KR101271439B1 - 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치 - Google Patents

정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101271439B1
KR101271439B1 KR1020110099531A KR20110099531A KR101271439B1 KR 101271439 B1 KR101271439 B1 KR 101271439B1 KR 1020110099531 A KR1020110099531 A KR 1020110099531A KR 20110099531 A KR20110099531 A KR 20110099531A KR 101271439 B1 KR101271439 B1 KR 101271439B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensor
electrode
differential
pattern electrode
contact
Prior art date
Application number
KR1020110099531A
Other languages
English (en)
Korean (ko)
Other versions
KR20120035864A (ko
Inventor
김성진
이동준
송대웅
은탁
Original Assignee
마이크로 인스펙션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마이크로 인스펙션 주식회사 filed Critical 마이크로 인스펙션 주식회사
Publication of KR20120035864A publication Critical patent/KR20120035864A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101271439B1 publication Critical patent/KR101271439B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/07—Non contact-making probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/0092—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring current only
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
KR1020110099531A 2010-10-06 2011-09-30 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치 KR101271439B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100097116 2010-10-06
KR1020100097116 2010-10-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120035864A KR20120035864A (ko) 2012-04-16
KR101271439B1 true KR101271439B1 (ko) 2013-06-05

Family

ID=46008321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110099531A KR101271439B1 (ko) 2010-10-06 2011-09-30 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101271439B1 (zh)
CN (1) CN102445629A (zh)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004177256A (ja) * 2002-11-27 2004-06-24 Nidec-Read Corp 基板検査装置および基板検査方法
KR20080098087A (ko) * 2007-05-04 2008-11-07 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5150759A (en) * 1990-10-29 1992-09-29 Borchard John S Capacitor-sensor
KR100799161B1 (ko) * 2006-07-20 2008-01-29 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR100752937B1 (ko) * 2006-08-03 2007-08-30 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
CN201215516Y (zh) * 2008-03-06 2009-04-01 电子科技大学中山学院 差动式电容荷载传感器
CN201425529Y (zh) * 2009-04-17 2010-03-17 上海朝辉压力仪器有限公司 电容式压力传感器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004177256A (ja) * 2002-11-27 2004-06-24 Nidec-Read Corp 基板検査装置および基板検査方法
KR20080098087A (ko) * 2007-05-04 2008-11-07 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120035864A (ko) 2012-04-16
CN102445629A (zh) 2012-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100799161B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR100599499B1 (ko) 기판검사 장치 및 기판검사 방법
US9410999B2 (en) Contactless capacitive distance sensor
WO2006078043A1 (ja) 回路パターン検査装置およびその方法
KR102038102B1 (ko) 압착 품질 검사용 저항 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법
TWI474012B (zh) 導電圖案檢查裝置及檢查方法
US20160139191A1 (en) Inspection device
CN1996032A (zh) 布线不良检查方法以及布线不良检查装置
JP2011090358A (ja) 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法
JP5352066B2 (ja) 電子回路基板の製造装置
KR101233070B1 (ko) 비접촉 프로브
KR101296460B1 (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
KR20080098088A (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR101271439B1 (ko) 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치
KR102317069B1 (ko) 표시 장치의 어레이 시험 장치 및 시험 방법
KR101311871B1 (ko) 터치 집적 회로의 오픈 쇼트 검사 장치 및 방법
KR101738928B1 (ko) 인셀 타입 터치 센서의 오픈 불량 감지방법
KR101933547B1 (ko) 비접촉 저항 검사기
JP5122512B2 (ja) 回路パターン検査装置
KR20120130123A (ko) 도전 패턴 검사 장치
KR100948062B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브
KR101537563B1 (ko) 비접촉 프로브를 이용한 패턴전극의 결함 위치 검출 방법
KR20090068602A (ko) Ｅｄｓ 장치 및 니들 평탄도 측정 방법
KR101376841B1 (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
JP5698436B2 (ja) 回路断線検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160526

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170223

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180102

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190102

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191218

Year of fee payment: 8