KR101243213B1 - 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법 및 그 기록매체 - Google Patents

간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법 및 그 기록매체 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 의하면, 광섬유와 광간섭을 이용하여 간섭신호를 생성함으로써 측정 대상인 샘플의 이미지를 용이하게 획득하고, 획득된 샘플의 이미지를 토대로 샘플 특정 부위의 정확한 좌표로 광섬유를 용이하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 제1 광을 조사하는 광원; 일단으로 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유; 제1 광에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광과 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 측정하는 간섭 측정부; MEMS 샘플과 광섬유의 상대적 변위를 조절하는 피에조 구동부; 및 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플의 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부;를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치가 개시된다.

Description

간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법 및 그 기록매체{OPTICAL FIBER IMAGING APPARATUS USING OPTICAL INTERFERENCE, TRACKING APPARATUS FOR SAMPLE POSITION BASED ON IMAGE, OPTICAL FIBER IMAGING METHOD USING OPTICAL INTERFERENCE, TRACKING METHOD FOR SAMPLE POSITION BASED ON IMAGE AND RECORDING MEDIUM THEREOF}
본 발명은 측정 샘플의 이미징 장치, 샘플 위치 추적 장치, 샘플의 이미징 방법 및 샘플 위치 추적 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 광섬유와 광의 간섭신호를 이용하여 샘플을 이미징하고 그 위치를 추적할 수 있는 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 및 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법에 관한 것이다.
광섬유를 이용하는 측정기술은 원자력간 현미경(Atomic Force Microscope; AFM)이나 주사탐침 현미경(Scanning Probe Microscope; SPM) 등에서 나노-마이크로 스케일의 이미징이나 표면분석 그리고 나노 수준의 다양한 힘이나 양자효과를 관찰하기 위해 널리 사용되고 있는 매우 중요한 기술이다.
이러한 광섬유를 이용하는 측정기술의 활용에 있어서 측정의 정밀도를 높이기 위해서는 측정하고자 하는 소자(또는 샘플)의 정확한 위치에 광섬유를 수직으로 위치시킨 후 측정을 하여야 한다. 그러나, 종래 사용되는 방법은 단지 육안을 통해 위치를 파악하여 광섬유와 소자를 정렬하고, 이를 고정한 후 측정이 이루어지는 방식이 일반적이다.
그러나 이러한 방식은 소자 자체의 정밀 측정 시 여러 가지 문제점들을 야기할 수 있다. 첫째로, 광섬유를 사용하는 측정에서 측정하고자 하는 소자의 크기는 매우 작기 때문에 육안으로 소자의 위치와 광섬유의 위치를 정확히 정렬하는 것에는 한계가 있다.
둘째로, 보통 이와 같은 측정은 저온, 고진공상태와 같은 특정조건을 필요로 하므로 그와 같은 환경조건을 위해 소자가 장치 내부로 장착되면 이 후 육안으로의 조절은 불가능하다.
이처럼 광섬유를 이용하여 측정하는 많은 실험에 있어서, 소자의 표면을 이미지화하여 시각적으로 확인하고 이를 토대로 정확한 위치를 파악할 수 있는 장치 또는 방법의 필요성이 대두된다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 측정 대상인 샘플의 이미지를 획득하여 샘플의 특정 위치에 광섬유를 용이하게 위치시킬 수 있는 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 및 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법에 관한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 광섬유와 광간섭을 이용하여 간섭신호를 생성함으로써 샘플의 이미지를 획득하고 이를 토대로 샘플의 특정 위치를 용이하게 파악하여 정확한 좌표로 광섬유를 이송시킬 수 있는 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치, 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 및 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법에 관한 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적은 제1 광을 조사하는 광원; 일단으로 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유; 제1 광에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광과 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 측정하는 간섭 측정부; MEMS 샘플과 광섬유의 상대적 변위를 조절하는 피에조 구동부; 및 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플의 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부;를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
광원은 레이저 광원인 것이 바람직하다.
제1 광의 파장은 MEMS 샘플의 크기에 대응하여 조절 가능한 것이 바람직하다.
MEMS 샘플을 고정하는 홀더를 더 포함하는 것이 바람직하다.
피에조 구동부는 광섬유에 구동력을 전달하는 압전 액추에이터 및 압전 액추에이터를 제어하는 이송 제어기를 포함하는 것이 바람직하다.
상대적 변위는 평면 좌표 상의 변위인 것이 바람직하다.
피에조 구동부는 평면 좌표 상의 광섬유의 좌표 위치를 변화시킴으로써 상대적 변위를 조절하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 목적은 제1 광을 조사하는 광원, 일단으로 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유, 제1 광에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광과 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 측정하는 간섭 측정부, MEMS 샘플과 광섬유의 상대적 변위를 조절하는 피에조 구동부 및 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플의 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치; MEMS 샘플의 이미지에 대응하는 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보를 저장하는 메모리 저장부; 및 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 좌표 입력부;를 포함하고,
피에조 구동부는, 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 mems 샘플 상의 특정 좌표로 광섬유를 이송하는 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
좌표 입력부는 키보드, 마우스 및 터치 스크린 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 목적은 다른 카테고리로서, 제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계(S100); 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계(S110); 조사된 제1 광이 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계(S120); 제1 광에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광과 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계(S130); 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계(S140); 피에조 구동부가 MEMS 샘플과 광섬유의 상대적 변위를 조절하는 단계(S150); 및 디스플레이부가 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플의 이미지를 디스플레이하는 단계(S160);를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
그리고, 본 발명의 목적은 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록 매체를 제공함으로써 달성될 수 있다.
아울러, 본 발명의 목적은 제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계(S200); 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계(S210); 조사된 제1 광이 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계(S220); 제1 광에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광과 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계(S230); 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계(S240); 피에조 구동부가 MEMS 샘플과 광섬유의 상대적 변위를 조절하는 단계(S250); 디스플레이부가 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플의 이미지를 디스플레이하는 단계(S260); 좌표 입력부가 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 단계(S270); 및 피에조 구동부가 MEMS 샘플의 이미지에 대응하는 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 mems 샘플 상의 특정 좌표로 광섬유를 이송하는 단계(S270);를 포함하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
MEMS 샘플의 이미지 디스플레이단계(S260)는, MEMS 샘플의 이미지가 평면 좌표 상에 디스플레이되는 단계인 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명의 목적은 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록매체를 제공함으로써 달성될 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 의하면, 광섬유와 광간섭을 이용하여 간섭신호를 생성함으로써 측정 대상인 샘플의 이미지를 용이하게 획득할 수 있는 효과가 있다.
또한, 샘플의 이미지를 토대로 샘플 특정 부위의 정확한 좌표로 광섬유를 용이하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치 및 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치의 일 실시예 구성을 나타낸 구성도,
도 2는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치에 따른 이미징 원리를 개략적으로 나타낸 도면,
도 3은 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치의 일 실시예에 따른 예시사진,
도 4는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸 순서도,
도 5는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법의 일 실시예에 사용된 MEMS 샘플인 캔틸레버의 예시사진,
도 6은 도 5에 도시된 캔틸레버에 대해 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 일 실시예의 수행 결과 디스플레이된 이미지 화면,
도 7은 본 발명인 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸 순서도이다.
<광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치 및 샘플 위치 추적 장치>
도 1은 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치(1) 및 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치의 일 실시예 구성을 나타낸 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 광섬유 이미징 장치(1)는 광원(10), 광섬유(20), 간섭 측정부(30), 피에조 구동부(40) 및 디스플레이부(50)를 포함하여 구성된다. 그리고, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치의 일 실시예는 광섬유 이미징 장치(1)에 메모리 저장부(3) 및 좌표 입력부(5)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예 구성에 대해 상술한다.
광원(10)은 제1 광(L1)을 광섬유(20)에 조사하는 역할을 한다. 광원(10)은 단일 파장의 레이저 광원을 사용하며, 측정 대상이 되는 MEMS(Micro-ElectroMechanical Systems) 샘플(S)의 크기 및 광섬유(20)와의 거리를 고려하여 가간섭의 적절한 파장대 및 적절한 세기로 조절하여 사용할 수 있다.
광섬유(20)는 일단으로 조사된 제1 광(L1)을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플(S)에 출력하는 역할을 한다. 그리고, 제1 광(L1)에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광(L2)과 MEMS 샘플(S)에서 반사된 제3 광(L3)이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호가 이동하는 이동 경로로서의 역할도 한다.
도 2는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치에 따른 이미징 원리를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 광(L1)의 일부가 광섬유(20)의 타단에서 반사되고 다른 일부가 MEMS 샘플(S)에서 반사되어 각각 제2 광(L2) 및 제3 광(L3)이 발생되고, 제2 광(L2) 및 제3 광(L3)이 광섬유(20) 내부에서 간섭되어 간섭신호를 발생시키게 된다. 따라서, MEMS 샘플(S)의 크기 등에 따른 간섭신호의 세기가 변화를 보이며, 광섬유(20) 하부에 MEMS 샘플(S)이 없는 경우에 있어서는 간섭신호가 생성되지 않는 등의 구별이 생기게 된다.
간섭 측정부(30)는 제1 광(L1)에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광(L2)과 MEMS 샘플(S)에서 반사된 제3 광(L3)이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 측정하여 위치 좌표별로 간섭 신호의 세기를 측정하는 역할을 한다.
이러한 간섭 측정부(30)는 피에조 구동부(40)에 의해 MEMS 샘플(S)과 광섬유(20)의 상대적 변위가 조절됨으로써 일정 면적에 대한 스캔 방식의 간섭신호 측정이 수행될 수 있다. 이 경우, MEMS 샘플(S) 및 광섬유(20) 중 어느 하나는 고정되고 다른 하나가 스캔을 위한 이동을 하는 것이 바람직하며, 특히 본 실시예에서는 샘플 홀더(H)에 의해 MEMS 샘플(S)이 고정되고 광섬유(20)가 피에조 구동부(40)에 의해 이동된다.
여기서, 피에조 구동부(40)는 광섬유(20)에 구동력을 전달하여 스캔을 위한 광섬유(20)의 이송이 가능토록 하는 압전 액추에이터(미도시)와 이러한 광섬유(20)의 이송 위치 및 변위를 제어하는 이송 제어기(미도시)를 포함할 수 있다.
디스플레이부(50)는 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플(S)의 이미지를 디스플레이하는 역할을 한다. MEMS 샘플(S)의 이미지는 간섭신호의 세기에 따른 색상 구분 또는 농도차 등으로 디스플레이될 수 있으며, 평면 좌표 상에 디스플레이됨으로써 MEMS 샘플(S)의 위치 좌표를 시각적으로 알 수 있도록 한다.
전술하였듯이, 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치의 일 실시예는 광섬유 이미징 장치(1)에 메모리 저장부(3) 및 좌표 입력부(5)를 더 포함하는 데, 특히 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치에 있어서, 피에조 구동부(40)는 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 mems 샘플(S) 상의 특정 좌표로 광섬유(20)를 이송하는 역할도 한다.
여기서, 메모리 저장부(3)는 MEMS 샘플(S)의 이미지에 대응하는 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보를 저장하는 역할을 하는데 이미지 정보의 경우, 간섭 측정부(30)로부터 정보를 수신하며, 이미지 좌표 정보의 경우, 피에조 구동부(40)로부터 수신하여 각각의 정보를 매칭시켜 저장하게 된다.
또한, 좌표 입력부(5)는 mems 샘플(S) 상의 특정 좌표 정보를 입력받고 이를 피에조 구동부(40)에 전달하는 역할을 한다. 특정 좌표 정보를 입력받은 피에조 구동부(40)는 상기 메모리 저장부(3)로부터 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보를 읽어들여 특정 좌표 정보에 대응하는 특정 좌표로 광섬유(20)가 이송되어 위치될 수 있는 것이다. 이러한, 좌표 입력부(5)는 키보드, 마우스 및 터치 스크린 중 적어도 하나로 구성될 수 있다.
도 3은 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 장치의 일 실시예에 따른 예시사진이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 광섬유(20)와 샘플 홀더(H)에 고정되어 있는 MEMS 샘플(S)의 경우 육안으로 그 위치를 판단하기 곤란하며, 광섬유(20)에 연결된 피에조 구동부(미도시)에 의해 스캔 및 이미징을 수행한 후 특정 좌표를 추적하여 광섬유(20)를 MEMS 샘플(S) 상부에 위치시킬 수 있다.
<간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법>
도 4는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸 순서도이다. 도 4를 참조하면, 우선, 제1 광(L1)이 광원(10)을 통해 조사된다(S100).
다음, 조사된 제1 광(L1)이 광섬유(20)의 일단에 수신된다(S110).
다음, 조사된 제1 광(L1)이 광섬유(20)의 타단을 통해 MEMS 샘플(S)에 출력된다(S120).
다음, 제1 광(L1)에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광(L2)과 MEMS 샘플(S)에서 반사된 제3 광(L3)이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성한다(S130).
다음, 생성된 간섭신호가 간섭 측정부(30)에 의해 측정된다(S140).
다음, 피에조 구동부(40)가 MEMS 샘플(S)과 광섬유(20)의 상대적 변위를 조절한다(S150).
마지막으로, 디스플레이부(50)가 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플(S)의 이미지를 디스플레이함으로써(S160) 광섬유(20) 간섭신호를 이용한 이미징 방법의 일 실시예가 수행될 수 있다.
도 5는 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법의 일 실시예에 사용된 MEMS 샘플(S)인 캔틸레버의 예시사진이며, 도 6은 도 5에 도시된 캔틸레버에 대해 본 발명인 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 일 실시예의 수행 결과 디스플레이된 이미지 화면이다.
도 5에 도시된 MEMS 샘플(S)은 캔틸레버 자체의 휨 상태를 통해 초전도 상태 및 자기 플럭스를 측정할 수 있는 구조물이다. 이러한 MEMS 샘플(S)에 대해 본 발명인 이미징 방법의 일 실시예를 수행하여 좌표 평면에 MEMS 샘플(S)의 이미지를 디스플레이한 화면이 도 6에 도시되어 있다. 도 6에 도시된 바에 의하면, 간섭신호의 세기에 의해 단일 색상의 농도차로 형상이 이미징되어 있으며 고분해능의 경우에 있어서, 화살표에 의해 표시된 특정 좌표 상의 이미지를 확대할 수도 있음을 알 수 있다.
<이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법>
도 7은 본 발명인 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸 순서도이다. 도 7을 참조하면, 샘플 위치 추적 방법의 일 실시예는, 제1 광(L1)의 광원(10) 조사단계(S200), 조사된 제1 광(L1)의 광섬유(20) 일단에 수신단계(S210), 조사된 제1 광(L1)이 광섬유(20)의 타단을 통해 MEMS 샘플(S)에 출력되는 단계(S220), 제1 광(L1)에 기초하여 타단에서 반사된 제2 광(L2)과 MEMS 샘플(S)에서 반사된 제3 광(L3)이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계(S230), 생성된 간섭신호가 간섭 측정부(30)에 의해 측정되는 단계(S240), 피에조 구동부(40)가 MEMS 샘플(S)과 광섬유(20)의 상대적 변위를 조절하는 단계(S250) 및 디스플레이부(50)가 조절된 상대적 변위에 따른 간섭신호의 변화에 기반하여 MEMS 샘플(S)의 이미지를 디스플레이하는 단계(S260)를 순차적으로 포함하며, 이는 상술한 간섭신호를 이용한 광섬유 이미징 방법 일 실시예의 S100 내지 S160 단계와 동일하다.
다만, S260 단계 이후에, 좌표 입력부(5)가 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 수신하고(S270), 다음, 피에조 구동부(40)가 MEMS 샘플(S)의 이미지에 대응하는 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 mems 샘플 상의 특정 좌표로 광섬유(20)를 이송하는 단계(S270);를 순차적으로 더 포함함으로써 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법의 일 실시예가 수행될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기의 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
S: MEMS 샘플
L1: 제1 광
L2: 제2 광
L3: 제3 광
H: 샘플 홀더
1: 이미징 장치
3: 메모리 저장부
5: 좌표 입력부
10: 광원
20: 광섬유
30: 간섭 측정부
40: 피에조 구동부
50: 디스플레이부

Claims (14)

  1. 제1 광을 조사하는 광원;
    일단으로 상기 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유;
    상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 피에조 구동부;
    상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호 세기에 기반하여 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 간섭 측정부; 및
    상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 광원은 레이저 광원인 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 광의 파장은 상기 MEMS 샘플의 크기에 대응하여 조절 가능한 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 MEMS 샘플을 고정하는 홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 피에조 구동부는 상기 광섬유에 구동력을 전달하는 압전 액추에이터 및 상기 압전 액추에이터를 제어하는 이송 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 피에조 구동부는 평면 좌표 상의 상기 광섬유의 좌표 위치를 변화시킴으로써 상기 상대적 변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치.
  8. 제1 광을 조사하는 광원, 일단으로 상기 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유, 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 피에조 구동부, 상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 간섭 측정부 및 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치;
    상기 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보를 저장하는 메모리 저장부; 및
    상기 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 좌표 입력부;를 포함하고,
    상기 피에조 구동부는,
    상기 이미지 정보 및 상기 이미지 좌표 정보에 기반하여 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표로 상기 광섬유를 이송하는 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 좌표 입력부는 키보드, 마우스 및 터치 스크린 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치.
  10. 제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계;
    상기 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계;
    상기 조사된 제1 광이 상기 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계;
    상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계;
    상기 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계;
    피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 단계;
    상기 간섭 측정부가 상기 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호의 세기에 기반하여 이미지 정보를 생성하는 단계; 및
    디스플레이부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 단계;를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법.
  11. 제 10항에 따른 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록 매체.
  12. 제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계;
    상기 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계;
    상기 조사된 제1 광이 상기 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계;
    상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계;
    상기 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계;
    피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 단계;
    상기 간섭 측정부가 상기 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호의 세기에 기반하여 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 단계; 및
    디스플레이부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 단계;
    좌표 입력부가 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 단계; 및
    상기 피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표로 상기 광섬유를 이송하는 단계;를 포함하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 MEMS 샘플의 이미지 디스플레이단계는,
    상기 MEMS 샘플의 이미지가 평면 좌표 상에 디스플레이되는 단계인 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법.
  14. 제 12항 및 제 13항 중 어느 한 항의 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록매체.
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