JP2006058009A - レーザ式多重反射セル式ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
ミラー間の距離補正を簡単に行ない、それによってミラーの曲率半径の誤差を調整する。
【解決手段】
ミラーの曲率半径を予め若干大きくなるように機械加工しておき、表面を研磨加工後に3次元の表面計測を行ない、真のミラー曲率を求める。次に、真のミラー曲率に合わせて、セルボディ13とフランジミラー1,3の間に、真空シール用のガスケット16及びミラー間の距離調整用のガスケット17の2種のガスケットを使用し、ミラー1a,3a間の距離を調整する。ガスケット17は変形することがない堅いSUS板を用いる。一方ガスケット16は、ナイフエッジ18が食い込む軟質の材料を用いる。
【選択図】図1
Description
Herriott式のガスセルは、2枚の球面鏡又は放物面鏡を対向させて配置し、一方のミラーの周縁部に設けた小孔から光を入射し、2枚のミラーの間で多重反射させた後、再び、入射孔から入射光とは異なる角度で光束を取り出すものである。
ミラー間の距離はセルボディの加工精度で決まるが、セルボディの単純な構造から一般に距離精度は出しやすい。
しかしミラーの曲率半径又は焦点距離(両方を含めて曲率半径ということもある。)については、曲面構造という特殊性や、金属の延性などの性質によって、工業製品での加工誤差が避けられないこともあり、その精度は非常に出しにくい。
カートリッジヒータ9又はケーブル10が断線した場合、装置内部を分解して部品を交換することになり作業効率が悪くなった。
ミラー加熱用のヒータはミラーにではなく、ミラーと一体となったフランジに埋め込まれていることが好ましい。
ミラー1aには石英ガラスの光透過窓4が設けられ、その光透過窓4を通過して、孔21からセルボディ13内部に光が入り、ミラー1a,3aの凹面で多重反射した後、再びその孔21から外部へ出射する。孔21は光の入射孔であるとともに、出射孔を兼ねている。
フランジ1b,3bにはカートリッジヒータ9が取り付けられており、フランジミラー1,3全体を暖めるようにしてあるカートリッジヒータ9は、ケーブル10を介して、セルボディ13内部を経由せずに、外部電源装置につながっている。
ガスケット17は、セルボディ13とフランジ1b,3bの接触面に配置された、ミラー1a,3a間の距離を調整する第2のガスケットである。このガスケット17を適当な厚みのものとし、それに応じて第1のガスケット16の厚みも選択することにより、ミラー1a,3a間の距離を調整する。
測定対象ガスの切り換え時には、周辺大気又は測定ガス中に含まれる水分子が内部に混入し、水分子がミラー等に吸着することがある。そこで、カートリッジヒータ9がミラー1a,3aを加熱して温度調整できるようになっている。
水分子の吸着を防ぐため、さらにセルボディ13にもシート状のヒータやバンド状のヒータを外側に巻きつけて加熱し、温度調整できる構造にしてある。
しかし、ミラーの曲率半径の正確性は加工精度によってバラツキがあり、工業生産上、設計値通りにすることは実質的に不可能である。
ミラー1a,3aの曲率半径の工業上の精度誤差が同じ場合を例として、孔21の中心から入ったレーザ光束が30回の多重反射を繰り返した後、孔21から出るときの、曲率半径と、入射孔の光軸からずれた位置変化の関係を表1に示す。
ここで、曲率半径の誤差とは加工上の精度による誤差によって生じた曲率半径のズレを言う。
次にミラーの曲率半径の誤差を、ミラー間の距離を変えることで、出射光の位置のズレをどれだけ補正できるかを表2に示す。
レーザ光の光束寸法は約2mm程度である。また、孔21の直径は、他の多重反射光が欠けることのないようにするため大きくはできず、5〜6mm程度である。そのため表1から許容できる曲率半径の誤差は±0.5mm程度であることがわかる。
しかし、SUS製のミラーの曲率半径をノミナル値(設計値)である275mm±0.5mmに合わせることは、実際には非常に困難である。
R≠R’
R'−R=ΔR
とする。
しかし、実質的にセルホディを長くすることは、セルボディ13とミラー1a,3aの間に、スペーサとしてガスケット17を介在させることにより可能となる。
次に、真のミラー曲率に合わせ、セルボディ13とミラー1a,3aの間に、真空シール用のガスケット16、及びミラー1a,3a間の距離を調整するためのガスケット17の、2種のガスケットを使用してミラー1a,3a間の距離を調整する。
ガスケット17はミラー間距離を厳密に決定するものであるので、変形することがない堅いSUS板を用いる。一方ガスケット16は、セルボディ先端部及びフランジ内側に設置されたナイフエッジ18が食い込むことができる、軟質の材料を用いる。そのような軟質の材料として銅やニッケルなどが適当である。
ガスケット16の厚みは、組み合わせて使用されるガスケット17の厚みより2.0mm厚いものとなるように、セルボディ及びフランジが製作されている。
ガスケット16,17の種類は、4組程度あれば実用的には充分である。
それらのガスケットの間の誤差の調整は、レーザ光源の位置を若干調節することで、補完的な補正ができる。
1a,3a ミラー
1b,3b フランジ
2 ミラー組立体
4 光透過窓
5 レーザ素子
6 光検出器
7,8 ガス入出口
9 カートリッジヒータ
10 ケーブル
13 セルボディ
14,15 とめつけネジ
16 真空シール用のガスケット
17 ミラー間の距離を調整するためのガスケット
18 ナイフエッジ
19 ガイドネジ
20 支持台
21 孔
Claims (3)
- セルボディの両端をフランジで封止したセル内に対向した一対のミラーを配置し、
前記セル内を減圧にして試料ガスを導入するとともに、
前記ミラー間でレーザ光を多重反射させて試料ガス中の特定ガス分子の光吸収による前記レーザ光の減衰から特定ガス分子の濃度を測定する多重反射セル式ガス分析計において、
前記ミラーをそれぞれ前記フランジに取りつけ、
前記フランジとセルボディ間を第1のガスケットにより気密に封止するとともに、
少なくとも一方のフランジとセルボディ間には第1のガスケットとは異なる第2のガスケットを介在させて、前記ミラー間距離を調節したことを特徴とするレーザ式多重反射セル式ガス分析計。 - 第2のガスケットは第1のガスケットよりも硬度の高い材質のものである請求項1に記載のレーザ式多重反射セル式ガス分析計。
- 前記フランジにはミラー加熱用のヒータが埋め込まれている請求項1又は2に記載のレーザ式多重反射セル式ガス分析計。
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