KR101279825B1

KR101279825B1 - Probe Assembly

Info

Publication number: KR101279825B1
Application number: KR1020110127121A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 구가; 히데키 히로타; 주리 오가사와라
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2010-12-03
Filing date: 2011-11-30
Publication date: 2013-06-28
Also published as: JP5588892B2; KR20120061748A; TWI434045B; JP2012132891A; TW201229520A

Abstract

본 발명은 슬릿바의 슬릿의 피치를 작게 하는 일이 없이 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있도록 하는 것에 있다.
프로브 조립체는 지지편과, 띠 모양의 설치영역, 그 설치영역에서 전방으로 연장되는 전부영역, 및 그 전부영역에서 하방으로 돌출하는 선단 침선을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 설치영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지편의 하측에 상기 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 지지편의 선단부 하측에 배치된 슬릿바로서 좌우방향으로 간격을 두며 하방으로 개방되는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿바를 포함한다. 좌우방향으로 서로 이웃하는 적어도 두 개의 프로브의 전부영역 중 적어도 일부는 공통의 슬릿에 받아들여져 있다. This invention makes it possible to arrange | position a probe in narrow pitch, without reducing the pitch of the slit of a slit bar.
The probe assembly comprises a plurality of probes including a support piece, a band-shaped mounting region, a front region extending forward from the mounting region, and a tip needle line projecting downward from the entire region, wherein the width direction of the mounting region is A plurality of probes arranged in parallel by opposing the installation area on the lower side of the support piece in a vertical direction, and a slit bar disposed below the distal end of the support piece, the plurality of probes being spaced downward in the left and right direction And a slit bar having a slit. At least a part of all regions of at least two probes adjacent to each other in the left and right directions are received in a common slit.

Description

Probe Assembly

본 발명은 액정 표시 패널과 같은 피검사체의 전기적 시험에 사용되는 프로브 조립체에 관한 것이다.
The present invention relates to a probe assembly used for an electrical test of an object such as a liquid crystal display panel.

액정 표시 패널과 같은 평판형상 피검사체의 전기적 시험에 사용되는 프로브 조립체중 하나로서 특허문헌1에 기재된 것이 있다.There is one described in patent document 1 as one of the probe assemblies used for the electrical test of a flat test subject, such as a liquid crystal display panel.

특허문헌1에 기재된 프로브 조립체는, 지지편(支持片)과, 각각이 띠(帶)모양의 설치영역의 전후방향(Y방향)으로 연장되는 전부(前部)영역 및 후부(後部)영역을 구비한 복수의 프로브로서 설치영역의 폭방향(Z방향)이 상하방향이 되는 상태로 지지편의 하측에 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 이들 프로브의 설치영역을 그 두께방향(X방향)으로 관통해 연장해서 양단부에 있어서 지지편에 지지된 가늘고 긴 지지바와, 지지편에 배치되어서 프로브의 배열방향(X방향)으로 연장되는 한 쌍의 슬릿바를 포함한다. The probe assembly described in Patent Document 1 includes a support piece, a front region and a rear region, each of which extends in the front-rear direction (Y direction) of a band-shaped installation region. A plurality of probes provided, the plurality of probes arranged in parallel by opposing the installation region on the lower side of the support piece in a state where the width direction (Z direction) of the installation region is in the up and down direction, and the installation region of these probes in the thickness direction It includes an elongated support bar extending through (X direction) and supported by the support piece at both ends, and a pair of slit bars disposed on the support piece and extending in the arrangement direction (X direction) of the probe.

각 슬릿바는 그 길이방향(X방향)으로 간격을 두고 전후방향으로 연장되며 그리고 하방으로 개방되는 복수의 슬릿을 구비한다. 지지바는 프로브의 배열방향에서의 지지편(블록)의 각 단부에 나사 고정된 판 모양의 사이드커버에 길이방향의 단부가 받아들여져 있다. 이에 따라 프로브는 지지바 및 사이드커버에 의해 지지편에 결합되어 있다.Each slit bar has a plurality of slits that extend in the front-rear direction at intervals in the longitudinal direction (X direction) and open downward. As for the support bar, the longitudinal end part is received by the plate-shaped side cover screwed to each end of the support piece (block) in the arrangement direction of the probe. Accordingly, the probe is coupled to the support piece by the support bar and the side cover.

각 프로브는 그 한쪽 면에 그 면의 일부를 덮는 절연막을 가지고 있으며, 또한 전부영역의 선단부에서 하방으로 돌출되는 부분을 피검사체의 전극에 가압되는 선단침선(先端針先)으로 하고, 후부영역의 선단부에서 상방으로 돌출되는 부분을 시트형상 접속구의 배선에 가압되는 후단침선(後端針先)으로 한다. Each probe has an insulating film covering one part of the surface on one side thereof, and a portion protruding downward from the front end portion of the entire region is used as a tip needle line pressed against the electrode of the inspected object. The part which protrudes upwards from a front-end | tip part is set as the rear needle | wire needle | tip pressed by the wiring of a sheet-shaped connection port.

프로브는 그리고 전부영역 및 후부영역의 일부가 각각 한쪽 및 다른 쪽의 슬릿바의 슬릿에 받아들여져 있다. 이에 따라 각 프로브의 침선영역은 슬릿바의 길이방향으로 변위되는 것을 방지하게 되며, 좌우방향으로 서로 이웃하는 프로브가 전기적으로 접촉하는 것을 방지한다.In the probe, portions of the front region and the rear region are received in the slits of the slit bars on one side and the other, respectively. Accordingly, the needle point region of each probe is prevented from being displaced in the longitudinal direction of the slit bar, and prevents adjacent probes from electrically contacting each other in the left and right directions.

그러나, 기계적 강도의 관계상, 슬릿바의 슬릿의 피치를 작게 하는 것에 한도가 있다. 그러한 이유로 상기 종래의 프로브 조립체에서는 프로브의 전부영역을 공통의 슬릿바의 슬릿에 받아들이고 있어서 프로브의 수와 같은 수의 슬릿을 슬릿바에 마련해야만 했다. 이 때문에 상기 종래의 프로브 조립체에서는 좁은 피치의 슬릿을 슬릿바에 형성할 수 없고 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 없다.
However, in view of mechanical strength, there is a limit to reducing the pitch of the slit of the slit bar. For this reason, in the conventional probe assembly, the entire area of the probe is accommodated in the slit of the common slit bar, so that the same number of slits must be provided in the slit bar. For this reason, in the said conventional probe assembly, a narrow pitch slit cannot be formed in a slit bar and a probe cannot be arrange | positioned at a narrow pitch.

일본특허공개공보 2007-303969호Japanese Patent Publication No. 2007-303969

본 발명의 목적은 슬릿바의 슬릿의 피치를 작게 하지 않으면서 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있도록 하는 것에 있다.
An object of the present invention is to enable a probe to be arranged at a narrow pitch without reducing the pitch of the slit of the slit bar.

본 발명과 관련된 프로브 조립체는 지지편(支持片)과, 띠(帶) 모양의 설치영역(取付領域), 그 설치영역에서 전방으로 연장되는 전부영역(前部領域), 및 그 전부영역에서 하방으로 돌출되는 선단침선(先端針先)을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 설치영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지편의 하측에 상기 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 지지편의 선단부 하측에 배치된 슬릿바로서, 좌우방향으로 간격을 두고 하방으로 개방되는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿바를 포함한다. 좌우방향으로 서로 이웃하는 적어도 두 개의 프로브의 전부영역의 적어도 일부는 공통의 슬릿에 받아들여진다.The probe assembly according to the present invention has a support piece, a band-shaped mounting region, a front region extending forward from the installation region, and a lower portion thereof. A plurality of probes having a tip needle line protruding from the plurality of probes, the plurality of probes arranged in parallel with the installation region facing the lower side of the support piece in a state that the width direction of the installation region is in the vertical direction And a slit bar disposed below the distal end of the support piece, the slit bar having a plurality of slits opened downward at intervals in the left and right directions. At least a portion of all regions of at least two probes neighboring each other in the left and right directions are received in a common slit.

상기 공통의 슬릿에 받아들여진 프로브 중 적어도 하나의 전부영역은 상기 설치영역에 대해서 좌우방향 및 전후방향으로 변형되어 있어도 좋다. At least one entire region of the probes received in the common slit may be deformed in the horizontal direction and the front-rear direction with respect to the installation region.

각 슬릿은 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 연장되어 있어도 좋다.Each slit may extend with an angle with respect to the left-right direction and the front-back direction.

전부영역의 적어도 일부가 상기 공통의 슬릿에 받아들여진 적어도 두 개의 프로브는 전후방향으로 간격을 둔 침선(針先)을 가지고 있어도 좋고, 전후방향 및 좌우방향 양방향으로 간격을 둔 침선을 가지고 있어도 좋다. At least two probes in which at least a part of the entire region is accommodated in the common slit may have needle lines spaced in the front and rear directions, or may have needle lines spaced in both the front and rear directions and the left and right directions.

상기 공통의 상기 슬릿에 받아들여진 프로브의 전부영역의 적어도 일부는 상하방향으로 간격을 두고 있어도 좋다. At least a part of all the regions of the probe received in the common slit may be spaced in the vertical direction.

프로브 조립체는 상기 지지편의 후단부 하측에 배치된 제2의 슬릿바로서 좌우방향으로 간격을 두고 하방으로 개방되는 복수의 제2의 슬릿을 구비하는 제2의 슬릿바를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 각 프로브는 상기 설치영역에서 후방으로 연장되는 후부영역(後部領域)과, 그 후부영역에서 상방으로 돌출되는 후단침선을 구비할 수 있으며, 상기 복수의 프로브는 상기 후부영역의 적어도 일부가 상기 제2의 슬릿에 받아들여진 복수의 제1의 프로브를 구비하는 제1의 프로브군과, 좌우방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이에 위치된 복수의 제2의 프로브를 구비하는 제2의 프로브 군 어느 쪽에 속할 수 있다. 각 제1의 프로브는 상기 후부영역에서 하방으로 돌출되는 돌출부를 더 구비할 수 있으며, 또한 상기 후부영역의 적어도 일부가 상기 제2의 슬릿에 받아들여져 있어도 좋다. 각 제2의 프로브의 상기 후부영역은 그 제2의 프로브의 좌방 및 우방에 위치하는 제1의 프로브의 상기 돌출부 사이에서 연장되어 있어도 좋다. The probe assembly may further include a second slit bar disposed as a second slit bar disposed below the rear end of the support piece and having a plurality of second slits that are opened downward at intervals in the horizontal direction. In this case, each probe may have a rear region extending rearward from the installation region, and a rear end needle projecting upwardly from the rear region, and the plurality of probes may include at least a portion of the rear region. A first probe group having a plurality of first probes received in the second slit, and a second having a plurality of second probes positioned between the first probes adjacent to each other in the horizontal direction Can belong to either of the probe group. Each of the first probes may further include a protrusion projecting downward from the rear region, and at least part of the rear region may be accommodated in the second slit. The rear region of each second probe may extend between the protrusions of the first probe located to the left and to the right of the second probe.

각 제2의 슬릿은 전후방향으로 연장되거나, 또는 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 연장되어 있어도 좋다. 상기 제1 및 제2의 슬릿 각각은 전후방향에서의 한쪽 및 다른 쪽으로 더 개방되어 있어도 좋다. Each second slit may extend in the front-rear direction or may extend at an angle with respect to the left-right direction and the front-rear direction. Each of the first and second slits may be further opened to one side and the other side in the front-rear direction.

프로브 조립체는 상기 제1 및 제2의 프로브의 설치영역의 길이방향으로 간격을 둔 개소를 그 개소의 두께방향으로 관통해서 연장되는 바아(bar)부재와, 그 바아부재의 길이방향의 각 단부를 받아들이는 판상의 사이드커버로서, 상기 지지편의 측부에 분리 가능하게 장착된 사이드커버를 더 포함할 수 있다.The probe assembly includes a bar member extending through a spaced portion in the longitudinal direction of the installation region of the first and second probes in the thickness direction of the portion, and each end portion in the longitudinal direction of the bar member. The plate-shaped side cover to be accommodated may further include a side cover detachably mounted to the side of the support piece.

각 프로브의 상기 전부영역은 탄성 변형에 의해 상기 설치영역에 대해서 변형되어 있어도 좋다. 상기 전부영역 중, 적어도 슬릿에 받아들여진 부분은 전기적으로 절연되어 있어도 좋다.
The whole region of each probe may be deformed with respect to the installation region by elastic deformation. At least the part accommodated in the slit of the all regions may be electrically insulated.

본 발명과 관련된 프로브 조립체에 있어서는 좌우방향으로 서로 이웃하는 적어도 두 개의 프로브의 전부영역의 적어도 일부는 같은 슬릿에 받아들여져 있기 때문에 총 프로브 수의 2분의 1 이하의 슬릿을 슬릿바에 구비하면 되므로 슬릿간의 벽의 수가 적어지게 된다. 따라서, 그만큼 슬릿의 피치를 작게 할 수 있으며 그 결과 종래에 비해 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있다. In the probe assembly according to the present invention, since at least a part of the entire area of at least two probes adjacent to each other in the left and right directions is accommodated in the same slit, the slit bar may be provided with a slit of less than 1/2 of the total number of probes. The number of walls of the liver becomes smaller. Therefore, the pitch of the slit can be made smaller, and as a result, the probe can be arranged at a narrower pitch than in the related art.

상기 같은 슬릿에 받아들여진 프로브 중 적어도 하나의 전부영역이 상기 설치영역에 대해서 좌우방향 및 전후방향으로 변형되어 있으면, 그 프로브의 전부영역이 슬릿 사이의 벽에 가압된다. 그 결과 슬릿바에 대한 그 프로브의 전부영역의 선단(침선)의 위치가 일정하게 유지된다. If at least one entire region of the probes received in the same slit is deformed in the horizontal direction and the front-rear direction with respect to the installation region, the entire region of the probe is pressed against the wall between the slits. As a result, the position of the tip (needle line) of the entire area of the probe with respect to the slit bar is kept constant.

각 슬릿이 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 연장되어 있으면, 각 프로브의 전부영역도, 좌우방향 및 전후방향에 대한 슬릿의 각도를 따라서 설치영역에 대해 좌우방향 및 전후방향에 대해서 만곡되어 연장해 있다. 이와 같이 전부영역이 설치영역에 대하여 탄성 변형에 의해 만곡되어 있으면, 전부영역을 같은 슬릿에 받아들여진 프로브 중 하나의 프로브는 전부영역을 슬리 사이의 벽에 가압되고, 다른 프로브는 전부영역을 상기 하나의 프로브의 전부영역에 가압된다. 그 결과, 슬릿바와 전부영역 사이에 유격이 존재해 있어도 슬릿바에 대한 각 전부영역의 선단(침선)의 위치가 일정하게 유지된다.
If each slit extends at an angle with respect to the left and right direction and the front and rear direction, the entire area of each probe is also bent and extended with respect to the left and right direction and the front and rear direction with respect to the installation area along the angle of the slit with respect to the left and right direction. have. In this way, if the entire region is curved by elastic deformation with respect to the installation region, one of the probes that receive the entire region in the same slit presses the entire region against the wall between the slits, and the other probe refers to the whole region. Is pressed against the entire area of the probe. As a result, even if there is a play between the slit bar and the full region, the position of the tip (needle line) of each full region with respect to the slit bar is kept constant.

도1은 본 발명과 관련된 프로브 조립체의 제1의 실시예를 이용한 프로브 유닛의 일실시예를 나타내는 도면이고,
도2는 도1에서 나타내는 프로브 조립체를 분해해서 나타낸 분해 사시도이고,
도3은 사이드커버를 떼어낸 상태에서 도1에 나타낸 프로브 조립체를 비스듬히 전방에서 본 도면이고,
도4는 사이드 커버를 떼어낸 상태에서 도1에 나타낸 프로브 조립체를 비스듬히 후방에서 본 도면이고,
도5는 제1 및 제2의 슬릿바와 2종류의 프로브와의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도6에서 (A)는 도5에서의 6A-6A선을 따라서 얻은 단면도이고, (B)는 도5에서의 도6B-6B선을 따라서 얻은 단면도이고,
도7은 도3에서의 7부분의 확대도이고,
도8은 도4에서의 8부분의 확대도이고,
도9는 제1 및 제2의 슬릿바와 한쪽 프로브와의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도10은 제1 및 제2의 슬릿바와 다른 쪽의 프로브와의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도11에서 (A)는 지지편 그리고 제1 및 제2의 슬릿바의 일 실시예를 나타내는 도면이고, (B)는 제1의 슬릿바의 저면도이고, (C)는 제2의 슬릿바의 저면도이며,
도12는 2종류의 프로브의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도13에서 (A)는 프로브의 평면도이고, (B)는 제1의 프로브의 일 실시예를 나타내는 도면이고, (C)는 제2의 프로브의 일실시예를 나타내는 도면이며,
도14는 프로브 조립체의 제2의 실시예에서의 양 프로브의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도15는 제2의 실시예로 이용되는 제3의 프로브의 일실시예를 나타내는 도면이고,
도16은 도14에서의 16부분의 확대도이고,
도17은 도14의 좌측면도이고,
도18은 제2의 실시예의 저면도이고,
도19는 프로브 조립체의 제3의 실시예에서의 양 프로브의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도20은 제3의 실시예의 저면도이고,
도21은 프로브 조립체의 제4의 실시예의 세 개의 프로브의 위치관계를 나타내는 도면이고,
도22는 제4의 실시예의 저면도이다.1 is a view showing an embodiment of a probe unit using a first embodiment of a probe assembly related to the present invention,
FIG. 2 is an exploded perspective view showing an exploded view of the probe assembly shown in FIG. 1;
3 is a view of the probe assembly shown in FIG. 1 viewed obliquely from the front with the side cover removed;
4 is a view of the probe assembly shown in FIG. 1 viewed obliquely from the rear side with the side cover removed;
5 is a diagram showing the positional relationship between the first and second slit bars and two types of probes,
6A is a cross sectional view taken along line 6A-6A in FIG. 5, (B) is a cross sectional view taken along line 6B-6B in FIG. 5,
FIG. 7 is an enlarged view of a portion 7 in FIG. 3;
FIG. 8 is an enlarged view of eight parts in FIG. 4;
9 is a view showing the positional relationship between the first and second slit bars and one probe;
Fig. 10 is a diagram showing the positional relationship between the first and second slit bars and the other probe;
(A) is a figure which shows one Embodiment of a support piece and 1st and 2nd slit bars, (B) is a bottom view of a 1st slit bar, (C) is a 2nd slit bar Is the bottom view of,
12 is a diagram showing the positional relationship of two types of probes;
In FIG. 13, (A) is a plan view of the probe, (B) is a view showing an embodiment of the first probe, (C) is a view showing an embodiment of the second probe,
14 is a view showing the positional relationship of both probes in the second embodiment of the probe assembly,
FIG. 15 is a diagram showing one embodiment of a third probe used in the second embodiment; FIG.
FIG. 16 is an enlarged view of 16 parts in FIG. 14;
17 is a left side view of FIG. 14;
18 is a bottom view of the second embodiment,
19 is a view showing the positional relationship of both probes in the third embodiment of the probe assembly,
20 is a bottom view of the third embodiment,
21 is a view showing the positional relationship of three probes of the fourth embodiment of the probe assembly,
Fig. 22 is a bottom view of the fourth embodiment.

[용어에 관해서][About terms]

본 발명에 있어서는 도1에 있어서 상하방향을 상하방향 또는 Z방향이라 하고, 좌우방향을 프로브의 전부영역 측을 전방으로 하는 전후방향 또는 Y방향이라 하며, 종이 뒷면 방향을 좌우방향 또는 X방향이라 한다. 그러나, 그러한 방향은 워크 테이블과 같은 패널 리시버에 받아진 피검사체의 자세에 따라 달라진다. In the present invention, in Fig. 1, the up-down direction is referred to as the up-down direction or the Z-direction, the left-right direction is referred to as the front-rear direction or the Y-direction toward the front of the entire region of the probe, and the paper back direction is called the left-right direction or the X-direction. . However, such a direction depends on the posture of the inspected object received by the panel receiver such as the work table.

따라서, 프로브 유닛 및 프로브 조립체는 본 발명에서 말하는 상하방향(Z방향)이 실제로 상하방향이 되는 상태, 상하 반대가 되는 상태, 비스듬한 방향이 되는 상태 등, 어느 쪽 방향이건 되는 상태로 시험장치에 설치되어서 사용된다. Therefore, the probe unit and the probe assembly are installed in the test apparatus in any state, such as a state in which the up and down direction (Z direction) in the present invention is actually in the up and down direction, in the up and down direction, and in an oblique direction. Is used.

[프로브 유닛의 실시예][Example of probe unit]

도1을 참조하면, 프로브 유닛(10)은 일부를 도1 및 도5에서 나타내는 피검사체(12)의 점등 검사에 이용된다. 피검사체(12)는 액정을 봉입한 액정표시패널이며, 직사각형의 형상으로 이루어져 있고 또한 복수의 전극(14)이 적어도 직사각형의 두 개의 변에 대응하는 가장자리부에 소정의 피치로 형성되어 있다. 각 전극(14)은 이것이 배치된 가장자리부와 직교하는 X방향 또는 Y방향으로 연장되는 띠(帶) 모양의 형상을 띠고 있다.Referring to FIG. 1, the probe unit 10 is used for the lighting test of the object 12 shown in FIG. 1 and FIG. The object 12 under test is a liquid crystal display panel in which liquid crystal is enclosed, and has a rectangular shape, and a plurality of electrodes 14 are formed at predetermined pitches at edge portions corresponding to at least two sides of the rectangle. Each electrode 14 has a band-like shape extending in the X or Y direction orthogonal to the edge where it is disposed.

프로브유닛(10)은 시험장치의 본체 프레임(미도시)에 설치되는 판모양의 프로브베이스(16)와, 프로브베이스(16)의 전단부 상측에 좌우방향으로 연장되는 상태로 배치된 지지대(18)와, 지지대(18)에 좌우방향으로 간격을 두고 재치된 복수의 프로브 장치(20)(도1에 있어서는 하나를 나타냄)와, 프로브베이스(16) 상에 배치된 판 모양의 중계베이스(22)와, 중계베이스(22) 상에 배치된 중계기판(24)을 포함한다. The probe unit 10 includes a plate-shaped probe base 16 installed on a main body frame (not shown) of the test apparatus, and a support 18 disposed in a state in which the probe unit 10 extends in the horizontal direction on an upper side of the front end of the probe base 16. ), A plurality of probe devices 20 (shown in FIG. 1) placed on the support 18 at intervals in the lateral direction, and a plate-shaped relay base 22 disposed on the probe base 16. ) And a relay substrate 24 disposed on the relay base 22.

프로브베이스(16)는 피검사체(12)의 전극(14)이 배치된 하나의 가장자리부의 길이방향(도시의 예에서는 좌우방향)으로 연장되며 두께방향이 상하방향이 되는 상태로 상기한 본체 프레임에 직접 또는 판모양 베이스와 같은 적절한 부재를 통해서 설치된다. The probe base 16 extends in the longitudinal direction (left and right direction in the example shown) of one edge portion on which the electrode 14 of the inspected object 12 is disposed, and is attached to the main body frame in a state in which the thickness direction becomes up and down. It is installed directly or through a suitable member such as a plate-shaped base.

지지대(18)는 좌우방향으로 연장되는 판모양의 주체부(主體部)(18a)와, 주체부(18a)의 좌우방향에서의 단부에서 하방으로 연장되는 한 쌍의 다리부(18a,18b)에 의해 문(門) 형태로 형성되어 있다. 이에 따라, 지지대(18)는 전방, 후방 및 하방으로 개방되는 공간(26)(도1참조)을 갖는다. 지지대(18)는 프로브베이스(16)의 좌우방향으로 이격된 개소를 하방에서 상방으로 관통해서 다리부(18b,18b)에 나사 결합된 한 쌍의 나사부재(미도시)에 의해 프로브베이스(16) 상에 설치되어 있다.The support 18 is a plate-shaped main body 18a extending in the left and right directions, and a pair of legs 18a and 18b extending downward from an end portion in the left and right direction of the main body 18a. It is formed in the form of a door. Accordingly, the support 18 has a space 26 (see Fig. 1) which is opened forward, rearward and downward. Support base 18 is a probe base 16 by a pair of screw members (not shown) which penetrates the spaced apart space in the left and right direction of the probe base 16 from below to the legs 18b and 18b. Installed on the

도시의 예에서는 지지대(18)는 복수의 프로브장치(20)에서 공통으로 되어있다. 따라서, 프로브장치(20)는 좌우방향으로 이격되어서 주체부(18a) 상에 설치되어 있다. 그러나, 하나, 두 개 또는 세 개의 프로브장치(20)마다 지지대(18)를 설치해도 좋다.In the example of illustration, the support stand 18 is common in the some probe apparatus 20. FIG. Therefore, the probe apparatus 20 is provided on the main body 18a spaced apart in the left-right direction. However, the support 18 may be provided for every one, two or three probe devices 20.

각 프로브장치(20)는, 프로브조립체(30)와, 프로브조립체(30)을 지지하는 지지블록(32)과, 지지블록(32)을 지지하는 연결블록(34)과, 지지블록(32)의 하측에 지지되어서 프로브 조립체(30)를 지지블록(32)에 조립하는 결합블록(36)과, 지지블록(32)과 결합블록(36) 사이에 배치되어서 지지블록(32)의 하측에 설치된 접속블록(38)을 포함한다. Each probe device 20 includes a probe assembly 30, a support block 32 for supporting the probe assembly 30, a connection block 34 for supporting the support block 32, and a support block 32. A coupling block 36 which is supported on the lower side of the coupling assembly 30 to assemble the support assembly 32 to the support block 32, and is disposed between the support block 32 and the coupling block 36 to be installed below the support block 32. And a connection block 38.

도2에서부터 도4에 나타내는 바와 같이 프로브조립체(30)는 도전성 재료에 의해 판모양으로 제작된 복수의 제1의 프로브(40) 및 복수의 제2의 프로브(42)를 블록 형태의 지지편(44)의 하측에 전후방향으로 간격을 두고 조립된 제1 및 제2의 슬릿바(46 및 48)에 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향으로 연장되는 상태로 서로 번갈아 배치해 있다.As shown in Figs. 2 to 4, the probe assembly 30 includes a plurality of first probes 40 and a plurality of second probes 42 formed in a plate shape made of a conductive material in a block-like support piece ( The first and second slit bars 46 and 48 assembled at intervals in the front-rear direction at the lower side of 44) are alternately arranged in a state extending in the front-rear direction at intervals in the left-right direction.

제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)에는 적어도 외주면이 전기적 절연성을 갖는 바아부재(50,52)가 관통상태로 삽입 통과되어 있다. 제1 및 제2의 프로브(40 및 42)는 바아부재(50 및 52)와, 그러한 바아부재(50 및 52)의 각 단부를 받아들이는 판모양의 사이드커버(54)와, 사이드커버(54)의 바깥쪽에 위치된 판모양의 다른 사이드커버(56)에 의해 지지편(44)에 결합되어 있다.Bar members 50 and 52 having at least an outer circumferential surface of electrical insulation are inserted into the first and second probes 40 and 42 in a penetrating state. The first and second probes 40 and 42 include bar members 50 and 52, plate-shaped side covers 54 for receiving respective ends of the bar members 50 and 52, and side covers 54. It is coupled to the support piece 44 by a plate-shaped other side cover 56 located outside of.

각 제1의 프로브(40)는 도13(B)에서 나타내는 바와 같이 직사각형을 한 판모양의 침(針)주체부, 즉 설치영역(40a)과, 설치영역(40a)에서 전방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 전부(前部)영역(40b)과, 설치영역(40a)에서 후방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 후부(後部)영역(40c)와, 전부영역(40b)의 선단에서 하방으로 일체적으로 연장되는 선단침선(40d)과, 후부영역(40c)의 후단에서 상방으로 일체적으로 연장되는 후단침선(40e)과, 후부영역(40c)에서 하방으로 돌출되면서 전후방향으로 연장되는 혀 모양(舌片)의 돌출부(40f)를 구비한다. As shown in Fig. 13 (B), each of the first probes 40 has a rectangular plate-shaped needle main body, i.e., an installation area 40a and a cantilever shape in front of the installation area 40a. At the tip of the front region 40b, which extends integrally, the rear region 40c, which extends integrally in a cantilever form to the rear from the installation region 40a, and the front region 40b. A tip needle tip 40d extending downwardly integrally, a trailing needle tip 40e extending integrally upwardly from the rear end of the rear end region 40c, and extending forward and backward while protruding downward from the rear end region 40c. Tongue 40b having a tongue shape.

각 제2의 프로브(42)는 도13(C)에서 나타내는 바와 같이 직사각형을 한 판 모양의 침주체부, 즉 설치영역(42a)과, 설치영역(42a)에서 전방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 전부영역(42b)과, 설치영역(42a)에서 후방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 후부영역(42c)과, 전부영역(42b)의 선단에서 하방으로 일체적으로 연장되는 선단침선(42d)과, 후부영역(42c)의 후단에서 상방으로 일체적으로 연장되는 후단침선(42e)을 구비하는 블레이드 타입의 바늘(針)로 되어 있다. 그러나, 각 제2의 프로브(42)는 제1의 프로브(40)의 돌출부(40f)에 대응하는 돌출부를 구비하고 있지 않다. As shown in Fig. 13C, each of the second probes 42 has a rectangular plate-shaped needle-like portion, i.e., an installation region 42a and a cantilever shape forwardly from the installation region 42a. A front region 42b that extends, a rear region 42c that extends integrally in a cantilever form from the installation region 42a to the rear, and a tip needle line that extends integrally downward from the tip of the front region 42b ( 42d) and a needle of a blade type having a trailing needle 42e extending integrally upwardly from the rear end of the rear region 42c. However, each second probe 42 does not have a protrusion corresponding to the protrusion 40f of the first probe 40.

전부영역(40b,42b)과 후부영역(40c,42c)은 설치영역(40a,42a)의 폭 치수보다 더 작은 폭 치수를 가지고 있으며, 또한 설치영역(40a,42a)이 대응하는 선단 하부 또는 후단 중앙부에서 캔틸레버 형태로 연장되어 있다. 선단침선(40d,42d) 및 후단침선(40e,42e)은 삼각형으로 형성되어서 끝이 날카롭게 되어 있다. The front region 40b, 42b and the rear region 40c, 42c have a width dimension that is smaller than the width dimension of the installation region 40a, 42a, and the installation region 40a, 42a has a corresponding lower end or rear end. It extends in the form of a cantilever in the center. The leading needle tips 40d and 42d and the trailing needle tips 40e and 42e are formed in triangles, and the ends are sharpened.

제1의 프로브(40) 및 제2의 프로브(42) 각각은 바아(bar)부재(50)가 관통하는 원형의 관통홀(40g) 또는 (42g)을 설치영역(40a) 또는 (42a)의 중앙부에서 가지면서 바아부재(52)가 관통하며 관통홀(40g,42g)보다 작은 원형의 관통홀(40h) 또는 (42h)을 설치영역(40a) 또는 (42a)의 전부(前部)에서 갖는다.Each of the first probe 40 and the second probe 42 has a circular through hole 40g or 42g through which the bar member 50 penetrates the installation area 40a or 42a. The bar member 52 penetrates in the center and has a circular through hole 40h or 42h smaller than the through holes 40g and 42g in the front of the installation area 40a or 42a. .

제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)는 같은 두께 치수를 가지고 있으며, 또한 전기절연막을 좌우방향의 각 면에서 갖는다. 적어도 전부영역(40b,42b) 및 후부영역(40c,42c)은 대응하는 설치영역(40a) 또는 (42a)에 대하여 탄성 변형 가능하다. The first and second probes 40 and 42 have the same thickness dimension, and also have an electric insulating film on each side in the left and right directions. At least the entire region 40b, 42b and the rear region 40c, 42c are elastically deformable with respect to the corresponding installation region 40a or 42a.

도2에서부터 도4, 도9에서부터 도11 등에서 나타내는 바와 같이 지지편(44)은 전기절연성을 갖는 세라믹, 합성수지 등에 의해 제작되어 있으며, 또한 하방, 좌방 및 우방으로 개방되는 홈, 즉 오목부(64)(도2참조)를 후단부 하측에서 갖는다. As shown in Figs. 2 to 4, 9 to 11 and the like, the support piece 44 is made of an electrically insulating ceramic, a synthetic resin, or the like, and also has grooves, i.e., recesses 64, which are opened downward, left and right. (See Fig. 2) at the rear end.

제1 및 제2의 슬릿바(46) 및 (48)는 전기 절연성을 갖는 세라믹, 합성수지 등에 의해 제작되어 있다. 전방에 위치하는 제1의 슬릿바(46) 및 후방에 위치하는 제2의 슬릿바(48)는, 각각 지지편(44)의 선단부 하측 및 후단부 하측에 나사고정, 접착 등의 적절한 수단에 의해 설치되어 있다. The first and second slit bars 46 and 48 are made of ceramic, synthetic resin, or the like having electrical insulation properties. The first slit bar 46 located at the front and the second slit bar 48 located at the rear are respectively provided with suitable means such as screwing and bonding to the lower end of the support piece 44 and the lower end of the rear end. It is installed by.

제1의 슬릿바(46)는 그 전단부 상면에서 상방으로 돌출해서 좌우방향으로 연장되는 당접부(서로 맞닿는 부분)(66)(도2, 도9 및 도10 참조)를 가지고 있으며, 당접부(66)를 지지편(44)의 전면 하부에 맞닿게 되어 있다. 이에 따라 제1의 슬릿바(46)와 지지편(44)은 전후방향에서의 위치결정이 된다. The first slit bar 46 has a contact portion (parts in contact with each other) 66 (see Figs. 2, 9 and 10) that protrude upward from the upper surface of the front end portion thereof and extend in the left and right directions. The 66 is in contact with the lower portion of the front surface of the support piece 44. Thereby, the 1st slit bar 46 and the support piece 44 become positioning in the front-back direction.

제2의 슬릿바(48)는 그 후단부 상면에서 상방으로 돌출해서 좌우방향으로 연장되는 당접부(68)(도2, 도9 및 도10 참조)를 가지고 있으며, 당접부(68)가 지지편(44)의 오목부(64)에 삽입되어서 당접부(68)를 오목부(64)를 형성하는 앞쪽을 향한 면에 맞닿게 되어 있다. 이에 따라 제2의 슬릿바(48)와 지지편(44)은 전후방향에서의 위치결정이 된다. The second slit bar 48 has a contact portion 68 (see Figs. 2, 9 and 10) which protrudes upward from the rear end upper surface thereof and extends in the left-right direction, and the contact portion 68 is supported. It is inserted in the recessed part 64 of the piece 44, and the contact part 68 is made to contact the front facing surface which forms the recessed part 64. As shown in FIG. Thereby, the 2nd slit bar 48 and the support piece 44 become positioning in the front-back direction.

도5에서부터 도11 등에 나타내는 바와 같이, 제1의 슬릿바(46)는 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향 및 좌우방향에 대해서 각도를 가지고 비스듬히 연장되는 복수의 제1의 슬릿(60)(도11(B)참조)을 구비한다. 제2의 슬릿바(48)는 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향으로 연장되는 복수의 제2의 슬릿(62)(도11(C)참조)을 구비한다. 제1 및 제2의 슬릿(60) 및 (62) 각각은 전후방향 양측 및 하방으로 개방된 홈으로 이루어져 있다.As shown in Figs. 5 to 11 and the like, the first slit bars 46 have a plurality of first slits 60 extending obliquely at an angle with respect to the front-back direction and the left-right direction at intervals in the left-right direction (Fig. 11). (B)). The second slit bar 48 has a plurality of second slits 62 (see Fig. 11C) extending in the front-rear direction at intervals in the left-right direction. Each of the first and second slits 60 and 62 consists of grooves which are open to both sides and downwards in the front-rear direction.

각 제1의 슬릿(60)은 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)의 전부영역(40b) 및 (42b)를 상하방향으로 변위시킨 상태에서 받아들일 수 있도록 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)의 전부영역(40b) 및 (42b)의 두께 치수와 거의 동일하고, 좌우방향에서의 폭 치수를 갖는다. Each of the first slits 60 is adapted to receive the first and second probes 40 and 42 in a state where the entire regions 40b and 42b of the first and second probes 40 and 42 are displaced in the vertical direction. It is almost the same as the thickness dimension of all the area | region 40b and 42b of the probe 40 and 42 of this, and has a width dimension in the left-right direction.

각 제2의 슬릿(62)은 제1의 프로브(40)의 후부영역(40c)을 받아들일 수 있도록 제1의 프로브(40)의 후부영역(40c)의 좌우 후방에서의 두께 치수와 거의 동일하고, 좌우방향에서의 폭치수를 갖는다. 제1 및 제2의 슬릿(60) 및 (62)는 동일 피치로 대응하는 슬릿바(46) 또는 (48)에 형성되어 있다.Each second slit 62 is approximately equal in thickness to the left and right rearwards of the rear region 40c of the first probe 40 so as to receive the rear region 40c of the first probe 40. And the width dimension in the left and right directions. The first and second slits 60 and 62 are formed in the corresponding slit bars 46 or 48 at the same pitch.

바아부재(50) 및 (52)는 도시의 예에서는 원형의 단면형상을 가지고 있으며, 또한 세라믹과 같은 경질의 전기절연성 재료에 의해 형성되어 있다. 그러나, 그들 바아부재(50,52)는 도전성 재료를 전기 절연성 재료로 피복한 것이라도 좋고, 또한 직사각형, 육각형 등의 다각형과 같은 다른 횡단면 형상을 가지고 있어도 좋다. 후자의 경우, 그들 바아부재가 관통하는 각 프로브 및 각 사이드커버의 관통홀도 그들 바아부재의 단면형상과 같은 형상을 갖는다. The bar members 50 and 52 have a circular cross-sectional shape in the example of the figure, and are formed of a hard electrically insulating material such as ceramic. However, these bar members 50 and 52 may be coated with an electrically insulating material, or may have other cross-sectional shapes such as polygons such as rectangles and hexagons. In the latter case, each of the probes through which the bar members penetrate and the through-holes of each side cover also have the same shape as that of the bar members.

바아부재(50)는 프로브(40) 및 (42)의 관통홀(40g,42g)로 삽입 통과되어 있으면서 각 단부가 내측의 사이드커버(54)에 마련된 홀(54a)(도2참조)에 받아들여져서, 그 사이드커버(54)에 지지되어 있다. 바아부재(52)도 프로브(40) 및 (42)의 관통홀(40h,42h)에 삽입 통과되어 있으면서 각 단부가 내측의 사이드커버(52)에 마련된 홀(54b)(도2참조)에 받아들여져서 그 사이드커버(54)에 지지되어 있다.The bar member 50 is inserted through the through holes 40g and 42g of the probes 40 and 42, and each end is received by the hole 54a (see Fig. 2) provided in the side cover 54 of the inner side. It is supported and supported by the side cover 54. The bar member 52 is also inserted into the through holes 40h and 42h of the probes 40 and 42, and each end is received by the hole 54b (see Fig. 2) provided in the inner side cover 52. It is indented and supported by the side cover 54.

제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)는 설치영역(40a) 및 (42a)의 두께방향이 좌우방향이 되며 또한 좌우방향으로 서로 번갈아 위치하는 상태로 제1 및 제2의 슬릿바(46) 및 (48)에 병렬적으로 배치되어 있다.The first and second probes 40 and 42 have the thickness direction of the installation areas 40a and 42a in the left and right directions and are alternately positioned in the left and right directions so as to alternate between the first and second slit bars. It is arrange | positioned in parallel to (46) and (48).

각 제1의 슬릿(60)은 도5, 도6(A), 도7에서 나타내는 바와 같이 1세트의 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)의 전부영역(40b) 및 (42b)의 일부를 상하방향으로 이격시킨 상태로 받아들인다. 각 제2의 슬릿(62)은 하나의 제1의 프로브(40)의 후부영역(42c)의 일부를 받아들인다. 각 제2의 프로브(42)의 후부영역(42c)은 서로 이웃하는 양 제1의 프로브(40)의 돌출부(40f) 사이에서 연장되어 있다.Each of the first slits 60 includes all regions 40b and 42b of one set of the first and second probes 40 and 42, as shown in Figs. A part of) is taken in the state spaced up and down. Each second slit 62 receives a portion of the rear region 42c of one first probe 40. The rear region 42c of each second probe 42 extends between the protruding portions 40f of both first probes 40 adjacent to each other.

각 제1의 프로브(40)의 전부영역(40b)은 제1의 슬릿(60) 안을 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 연장해 있다. 각 제1의 프로브(40)의 후부영역(40c)은 제2의 슬릿(62) 안을 전후방향으로 연장해 있다. 각 제1의 프로브(40)의 선단침선(40d)은 제1의 슬릿(60)보다 전방의 위치에서 하방으로 연장해 있다. 각 제1의 프로브(40)의 후단침선(40e) 및 돌출부(40f)는 각각 제2의 슬릿(62)에서 후방 및 하방으로 돌출되어 있다.The entire region 40b of each first probe 40 extends in the first slit 60 at an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions. The rear region 40c of each first probe 40 extends in the second slit 62 in the front-rear direction. The tip needle line 40d of each first probe 40 extends downward from the position ahead of the first slit 60. The trailing needle 40e and the protrusion 40f of each first probe 40 protrude rearward and downward from the second slit 62, respectively.

각 제2의 프로브(42)의 전부영역(4b)은 그 선단침선(42d)이 제1의 슬릿(60)의 전후방향에서의 도중에서 전방으로 돌출된 상태로 제1의 슬릿(60) 내에 있고 제1의 프로브(40)의 전부영역(40b)의 높이위치보다 하측에서 전후방향으로 연장해 있다. 각 제2의 프로브(42)의 후부영역(42c)은 후단침선(42e)이 제2의 슬릿(62)에서 후방으로 돌출해서 상방으로 연장되도록 서로 이웃하는 제1의 프로브(40)의 돌출부(40f) 사이를 전후방향으로 연장해 있다.The entire region 4b of each of the second probes 42 is formed in the first slit 60 with its tip needle 42d projecting forward in the middle in the front-rear direction of the first slit 60. And extends from the lower side to the front-rear direction than the height position of the entire region 40b of the first probe 40. The rear region 42c of each of the second probes 42 includes protrusions of the first probes 40 adjacent to each other such that the trailing needle 42e protrudes backward from the second slit 62 and extends upward. 40f) is extended in the front-back direction.

제1의 프로브(40)의 선단침선(40d) 및 후단침선(40e)의 위치는 각각 제2의 프로브(42)의 선단침선(42d) 및 후단침선(42e)보다 전방에 위치되어 있다. 이 때문에 제1의 프로브(40)의 선단침선(40d) 및 후단침선(40e)과, 제2의 프로브(42)의 선단침선(42d) 및 후단침선(42e)은 전후방향으로 간격을 두고 있지만, 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)의 전후방향에서의 길이 치수, 특히 유효 전기적 길이를 같게 할 수 있다.The positions of the tip needle line 40d and the trailing needle line 40e of the first probe 40 are located ahead of the tip needle line 42d and the trailing needle line 42e of the second probe 42, respectively. For this reason, the tip needle line 40d and the trailing needle line 40e of the first probe 40 and the tip needle line 42d and the trailing line needle 42e of the second probe 42 are spaced apart in the front-rear direction. The length dimensions in the front and rear directions of the first and second probes 40 and 42, in particular, the effective electrical length can be made the same.

제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)의 선단침선(40d) 및 (42d)은 선단침선(40d)이 전후방향에 대한 제1의 슬릿(60)의 각도(θ)(도11(B)참조)와 같은 각도로 전후방향에 대해 비스듬히 연장해 있는 것과, 선단침선(40d)이 선단침선(42d)보다 전방에 위치하기 때문에 좌우방향으로도 간격을 두고 있다.The tip needle lines 40d and 42d of the first and second probes 40 and 42 have an angle θ of the first slit 60 with respect to the front-rear direction of the tip needle line 40d (Fig. 11). Since the tip needle tip 40d is positioned forward of the tip needle tip 42d at an angle equal to the front-rear direction at the same angle as (B)), it is also spaced in the left and right directions.

사이드커버(54,56)는 전기 절연 재료 또는 도전성 재료로 판모양으로 제작되어 있다. 도2에서와 같이 내측에 위치된 각 사이드커버(54)는 프로브의 관통홀(40g,42g) 및 (40h,42h)로 통과시켜진 바아부재(50) 및 (52)의 단부를 관통홀(54a) 및 (54b)에 받아들여서 프로브(40,42)를 변위 가능하게 지지하고 있다.The side covers 54 and 56 are made of a plate shape of an electrically insulating material or a conductive material. As shown in FIG. 2, each side cover 54 located inside the through hole (40g, 42g) and the end of the bar member 50 and 52 passed through (40h, 42h) of the probe through holes ( 54a) and 54b, the probes 40 and 42 are supported so that displacement is possible.

사이드커버(54,56)는 그들 사이드커버(54,56)의 전후방향으로 간격은 둔 개소를 관통해서 지지편(44)에 나사 결합된 볼트와 같은 핀 모양의 복수의 나사부재(65)(도1 및 도2참조)에 의해 지지편(44)의 좌우방향에서의 측면에 분리 가능하게 설치되어 있다. The side covers 54 and 56 penetrate a plurality of screw members 65 having a pin shape, such as bolts, penetrated through the spaced spaces in the front and rear directions of the side covers 54 and 56, and screwed to the support piece 44 ( 1 and 2) are detachably provided on the side surfaces of the support piece 44 in the left and right directions.

사이드커버(54)는 또한 사이드커버(54) 및 지지편(44)에 전후방향으로 간격을 두고 마련된 복수의 관통홀(70)(도2참조)을 관통하고, 다른 쪽 측의 사이드커버(54)에 전후방향으로 간격을 두고 마련된 다른 복수의 관통홀(70)(도2참조)에 도달하는 위치결정핀(72)(도1참조)에 의해 지지편(44)에 대해서 위치결정되어진다.The side cover 54 also penetrates through the plurality of through holes 70 (see Fig. 2) provided in the front and rear directions at the side cover 54 and the support piece 44, and the side cover 54 on the other side. ) Is positioned relative to the support piece 44 by the positioning pins 72 (see FIG. 1) that reach a plurality of other through holes 70 (see FIG. 2) provided at intervals in the front-rear direction.

상기의 결과, 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)는 바아부재(50) 및 (52), 사이드커버(54) 및 (56), 나사부재(65), 위치결정핀(72) 등에 의해 지지편(44)에 분리 가능하게 조립되어서 좌우방향 및 전후방향의 위치를 결정 받는다. As a result of the above, the first and second probes 40 and 42 are bar members 50 and 52, side covers 54 and 56, screw members 65, and positioning pins 72. It is assembled detachably to the support piece 44, etc., and determines the position of the left-right direction and the front-back direction.

각 프로브는 바아부재(50) 및 (52)가 사이드커버(54) 및 (56)에 장착되고, 제1 및 제2의 슬릿바(46) 및 (48)가 지지편(44)에 장착되며, 사이드커버(54,56)가 지지편(44)에 장착됨으로써 지지편(44)에 장착되어서 유지된다. Each probe has a bar member 50 and 52 mounted to the side cover 54 and 56, the first and second slit bars 46 and 48 to the support piece 44 The side covers 54 and 56 are attached to the support piece 44 to be held by the support piece 44.

도면에 있어서는 서로 이웃하는 프로브가 좌우방향으로 크게 간격을 두고 있는 것처럼 나타내고 있지만, 실제로는 프로브의 배열 피치는 작다. 프로브의 수, 두께 치수 및 배열 피치, 그리고 슬릿바의 슬릿수, 배치 피치 및 폭 치수는 피검사체의 종류 특히 전극의 배치 피치와 폭 치수에 의해 달라진다. In the figure, although the neighboring probes are shown to be largely spaced in the left-right direction, in practice, the arrangement pitch of the probes is small. The number of probes, the thickness dimension and the arrangement pitch, and the slit number of the slit bar, the placement pitch and the width dimension vary depending on the type of the inspected object, in particular, the placement pitch and the width dimension of the electrode.

프로브 조립체(30)는 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)를 상술한 상태로 슬릿바(46) 및 (48)에 설치하고, 이것과 병행하거나 또는 이것의 전후에 양 슬릿바(46,48)를 상술한 상태로 지지편(44)에 설치하고, 그 후 사이드커버(54,56)를 나사부재(75)로 지지편(44)에 상술한 상태로 설치함으로써 조립할 수 있다.The probe assembly 30 is installed in the slit bars 46 and 48 with the first and second probes 40 and 42 in the above-described state, and in parallel with or before and after the slit bars. (46, 48) can be assembled to the support piece (44) in the above-described state, and then the side covers (54, 56) are attached to the support piece (44) with the screw member (75) in the above-described state. .

다시 도1을 참조하면 지지블록(32)은 판 모양의 두 개의 지지부(32a) 및 (32b)에 의해 L자 모양의 단면형상으로 제작되어 있다. 연결블록(34)은 지지대(18)에 설치되는 주체부(34a)와, 주체부(34a)의 상부에서 전방으로 연장되는 연장부(34b)에 의해 역 L자 모양의 형상을 갖는다. Referring back to FIG. 1, the support block 32 is formed in an L-shaped cross section by two plate-shaped supports 32a and 32b. The connecting block 34 has an inverted L shape by a main body 34a installed on the support 18 and an extension 34b extending forward from the upper part of the main body 34a.

결합블록(36)은 지지블록(32)의 지지부(32b)의 하측에 적절한 결합구(78)에 설치되어 있으며, 블록조립체(30)가 결합블록(36)을 상방에서 하방으로 관통해서 지지편(44)에 나사 결합된 나사부재와 같은 적절한 결합구(미도시)에 의해 결합블록(36)의 하측에 장착되어 있다. Coupling block 36 is installed in a suitable coupling hole 78 on the lower side of the support portion 32b of the support block 32, the block assembly 30 penetrates the coupling block 36 from above to the support piece. It is attached to the lower side of the coupling block 36 by an appropriate coupling tool (not shown), such as a screw member screwed to 44.

결합구(78)는 도시의 예에서는 예를 들면 일본특허출원 제2009-174248호에 기재된 것임을 나타내고 있지만, 지지블록(32)의 지지부(32b)를 상하방향으로 관통해서 결합블록(36)에 나사 결합된 나사부재라도 좋다.Although the coupler 78 shows that it is, for example, described in Japanese Patent Application No. 2009-174248 in the illustrated example, the coupling tool 78 is screwed into the coupling block 36 by penetrating the support portion 32b of the support block 32 in the vertical direction. The screw member may be engaged.

지지블록(32)은 좌우방향으로 간격을 두고 상하방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드레일(80)과, 양 가이드레일(80) 사이를 상하방향으로 연장되는 가이드(82)에 의해 연결블록(34)의 주체부(34a)의 전면에 상하방향으로 이동가능하게 연결되어 있으면서 볼트(84)에 의해 연결블록(34)의 연장부(34b)에 상하방향의 위치를 조정가능하게 연결되어 있다.The support block 32 is connected to the connecting block 34 by a pair of guide rails 80 extending in the vertical direction at intervals in the left and right directions, and a guide 82 extending in the vertical direction between the two guide rails 80. While being movably connected to the front of the main body portion 34a in the vertical direction, the position in the vertical direction is adjustablely connected to the extension portion 34b of the connection block 34 by the bolt 84.

양 가이드레일(80) 및 가이드(82)는 각각 리니어레일 및 리니어가이드이다. 양 가이드레일(80)은 지지블록(32)의 지지부(32a)의 후단면에 설치되어 있다. 이에 대하여 가이드(82)는 양 가이드레일(80)이 가이드(82)에 대해 상하방향으로 이동할 수 있도록 좌우방향에서의 양 가이드레일(80) 사이에 배치되어 있고 또한 연결블록(34)의 주체부(34a)의 전단면에 설치되어 있다.Both guide rails 80 and 82 are linear rails and linear guides, respectively. Both guide rails 80 are provided on the rear end surface of the support portion 32a of the support block 32. On the other hand, the guide 82 is disposed between both guide rails 80 in the left and right directions so that both guide rails 80 can be moved up and down with respect to the guide 82, and the main portion of the connecting block 34 is provided. It is provided in the front end surface of 34a.

볼트(84)는 연결블록(34)의 연장부(34b)를 상방에서 하방으로 관통하고 있으며, 또한 지지블록(32)에 형성된 나사홀(86)에 나사 결합되어 있다. 지지블록(32)은 좌우방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 압축코일스프링(88)(도1에 있어서는 그 하나를 나타낸다)에 의해 하방으로 힘이 가해진다.The bolt 84 penetrates the extension 34b of the connecting block 34 from above to below and is screwed into the screw hole 86 formed in the support block 32. The support block 32 is downwardly applied by a pair of compression coil springs 88 (shown in FIG. 1) arranged at intervals in the horizontal direction.

각 압축코일스프링(88)은 연결블록(34)의 연장부(34b) 위에 복수의 나사부재(90)(도1에 있어서는 그 하나를 나타낸다)에 의해 설치된 판모양의 스프링 프레서(92)와, 지지블록(32)의 지지부(32a) 사이에 배치되어 있다. 이에 의해 연결블록(34)의 연장부(34b)로의 볼트(84)의 나사 조임량을 조정함으로써 지지블록(32) 나아가서는 프로브 조립체(30)의 높이 위치를 조정할 수 있다.Each compression coil spring 88 has a plate-shaped spring presser 92 provided by a plurality of screw members 90 (indicated in FIG. 1) on the extension 34b of the connecting block 34. It is arranged between the support portions 32a of the support block 32. Thereby, the height position of the support block 32 and the probe assembly 30 can be adjusted by adjusting the screw tightening amount of the bolt 84 to the extension part 34b of the connection block 34.

스프링 프레서(92)는 드라이버와 같은 공구의 선단부를 상방에서 끼워넣고 볼트(84)의 회전량을 조정하는 관통홀(92a)을 갖는다. 이에 의해 스프링 프레서(92)를 연결블록(34)으로부터 떼어내지 않고 지지블록(32) 나아가서는 프로브 조립체(30)의 높이 위치를 조정할 수 있어서 그와 같은 높이 위치의 조정 작업이 쉬워진다. The spring presser 92 has a through hole 92a for fitting a tip of a tool such as a driver from above and adjusting the amount of rotation of the bolt 84. Thereby, the height position of the support block 32 and also the probe assembly 30 can be adjusted, without removing the spring presser 92 from the connection block 34, and the adjustment operation of such a height position becomes easy.

연결블록(34)은 연결블록(34)의 주체부(34a)를 상방에서 하방으로 관통해서 지지대(18)의 주체부(18a)에 나사 결합된 복수의 볼트(94)(도1에 있어서는 하나를 나타낸다)에 의해 지지대(18)에 분리가능하게 설치되어 있다.The connecting block 34 penetrates through the main body 34a of the connecting block 34 from above to below, and has a plurality of bolts 94 (one in FIG. 1) screwed to the main body 18a of the support 18. Is attached to the support 18 in a detachable manner.

중계(中繼)베이스(22)는 두께방향을 상하방향으로 한 상태로 미도시된 복수의 나사부재에 의해 프로브베이스(16) 상에 배치되어 있다. 중계기판(24)은 각각이 프로브장치(20)의 프로브에 대응된 복수의 배선(미도시)을 갖는 배선기판이다. 중계기판(24)의 배선은 프로브장치(20)마다 구비된 시트형태의 전기적 접속구(100)에 의해 대응하는 프로브에 전기적으로 접속되어 있다. The relay base 22 is arrange | positioned on the probe base 16 by the some screw member which is not shown in the state which made thickness direction the up-down direction. The relay board 24 is a wiring board each having a plurality of wirings (not shown) corresponding to the probes of the probe device 20. The wiring of the relay board 24 is electrically connected to the corresponding probe by the sheet-shaped electrical connector 100 provided for each probe device 20.

접속블록(38)은 지지블록(32)의 하측을 좌우방향으로 연장해 있으며, 또한 결합블록(36)의 후단부 상측과 지지블록(32)의 후단부 하측 사이에 배치되어 있다. 접속블록(38)은 좌우방향으로 간격은 둔 복수의 나사부재(미도시)에 의해 지지블록(32)의 하측에 분리가능하게 설치되어 있다.The connection block 38 extends the lower side of the support block 32 in the lateral direction, and is disposed between the upper end of the rear end of the coupling block 36 and the lower end of the rear end of the support block 32. The connection block 38 is detachably provided below the support block 32 by a plurality of screw members (not shown) spaced in the left and right directions.

전기적 접속구(100)는 전후방향으로 연장되는 복수의 배선을 가지고 있으며, 또한 프로브장치(20)에서 후방으로 연장되는 시트형태의 제1의 배선영역(102)과, 제1의 배선영역(102)에서 후방으로 연장되는 시트형태의 제2의 배선영역(104)을 포함한다. 제1 및 제2의 배선영역(102) 및 (104)은 각각 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향으로 연장되는 복수의 제1의 배선(미도시) 및 제2의 배선(미도시)을 갖는다.The electrical connector 100 has a plurality of wirings extending in the front-rear direction and further includes a first wiring region 102 in the form of a sheet extending rearwardly from the probe device 20 and the first wiring region 102. And a second wiring region 104 in the form of a sheet extending rearwardly. The first and second wiring regions 102 and 104 each have a plurality of first wirings (not shown) and second wirings (not shown) extending in the front-rear direction at intervals in the left and right directions, respectively.

제1의 배선영역(102)은 후렉시블 인쇄배선회로(FPC), 탭(TAB), 또는 그들을 조합시킨 복합 회로 시트로 되어 있다. 제2의 배선영역은 후렉시블 인쇄배선회로(FPC)로 되어 있다. 제1의 배선영역(102)은 결합블록(36)의 하측에 위치되어 있으며, 또한 피검사체(12)를 구동하는 집적회로(미도시)를 중간영역에 배치해 두고 있으며, 그리고 결합블록(36)의 하측을 후방으로 연장해 있다.The first wiring region 102 is a flexible printed wiring circuit FPC, a tab TAB, or a composite circuit sheet combining them. The second wiring area is a flexible printed wiring circuit (FPC). The first wiring region 102 is located below the coupling block 36, and has an integrated circuit (not shown) for driving the object 12 in the middle region, and the coupling block 36. Extends the lower side of the back side.

도1에서 나타내는 바와 같이 제1의 배선영역(102)의 전단부는 제1의 배선의 선단부가 하방으로 노출되는 상태로 결합블록(36)의 하면에 유지되어 있다. 이에 따라 프로브장치(20)가 조립된 상태에서 각 프로브의 후단침선(e)은 제1의 배선 선단부에 가압되어서 전기적으로 접속된다(도5참조).As shown in FIG. 1, the front end of the first wiring region 102 is held on the lower surface of the coupling block 36 in a state where the front end of the first wiring is exposed downward. Accordingly, in the state where the probe device 20 is assembled, the trailing needle e of each probe is pressed and electrically connected to the first wire tip (see Fig. 5).

도1에서 나타내는 바와 같이 제1의 배선영역(102)의 후단부는 제1의 배선영역(102)이 결합블록(36)의 후단부에서 상방 및 전방에 가로 U자 모양으로 되접어 꺾여서 제1의 배선영역(102)의 제1의 배선의 후단부가 상방으로 노출되는 상태로 결합블록(36)의 상면에 유지되어 있다.As shown in FIG. 1, the rear end portion of the first wiring region 102 is folded in a horizontal U shape at the rear end of the first block region 102 upwardly and forwardly at the rear end portion of the coupling block 36. The rear end of the first wiring in the wiring region 102 is held on the upper surface of the coupling block 36 in a state where it is exposed upward.

도1에서 나타내는 바와 같이 제2의 배선영역(104)의 선단부는 제1의 배선영역(102)의 되접힘부의 상방에 위치하는 상태로, 및 제2의 배선영역(104)의 제2의 배선의 선단부가 하방이 되는 상태로, 접속블록(38)의 하면에 유지되어 있다. 이에 따라 블록장치(20)가 조립된 상태에 있어서 제1의 배선영역(102)의 제1의 배선의 후단부와 제2의 배선영역(104)의 제2의 배선의 전단부는 서로서로 가압되어서 전기적으로 접속되어 있다. As shown in FIG. 1, the distal end portion of the second wiring region 104 is located above the retracted portion of the first wiring region 102, and the second wiring of the second wiring region 104 is formed. The front end portion of is held in the lower surface of the connection block 38 in a state of being downward. Accordingly, in the state where the block device 20 is assembled, the rear end portion of the first wiring of the first wiring region 102 and the front end portion of the second wiring of the second wiring region 104 are pressed against each other. It is electrically connected.

제2의 배선영역(104)은 접속블록(38)의 후단과 프로브베이스(16)의 전단(前端) 사이에서 프로브베이스(16)의 상측으로 인도되고, 또 지지대(18)의 공간(26)으로 통과되며, 그리고 프로브베이스(16) 위에서 후방으로 이어져 있다.The second wiring area 104 is led to the upper side of the probe base 16 between the rear end of the connection block 38 and the front end of the probe base 16 and the space 26 of the support 18. ) And continues rearward above the probe base 16.

제2의 배선영역(104)은 그 후단에 마련된 커넥터(미도시)에 의해 중계기판(24)에 결합되어 있다. 이 커넥터는 전기적 접속구(100)의 배선을 통해서 대응하는 프로브장치(20)의 프로브에 접속된 복수의 단자를 구비한다. 그러한 단자는 중계기판(24)의 상술된 배선에 접속된다.The second wiring area 104 is coupled to the relay board 24 by a connector (not shown) provided at the rear end thereof. This connector has a plurality of terminals connected to the probe of the corresponding probe device 20 through the wiring of the electrical connector 100. Such a terminal is connected to the above-described wiring of the relay substrate 24.

중계기판(24)의 배선은 시험신호를 발생하는 전기회로(미도시)에 접속된다. 시험신호는 그와 같은 전기회로에서 전기적 접속구(96)를 통해서 프로브에 공급되고 피검사체(12)를 구동(점등)시킨다. The wiring of the relay board 24 is connected to an electric circuit (not shown) that generates a test signal. The test signal is supplied to the probe through the electrical connector 96 in such an electric circuit and drives (lights up) the object under test 12.

프로브조립체(30)에 있어서는 좌우방향으로 서로 이웃하는 두 개의 프로브(40,42)의 전부영역(40b,42b)의 적어도 일부를 선단침선(40d) 및 (42d)가 전후방향으로 간격을 둔 상태로 좌우방향 및 전후방향에 대해 비스듬히 연장되는 제1의 슬릿(60)에 받아들여져 있기 때문에 총 프로브 수의 2분 1 이하의 제1의 슬릿(60)을 제1의 슬릿바(46)에 마련해도 좋다. 이 때문에 제1의 슬릿(60) 사이의 벽의 수가 적어지고, 따라서 그만큼 제1의 슬릿(60)의 피치를 작게 할 수 있다.In the probe assembly 30, at least a part of the entire regions 40b and 42b of the two probes 40 and 42 adjacent to each other in the left and right directions are spaced apart in the front and rear directions by the tip needle lines 40d and 42d. Since the first slit 60 is accommodated in the first slit 60 extending obliquely with respect to the horizontal direction and the front-rear direction, the first slit 60 having less than 2 1/2 of the total number of probes is provided in the first slit bar 46. Also good. For this reason, the number of walls between the 1st slits 60 becomes small, and the pitch of the 1st slits 60 can be made small by that much.

마찬가지로 각 제2의 프로브(42)의 후부영역(42d)을 이웃하는 두 개의 프로브(40)의 볼록부(40f) 사이에 위치시키고 있어서, 총 프로브 수의 2분의 1 이하의 제2의 슬릿(62)을 제2의 슬릿바(48)에 마련하면 된다. 이 때문에 제2의 슬릿(62) 사이의 벽의 수가 적어지고, 따라서 그만큼 제2의 슬릿(62)의 피치를 작게 할 수 있다. Similarly, the rear region 42d of each second probe 42 is positioned between the convex portions 40f of two neighboring probes 40, so that a second slit equal to or less than one half of the total probe number What is necessary is just to provide 62 to the 2nd slit bar 48. FIG. For this reason, the number of walls between the 2nd slits 62 becomes small, and the pitch of the 2nd slits 62 can be made small by that much.

상기의 결과, 프로브조립체(30)에 따르면 종래에 비해 슬릿의 피치를 작게 하는 일 없이 프로브(40,42)를 좁은 피치로 배치할 수 있다.As a result of the above, according to the probe assembly 30, the probes 40 and 42 can be arranged at a narrow pitch without reducing the pitch of the slits as compared with the conventional art.

프로브 조립체(30)에 있어서는 또한 각 제1의 슬릿(60)이 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 연장해 있어서, 프로브(40,42)의 전부영역(40b,42b)도 설치영역(40a,42a)에 대하여 좌우방향 및 전후방향에 대하여 탄성 변형되어서 만곡되어 연장해 있다. 이 때문에 전부영역(40b,42a)의 적어도 일부를 같은 제1의 슬릿(60)에 받아들여진 프로브(40,42)의 선단침선(40d,42d)은 이들 선단침선(40d,42d)이 전후방향으로 간격을 두고 있는 것과 서로 작용하여서 좌우방향으로 이격된다. In the probe assembly 30, each of the first slits 60 extends at an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions, so that all the areas 40b and 42b of the probes 40 and 42 are also provided with the installation areas 40a and It is elastically deformed in the left-right direction and the front-back direction with respect to 42a), and it curves and extends. For this reason, the tip needle lines 40d and 42d of the probes 40 and 42 which have received at least a part of all the regions 40b and 42a in the same first slit 60 have these tip needle lines 40d and 42d in the front-rear direction. They are spaced apart from each other in the left and right directions by interacting with one another.

전부영역(40b,42b)이 설치영역(40a,42a)에 대하여 탄성변형에 의해 만곡되어 있으면, 전부영역을 같은 제1의 슬릿(60)에 받아들여진 프로브(40,42) 중 하나의 프로브는 전부영역을 제1의 슬릿(60) 사이의 벽에 가압되고, 다른 프로브는 전부영역을 상기 하나의 프로브의 전부영역에 가압된다. 그 결과, 제1의 슬릿바(46)와 전부영역 사이에 유격이 존재해 있더라도 제1의 슬릿바(46)에 대한 각 전부영역의 선단(침선)의 위치가 일정하게 유지된다. If all of the regions 40b and 42b are curved by elastic deformation with respect to the installation regions 40a and 42a, one of the probes 40 and 42 received in the same first slit 60 will be The whole region is pressed against the wall between the first slits 60, and the other probe is pressed against the whole region of the one probe. As a result, even if there is play between the first slit bar 46 and the entire region, the position of the tip (needle line) of each full region with respect to the first slit bar 46 is kept constant.

전후방향에 대한 제1의 슬릿(60)의 각도(θ)(도11을 참조)가 너무 작으면, 설치영역에 대한 전부영역의 탄성 변형량이 적고, 제1의 슬릿(60) 사이의 벽으로의 하나의 프로브의 전부영역의 누름력, 및 그 하나의 프로브의 전부영역으로의 다른 프로브의 전부영역의 누름력이 너무 적어진다. 그 결과, 제1의 슬릿바(46)에 대한 각 선단 침선의 위치가 불안정해진다. 반대로 각도(θ)가 너무 크면, 설치영역에 대한 전부영역의 변형량이 너무 커져서 전부영역이 절손될 우려가 있다.If the angle θ (see Fig. 11) of the first slit 60 with respect to the front-rear direction is too small, the amount of elastic deformation of the entire region relative to the installation region is small, and the wall between the first slits 60 is reduced. The pressing force of the whole region of one probe and the pressing force of the whole region of the other probe to the whole region of the one probe become too small. As a result, the position of each tip needle line with respect to the 1st slit bar 46 becomes unstable. On the contrary, if the angle θ is too large, the amount of deformation of the whole area with respect to the installation area becomes too large and there is a possibility that the whole area is broken.

그 결과, 전후방향에 대한 제1의 슬릿(60)의 각도(θ)는, 3도에서 60도, 바람직하게는 5도에서 30도로 할 수 있다. 그러나, 각도(θ)는 좌우방향 및 전후방향 각각에서의 선단침선(40d) 및 (42d)의 목표위치, 나아가서는 좌우방향 및 전후방향 각각에서의 피검사체의 전극 위치에 의해 정해진다. As a result, the angle θ of the first slit 60 with respect to the front-rear direction can be 3 degrees to 60 degrees, preferably 5 degrees to 30 degrees. However, the angle [theta] is determined by the target positions of the tip needle tips 40d and 42d in the left and right directions and the front and rear directions, and further, the electrode positions of the inspected object in the left and right directions and the front and rear directions, respectively.

프로브 조립체(30)에 있어서는 좌우방향으로 서로 이웃하는 프로브의 전기적 절연성은 각 프로브가 전기절연막을 갖음에 따라 유지된다. 그러나, 전기절연막을 각 프로브의 두께방향에서의 양면에 마련하는 대신에 전기 절연시트를 서로 이웃하는 프로브 사이에 배치해도 되고, 서로 이웃하는 프로브가 접촉하는 범위, 예를 들면 전부영역, 후부영역 및 돌출에만 전기절연막을 마련해도 된다. In the probe assembly 30, the electrical insulation of probes adjacent to each other in the left and right directions is maintained as each probe has an electrical insulation film. However, instead of providing the electrical insulating film on both sides in the thickness direction of each probe, the electrical insulating sheet may be disposed between the neighboring probes, and the ranges in which the neighboring probes contact each other, for example, the entire region, the rear region, and the like. An electrical insulating film may be provided only in the protrusion.

상기 실시예에서는 두 개의 프로브(40,42)의 전부영역(40b,42b)을 각 제1의 슬릿(60)에 배치해 두었지만, 하나의 프로브의 전부영역을 하나의 제1의 슬릿에 배치해도 좋고, 제1, 제2, 제1의 프로브, 제1, 제2, 제1, 제2의 프로브와 같이 세 개 이상의 프로브의 전부영역을 각 제1의 슬릿에 배치해도 좋다. In the above embodiment, all regions 40b and 42b of the two probes 40 and 42 are arranged in each of the first slits 60, but all regions of one probe are arranged in one first slit. You may arrange | position all the area | region of three or more probes in each 1st slit like 1st, 2nd, 1st probe, 1st, 2nd, 1st, 2nd probe.

각 제2의 프로브(42)의 후부영역(42c)을 돌출부(40f) 사이를 통과하게 하는 대신에 각 제2의 프로브(42)의 후부영역(42c)의 일부를 대응하는 제2의 슬릿(62)에 위치시켜도 좋다. 제2의 슬릿(62)도 제1의 슬릿(60)과 마찬가지로 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 갖도록 연장시켜도 좋다. Instead of allowing the rear region 42c of each second probe 42 to pass between the protrusions 40f, a portion of the rear region 42c of each second probe 42 corresponding to the second slit ( 62). Similar to the first slit 60, the second slit 62 may be extended to have an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions.

도14에서부터 도18을 참조하면, 프로브 조립체(110)는 도13(C)에서 나타내는 복수의 제2의 프로브(42)와, 도15에서 나타내는 복수의 제3의 프로브(112)를 사용하고 있다. 각 제3의 프로브(112)는 전부영역(112b)에 역 U자 모양의 만곡부(112i)를 마련한 점을 제외하고는 도13의 (B)에서 나타내는 제1의 프로브(40)와 같도록 형성되어 있다. 14 to 18, the probe assembly 110 uses a plurality of second probes 42 shown in FIG. 13C and a plurality of third probes 112 shown in FIG. . Each third probe 112 is formed to be the same as the first probe 40 shown in FIG. 13B except that the inverted U-shaped curved portion 112i is provided in the entire region 112b. It is.

따라서 각 제3의 프로브(112)는 직사각형을 띤 판 모양의 침(針)주체부, 즉 설치영역(112a)과, 설치영역(112a)에서 전방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 전부영역(112b)과, 설치영역(112a)에서 후방으로 캔틸레버 형태로 일체적으로 연장되는 후부영역(112c)과, 전부영역(112b)의 선단에서 하방으로 일체적으로 연장되는 선단침선(112d)과, 후부영역(112c)의 후단에서 상방으로 일체적으로 연장되는 후단침선(112e)과, 후부영역(112c)에서 하방으로 돌출하면서 전후방향으로 연장되는 혀(舌片) 모양의 돌출부(112f)와, 관통홀(112g,112h)과, 전기절연막(미도시)을 구비한다. Accordingly, each of the third probes 112 has a rectangular plate-shaped needle main body, that is, an installation region 112a, and an entire region integrally extending in a cantilever shape forward from the installation region 112a. 112b, the rear region 112c integrally extending rearwardly from the installation region 112a, and the tip needle line 112d extending integrally downward from the front end of the entire region 112b, and the rear portion. A trailing needle 112e integrally extending upward from the rear end of the region 112c, a tongue-like protrusion 112f extending forward and backward while protruding downward from the rear region 112c, and penetrating therethrough. Holes 112g and 112h and an electric insulating film (not shown).

프로브 조립체(110)는 제2 및 제3의 프로브(42) 및 (112)의 전부영역(42d) 및 (112d)이 제1의 슬릿(60) 안을 좌우방향 및 전후방향에 대하여 각도를 가지고 연장되어 있는 점, 및 전부영역(112d)이 만곡부(112i)보다 선단 측에 있어서 전부영역(42d)의 상방에서 연장되고 있는 점을 제외하고는 제1 및 제2의 프로브(40) 및 (42)를 이용하는 프로브조립체(30)와 같은 구조로 이루어져 있다. The probe assembly 110 extends in the first and second slit 60 with the entire regions 42d and 112d of the second and third probes 42 and 112 at an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions. The first and second probes 40 and 42, except that the point and the entire region 112d extend above the entire region 42d on the front end side of the curved portion 112i. It consists of the same structure as the probe assembly 30 using.

선단침선(112d) 및 후단침선(112e)의 위치는, 각각 선단침선(42d) 및 후단침선(42e)보다 전방에 위치되어 있다. 이 때문에 선단침선(42d) 및 후단침선(42e)과, 선단침선(11d) 및 후단침선(112e)은 전후방향으로 간격을 두고 있다.The positions of the leading needle 112d and the trailing needle 112e are located ahead of the leading needle 42d and the trailing needle 42e, respectively. For this reason, the leading needle 42d and the trailing needle 42e and the leading needle 11d and the trailing needle 112e are spaced in the front-rear direction.

프로브 조립체(110)에 의해서도 프로브 조립체(30)과 마찬가지로 종래에 비해 슬릿의 피치를 작게 하지 않으면서 프로브(40,42)를 좁은 피치로 배치할 수 있고, 또한 제2 및 제3의 프로브(42) 및 (112)의 전후방향에서의 길이 치수, 특히 유효 전기적 길이를 같게 할 수 있다.Similarly to the probe assembly 30, the probe assembly 110 also allows the probes 40 and 42 to be arranged at a narrow pitch without reducing the pitch of the slits as compared with the conventional art. The second and third probes 42 The length dimensions in the front-rear direction of () and (112), in particular the effective electrical length, can be the same.

상기의 실시예는 모두 제1의 슬릿(60)이 좌우방향 및 전후방향에 대해서 각도를 가지고 있지만, 도19 및 도20에서 나타내는 프로브 조립체(120)와 같이 제1의 슬릿(60)을 단순히 전후방향으로 연장되는 구조로 해도 좋다. 프로브 조립체(120)에 있어서는 제1의 프로브(40)의 전부영역(40b)을 설치영역(40a)에 대해서 탄성 변형시켜서 이웃의 제2의 프로브(42)의 전부영역(42b)과 함께 같은 제1의 슬릿(60)에 배치한다.In the above embodiment, although the first slit 60 has an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions, the first slit 60 is simply moved forward and backward as shown in the probe assembly 120 shown in FIGS. 19 and 20. It is good also as a structure extended in a direction. In the probe assembly 120, the entire region 40b of the first probe 40 is elastically deformed with respect to the installation region 40a, so that the same region as the entire region 42b of the neighboring second probe 42 is obtained. It arrange | positions to the slit 60 of 1.

또한, 상기 실시예는 모두 두 개의 프로브(40,42) 또는 (42,112)의 전부영역(40b, 42b) 또는 (42b, 112b)를 같은 제1의 슬릿(60)에, 도21 및 도22에 나타내는 프로브 조립체(130)와 같이 3개 이상의 프로브(132,134,136)의 전부영역(132b,134b,136b)을 같은 제1의 슬릿(60)에 배치해도 좋다.Further, the above embodiment shows that all the regions 40b, 42b or 42b, 112b of the two probes 40, 42 or 42, 112 are placed in the same first slit 60, as shown in Figs. Like the probe assembly 130 shown in the drawing, the entire regions 132b, 134b, and 136b of the three or more probes 132, 134, and 136 may be disposed in the same first slit 60.

도21 및 도22에 나타내는 프로브 조립체(130)에 있어서, 프로브(132,134) 및 (136)은 전부영역(132b) 및 (134b) 그리고 후부영역(132c) 및(134c)에 있어서, 탄성 변형되어서 전부영역(132b,134b) 및 (136b)가 같은 제1의 슬릿(60)에 받아들여지고, 또한 후부영역(132c,134c) 및 (136c)가 같은 제2의 슬릿에 받아들여진 상태로 배치되어 있다. In the probe assembly 130 shown in Figs. 21 and 22, the probes 132, 134, and 136 are elastically deformed in all of the front regions 132b and 134b and the rear regions 132c and 134c. Regions 132b and 134b and 136b are disposed in the same first slit 60 and rear regions 132c and 134c and 136c are received in the same second slit.

전부영역(132b,134b) 및 (136b)는 각각 상단, 중간 단, 하단에 위치되어 있으며, 후부영역(132c,134c) 및 (136c)는 각각 상단, 중간 단 및 하단에 위치되어 있다. 선단침선(132d) 및 (134d)는 각각 선단침선(134d) 및 (136d)보다 전방에 위치되어 있으며, 후단침선(132e) 및 (134e)는 각각 후단침선(134e) 및 (136e)보다 후방에 위치되어 있다.The front regions 132b, 134b and 136b are located at the top, middle and bottom, respectively, and the rear regions 132c, 134c and 136c are located at the top, middle and bottom, respectively. Leading needles 132d and 134d are located ahead of leading needles 134d and 136d, respectively, and trailing needles 132e and 134e are located behind trailing needles 134e and 136e, respectively. It is located.

프로브 조립체(120) 및 (130)에 의해서도 프로브 조립체(30,110)와 마찬가지로 종래에 비해 슬릿의 피치를 작게 하는 일없이 프로브(40,42)를 좁은 피치로 배치할 수 있으며, 또한 제2 및 제3의 프로브(42) 및 (112)의 전후방향에서의 길이 치수, 특히 유효 전기적 길이를 같게 할 수 있다.
The probe assemblies 120 and 130 can also arrange the probes 40 and 42 at a narrow pitch without reducing the pitch of the slits as in the conventional probe assemblies 30 and 110, and also the second and third The length dimensions in the front and rear directions of the probes 42 and 112 can be equal, in particular, the effective electrical length.

본 발명은 액정을 봉입한 액정 표시 패널뿐만 아니라 액정 표시 패널용의 유리기판과 같은 다른 평판형상 피검사체의 전기적 시험에 이용되는 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel in which a liquid crystal is enclosed, but also to a probe assembly used for an electrical test of another flat object such as a glass substrate for a liquid crystal display panel.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며 특허청구의 범위에 기재된 취지를 일탈하지 않는 한 여러 가지로 변경할 수 있다.
The present invention is not limited to the above embodiments and may be variously modified without departing from the spirit of the claims.

10; 프로브유닛
12; 피검사체
14; 피검사체의 전극
16; 프로브베이스
18; 지지대
20; 프로브 장치
30; 프로브 조립체
40,42; 제1 및 제2의 프로브
40a,42a; 설치영역
40b,42b; 전부(前部)영역
40c,42c; 후부(後部)영역
40d,42d; 선단침선
40e,42e; 후단침선
40f; 돌출부
40g,42g; 관통홀
44; 지지편
46,48; 제1 및 제2의 슬릿바
50,52; 바아(bar)부재
54,56; 사이드커버
60,62; 제1 및 제2의 슬릿
110,120,130; 프로브 조립체
112,132,134,130; 프로브
112a,132a,134a,136a; 설치영역
112b,132b,134b,136b; 전부(前部)영역
112c,132c,134c,136c; 후부(後部)영역
112d,132d,134d,136d; 선단침선
112e,132e,134e,136e: 후단침선10; Probe unit
12; Subject
14; Electrode of a subject
16; Probe base
18; support fixture
20; Probe device
30; Probe assembly
40,42; First and second probes
40a, 42a; Area of installation
40b, 42b; Whole area
40c, 42c; Posterior region
40d, 42d; Tip
40e, 42e; Trailing needle
40f; projection part
40g, 42g; Through hole
44; Support piece
46,48; First and second slit bars
50,52; Bar member
54,56; Side cover
60, 62; First and second slits
110,120,130; Probe assembly
112,132,134,130; Probe
112a, 132a, 134a, 136a; Area of installation
112b, 132b, 134b, 136b; Whole area
112c, 132c, 134c, 136c; Posterior region
112d, 132d, 134d, 136d; Tip
112e, 132e, 134e, 136e: trailing needle

Claims

Support piece,
A plurality of probes having a band-shaped installation area, an entire area extending forward from the installation area, and a tip needle line projecting downward from the entire area, wherein the installation area has a width direction in the vertical direction. A plurality of probes arranged in parallel with the mounting area facing the lower side of the support piece,
A slit bar disposed below the distal end of the support piece, the slit bar having a plurality of slits spaced in the left and right direction and opened downward;
At least a part of all regions of at least two probes adjacent to each other in the left and right directions are accommodated in a common slit,
A second slit bar disposed below the rear end of the support piece and further including a second slit bar having a plurality of second slits spaced downward in a lateral direction and opened downward;
Each probe further includes a rear region extending rearward from the installation region, and a rear trailing needle projecting upward from the rear region.
The plurality of probes are positioned between a first probe group having a plurality of first probes in which at least a portion of the rear region is received in the second slit, and the first probes adjacent to each other in left and right directions A probe assembly belonging to any of the second probe groups having a plurality of second probes.

The probe assembly according to claim 1, wherein the entire region of at least one of the probes received in the common slit is deformed in the horizontal direction and the front-rear direction with respect to the installation region.

The probe assembly of claim 1, wherein each slit extends at an angle with respect to the left and right directions and the front and rear directions.

The probe assembly of claim 1, wherein each slit extends forward and backward.

The probe assembly of claim 1, wherein at least two probes in which at least a portion of the entire area is received in the common slit have needles spaced in the front and rear directions.

The probe assembly of claim 1, wherein at least two probes in which at least a portion of the entire area is received in the common slit have needle lines spaced in the front-back direction and the left-right direction.

The probe assembly of claim 1, wherein at least a portion of all regions of the probe received in the common slit are spaced in the vertical direction.

The method of claim 1,
Each of the first probes further includes a protrusion projecting downwardly from the rear region, and at least a portion of the rear region is received in the second slit,
And the rear region of each second probe extends between the protrusions of the first probe located to the left and to the right of the second probe.

The probe assembly of claim 8, wherein each second slit extends in the front-rear direction or extends at an angle with respect to the left-right direction and the front-rear direction.

The probe assembly according to claim 8, wherein each of the slit and the second slit is further opened to one side and the other side in the front-rear direction.

10. The bar member according to claim 9, wherein the bar member extends through the spaced portion in the longitudinal direction of the installation region of the first and second probes in the thickness direction of the portion, and each end portion in the longitudinal direction of the bar member. A receiving plate-shaped side cover, comprising: a side cover detachably mounted at a side of the support piece.

The probe assembly of claim 1, wherein the entire region of each probe is deformed with respect to the installation region by elastic deformation.

The probe assembly of claim 1, wherein at least a portion of the total area received by the slit is electrically insulated.