KR101226473B1 - 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 캐리어를 정밀하게 이송할 수 있는 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치에 관한 것이다.
일례로, 다수의 롤러를 구비하는 제 1 레일을 통해 이송 챔버 내부로 캐리어가 인입되는 캐리어 인입 단계; 상기 캐리어 및 제 1 레일을 하강시키는 제 1 하강 단계; 상기 제 1 레일을 하강시키는 제 2 하강 단계; 상기 캐리어를 상기 제 1 레일과 이격되어 형성된 제 2 레일로 이동시키는 캐리어 이동 단계; 상기 제 2 레일을 상승시키는 제 1 상승 단계; 및 상기 캐리어 및 제 2 레일을 상승시키는 제 2 상승 단계를 포함하는 캐리어 이송 방법을 개시한다.

Description

캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치{Method for transferring carrier and vacuum processing apparatus using thereof}
본 발명은 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 디스플레이나 액정 디스플레이에 이용되는 대형 유리 기판을 가공하는 데는 진공상태에서 원하는 온도까지 상승시키는 가열공정이나, 스퍼터링, CVD(Chemical Vapor Deposition)등의 성막공정, 혹은 에칭 등의 가공공정 등을 이용하여 여러층으로 성막하는 여러 가지 처리공정이 필요하다.
이하, 이들 진공상태에서의 성막공정 외에 이 성막공정에 부수하는 가열공정 등의 처리공정을 총괄적으로 진공 처리라고 하기로 한다.
본 발명은 캐리어를 정밀하게 이송할 수 있는 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 의한 캐리어 이송 방법은 다수의 롤러를 구비하는 제 1 레일을 통해 이송 챔버 내부로 캐리어가 인입되는 캐리어 인입 단계; 상기 캐리어 및 제 1 레일을 하강시키는 제 1 하강 단계; 상기 제 1 레일을 하강시키는 제 2 하강 단계; 상기 캐리어를 상기 제 1 레일과 이격되어 형성된 제 2 레일로 이동시키는 캐리어 이동 단계; 상기 제 2 레일을 상승시키는 제 1 상승 단계; 및 상기 캐리어 및 제 2 레일을 상승시키는 제 2 상승 단계를 포함한다.
상기 캐리어는 상부에 형성된 상부 캐리어바와 하부에 형성된 하부 캐리어바를 포함하고, 상기 상부 캐리어바는 상기 이송 챔버에 형성된 마그넷과 결합되고 상기 하부 캐리어바는 상기 롤러와 결합될 수 있다. 상기 마그넷은 상기 이송 챔버에 고정될 수 있다.
상기 제 1 하강 단계에서 상기 캐리어 및 제 1 레일은 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수직 이송수단과 레일 수직 이송수단을 통해서 하강될 수 있다.
상기 제 2 하강 단계에서 상기 제 1 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어로부터 분리될 수 있다.
상기 캐리어 이동 단계에서 상기 캐리어는 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수평 이송 수단을 통해서 제 1 레일에서 제 2 레일로 이동될 수 있다.
상기 제 1 상승 단계에서 상기 제 2 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어와 결합될 수 있다.
상기 제 2 상승 단계 후에는 제 2 레일을 통해 이송 챔버 외부로 캐리어가 인출되는 캐리어 인출 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 진공 처리 장치는 기판이 탑재된 캐리어가 이송되는 이송 챔버; 상기 챔버의 일측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 1 레일; 상기 챔버의 타측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 2 레일; 상기 챔버의 상부에 형성되며, 상기 캐리어를 고정하는 마그넷; 상기 캐리어를 수직으로 이동시키는 캐리어 수직 이송수단; 상기 캐리어를 수평으로 이동시키는 캐리어 수평 이송수단; 및 상기 제 1 레일 및 제 2 레일을 수직으로 이동시키는 레일 수직 이송수단을 포함한다.
상기 제 1 레일 및 제 2 레일에는 다수의 롤러가 형성되어 상기 캐리어를 이동시킬 수 있다.
상기 캐리어는 기판이 탑재되는 탑재부; 상기 캐리어의 상부를 고정시키는 상부 캐리어바; 및 상기 캐리어를 이동시키는 하부 캐리어바을 포함할 수 있다.
상기 상부 캐리어바는 상기 마그넷과 결합하여 상기 캐리어를 고정시킬 수 있다. 또한, 상기 하부 캐리어바는 상기 제 1 롤러 및 제 2 롤러에 형성된 롤러에 안착되어 상기 캐리어를 이동시킬 수 있다.
상기 이송 챔버에는 상기 기판을 가열하거나 성막하는 진공 챔버가 더 연결될 수 있다. 또한, 상기 이송 챔버에는 상기 캐리어를 고정시키는 고정 암(arm)이 더 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치는 이송 챔버에 캐리어 수직 이송장치 및 캐리어 수평 이송장치가 형성되어 캐리어를 제 1 레일로부터 제 2 레일로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치는 챔버에 제 1 레일 및 제 2 레일이 함께 형성됨으로써, 캐리어를 용이하게 이송할 수 있고 공간을 효율적으로 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 챔버를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 도시한 플로우 챠트이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 구성도이다.
본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 이송 챔버를 도시한 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 캐리어(10)에 탑재된 기판(P)을 진공 처리하는 장치로 기판 착탈부(20), 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)를 포함한다.
상기 캐리어(10)는 기판(P)을 진공 처리하기 위해서 기판(P)을 탑재하여 이송하는 이동수단이다. 여기서, 상기 기판(P)은 액정 표시 장치(liquid crystal display), 유기 발광 표시 장치(organic light-emitting diode device)와 같은 평판 표시 장치를 구성하는 유리 기판이다.
또한, 상기 캐리어(10)는 상기 기판(P)을 약간 경사지게 탑재하여 이송하게 된다. 이는, 상기 기판(P)이 크기에 비해 얇아서 수직으로 탑재한 경우에는 기판(P)이 휠 우려가 있기 때문이다. 따라서, 상기 캐리어(10)는 상기 기판(P)을 약간 경사지게 탑재함으로써 기판(P)을 안정하게 유지하고 기판(P)의 평탄성을 확보할 수 있다.
상기 캐리어(10)는 탑재부(11), 상부 캐리어바(12) 및 하부 캐리어바(13)를 포함한다.
상기 탑재부(11)는 상기 캐리어(10)의 일면에 형성된 홈으로 상기 기판(P)이 탑재되는 부분이다. 상기 탑재부(11)에 기판(P)이 탑재되고, 기판 고정수단(미도시)에 의해 상기 기판(P)이 고정된다. 따라서, 상기 기판 고정수단은 상기 기판(P)이 캐리어(10)로부터 이탈되는 것을 방지한다.
상기 상부 캐리어바(12)는 상기 캐리어(10)의 상부에 형성되며, 영구자석으로 형성될 수 있다. 상기 상부 캐리어바(12)는 상기 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지하기 위해, 상부에서 상기 캐리어(10)의 중심을 유지하도록 하는 역할을 한다.
상기 하부 캐리어바(13)는 상기 캐리어(10)의 하부에 형성된다. 상기 하부 캐리어바(13)는 상기 캐리어(10)가 레일 위를 이동할 수 있도록 둥근 바(bar) 형태로 형성된다.
상기 기판 착탈부(20)에서는 상기 캐리어(10)에 기판(P)을 장착시키거나 진공 처리된 기판(P)을 캐리어(10)로부터 분리한다.
상기 예비 챔버(30)는 상기 기판 착탈부(20)에 연결되며, 상기 기판 착탈부(20)로부터 인입된 캐리어(10)를 진공 챔버(40,50)에 반입시키거나 반출시킨다. 상기 예비 챔버(30)에는 진공배기장치(미도시)가 장착되어, 상기 예비 챔버(30)를 진공 상태로 만들 수 있다.
상기 진공 챔버(40,50)는 상기 예비 챔버(30)에 연결되며, 상기 예비 챔버(30)로부터 인입된 캐리어(10)를 가열하거나 성막 처리한다. 상기 진공 챔버(40,50)에는 기판(P)을 가열시키는 가열장치(미도시) 및 성막 처리하는 성막장치(미도시)가 장착된다. 또한, 상기 진공 챔버(40,50)에는 상기 예비 챔버(30)와 동일하게 진공배기장치(미도시)가 장착되어, 상기 진공 챔버(40,50)를 진공 상태로 만들 수 있다.
도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치 중 이송 챔버에 대해 자세하게 설명하기로 한다.
상기 이송 챔버(100)는 상기 진공 챔버(40,50)와 연결되며, 상기 캐리어(10)를 이송시키는 역할을 한다.
상기 이송 챔버(100)는 제 1 레일(110), 제 2 레일(120), 마그넷(130), 캐리어 수직 이송장치(140), 캐리어 수평 이송장치(150), 레일 수직 이송장치(160) 및 고정 암(arm)(170)을 포함한다.
상기 제 1 레일(110)은 상기 이송 챔버(100)의 일측에 형성된다. 또한, 상기 제 1 레일(110)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 일측에도 형성된다. 즉, 상기 제 1 레일(110)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 일측에 일체로 형성될 수 있다. 상기 제 1 레일(110)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 반출된 캐리어(10)가 이동하는 이동 경로가 된다.
상기 제 1 레일(110)에는 다수의 롤러(111)가 형성된다. 상기 롤러(111)는 상기 캐리어(10)가 안착되는 부분이며, 모터(미도시)에 의해 구동된다. 즉, 상기 롤러(111)는 모터에 의해 구동되어 상기 캐리어(10)를 이동시키게 된다.
상기 제 2 레일(120)은 상기 이송 챔버(100)의 타측에 형성된다. 또한, 상기 제 2 레일(120)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 타측에도 형성된다. 즉, 상기 제 2 레일(120)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 일측에 일체로 형성될 수 있다. 상기 제 2 레일(120)은 상기 제 1 레일(110)로부터 이송된 캐리어(10)가 이동하는 이동 경로가 된다.
상기 제 2 레일(120)에는 다수의 롤러(121)가 형성된다. 상기 롤러(121)는 상기 캐리어(10)가 안착되는 부분이며, 모터(미도시)에 의해 구동된다. 즉, 상기 롤러(121)는 모터에 의해 구동되어 상기 캐리어(10)를 이동시키게 된다.
여기서, 상기 제 1 레일(110)과 상기 제 2 레일(120)은 반대로 형성될 수 있다.
상기 마그넷(130)은 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)과 대응되도록 상기 이송 챔버(100)의 상부에 형성된다. 또한, 상기 마그넷(130)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 상부에도 형성된다. 즉, 상기 마그넷(130)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 상부에서 서로 연결되도록 형성되며, 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)과 대응되도록 2개의 띠 형상으로 형성된다.
상기 마그넷(130)은 전자석으로 형성되며, 상기 이송 챔버(100)의 상부에 고정되어 움직이지 않는다. 상기 마그넷(130)은 상기 캐리어(10)의 상부 캐리어바(12)와 자력으로 결합되어 상기 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지하는 역할을 한다.
상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 상기 캐리어(10)를 상/하로 이송하는 역할을 한다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 상기 캐리어(10)를 하강시켜 상기 마그넷(130)으로부터 상기 캐리어(10)를 분리시킨다. 그리고, 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 옮겨지고 나면 상기 캐리어(10)를 상승시켜 상기 마그넷(130)에 결합시킨다. 예를 들어, 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 볼스크류는 회전운동을 직선운동으로 바꾸는 것으로, 상기 서보모터가 상기 볼스크류의 회전수를 제어하여 상기 캐리어(10)의 위치를 정밀하게 조절할 수 있다. 여기서, 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 이에 한정되지 않고, 상기 캐리어(10)를 수직으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.
상기 캐리어 수평 이송장치(150)는 상기 캐리어(10)를 좌/우로 이송하는 역할을 한다. 즉, 상기 제 1 레일(110)에 위치한 캐리어(10)를 상기 제 2 레일(120)로 이송하는 역할을 한다. 상기 캐리어 수평 이송장치(150)도 상기 캐리어 수직 이송장치(140)와 마찬가지로 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 캐리어 수평 이송장치(150)는 이에 한정되지 않고, 상기 캐리어(10)를 수평으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.
상기 레일 수직 이송장치(160)는 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)을 상/하로 이송하는 역할을 한다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)에 연결되어 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)을 동시에 움직일 수 있다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 레일(110,120)을 하강시켜 상기 캐리어(10)로부터 분리시키고, 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 옮겨지고 나면 레일(110,120)을 상승시켜 상기 캐리어(10)에 결합시킨다. 상기 레일 수직 이송장치(160)도 상기 캐리어 수직 이송장치(140)와 마찬가지로 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 레일 수직 이송장치(160)는 이에 한정되지 않고, 상기 레일(110,120)을 수직으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.
상기 고정 암(arm)(170)은 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송할 때 상기 캐리어(10)를 고정시키는 역할을 한다. 상기 고정 암(170)에는 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 연결된다. 상기 캐리어(10)는 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송될 때, 상기 캐리어(10)를 지지하던 마그넷(130) 및 제 1 레일(110)로부터 분리된다. 따라서, 상기 고정 암(170)이 작동하여 상기 캐리어(10)를 고정시킨다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 이송 챔버(100)에 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 형성되어 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 이송 챔버(100)에 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)이 함께 형성됨으로써 캐리어(10)를 용이하게 이송할 수 있고 공간을 효율적으로 사용할 수 있다.
다음은 상기 이송 챔버에서 캐리어를 이송시키는 캐리어 이송 방법에 대해서 살펴보기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 도시한 플로우 챠트이다. 도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 구성도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법은 캐리어 인입 단계(S1), 제 1 하강 단계(S2), 제 2 하강 단계(S3), 캐리어 이동 단계(S4), 제 1 상승 단계(S5), 제 2 상승 단계(S6) 및 캐리어 인출 단계(S7)를 포함한다. 이하에서는 도 3의 각 단계들을 도 4a 내지 도 4f를 함께 참조하여 설명하기로 한다.
상기 캐리어 인입 단계(S1)는 기판(P)이 탑재된 캐리어(10)가 이송 챔버(100) 내부로 인입되는 단계이다.
도 4a를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 제 1 레일(110)에 형성된 롤러(111)를 따라 이송 챔버(100) 내부로 이동된다. 상기 캐리어(10)의 하부에 형성된 하부 캐리어바(13)는 상기 롤러(111)와 결합되고, 상기 롤러(111)는 모터에 의해 구동된다. 이에 따라, 상기 캐리어(10)는 상기 롤러(111)를 따라 이동하게 된다. 또한, 상기 캐리어(10)의 상부에 형성된 상부 캐리어바(12)는 이송 챔버(100)의 상부에 형성된 마그넷(130)과 결합되어 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지한다. 즉, 상기 상부 캐리어바(12)는 마그넷(130)과 결합되어 상기 캐리어(10)의 중심을 유지하도록 하는 역할을 한다.
여기서, 상기 상부 캐리어바(12)와 마그넷(130)이 결합되는 방법을 살펴보면 다음과 같다. 상기 상부 캐리어바(12)는 영구자석으로 형성되고 상기 마그넷(130)은 전자석으로 형성된다. 이때, 상기 상부 캐리어바(12)와 상기 마그넷(130)은 같은 극으로 형성되어 둘 사이에 인력이 작용하게 된다. 예를 들어, 상기 상부 캐리어바(12)는 영구자석이므로 N극으로 고정되어 있고, 상기 마그넷(130)은 S극을 띠게 되어 둘 사이에는 인력이 발생하여 서로 끌어당기게 된다. 이때, 그 인력의 크기는 상기 캐리어(10)를 수직으로 지탱할 정도의 크기로 형성된다.
상기 캐리어(10)가 이송 챔버(100) 내부로 인입되면, 상기 이송 챔버(100)에 형성된 고정 암(170)이 상기 캐리어(10)를 고정시킨다.
상기 제 1 하강 단계(S2)는 상기 마그넷(130)으로부터 상기 캐리어(10)를 분리시키기 위해 캐리어(10) 및 제 1 레일(110)이 하강되는 단계이다.
도 4b를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 캐리어 수직 이송장치(140)에 의해 하강된다. 또한, 상기 캐리어(10)가 안착된 제 1 레일(110)도 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상기 캐리어(10)와 같이 하강된다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)과 연결되어 있으므로, 상기 제 1 레일(110)을 하강시킬 때 상기 제 2 레일(120)도 같이 하강된다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140) 및 레일 수직 이송장치(160)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10) 및 제 1 레일(110)을 정밀하게 하강시킬 수 있다.
여기서, 상기 캐리어(10)와 인력으로 결합된 마그넷(130)은 S극에서 N극으로 변경되어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 척력이 발생할 수 있다. 또한, 상기 마그넷(130)은 전류가 흐르지 않아 극성을 띠지 않을 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(10)는 상기 마그넷(130)으로부터 분리가 가능하게 된다.
또한, 상기 캐리어(10)는 상기 고정 암(170)에 의해 고정되어 있기 때문에, 상기 마그넷(130)으로부터 분리되더라도 흔들리거나 쓰러지지 않는다.
상기 제 2 하강 단계(S3)는 상기 캐리어(10)로부터 상기 제 1 레일(110)을 분리시키기 위해 제 1 레일(110)이 하강되는 단계이다.
도 4c를 참조하면, 상기 제 1 레일(110)은 상기 레일 수직 이송장치(160)에 의해 하강되어 상기 캐리어(10)로부터 분리된다. 이때, 제 2 레일(120)도 함께 하강된다. 즉, 상기 제 2 하강 단계(S3)에서 상기 캐리어(10)는 마그넷(130) 및 제 1 레일(110)로부터 분리되어 오로지 고정 암(170)에 의해서만 고정된다.
상기 캐리어 이동 단계(S4)는 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송되는 단계이다.
도 4d를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 상기 고정 암(170)에 고정되어 있으며 캐리어 수평 이송장치(150)에 의해 상기 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송된다. 상기 수평 이송장치(150)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
상기 제 1 상승 단계(S5)는 상기 캐리어(10)에 제 2 레일(120)을 결합시키기 위해 제 2 레일(120)이 상승되는 단계이다.
도 4e를 참조하면, 상기 제 2 레일(120)은 상기 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상승되어 상기 캐리어(10)와 결합된다. 이때, 제 1 레일(110)도 함께 상승된다. 즉, 상기 캐리어(10)의 하부 캐리어바(13)가 상기 제 2 레일(120)의 롤러(121)와 결합된다.
상기 제 2 상승 단계(S6)는 상기 캐리어(10)를 마그넷(130)에 결합시키기 위해 캐리어(10) 및 제 2 레일(120)이 상승되는 단계이다.
도 4f를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 캐리어 수직 이송장치(140)에 의해 상승된다. 또한, 상기 캐리어(10)가 안착된 제 2 레일(120)도 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상기 캐리어(10)와 같이 상승된다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)과 연결되어 있으므로, 상기 제 2 레일(120)을 상승시킬 때 상기 제 1 레일(110)도 같이 상승된다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140) 및 레일 수직 이송장치(160)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10) 및 제 2 레일(120)을 정밀하게 상승시킬 수 있다.
여기서, 상기 마그넷(130)은 N극에서 S극으로 변경되어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 인력이 발생할 수 있다. 또한, 상기 마그넷(130)은 전류가 다시 흘러 N극을 띠어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 척력이 발생할 수 있다.
상기 캐리어 인출 단계(S7)는 상기 캐리어(10)가 상기 이송 챔버(100)로부터 인출되는 단계이다.
상기 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 이송이 끝난 캐리어(10)는 제 2 레일(120)을 따라 이동된다. 이때, 상기 캐리어(10)를 고정하던 상기 고정 암(170)은 상기 캐리어(10)로부터 분리된다. 상기 캐리어(10)는 제 2 레일(120)을 따라 진공 챔버(40,50) 및 예비 챔버(30)를 지나 기판 착탈부(20)로 이동된다. 상기 기판 착탈부(20)에서는 진공 처리가 완료된 기판(P)을 캐리어(10)로부터 분리시킨다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법은 이송 챔버(100)에 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 형성되어 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 의한 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
P: 기판 10: 캐리어
11: 탑재부 12: 상부 캐리어바
13: 하부 캐리어바 20: 기판 착탈부
30: 예비 챔버 40,50: 진공 챔버
100: 이송 챔버 110: 제 1 레일
120: 제 2 레일 130: 마그넷
140: 캐리어 수직 이송장치 150: 캐리어 수평 이송장치
160: 레일 수직 이송장치 170: 고정 암

Claims (15)

  1. 다수의 롤러를 구비하는 제 1 레일을 통해 이송 챔버 내부로 캐리어가 인입되는 캐리어 인입 단계;
    상기 캐리어 및 제 1 레일을 하강시키는 제 1 하강 단계;
    상기 제 1 레일을 하강시키는 제 2 하강 단계;
    상기 캐리어를 상기 제 1 레일과 이격되어 형성된 제 2 레일로 이동시키는 캐리어 이동 단계;
    상기 제 2 레일을 상승시키는 제 1 상승 단계; 및
    상기 캐리어 및 제 2 레일을 상승시키는 제 2 상승 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상부에 형성된 상부 캐리어바와 하부에 형성된 하부 캐리어바를 포함하고,
    상기 상부 캐리어바는 상기 이송 챔버에 형성된 마그넷과 결합되고 상기 하부 캐리어바는 상기 롤러와 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 마그넷은 상기 이송 챔버에 고정된 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 하강 단계에서 상기 캐리어 및 제 1 레일은 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수직 이송수단과 레일 수직 이송수단을 통해서 하강되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 하강 단계에서 상기 제 1 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 이동 단계에서 상기 캐리어는 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수평 이송 수단을 통해서 제 1 레일에서 제 2 레일로 이동되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 상승 단계에서 상기 제 2 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어와 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 상승 단계 후에는 제 2 레일을 통해 이송 챔버 외부로 캐리어가 인출되는 캐리어 인출 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
  9. 기판이 탑재된 캐리어가 이송되는 이송 챔버;
    상기 챔버의 일측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 1 레일;
    상기 챔버의 타측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 2 레일;
    상기 챔버의 상부에 형성되며, 상기 캐리어를 고정하는 마그넷;
    상기 캐리어를 수직으로 이동시키는 캐리어 수직 이송수단;
    상기 캐리어를 수평으로 이동시키는 캐리어 수평 이송수단; 및
    상기 제 1 레일 및 제 2 레일을 수직으로 이동시키는 레일 수직 이송수단을 포함하며,
    상기 캐리어는 상기 제1레일에 안착된 상태로 상기 마그넷에 고정되어 있다가 상기 캐리어 수직 이송수단 및 상기 레일 수직 이송수단에 의해 상기 제1레일과 함께 하강되고,
    상기 캐리어는 상기 제1레일이 상기 레일 수직 이송수단에 의해 하강하면서 상기 제2레일로 이송된 후에 상기 캐리어 수직 이송수단 및 상기 레일 이송수단에 의해 제2레일과 함께 상승하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 레일 및 제 2 레일에는 다수의 롤러가 형성되어 상기 캐리어를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 캐리어는
    기판이 탑재되는 탑재부;
    상기 캐리어의 상부를 고정시키는 상부 캐리어바; 및
    상기 캐리어를 이동시키는 하부 캐리어바을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 상부 캐리어바는 상기 마그넷과 결합하여 상기 캐리어를 고정시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 하부 캐리어바는 상기 제 1 롤러 및 제 2 롤러에 형성된 롤러에 안착되어 상기 캐리어를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 이송 챔버에는 상기 기판을 가열하거나 성막하는 진공 챔버가 더 연결된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 이송 챔버에는 상기 캐리어를 고정시키는 고정 암(arm)이 더 형성된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
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