패널 제조장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 기판 분리부를 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 평면 표시패널 제조장치에 있어서 기판 분리부의 흡착부가 기울어진 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 기판 분리부가 가요성 필름으로부터 기판을 분리하는 작동원리를 설명하는 도면이고, 도 6은 도 2의 평면 표시패널 제조장치의 챔버를 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 평면 표시패널 제조장치(100)는, 레이저 리프트 오프 공정을 이용하여 가요성 필름으로부터 기판을 분리하는 것으로서, 레이저 조사부(미도시)와, 기판 분리부(110)와, 제어부(미도시)와, 제2구동부(120)와, 회전 플레이트(130)와, 챔버(140)를 포함한다.
우선, 본 실시예의 평면 표시패널 제조장치(100)에는, 레이저빔이 조사되어 버퍼층(12)이 용융된 평면 표시패널(10)이 투입되는 투입위치(P1)와, 평면 표시패널(10)에 공기 또는 초음파를 공급하는 처리위치(P2)와, 기판 분리부(110)를 이용하여 기판(11)을 분리하는 분리위치(P3)와, 기판(11)이 제거된 평면 표시패널(10), 즉 가요성 필름(13)과 반도체층(14)으로 구성된 플렉시블 평면 표시패널을 외부로 배출하는 배출위치(P4)가 마련되어 있다.
투입위치(P1), 처리위치(P2), 분리위치(P3), 배출위치(P4)는 원호 방향으로 약 90도 정도의 각도만큼 이격되게 배치되어 있으며, 평면 표시패널(10)은 각각의 위치를 순차적으로 회전하면서 제조된다.
상기 레이저 조사부(미도시)는, 기판(11)을 투과하여 버퍼층(12)에 레이저빔을 조사한다. 본 실시예에서, 레이저 조사부로부터 조사되는 레이저빔은 약 300 ~ 600㎚ 범위의 파장을 출력하는 레이저 소스로부터 출력되며, 레이저 소스는 DPSS(Diode Pumped Solid State) 레이저인 것이 바람직하다.
DPSS 레이저를 레이저 소스로 할 경우, 고체 레이저인 DPSS 레이저의 특성상 기존에 가스(gas) 타입의 엑시머 레이저에서 레이저빔의 단면 형태를 마스킹하기 위해 필요했던 마스크를 사용하지 않아도 되기 때문에 전체적으로 장치의 구성이 간단해지는 장점이 있다.
상기 기판 분리부(110)는, 기판(11)의 상면 일측부를 흡착하여 들어올리면서, 기판의 일측부, 기판의 중앙부 및 기판의 타측부를 가요성 필름(13)으로부터 순차적으로 분리시키는 것으로서, 흡착부(111)와, 제1구동부(112)와, 경사 형성부를 포함한다.
본 실시예의 기판 분리부(110)는 바탕종이로부터 스티커를 떼어내는 원리를 응용한 것이다. 일반적으로 바탕종이로부터 일정 면적의 스티커를 떼어낼 때, 스티커의 전체면을 일시에 떼어낼 수는 없다. 스티커와 바탕종이 사이의 접착력도 문제되지만, 일시에 떼어낼 때 스티커가 손상될 위험도 있다. 따라서, 스티커의 일측부부터 바탕종이와 분리하기 시작하여 스티커를 들어올리면서 스티커의 중앙부 및 스티커의 타측부까지 순차적으로 분리시킨다. 본 실시예의 기판 분리부(110)도 이러한 원리를 이용하여 기판(11)의 상면 일측부를 흡착하여 들어올리면서, 기판의 일측부, 기판의 중앙부 및 기판의 타측부를 가요성 필름(13)으로부터 순차적으로 분리시킨다.
상기 흡착부(111)는 기판의 상면 일측부(11a)에 흡착된다. 흡착부(111)는 기판의 일측부(11a)에 접촉되는 제1단부(113)와, 제1단부(113)보다 기판의 중앙부(11b)에 가까운 위치에 접촉되는 제2단부(114)를 구비한다.
외부의 진공 라인이 흡착부(111)에 연결되고, 흡착부(111)는 전체적으로 다공성 재질로 형성된다. 진공 라인을 통해 흡착부(111) 전면(全面)에 걸쳐 진공 상태가 유지되어, 기판(11)을 흡착하게 된다.
상기 제1구동부(112)는 기판(11)에 흡착된 흡착부(111)를 상승시킨다. 본 실시예의 제1구동부(112)는 실린더부재이며, 실린더부재의 로드가 전진할 때 흡착부(111)는 하강하고, 실린더부재의 로드가 후퇴할 때 흡착부(111)는 상승한다.
상기 경사 형성부는, 흡착부의 제2단부(114)보다 흡착부의 제1단부(113)가 더 높게 배치되도록 흡착부(111)를 기울이기 위한 것으로서, 승강 플레이트(115)와, 제1연결부재(116)와, 제2연결부재(117)를 포함한다.
상기 승강 플레이트(115)는 제1구동부(112)에 결합되며, 제1구동부(112)인 실린더부재의 로드가 전진 또는 후퇴할 때 승강 플레이트(115)는 함께 이동한다.
상기 제1연결부재(116)는 길이가 신축되는 부재로서, 본 실시예에서는 실린더부재가 이용된다. 실린더부재의 로드가 전진할 때 제1연결부재(116)의 길이는 신장되고, 실린더부재의 로드가 후퇴할 때 제1연결부재(116)의 길이는 수축된다.
제1연결부재(116)의 일단부는 승강 플레이트(115)에 회동 가능하게 결합되고, 제1연결부재(116)의 타단부는 흡착부의 제2단부(114)에 회동 가능하게 결합된다. 제1연결부재(116)의 일단부는 실린더부재의 챔버측에 해당되고, 제1연결부재(116)의 타단부는 실린더부재의 로드측에 해당된다.
상기 제2연결부재(117)는 제1연결부재(116)의 하측에 설치되고, 길이가 고정되어 있는 부재이다. 제2연결부재(117)의 일단부는 승강 플레이트(115)에 고정되게 결합되고, 제2연결부재(117)의 타단부는 흡착부의 제1단부(113)에 회동 가능하게 결합된다.
상기 제어부(미도시)는, 제1연결부재(116)의 길이가 신장될 때 제1구동부(112)를 통해 흡착부(111)를 상승시키도록 제어한다.
기판 분리부(110)에 의해 분리되는 기판(11)은 통상적으로 유리 재질로 형성되며, 가요성 필름(13)으로부터 분리된 후 다시 평면 표시패널(10)의 제조를 위해 재생된다. 그런데 흡착부(111)의 높이가 고정된 상태에서 제1연결부재(116)의 길이가 신장되면, 흡착부의 제2단부(114)가 기판(11)을 과도하게 압박하게 되고, 유리 재질로 형성된 기판(11)은 흡착부의 제2단부(114)가 가하는 압력에 의해 파손되는 문제가 발생할 수 있다. 기판(11)의 파손으로 인해 재생이 불가능해지고, 기판(11)의 분리 또한 불가능하게 되어 제조 중인 평면 표시패널(10) 전체가 불량이 되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 제1연결부재(116)의 길이가 신장될 때 흡착부의 제2단부(114)의 높이가 낮아지면서 기판(11)을 가압하게 되는데, 제1구동부(112)를 이용하여 흡착부(111)를 상승시킴으로써, 흡착부의 제2단부(114)가 기판(11)을 과도하게 압박하는 것을 방지한다.
도 5를 참조하면, 우선 흡착부(111)가 수평한 상태로 기판의 상면 일측부(11a)에 흡착된다. 제1연결부재(116)의 길이가 신장되면 흡착부의 제2단부(114)보다 흡착부의 제1단부(113)가 더 높이 위치하면서 흡착부(111)가 경사지게 되는데, 이때 흡착부(111)는 기판(11)에 흡착되어 있으므로 흡착부의 제1단부(113)가 접촉된 기판의 일측부(11a)가 자연스럽게 가요성 필름(13)으로부터 먼저 떨어지게 된다. 이러한 상태에서 제1구동부(112)에 의해 흡착부(111)가 계속 상승하게 되면 기판의 일측부(11a), 기판의 중앙부(11b), 흡착부(111)가 접촉되지 않은 기판의 타측부(11c)가 가요성 필름(13)으로부터 순차적으로 분리된다.
상기 제2구동부(120)는, 제1구동부(112)에 의해 흡착부(111)가 상승하는 동안, 기판 분리부(110) 전체를 상승시킨다.
평면 표시패널(10)이 소면적일 경우, 상술한 기판 분리부(110)의 구성으로도 기판의 일측부(11a), 기판의 중앙부(11b) 및 기판의 타측부(11c)를 가요성 필름(13)으로부터 순차적으로 분리시키는 공정이 가능하다. 그러나 평면 표시패널(10)이 대면적일 경우, 제1구동부(112)의 스트로크의 제한으로 인해 기판(10) 전면(全面)이 가요성 필름(12)으로부터 완전히 분리되지 못할 수도 있다. 이와 같이 평면 표시패널(10)이 대면적인 경우를 대비하여, 제1구동부(112)에 의해 흡착부(111)가 상승하는 동안 기판 분리부(110)를 상승시켜 흡착부(111)의 전체 상승 높이를 증가시킴으로써, 대면적의 평면 표시패널(10)의 경우라도 기판의 일측부(11a)부터 기판의 타측부(11c)까지 가요성 필름(13)으로부터 완전히 분리할 수 있다.
본 실시예에서 제2구동부(120)는 기판 분리부(110) 전체를 승강시키는 직선이송유닛이 이용될 수 있으며, 직선이송유닛은 리니어 모터, 회전 모터와 볼 스크류가 조합된 구성 등을 채용할 수 있다. 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로, 상세한 설명은 생략한다.
상기 회전 플레이트(130)는, 투입위치(P1), 처리위치(P2), 분리위치(P3), 배출위치(P4)에서 평면 표시패널(10)을 각각 지지하며, 평면 표시패널(10)이 투입위치(P1), 처리위치(P2), 분리위치(P3), 배출위치(P4)에 순차적으로 위치하도록 회전된다.
회전 플레이트(130)의 중앙부를 상하 방향으로 통과하는 가상의 수직축을 회전중심축으로 하여 회전 플레이트(130)는 약 90도 만큼 회전되는 동작을 반복한다.
기판(11)의 상측으로부터 레이저빔을 조사하여 버퍼층(12)을 용융시킨 후, 곧바로 가요성 필름(13)으로부터 기판(11)을 분리하는 것은 용이하지 않다. 버퍼층(12)을 구성하는 물질이 군데군데 잔존하며 용융된 상태에서는 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이의 접착력이 아직 강하여 기판(11)이 쉽게 분리되지 않고, 일정 시간 경과하여 버퍼층(12)을 구성하는 잔존물질이 어느 정도 응고된 상태에서는 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이의 접착력이 약화되어 기판(11)의 분리가 용이해지는 사실이 실험적으로 입증되고 있다. 실험적으로는 약 70초 정도의 시간이 경과한 후 가요성 필름(13)으로부터 기판(11)을 분리하는 것이 바람직한 것으로 알려져 있다.
본 실시예에서는 평면 표시패널(10)에 대한 레이저빔의 조사를 종료한 시점부터 가요성 필름(13)으로부터 기판(10)을 떼어내기 시작하는 시점 사이의 시간적인 여유를 제공하기 위하여, 회전 플레이트(130)를 이용하여 레이저 조사부와 기판 분리부(110) 사이의 평면 표시패널(10)의 흐름을 제어한다. 또한, 상술한 시간적인 여유의 제공으로 인한 생산성 저하를 막기 위하여 4개의 위치에서 한꺼번에 평면 표시패널(10)을 처리할 수 있도록 회전 플레이트(130)는 4개의 평면 표시패널(10)을 지지하면서 회전한다.
상기 챔버(140)는, 처리위치(P2)에 설치되며, 처리위치(P2)에 위치한 평면 표시패널(10)을 감싼다. 챔버(140) 내부로 상온보다 높은 고온의 공기가 공급되며, 공급된 공기는 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이로 침투하여 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이의 접착력을 약화시킨다. 이러한 고온의 공기 공급으로 인해 이후 분리위치(P3)에서 기판 분리부(110)를 이용하여 가요성 필름(13)으로부터 기판(11)을 용이하게 분리할 수 있다.
한편 챔버(140) 내부로 초음파가 공급될 수도 있다. 초음파에 의해 평면 표시패널(10)에 미세한 진동이 가해지면서 마찬가지로 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이의 접착력이 약화될 수 있다.
고온의 공기 또는 초음파를 평면 표시패널(10)에 공급하여 가요성 필름(13)과 기판(11) 사이의 접착력을 더 빨리 약화시킴으로써, 평면 표시패널(10)에 대한 레이저빔의 조사를 종료한 시점부터 가요성 필름(13)으로부터 기판(11)을 떼어내기 시작하는 시점 사이의 시간적인 여유를 더 줄일 수 있으므로, 제조장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 평면 표시패널 제조장치는, 플렉시블 평면 표시패널을 제조하는 공정에서 버퍼층에 레이저빔을 조사하여 버퍼층을 용융시킨 후 기판의 일측부, 기판의 중앙부 및 기판의 타측부를 가요성 필름으로부터 순차적으로 분리시킴으로써, 분리 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판을 신속정확하고 효율적으로 분리할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 평면 표시패널 제조장치는, 제1구동부 및 제2구동부를 이용하여 평면 표시패널을 들어올리는 흡착부를 상승시키는 높이를 2단계에 걸쳐 제어함으로써, 다양한 크기의 평면 표시패널에 대하여 호환성 있게 가요성 필름으로부터 기판을 분리할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 평면 표시패널 제조장치는, 회전 플레이트를 이용하여 레이저 조사부와 기판 분리부 사이의 평면 표시패널의 흐름을 제어함으로써, 기판의 효과적인 분리를 위해 필요한 시간적인 여유를 제공함과 동시에 생산성의 저하를 막을 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10 : 평면 표시패널
11 : 기판
12 : 버퍼층
13 : 가요성 필름
14 : 반도체층
100 : 평면 표시패널 제조장치
110 : 기판 분리부
111 : 흡착부
112 : 제1구동부

Claims (9)

  1. 기판과, 상기 기판상에 형성되는 버퍼층과, 상기 버퍼층상에 배치되는 가요성 필름, 상기 가요성 필름상에 형성되는 반도체층을 포함하는 평면 표시패널에서, 상기 가요성 필름으로부터 상기 기판을 분리하는 평면 표시패널 제조장치에 있어서,
    상기 버퍼층을 용융시키기 위하여 상기 기판을 투과하여 상기 버퍼층에 레이저빔을 조사하는 레이저 조사부; 및
    상기 기판의 상면 일측부를 흡착하여 들어올리면서, 상기 기판의 일측부, 상기 기판의 중앙부 및 상기 기판의 타측부를 상기 가요성 필름으로부터 순차적으로 분리시키는 기판 분리부;를 포함하며,
    상기 기판 분리부는,
    상기 기판의 상면 일측부에 흡착되며, 상기 기판의 일측부에 접촉되는 제1단부와, 상기 제1단부보다 상기 기판의 중앙부에 가까운 위치에 접촉되는 제2단부를 구비하는 흡착부; 상기 기판에 흡착된 흡착부를 상승시키는 제1구동부; 및 상기 흡착부의 제2단부보다 상기 흡착부의 제1단부가 더 높게 배치되도록 상기 흡착부를 기울이는 경사 형성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 경사 형성부는,
    상기 제1구동부에 결합되는 승강 플레이트;
    일단부는 상기 승강 플레이트에 결합되고 타단부는 상기 흡착부의 제2단부에 결합되며, 길이가 신축되는 제1연결부재;
    상기 제1연결부재의 하측에 설치되고, 일단부는 상기 승강 플레이트에 결합되고 타단부는 상기 흡착부의 제1단부에 결합되며, 길이가 고정되어 있는 제2연결부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1연결부재의 길이가 신장될 때 상기 흡착부의 제2단부가 상기 기판을 과도하게 압박하는 것을 방지하기 위하여, 상기 제1연결부재의 길이가 신장될 때 상기 제1구동부를 통해 상기 흡착부를 상승시키도록 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1구동부에 의해 상기 흡착부가 상승하는 동안, 상기 기판 분리부를 상승시키는 제2구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 흡착부는 다공성 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    레이저빔이 조사되어 상기 버퍼층이 용융된 평면 표시패널이 투입되는 투입위치와, 상기 평면 표시패널에 공기 또는 초음파를 공급하는 처리위치와, 상기 기판 분리부를 이용하여 상기 기판을 분리하는 분리위치와, 상기 기판이 제거된 평면 표시패널을 외부로 배출하는 배출위치가 원호 방향으로 이격되게 배치되어 있고,
    상기 투입위치, 상기 처리위치, 상기 분리위치, 상기 배출위치에서 상기 평면 표시패널을 각각 지지하며, 상기 평면 표시패널이 상기 투입위치, 상기 처리위치, 상기 분리위치, 상기 배출위치에 순차적으로 위치하도록 회전되는 회전 플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 처리위치에 설치되며, 상기 처리위치에 위치한 평면 표시패널을 감싸는 챔버;를 더 포함하고,
    상기 챔버 내부로 공기 또는 초음파가 공급되는 것을 특징으로 하는 평면 표시패널 제조장치.
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