KR101286100B1 - 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치 - Google Patents

배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101286100B1
KR101286100B1 KR1020110122787A KR20110122787A KR101286100B1 KR 101286100 B1 KR101286100 B1 KR 101286100B1 KR 1020110122787 A KR1020110122787 A KR 1020110122787A KR 20110122787 A KR20110122787 A KR 20110122787A KR 101286100 B1 KR101286100 B1 KR 101286100B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
window
particles
incident
vacuum process
products
Prior art date
Application number
KR1020110122787A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130057055A (ko
Inventor
강상우
윤주영
조승현
임종연
전기문
Original Assignee
한국표준과학연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국표준과학연구원 filed Critical 한국표준과학연구원
Priority to KR1020110122787A priority Critical patent/KR101286100B1/ko
Publication of KR20130057055A publication Critical patent/KR20130057055A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101286100B1 publication Critical patent/KR101286100B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1434—Optical arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
    • G01N21/532—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke with measurement of scattering and transmission

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 배플 및 음파발생기를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 관한 것이다.

Description

배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치{An analyzer from particles and by-products generating in the vacuum process having baffle}
본 발명은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 배플 및 음파발생기를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 관한 것이다.
진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물을 측정하기 위해서는 진공으로 된 챔버로부터 배기관을 통해 배기되는 입자 및 부산물에 빔을 주사시켜 빔을 검출함으로써 입자 및 부산물의 성분을 정량 및 정성분석하게 된다.
이 때, 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물이 배기관 내부를 이동하면서 빔이 입사되는 입사창과 빔이 출사되는 출사창에 입자 및 부산물이 흡착 및 증착되는 경우에는 빔이 제대로 전달되지 못하게 됨에 따라 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물의 성분 분석이 어려운 문제점이 있다.
특히, 이러한 입자 및 부산물이 입사창과 출사창 및 배기관에 흡착 및 증착되는 경우 이를 분해하여 세척하는 유지 보수를 하게 되는데 이러한 유지보수 주기가 짧게 되며 실시간 측정이 어렵게 되는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인에 의한 한국등록특허 1055868호(발명의 명칭 : 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치, 공개일 : 2010.12.01)가 제안된 바 있다.
위 출원은 초음파를 이용하여 입사창과 출사창의 오염을 방지하여 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정함으로써 입자 및 부산물의 성분 분석이 용이하여 장비나 측정 센서의 효율과 신뢰성을 높일 수 있는 장점이 있다.
특허 1 한국등록특허 1055868호(발명의 명칭 : 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치, 공개일 : 2010.12.01)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 배플을 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
더욱 상세하게, 본 발명의 목적은 음파발생기가 더 구비됨으로써, 음파에 의해 입사창 및 출사창을 진동시켜 입사창 및 출사창에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 입사창 및 출사창의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물이 배기되는 배기관(11); 상기 배기관(11)과 체결되어 배기관(11)의 일정 영역을 형성하되, 둘레의 일정 영역이 각각 중공된 제1중공부 및 제2중공부가 형성된 몸체(20); 상기 몸체(20)의 제1중공부를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사창(30); 상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 몸체(20)의 제2중공부를 통해 외부로 출사되는 출사창(40); 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50); 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(11) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및 상기 몸체(20) 내주연의 입사창(30) 또는 출사창(40)이 형성된 일정 영역에 상기 몸체(20) 길이방향으로 일정 길이(L)를 갖도록 형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 오염을 방지하는 배플(80); 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배플(80)은 상기 입자 및 부산물 진행방향을 기준으로, 상기 몸체(20)의 전측에서 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 측으로 삽입되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 몸체(20)는 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 전측 내부 둘레가 오목하게 형성되는 안착홈(21)이 형성되고, 상기 배플(80)은 상기 안착홈(21)에 대응되는 단차부(81)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 배플(80)은 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 점차 두께(D)가 증가되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 배플(80)은 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 단부에 상기 몸체(20) 내측으로 돌출되는 돌출부(82)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(11) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 음파발생기(71)는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(72)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 배플을 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
더욱 상세하게, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 음파발생기가 더 구비됨으로써, 음파에 의해 입사창 및 출사창을 진동시켜 입사창 및 출사창에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 입사창 및 출사창의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 장점이 있다.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 나타낸 개략도, 부분 사시도, 및 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 배플을 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 배플 예를 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 배플을 나타낸 다른 사시도.
도 7은 본 발명에 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 다른 예를 나타낸 단면도.
도 8 내지 도 11은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 음파발생기 작동을 나타낸 도면.
도 12는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 다른 예를 나타낸 부분 사시도.
이하, 상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 배기관(11), 몸체(20), 입사창(30), 출사창(40), 광학발생부(50) 및 배플(80)을 포함한다. (도 1 내지 도 3 참조)
상기 배기관(11)은 챔버(10)와 연결되되, 펌프에 의해 내부가 진공 상태로 유지되며, 상기 펌프의 작동에 의해 입자 및 부산물이 배기되는 공간이다.
상기 몸체(20)는 상기 배기관(11)의 일정 영역을 형성하는 구성으로서, 상기 배기관(11)과 양단부가 체결된다.
이 때, 상기 몸체(20)와 배기관(11)은 실링성을 확보하기 위하여 맞닿는 영역에 실링디스크(90)가 구비되는 것이 바람직하다.
즉, 챔버(10)로부터 배출되는 입자 및 부산물은 상기 배기관(11)을 통과하여 배출되는 도중에 상기 몸체(20) 내부를 통과하며, 다시 배기관(11)을 통과하게 된다.
이 때, 상기 몸체(20)에 상기 입사창(30), 출사창(40), 광학발생부(50) 및 배플(80)이 구비되는 것으로서, 상기 몸체(20) 영역에서 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물의 분석이 이루어진다.
상기 몸체(20)는 둘레의 일정 영역이 각각 중공된 제1중공부 및 제2중공부가 형성된다.
상기 제1중공부 및 제2중공부는 각각 빔이 입사되는 입사창(30) 및 출사되는 출사창(40)이 구비되는 영역이다.
상기 몸체(20)는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 제1중공부 및 제2중공부가 마주하도록 위치할 수 있으며, 상기 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 제1중공부 및 제2중공부가 수직하게 위치할 수도 있다.
상기 입사창(30) 및 출사창(40)은 빔이 입사되거나 관통되는 소재로서, 상기 몸체(20)를 밀폐하는 역할을 담당한다.
상기 광학발생부(50)는 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 구성이며, 상기 검출기(60)는 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(11) 내부로 입사되어 출사하는 빔을 검출한다.
즉, 상기 검출기(60)는 빔의 굴절 및 산란을 검출하여 상기 챔버(10)로부터 배출되는 입자 및 부산물의 분석을 수행한다.
이 때, 상기 검출기(60)는 공지된 다양한 장치가 이용될 수 있으며, 특히, PMT(photo multiplier tubes)를 사용할 수 있다.
상기 배플(80)은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에서, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)의 표면 오염을 방지하기 위한 구성으로서, 상기 몸체(20) 내주연의 입사창(30) 또는 출사창(40)이 형성된 일정 영역에 상기 몸체(20)의 길이방향으로 일정 길이(L)를 갖도록 형성된다.
즉, 상기 배플(80)은 상기 몸체(20) 내벽면에 밀착 형성되는 구성으로서, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 표면과 단차를 형성함으로써, 몸체(20) 내부의 입자 및 부산물에 의해 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)이 오염되는 것을 방지한다.
또, 상기 배플(80)은 상기 입자 및 부산물 진행방향을 기준으로, 상기 몸체(20)의 전측에서, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 측으로 삽입됨으로써, 입자 및 부산물에 의해 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 표면 오염을 용이하게 방지하도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 입자 및 부산물 진행방향을 도 1, 2, 및 12에서 화살표로 나타내었다.
상기 배플(80)의 장착이 용이하도록 상기 몸체(20)는 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 전측 내부 둘레가 오목하게 형성되는 안착홈(21)이 형성되고, 상기 배플(80)은 상기 안착홈(21)에 대응되는 단차부(81)가 형성된다.
즉, 상기 배플(80)은 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 상기 몸체(20) 내측으로 삽입되며, 상기 몸체(20)와 배기관(11)의 고정에 의해 특정 위치에서의 고정된 상태를 유지한다.
이 때, 상기 단차부(81)는 상기 배기관(11)을 따라 이송되는 입자 및 부산물이 몸체(20) 내부로 이동될 수 있도록 중앙이 중공된다.
상기 배플(80)은 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 그 예들을 도 4 내지 도 6에 나타내었다.
도 4 내지 도 6에서 상기 입자 및 부산물의 진행방향은 도면 하측에서 상측 방향이다.
먼저, 도 4 및 도 5 (a)에 도시한 배플(80)은 일측 단부에 단차부(81)가 형성되며, 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 길게 형성되며 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)에 대응되는 크기를 갖는 예를 나타내었다.
이 때, 상기 배플(80)은 중공된 영역을 통해 이동되는 입자 및 부산물의 이동을 방해하지 않도록 상기 몸체(20) 내벽면 일정 영역에 형성되는 영역의 내부가 상기 중공된 영역과 연속된 공간을 형성하도록 형성되는 것이 바람직하다.(도 4 참조)
도 5 (b)는 상기 입자 및 부산물의 진행방향으로 갈수록 배플(80)의 두께(D)가 점차 증가되는 형태를 나타낸 것으로서, 가장 얇은 부분의 두께(D)를 D1으로, 가장 두꺼운 부분의 두께(D)를 D2로 표시하였다.
도 5 (b)는 상기 배플(80)이 상기 입자 및 부산물의 진행방향으로 갈수록 점진적으로 두께(D)가 증가되는 형태를 나타내었으며, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 이를 포함하여 배플(80)이 일정 각도의 경사를 갖도록 형성될 수도 있다.
도 5 (c)는 상기 배플(80)이 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 단부에 상기 몸체(20) 내측으로 돌출되는 돌출부(82)가 형성되는 예를 나타내었다.
도 5 (c)에서, 가장 얇은 부분의 두께(D)를 D1으로, 상기 돌출부(82)가 형성되는 영역의 두께(D)를 D2로 표시하였다.
상기 돌출부(82)는 도 5 (c)에 도시한 바와 같이, 둘레방향으로 연속되게 돌출된 형태로 형성될 수도 있고, 도 6에 도시한 바와 같이, 불연속적인 돌출 영역을 갖도록 형성될 수도 있다.
도 4 내지 도 6에 도시한 배플(80) 형태는 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 실시예들로서, 더욱 다양하게 형성될 수 있다.
상기 배플(80)의 길이(L)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 오염 차단 정도를 고려하여 다양하게 형성될 수 있다.
도 3은 상기 배플(80)이 상기 몸체(20)의 일측 단부로부터 상기 입사창(30)의 시작영역까지의 길이(L)를 갖도록 형성되는 예를 나타내었으며, 도 7은 상기 배플(80)이 상기 몸체(20)의 일측 단부로부터 상기 입사창(30) 일정 영역을 차단하는 길이(L)를 갖도록 형성되는 예를 나타내었다.
상기 배플(80)은 상기 입사창(30)에서 빔이 입사되는 중앙 영역 및 상기 출사창(40)에서 빔이 출사되는 중앙 영역을 제외하고 다양한 길이(L)를 갖도록 형성될 수 있다.
도면에서, 상기 배플(80)은 상기 입사창(30)의 오염을 방지하도록 한 예를 나타내었으나, 상기 출사창(40)의 오염을 방지하도록 위치될 수 있으며, 물론, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)의 오염을 동시에 방지하도록 형성될 수도 있다.
이를 통해, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 입자 및 부산물 분석장치는 배플(80)을 이용하는 간단한 방법으로 입사창(30) 및 출사창(40)의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.
아울러, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 입자 및 부산물 분석장치는 표면 오염 방지 효과를 더욱 높이기 위하여 음파발생기(71)가 더 구비될 수 있다.
상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 수단으로서, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하여 진동을 준다.
상기 음파발생기(71)에 의한 효과를 더욱 높이기 위하여 상기 입사창(30) 및 출사창(40)은 몸체(20) 내부와 실링을 유지하되, 진동에 의한 움직임이 용이하도록 몸체(20)의 제1중공부 및 제2중공부 둘레 부분에 상기 입사창(30) 및 출사창(40)이 안착되는 안착 공간이 형성되고, 상기 안착 공간에 실링부재가 구비되어 고정될 수 있다.
이 때, 상기 음파발생기(71)는 음파를 발생할 수 있는 장치이면 가능하며, 바람직하게는 가진기, 압전 초음파 소자, 자기 변형 트랜스듀서, 음성 코일 구동기(voice cole actuator)로부터 선택되는 어느 하나로 될 수 있다.
아울러, 상기 음파발생기(71)로부터 발생되는 음파의 주파수는 너무 크면 다른 장비의 작동에 악영향을 주게 되며, 너무 작으면 입자 및 부산물의 흡착을 방지할 수 없게 되므로 각 진공 공정 환경에 적합한 적당하게 설정될 수 있다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 다양한 형태로 상기 음파발생기(71)가 구비될 수 있으며, 도 8 및 도 9는 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 내부 표면 부위로 전달되어 표면 오염을 방지할 수 있는 형태를 나타내었고, 도 10은 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체로 전달되는 예를 나타내었다.
이 때, 도 9 및 도 10에 도시한 음파발생기(71)는 웨지부(72)를 더 포함하는 예를 나타내었다.
상기 웨지부(72)는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되어 빔의 입사 각도를 조절가능하다.
도 8 내지 도 10에 도시한 형태는 일 실시예로서, 상기 음파발생기(71)는 복수개 형성되거나, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 둘레 부분에 연속되게 형성되거나, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 둘레를 회전가능하도록 형성되는 예를 포함하여 더욱 다양하게 형성될 수 있다.
도 11은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 따른 음파발생기(71)의 다른 예를 나타낸 도면으로서, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30)에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 통로(71a)가 형성된 예를 나타내었다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 도 11에 도시하지는 않았으나, 도 11에 도시한 바와 같은 형태의 음파발생기(71)가 출사창(40)에 적용가능하며, 상기 음파발생기(71)는 배기관(11) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 상기 출사창(40)을 통해 상기 검출기(60) 측으로 전달가능한 공간을 형성하는 통로(71a)가 형성된다.
상기 도 11에 도시한 형태는 입사창(30) 또는 출사창(40)의 크기가 크거나, 음파가 효과적으로 발생될 필요가 있는 경우에 적합한 형태로서, 상기 음파발생기(71)의 통로(71a)는 상기 광학발생부(50)로부터 조사된 빔이 상기 배기관(11) 내부로 전달가능한 공간을 형성한다.
아울러, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 이 외에도 상기 음파발생기(71)가 상기 광학발생부(50)로부터 조사된 빔이 상기 입사창(30)을 통해 배기관(11) 내부로 조사되거나, 배기관(11) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 상기 출사창(40)을 통해 검출기(60)에서 빔을 검출가능한 형태로, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)에 음파를 발생하는 형태라면 더욱 다양하게 형성될 수 있다.
이를 통해, 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 배플(80) 및 음파발생기(71)가 더 구비됨으로써, 음파에 의해 입사창(30) 및 출사창(40)을 진동시켜 입사창(30) 및 출사창(40)에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 입사창(30) 및 출사창(40)의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
10 : 챔버
11 : 배기관
20 : 몸체 21 : 안착홈
30 : 입사창
40 : 출사창
50 : 광학발생부
60 : 검출기
71 : 음파발생기 71a : 통로
72 : 웨지부
80 : 배플 81 : 단차부
82 : 돌출부
L : 배플의 길이
D : 배플의 두께(D1, D2)
90 : 실링디스크

Claims (9)

  1. 내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물이 배기되는 배기관(11);
    상기 배기관(11)과 체결되어 배기관(11)의 일정 영역을 형성하되, 둘레의 일정 영역이 각각 중공된 제1중공부 및 제2중공부가 형성되며, 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 전측 내부 둘레가 오목하게 형성되는 안착홈(21)이 형성된 몸체(20);
    상기 몸체(20)의 제1중공부를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사창(30);
    상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 몸체(20)의 제2중공부를 통해 외부로 출사되는 출사창(40);
    상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50);
    상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(11) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및
    상기 안착홈(21)에 대응되는 단차부(81)을 포함하며, 상기 입자 및 부산물 진행방향을 기준으로, 상기 몸체(20)의 전측에서 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)측으로 삽입되고, 상기 몸체(20) 내주연의 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)이 형성된 일정영역에 상기 몸체(20) 길이 방향으로 일정 길이(L)를 갖도록 형성되며, 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 점차 두께(D)가 증가되거나 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 단부에 상기 몸체(20) 내측으로 돌출되는 돌출부(82)가 형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 오염을 방지하는 배플(80); 을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는,
    상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(11) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)는
    하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(72)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
KR1020110122787A 2011-11-23 2011-11-23 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치 KR101286100B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110122787A KR101286100B1 (ko) 2011-11-23 2011-11-23 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110122787A KR101286100B1 (ko) 2011-11-23 2011-11-23 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130057055A KR20130057055A (ko) 2013-05-31
KR101286100B1 true KR101286100B1 (ko) 2013-07-23

Family

ID=48664878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110122787A KR101286100B1 (ko) 2011-11-23 2011-11-23 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101286100B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102498059B1 (ko) * 2017-12-28 2023-02-10 (주)보부하이테크 배기관 내 부산물 측정 장치 모듈 및 부산물 측정 방법
CN117233103B (zh) * 2023-11-16 2024-01-26 阳信亿利源清真肉类有限公司 一种清真食品光谱检测用存放装置及其存放方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000001050U (ko) * 1998-06-19 2000-01-15 김영환 석영 윈도우 증착 방지용 배플
KR20060126166A (ko) * 2005-06-03 2006-12-07 삼성전자주식회사 증착 장치
KR20100125648A (ko) * 2009-05-21 2010-12-01 한국표준과학연구원 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000001050U (ko) * 1998-06-19 2000-01-15 김영환 석영 윈도우 증착 방지용 배플
KR20060126166A (ko) * 2005-06-03 2006-12-07 삼성전자주식회사 증착 장치
KR20100125648A (ko) * 2009-05-21 2010-12-01 한국표준과학연구원 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130057055A (ko) 2013-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Morbidini et al. Prediction of the thermosonic signal from fatigue cracks in metals using vibration damping measurements
US7424093B2 (en) Fluorescent x-ray analysis apparatus
US8993977B2 (en) Detector and a method for simultaneously detecting both gamma rays and neutron using the same
KR101286100B1 (ko) 배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
KR101912972B1 (ko) 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법
US20120199754A1 (en) Non-destructive inspection method and device
KR101055868B1 (ko) 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치
JP6385826B2 (ja) プラスチックシンチレータ、シンチレーション測定用試料体及びプラスチックシンチレータの作製方法
US9255899B2 (en) Non-destructive inspection method and device
JP2012230053A (ja) ひび割れ深さ測定装置及び測定方法
JP5642248B2 (ja) 超音波探触子
JP2021501306A (ja) 干渉信号抑制を改善した光音響センサヘッドおよび光音響測定装置
KR101284360B1 (ko) 표면오염방지부를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
US6895074B2 (en) Non-destructive process for continuously measuring the density profile of panels
JP3902048B2 (ja) 放射線検査装置
RU2188412C2 (ru) Ультразвуковое устройство для использования при определении напряженного состояния металла стенок технологических каналов ядерных реакторов типа рбмк
JP2005221371A (ja) 超音波探触子
JP2008256587A (ja) Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法
JP2005249484A (ja) 超音波探触子
JP5123030B2 (ja) 水中ｘ線検査装置
KR20190131363A (ko) X-선 분석 시스템 및 x-선 분석 방법
WO2017091103A1 (ru) Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа материалов
RU2664684C1 (ru) Волоконно-оптический датчик давления
JP2001349953A (ja) 散乱線除去エアグリッドの検査装置
KR101738643B1 (ko) 단일 광원을 이용한 통합 레이저 분광 분석 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160630

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170626

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180625

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190604

Year of fee payment: 7