KR101284360B1 - 표면오염방지부를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치 - Google Patents

표면오염방지부를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 표면오염방지부를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 관한 것이다.

Description

표면오염방지부를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치{An analyzer from particles and by-products generating in the vacuum process having device to prevent the contamination of the surface}
본 발명은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 표면오염방지부를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 관한 것이다.
진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물을 측정하기 위해서는 진공으로 된 챔버로부터 배기관을 통해 배기되는 입자 및 부산물에 빔을 주사시켜 빔을 검출함으로써 입자 및 부산물의 성분을 정량 및 정성분석하게 된다.
이 때, 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물이 배기관 내부를 이동하면서 빔이 입사되는 입사창과 빔이 출사되는 출사창에 입자 및 부산물이 흡착 및 증착되는 경우에는 빔이 제대로 전달되지 못하게 됨에 따라 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물의 성분 분석이 어려운 문제점이 있다.
특히, 이러한 입자 및 부산물이 입사창과 출사창 및 배기관에 흡착 및 증착되는 경우 이를 분해하여 세척하는 유지 보수를 하게 되는데 이러한 유지보수 주기가 짧게 되며 실시간 측정이 어렵게 되는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인에 의한 한국등록특허 1055868호(발명의 명칭 : 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치, 공개일 : 2010.12.01)가 제안된 바 있다.
위 출원은 초음파를 이용하여 입사창과 출사창의 오염을 방지하여 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정함으로써 입자 및 부산물의 성분 분석이 용이하여 장비나 측정 센서의 효율과 신뢰성을 높일 수 있는 장점이 있다.
특허 1 한국등록특허 1055868호(발명의 명칭 : 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물로부터의 표면오염방지장치, 공개일 : 2010.12.01)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 표면오염방지부를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
더욱 상세하게, 본 발명의 목적은 음파발생기 및 실링부재를 이용하여 음파에 의해 입사창 및 출사창을 진동시켜 입사창 및 출사창에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 입사창 및 출사창의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물을 배기하되, 마주보는 위치에 일정 영역이 중공된 제1중공부(21a) 및 제2중공부(21b)가 형성된 배기관(20); 상기 배기관(20)의 제1중공부(21a)를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사영역과, 상기 입사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제1지지영역을 포함하는 입사창(30); 상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 배기관(20)의 제2중공부(21b)를 통해 외부로 출사되는 출사영역과, 상기 출사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제2지지영역을 포함하는 출사창(40); 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50); 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(20) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)와, 상기 입사창(30)의 제1지지영역과 배기관(20) 사이 및 상기 출사창(40)의 제2지지영역과 배기관(20) 사이에 압착되어 실링하되 상기 음파발생기(71)에 의한 입사창(30) 및 출사창(40)의 움직임이 가능하도록 구비되는 실링부재(72)를 포함하는 표면오염방지부; 로 이루어진다.
이 때, 상기 배기관(20)은 상기 입사창(30)의 제1지지영역이 안착되도록 상기 제1중공부(21a)의 둘레에 형성되는 제1안착부(22a), 상기 출사창(40)의 제2지지영역이 안착되도록 상기 제2중공부(21b)의 둘레에 형성되는 제2안착부(22b)를 포함한다.
또, 상기 배기관(20)은 상기 제1안착부(22a)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제1홈부(23a) 및 상기 제2안착부(22b)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제2홈부(23b)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 실링부재(72)는 상기 배기관(20)의 제1홈부(23a) 또는 제2홈부(23b)에 안착되는 지지부(72a); 상기 지지부(72a)의 일정영역이 수직하게 연장형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접촉되는 높이형성부(72b);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 실링부재(72)는 상기 높이형성부(72b) 내부가 빈 공간부(72c)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(10) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 표면오염방지부는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(74)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 음파발생기(71)는 가진기, 압전 초음파 소자, 자기 변형 트랜스듀서, 음성 코일 구동기(voice cole actuator)로부터 선택되는 어느 하나로 된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 표면오염방지부를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 장점이 있다.
더욱 상세하게, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 음파발생기 및 실링부재를 이용하여 음파에 의해 입사창 및 출사창을 진동시켜 입사창 및 출사창에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는 입사창 및 출사창의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치를 나타낸 개략도.
도 2 내지 도 4는 각각 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 음파발생기 작동을 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 음파발생기의 다른 예를 나타낸 도면.
도 6 및 도 7은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치의 부분 사시도, 분해사시도.
도 8은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석 장치의 배기관 일정 영역을 나타낸 단면사시도.
도 9는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석 장치의 실링부재를 나타낸 단면도.
도 10은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석 장치의 작동 상태를 나타낸 도면.
이하, 상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 배기관(20), 입사창(30), 출사창(40), 광학발생부(50), 및 표면오염방지부를 포함하여 형성된다. (도 1 참조)
상기 배기관(20)은 챔버(10)와 연결되되, 펌프에 의해 내부가 진공 상태로 유지되며, 상기 펌프의 작동에 의해 입자 및 부산물이 배기되는 공간이다.
상기 배기관(20)은 마주보는 위치에 일정 영역이 중공된 제1중공부(21a) 및 제2중공부(21b)가 형성된다.
상기 제1중공부(21a) 및 제2중공부(21b)는 상기 배기관(20)을 통해 배기되는 입자 및 부산물을 통해 분석이 가능하도록 상기 배기관(20)의 일정 영역이 중공되는 부분으로서, 상기 제1중공부(21a)에 상기 입사창(30)이 구비되며, 상기 제2중공부(21b)에 출사창(40)이 구비되어 기밀이 유지되도록 한다.
더욱 상세하게, 상기 입사창(30)은 상기 배기관(20)의 제1중공부(21a)를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사영역과, 상기 입사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제1지지영역을 포함된다.
또한, 상기 출사창(40)은 상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 배기관(20)의 제2중공부(21b)를 통해 외부로 출사되는 출사영역과, 상기 출사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제2지지영역을 포함한다.
즉, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)은 입이 입사되거나 관통되는 소재로서, 배기관(20)을 밀폐하는 역할을 담당한다.
상기 입사창(30)의 입사영역과 제1지지영역 및 상기 출사창(40)의 출사영역과 제2지지영역은 단독으로 존재할 때, 구분되는 구성이 아니며, 본 발명에서, 상기 입사영역은 상기 배기관(20)의 제1중공부(21a)에 대응되는 영역으로, 상기 출사영역은 상기 배기관(20)의 제2중공부(21b)에 대응되는 영역으로 정의한다.
상기 광학발생부(50)는 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 구성이며, 상기 검출기(60)는 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(20) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출한다.
즉, 상기 검출기(60)는 빔의 굴절 및 산란을 검출하여 배기관(20) 내부의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물의 분석이 가능하도록 하는 구성이다.
이 때, 상기 검출기(60)는 공지된 다양한 장치가 이용될 수 있으며, 특히, PMT(photo multiplier tubes)를 사용할 수 있다.
상기 표면오염방지부는 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 배기관(20) 내부를 이동하는 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지하기 위한 구성으로서, 음파발생기(71) 및 실링부재(72)를 포함한다.
상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 수단으로서, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하여 진동을 준다.
이 때, 상기 음파발생기(71)는 음파를 발생할 수 있는 장치이면 가능하며, 바람직하게는 가진기, 압전 초음파 소자, 자기 변형 트랜스듀서, 음성 코일 구동기(voice cole actuator)로부터 선택되는 어느 하나로 될 수 있다.
아울러, 상기 음파발생기(71)로부터 발생되는 음파의 주파수는 너무 크면 다른 장비의 작동에 악영향을 주게 되며, 너무 작으면 입자 및 부산물의 흡착을 방지할 수 없게 되므로 각 진공 공정 환경에 적합한 적당하게 설정될 수 있다.
본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 다양한 형태로 상기 음파발생기(71)가 구비될 수 있으며, 도 2 및 도 3은 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 내부 표면 부위로 전달되어 표면 오염을 방지할 수 있는 형태를 나타내었고, 도 4는 기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체로 전달되는 예를 나타내었다.
이 때, 도 3 및 도 4에 도시한 표면오염방지부는 웨지부(74)를 더 포함하는 예를 나타내었다.
상기 웨지부(74)는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되어 빔의 입사 각도를 조절가능하다.
도 2 내지 도 4에 도시한 형태는 일 실시예로서, 상기 음파발생기(71)는 복수개 형성되거나, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 둘레 부분에 연속되게 형성되거나, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 둘레를 회전가능하도록 형성되는 예를 포함하여 더욱 다양하게 형성될 수 있다.
또한, 도 5는 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)에 따른 음파발생기(71)의 다른 예를 나타낸 도면으로서, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30)에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 통로(71a)가 형성된 예를 나타내었다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 도 5에 도시하지는 않았으나, 도 5에 도시한 바와 같은 형태의 음파발생기(71)가 출사창(40)에 적용가능하며,상기 음파발생기(71)는 배기관(10) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 상기 출사창(40)을 통해 상기 검출기(60) 측으로 전달가능한 공간을 형성하는 통로(71a)가 형성된다.
상기 도 5에 도시한 형태는 입사창(30) 또는 출사창(40)의 크기가 크거나, 음파가 효과적으로 발생될 필요가 있는 경우에 적합한 형태로서, 상기 음파발생기(71)의 통로(71a)는 상기 광학발생부(50)로부터 조사된 빔이 상기 배기관(10) 내부로 전달가능한 공간을 형성한다.
아울러, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 이 외에도 상기 음파발생기(71)가 상기 광학발생부(50)로부터 조사된 빔이 상기 입사창(30)을 통해 배기관(10) 내부로 조사되거나, 배기관(10) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 상기 출사창(40)을 통해 검출기(60)에서 빔을 검출가능한 형태로, 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)에 음파를 발생하는 형태라면 더욱 다양하게 형성될 수 있다.
아울러, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 표면 오염 방지 효과를 효과를 더욱 극대화할 수 있도록 상기 표면오염방지부에 실링부재(72)를 더 포함한다.
이 때, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)을 지지하는 역할을 높이고, 상기 실링부재(72)에 의한 효과를 극대화 하기 위하여 상기 배기관(20)은 상기 입사창(30)의 제1지지영역이 안착되도록 상기 제1중공부(21a)의 둘레에 형성되는 제1안착부(22a)와, 상기 출사창(40)의 제2지지영역이 안착되도록 상기 제2중공부(21b)의 둘레에 형성되는 제2안착부(22b)가 형성되는 것이 바람직하다.(도 8 참조)
즉, 상기 제1안착부(22a) 및 제2안착부(22b)는 각각 상기 입사창(30) 및 출사창(40)이 안착되는 부분으로서, 배기관(20) 외면에서 오목하게 형성될 수 있다.
상기 배기관(20) 내부와 외부는 밀폐된 상태가 유지되어야 하므로, 상기 제1안착부(22a) 내부에 형성된 제1중공부(21a)는 상기 입사창(30)에 의해 밀폐되고, 상기 제2안착부(22b) 내부에 형성된 제2중공부(21b)는 상기 출사창(40)에 의해 밀폐된다.
또한, 밀폐력을 더욱 높이고, 상기 실링부재(72)의 고정 위치를 명확하게 하기 위하여 상기 배기관(20)은 상기 제1안착부(22a)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제1홈부(23a) 및 상기 제2안착부(22b)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제2홈부(23b)가 형성되는 것이 바람직하다.
이 때, 상기 실링부재(72)는 밀폐력을 더욱 높일 수 있도록 폐곡면을 갖도록 형성되며, 상기 제1중공부(21a) 또는 제2중공부(21b)보다 큰 직경을 갖도록 형성된다.
상기 실링부재(72)는 실리콘 재질을 포함하여 그 외에 압착/복원되는 다양한 재질로 형성될 수 있다.
특히, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 상기 음파발생기(71)에 의해 상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 진동을 주어 표면 오염을 방지하는 효과를 더욱 극대화하기 위하여, 상기 실링부재(72)가 지지부(72a) 및 높이형성부(72b)를 포함하는 형태로 형성될 수 있다.
상기 지지부(72a)는 상기 배기관(20)의 제1홈부(23a) 또는 제2홈부(23b)에 지지되는 구성으로서, 상기 제1홈부(23a) 및 제2홈부(23b)의 하면에 대응되는 형태로 형성되며, 일반적인 경우에, 단면이 평면 형태를 갖도록 형성된다.
상기 높이형성부(72b)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접촉되도록 상기 지지부(72a)의 일정영역이 수직하게 연장형성된다.
상기 높이형성부(72b)가 형성된 실링부재(72)는 상기 지지부(72a)의 일정 영역에 연장되어 상기 입사창(30) 및 출사창(40)의 움직임을 더욱 자유롭게 하는 것으로서, 상기 음파발생기(71)에 의한 효과를 극대화할 수 있다.
또한, 상기 높이형성부(72b) 내부는 비어 있는 공간부(72c)가 형성될 수 있다.
도 9는 다양한 실링부재(72)의 형태를 나타낸 도면으로서, 도 9 (a)는 지지부(72a)의 상면 내측 영역이 연장되어 높이형성부(72b)가 형성됨으로써 단면이 "ㄴ"자 형태로 형성된 예를 나타내었고, 도 9 (b)는 지지부(72a) 상면 중앙 영역이 연장되어 높이형성부(72b)가 형성됨으로써 단면이 "ㅗ"자 형태로 형성된 예를 나타내었다.
도 9 (c)는 상기 도 9 (b)에 도시한 형태와 동일하되, 상기 높이 형성부 내부에 공간부(72c)가 형성된 예를 나타내었다.
도 10은 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 도 10 (a)에 도시한 바와 같이 유지되며, 상기 음파발생기(71)에 의해 음파가 발생할 경우에, 도 10 (b)에 도시한 바와 같이, 상기 입사창(30) 및 출사창(40)이 도면 상ㆍ하방향으로 보다 자유롭게 진동됨으로써 입자 및 부산물에 의한 표면 오염을 효과적으로 방지할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 음파발생기(71) 및 실링부재(72)를 이용하여 음파에 의해 입사창(30) 및 출사창(40)을 진동시켜 입사창(30) 및 출사창(40)에 입자 및 부산물이 흡착되는 것을 방지함으로써 빔의 굴절 및 산란에 의한 빔강도를 정확하게 측정하여 분석이 용이하며, 분석 효율과 신뢰성을 향상할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치(100)는 입사창(30) 및 출사창(40)의 오염도를 낮춤으로써 유지 보수 주기를 연장할 수 있어 사용이 간편하고, 장치 내구성을 높일 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
10 : 챔버
20 : 배기관
21a : 제1중공부 21b : 제2중공부
22a : 제1안착부 22b : 제2안착부
23a : 제1홈부 23b : 제2홈부
30 : 입사창
40 : 출사창
50 : 광학발생부
60 : 검출기
71 : 음파발생기 72 : 실링부재
72a : 지지부 72b : 높이형성부
72c : 공간부
74 : 웨지부

Claims (9)

  1. 내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물을 배기하되, 마주보는 위치에 일정 영역이 중공된 제1중공부(21a) 및 제2중공부(21b)가 형성된 배기관(20);
    상기 배기관(20)의 제1중공부(21a)를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사영역과, 상기 입사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제1지지영역을 포함하는 입사창(30);
    상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 배기관(20)의 제2중공부(21b)를 통해 외부로 출사되는 출사영역과, 상기 출사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제2지지영역을 포함하는 출사창(40);
    상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50);
    상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(20) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및
    상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)와, 상기 입사창(30)의 제1지지영역과 배기관(20) 사이 및 상기 출사창(40)의 제2지지영역과 배기관(20) 사이에 압착되어 실링하되 상기 음파발생기(71)에 의한 입사창(30) 및 출사창(40)의 움직임이 가능하도록 구비되는 실링부재(72)를 포함하는 표면오염방지부; 로 이루어진 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배기관(20)은
    상기 입사창(30)의 제1지지영역이 안착되도록 상기 제1중공부(21a)의 둘레에 형성되는 제1안착부(22a), 상기 출사창(40)의 제2지지영역이 안착되도록 상기 제2중공부(21b)의 둘레에 형성되는 제2안착부(22b)를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 배기관(20)은 상기 제1안착부(22a)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제1홈부(23a) 및 상기 제2안착부(22b)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제2홈부(23b)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 실링부재(72)는
    상기 배기관(20)의 제1홈부(23a) 또는 제2홈부(23b)에 안착되는 지지부(72a); 상기 지지부(72a)의 일정영역이 수직하게 연장형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접촉되는 높이형성부(72b);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 실링부재(72)는
    상기 높이형성부(72b) 내부가 빈 공간부(72c)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(10) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 표면오염방지부는
    하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(74)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 음파발생기(71)는 가진기, 압전 초음파 소자, 자기 변형 트랜스듀서, 음성 코일 구동기(voice cole actuator)로부터 선택되는 어느 하나로 된 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치.
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