KR101223930B1 - Contact type electrode pattern inspection apparatus - Google Patents

Contact type electrode pattern inspection apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR101223930B1
KR101223930B1 KR1020120011917A KR20120011917A KR101223930B1 KR 101223930 B1 KR101223930 B1 KR 101223930B1 KR 1020120011917 A KR1020120011917 A KR 1020120011917A KR 20120011917 A KR20120011917 A KR 20120011917A KR 101223930 B1 KR101223930 B1 KR 101223930B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode pattern
probe
sensor unit
contact
electrical signal
Prior art date
Application number
KR1020120011917A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김철주
박지군
박준희
김진열
슈지 야마오카
Original Assignee
로체 시스템즈(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로체 시스템즈(주) filed Critical 로체 시스템즈(주)
Priority to KR1020120011917A priority Critical patent/KR101223930B1/en
Application granted granted Critical
Priority to PCT/KR2013/000906 priority patent/WO2013119014A1/en
Priority to CN201380008145.XA priority patent/CN104105975B/en
Publication of KR101223930B1 publication Critical patent/KR101223930B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836—Fault-finding or characterising
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2879—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to electrical aspects, e.g. to voltage or current supply or stimuli or to electrical loads
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

PURPOSE: A contact type electrode pattern inspection apparatus is provided to detect and position the open or short status of an electrode pattern at the same time. CONSTITUTION: A contact type electrode pattern inspection apparatus(100) comprises the first probe(120), the first sensor(130), the second probe(140), and the second sensor (150). The first probe is contacted with an electrode pattern of glass panel and produces electrical signals to the electrode pattern. The first sensor admits electrical signals, which is transmitted through an electrode pattern produced from the first probe, as non-contact type, and detects the open, short status, and the position of an electrode pattern formed inside an active area. The second probe is contacted to an electrode pattern of a glass panel, and produces an electrical signal to an electrode pattern. The second sensor admits electrical signal, which is transmitted through an electrode pattern produced from the second probe, as non-contact type, and detects the open, short status and position of the electrode pattern formed inside the fan-out area.

Description

접촉식 전극패턴 검사장치{CONTACT TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}Contact type electrode pattern inspection device {CONTACT TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 스캔식 접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a contact electrode pattern, and more particularly, an electrical test of an electrode pattern formed on a glass panel for a flat panel TV, that is, a scan capable of inspecting whether an open and a shot are inspected. It relates to a contact type electrode pattern inspection device.

일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.In general, an electrode pattern formed of a data line and a gate line is formed on a surface of a flat panel TV glass panel such as a PDP and an LED.

통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.In general, in the case of 42-inch PDP, the line width and pitch of one electrode pattern are 50 μm and 300 μm, respectively, whereas the line length reaches 1 m. Frequently, lines are broken or short with an adjacent line. Therefore, inspecting whether the formed electrode pattern is short-circuited in the middle of the manufacturing process is an essential process for increasing the yield of the finished product.

상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.In order to inspect the electrical characteristics of the electrode pattern as described above, a test pin block is generally used, and the test using the test pin block is performed by connecting a plurality of probes provided in the test pin block to both ends of the electrode pattern and the target electrode pattern and the adjacent pattern. The contact method of conducting the conduction test of the electrode pattern to check the opening and short-circuit of the electrode pattern, and the non-contact method of receiving power applied without contacting the probe on one side and applying power to the electrode pattern. Used.

그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.However, the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem in that it is possible to detect whether the electrode pattern is open or shorted, but not to the position of the open or shorted electrode pattern.

도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 전극패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 1 will be described the structure of a typical electrode pattern formed on a glass panel.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an electrode pattern formed on a general glass panel.

도 1을 참조하면, 일반적인 전극패턴(200)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(210)와, 상기 패드부(210)와 연결되는 액티브 에어리어(220 : Active area)와, 상기 액티브 에어리어(220)와 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(230 : Fan out area)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 복수개의 전극패턴(200)은 서로 수평하게 형성되나 상기 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(20)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 전극패턴(200)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 전극패턴(200)이 서로 수평하게 형성된다.Referring to FIG. 1, a general electrode pattern 200 may include a plurality of pads 210 for contacting a probe, an active area 220 connected to the pads 210, and an active area ( And a fan out area 230 for distributing output to another location. Here, the plurality of electrode patterns 200 formed in the active area 220 are formed horizontally with each other, but the electrode patterns 200 formed in the fan out area 230 have a glass panel 20 for distributing output to other places. The gap between the electrode patterns 200 neighboring each other by a predetermined distance toward the end side of the N) is gradually reduced, and then the electrode patterns 200 adjacent to each other are horizontally formed.

상기와 같이 일반적인 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)은 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)로 구분되도록 형성됨으로써 일반적인 전극 패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴(200)의 전기적 검사를 수행하기 위해서는 상기 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)를 전기적 검사를 각각 별도로 수행해야만 하였다. 그리하여, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사장치는 전극패턴 검사시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.As described above, the electrode pattern 200 of the general glass panel 20 is formed to be divided into the active area 220 and the fan out area 230 to perform electrical inspection of the electrode pattern 200 using a general electrode pattern inspection device. In order to perform the electrical test, the active area 220 and the fan out area 230 had to be separately performed. Thus, the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem that the electrode pattern inspection takes a long time.

따라서, 본 발명의 목적은 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 동시에 검출할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a contact type electrode pattern inspection apparatus capable of simultaneously detecting open and short positions as well as whether the electrode pattern is open and short.

본 발명의 다른 목적은 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a contact electrode pattern inspection apparatus capable of simultaneously performing an electrical inspection of an active area of an electrode pattern and an electrical inspection of a fan out area.

본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브와, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부와, 상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함한다.An apparatus for inspecting a contact type electrode pattern according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first probe contacting an electrode pattern of a glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern, and an electrode pattern applied from the first probe. A first sensor unit capable of receiving an electrical signal transmitted through the non-contact method and detecting whether the electrode pattern formed in the active area is opened and shorted, and the position thereof; and the electrode pattern of the glass panel is in electrical contact with the electrode pattern. A second probe for applying a signal, and a second probe capable of detecting whether the electrode pattern formed in the fan-out area is open or short by receiving a non-contact method of an electrical signal applied from the second probe and transmitted through the electrode pattern. It includes a sensor unit.

일예를 들면, 상기 액티브 에어리어 검출용 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수도 있다.For example, the active area detection sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the length direction of the electrode pattern, so that each sensor is positioned at an electrode pattern for an electrical signal transmitted through the electrode pattern. The opening and the short position of the electrode pattern may be detected at the same time as detecting whether the electrode pattern formed in the active area has been received.

일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치된다.For example, the first sensor unit is installed to be movable along the electrode pattern.

일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.For example, the second sensor unit is installed to be movable in a direction perpendicular to the scan direction.

일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성된다.For example, the second sensor unit is formed by an array sensor.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 액티브 에어리어에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the contact type electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is capable of detecting whether the electrode pattern is opened or shorted in one scanning operation, as well as opening and shorting positions of the electrode pattern formed in the active area. By enabling accurate detection, the electrode pattern inspection time can be shortened, thereby improving the production efficiency of the glass panel.

이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있도록 하여 전극패턴 검사시간을 더욱 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the electrode pattern inspection time by performing the electrical inspection of the active area and the fan out area of the electrode pattern at the same time in one scan operation By further shortening, there is an effect that can further improve the production efficiency of the glass panel.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면1 is a view showing an electrode pattern formed on a typical glass panel
Figure 2 is a schematic diagram for explaining the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.2 is a schematic view for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치(100)는 이동블록(110), 제 1 프로브(120), 제 1 센서부(130), 제 2 프로브(140), 제 2 센서부(150)를 포함한다.2, the contact electrode pattern inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a moving block 110, a first probe 120, a first sensor unit 130, and a second probe 140. ), And a second sensor unit 150.

상기 이동블록(110)은 글래스 패널(20 : 도 3참조)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.The moving block 110 is installed to be positioned above the glass panel 20 (see FIG. 3). Here, the moving block 110 may be installed in the three-axis moving means movable in the three axis direction. The three-axis moving means capable of moving the moving block 110 in the three-axis direction is generally applied to an electrode pattern inspection device, and for the convenience of description, the schematic and description of the configuration thereof will be omitted. .

상기 제 1 프로브(120)는 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 1 프로브로(120)는 예를 들면, 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 1 프로브(120)는 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)과 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.The first probe 120 is installed in the moving block 110 to be in contact with the electrode pattern of the glass panel 20 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200. For example, the first probe path 120 may be in direct contact with the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to directly apply an electrical signal to the electrode pattern 200. Can be used. The first probe 120 is in contact with the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200. Here, the first probe 120 is preferably installed directly on the moving block 110 as described above to be moved in conjunction with the moving block 110, otherwise, the first probe ( 120 may be installed in a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes along the side of the moving block 110. For example, the first probe 120 may be attached to the test pin block or the moving block 110 by a wire bonding method. In addition, the first probe 120 may be fixed to the test pin block or the moving block 110 by a plurality of fixing members.

상기 제 1 센서부(130)는 상기 제 1 프로브(120)로부터 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(200) 따라 이동 가능하도록 이동수단(131)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)를 상기 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴(200 : 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다. 그리하여, 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함은 물론 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.The first sensor unit 130 receives the electrical signal applied from the first probe 120 and transmitted through the electrode pattern 200 in a non-contact manner, and the electrode pattern 200 formed in the active area 220. Can be detected as open or short. The first sensor unit 130 may be installed in the moving block 110 by the moving means 131 to be movable along the electrode pattern 200. The moving means 131 capable of moving the first sensor unit 130 along the electrode pattern 200 is generally applied to a general mechanical device, and a detailed description thereof is omitted for convenience of description. do. Meanwhile, the first sensor unit 130 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of the electrode pattern 200 (the electrode pattern formed in the active area 220). Thus, the first sensor unit 130 receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern 200 by each sensor by the position of the electrode pattern 200, the electrode pattern 200 formed in the active area 220. ) Can be detected as well as open and short positions of the electrode pattern 200.

상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 검출 작업만으로 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)이 쇼트 되었을 경우에는 상기 전극패턴(200)의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(200)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 제 1 프로브(120)가 접촉된 전극패턴(200)에서부터 상기 전극패턴(200)의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴(200)의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.The first sensor unit 130 is electrically transmitted through the electrode pattern 200 by forming a plurality of sensors by an array sensor disposed along a length direction of the electrode pattern 200 formed in the active area 220. Each sensor may receive a signal for each position of the electrode pattern 200. Therefore, the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is open and short positions of the electrode pattern formed in the active area 220 with detection of whether the electrode pattern 200 is opened or shorted by only one detection operation. Even fast and accurate detection is possible. For example, when the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is shorted, an electrical signal is no longer applied along the electrode pattern 200 from the shorted position of the electrode pattern 200. Therefore, the sensor provided from the electrode pattern 200 to which the first probe 120 is contacted to the position before the electrode pattern 200 is shorted can detect an electrical signal, but from the sensor provided at the shorted position, No electrical signal is detected. Accordingly, the position of the electrode pattern 200 in which the sensor, for which the electrical signal is not detected, is located is detected as a shorted portion so that the open and shorted positions of the electrode pattern 200 can be detected quickly and accurately.

상기 제 2 프로브(140)는 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 2 프로브로(140)는 상기 제 1 프로브(120)와 마찬가지로 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 2 프로브(140)는 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)과 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.The second probe 140 is installed in the moving block 110 to be in contact with the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200. Like the first probe 120, the second probe path 140 may directly contact the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to directly apply an electrical signal to the electrode pattern 200. Contact probes can be used. The second probe 140 is in contact with the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200. Here, the second probe 140 is preferably installed directly on the moving block 110 to be moved in conjunction with the moving block 110, otherwise, the second probe 140 is the The moving block 110 may be installed in a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes next to one side. For example, the second probe 140 may be attached to the test pin block or the moving block by a wire bonding method. In addition, the second probe 140 may be fixed to the test pin block or the moving block 110 by a plurality of fixing members.

상기 제 2 센서부(150)는 상기 제 2 프로브(140)로부터 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 2 센서부(150)는 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치의 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 이동수단(151)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 센서부(150)를 상기 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 이동수단(151)은 상기 제 1 센서부(130)를 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)과 마찬가지로 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 상세한 설명에서 그 구성에 대한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 2 센서부(150)는 다수개의 센서가 스캔 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다.The second sensor unit 150 receives the electrical signal applied from the second probe 140 and transmitted through the electrode pattern 200 in a non-contact manner to form the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230. ) Open and short can be detected. The second sensor unit 150 is to be installed in the moving block 110 by the moving means 151 to be movable in a direction perpendicular to the scan direction of the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. Can be. Here, the moving means 151 capable of moving the second sensor unit 150 in a direction perpendicular to the scan direction moves to move the first sensor unit 130 along the electrode pattern 200. As with the means 131, as is generally applied to conventional machinery, the description of the configuration is omitted in the detailed description for the convenience of description. Meanwhile, the second sensor unit 150 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the scan direction.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)의 일측에 위치하도록 카메라가 더 설치되어 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)가 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)에 제대로 접촉되었는지를 확인할 수도 있다.
In addition, the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, although not shown in the figure, the camera is further installed to be located on one side of the first and second probes 120 and 140, the first and second probes. It may be confirmed whether the 120 and 140 are in proper contact with the electrode pattern 200 formed on the glass panel 20.

도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIGS. 2 and 3, a process and an effect of performing an open and short inspection of an electrode pattern using a contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below.

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 이동블록(110)을 이동시켜 상기 이동블록(110)에 설치된 제 1, 2 프로브(120, 140)가 상기 전극패턴(200)에 접촉되도록 하여 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(200)에 인가하며, 상기 제 2 프로브(140)는 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(200)에 인가한다.2 and 3, first, in order to perform the open and short inspection of the electrode pattern 200 formed on the glass panel 20 using the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, The block 110 is moved so that the first and second probes 120 and 140 installed in the moving block 110 come into contact with the electrode pattern 200 so that an electrical signal can be applied to the electrode pattern 200. do. Here, the first probe 120 applies an electrical signal to the electrode pattern 200 for open and short inspection of the electrode pattern 200 formed in the active area 220, and the second probe 140 An electrical signal for open and short inspection of the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 is applied to the electrode pattern 200.

상기와 같이 제 1 프로브(120)에 의해 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 1 센서부(130)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제 1 센서부(120)는 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 1 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.As described above, the electrical signal applied to the electrode pattern 200 by the first probe 120 is received by the first sensor unit 130 in a non-contact manner, thereby forming the electrode pattern 200 formed in the active area 220. It is possible to detect whether the door is open or short. In this case, the first sensor unit 120 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 200 and is applied by the first probe 120 to be transmitted through the electrode pattern 200. Each sensor receives the electrical signals for each position of the electrode pattern 200, and simultaneously detects whether the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is open or short, and at the same time, the electrode pattern formed in the active area 220. Even open and short positions of 200 can be detected. Therefore, even if the opening or shorting of the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is detected, there is no need to perform a separate inspection operation for detecting the opening and shorting positions of the electrode pattern 200. The electrical inspection time of the electrode pattern 200 can be shortened.

이와 동시에, 상기 제 2 프로브(140)에 의해 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 2 센서부(150)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다.At the same time, the electrical signal applied to the electrode pattern 200 by the second probe 140 is received in a non-contact manner by the second sensor unit 150 to form the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230. It is possible to detect whether the door is open or short.

따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 상기와 같은 상태로 이동블록(110)이 상기 액티브 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있도록 하여 글래스 패널(20)의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
Therefore, in the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the moving block 110 moves in a direction perpendicular to the electrode pattern 200 formed in the active area 230 in the above state. Not only can the open and short detection of the electrode pattern 200 formed in the 220 and the fan out area 230 be performed simultaneously, but also the opening of the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is performed. Alternatively, even if a short is detected, the glass panel can be significantly shortened since the electric inspection time of the electrode pattern 200 can be significantly shortened because it is not necessary to perform a separate inspection operation for detecting the open and short positions of the electrode pattern 200. The production efficiency of (20) can be further improved.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary skill in the art will be described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

(100) : 전극패턴 검사장치 (110) : 이동블록
(120) : 제 1 프로브 (130) : 제 1 센서부
(140) : 제 2 프로브 (150) : 제 2 센서부100: electrode pattern inspection device (110): moving block
120: first probe 130: first sensor unit
140: second probe 150: second sensor portion

Claims (5)

글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브;
상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부;
상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브; 및
상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함하는 접촉식 전극패턴 검사장치.In the inspection apparatus for performing an electrical inspection of the electrode pattern formed on the glass panel,
A first probe contacting an electrode pattern of the glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern;
A first sensor unit which receives an electrical signal applied from the first probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner and detects whether the electrode pattern formed in the active area is opened, shorted, and positioned;
A second probe contacting an electrode pattern of the glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern; And
Contact electrode pattern inspection including a second sensor unit for detecting whether the electrode pattern formed in the fan-out area is opened or shorted by receiving an electrical signal applied from the second probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner. Device. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 센서부는,
다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The first sensor unit,
A plurality of sensors are formed by an array sensor disposed along a length direction of the electrode pattern, and each sensor receives electrical signals transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern to open the electrode pattern formed in the active area. And a contact electrode pattern inspection device capable of detecting whether a short is detected and at the same time an open and a short position. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 센서부는,
상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The first sensor unit,
Contact electrode pattern inspection device, characterized in that installed to be movable along the electrode pattern. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 센서부는,
스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The second sensor unit,
Contact electrode pattern inspection device, characterized in that installed to be movable in the direction perpendicular to the scanning direction. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치. The method of claim 1,
And the second sensor unit is formed by an array sensor.
KR1020120011917A 2012-02-06 2012-02-06 Contact type electrode pattern inspection apparatus KR101223930B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011917A KR101223930B1 (en) 2012-02-06 2012-02-06 Contact type electrode pattern inspection apparatus
PCT/KR2013/000906 WO2013119014A1 (en) 2012-02-06 2013-02-05 Electrode pattern test apparatus
CN201380008145.XA CN104105975B (en) 2012-02-06 2013-02-05 Electrode pattern proving installation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011917A KR101223930B1 (en) 2012-02-06 2012-02-06 Contact type electrode pattern inspection apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101223930B1 true KR101223930B1 (en) 2013-02-05

Family

ID=47898568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120011917A KR101223930B1 (en) 2012-02-06 2012-02-06 Contact type electrode pattern inspection apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101223930B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050064964A (en) * 2003-12-24 2005-06-29 엘지전자 주식회사 Electrode line inspection device for flat-display panel and method for the same
KR20080008689A (en) * 2006-07-20 2008-01-24 마이크로 인스펙션 주식회사 Non-contact type single side probe and inspection apparatus and method for open/short test of pattern electrodes used thereof
KR20100028275A (en) * 2008-09-04 2010-03-12 엘지전자 주식회사 Apparatus and method for inspecting electrode lines of falt panel display

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050064964A (en) * 2003-12-24 2005-06-29 엘지전자 주식회사 Electrode line inspection device for flat-display panel and method for the same
KR20080008689A (en) * 2006-07-20 2008-01-24 마이크로 인스펙션 주식회사 Non-contact type single side probe and inspection apparatus and method for open/short test of pattern electrodes used thereof
KR20100028275A (en) * 2008-09-04 2010-03-12 엘지전자 주식회사 Apparatus and method for inspecting electrode lines of falt panel display

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008056627A1 (en) Probe card for inspecting solid state image sensor
TWI474012B (en) Detecting device of conductive pattern and detecting method
TW202206833A (en) Wafer inspection system and wafer inspection equipment thereof
WO2018171187A1 (en) Panel testing device
KR100884475B1 (en) A device for testing for display panel
KR101259350B1 (en) Electrode pattern inspection apparatus having t-type sensor
TWI427302B (en) Circuit pattern inspection device
CN203350556U (en) Array substrate motherboard and array substrate lead inspection device
KR101223930B1 (en) Contact type electrode pattern inspection apparatus
CN104105975B (en) Electrode pattern proving installation
KR101300465B1 (en) Non-contact type electrode pattern inspection apparatus
KR101380375B1 (en) Probe unit for inspectinon of flat display pannel
KR102393628B1 (en) Test pin
KR101823317B1 (en) Appartus and method of inspecting wires of panel
US20150084659A1 (en) Contact arrangements and methods for detecting incorrect mechanical contacting of contact structures
JP2017084958A (en) Evaluation device and evaluation method for semiconductor device
KR102292880B1 (en) Probing Module Adapted for Testing Multi-units Having Inclined Conductive Contacts
KR20200004137A (en) Inspecting apparatus for temperature sensor
KR20130090651A (en) Non-contact array type electrode pattern inspection apparatus
KR101571631B1 (en) Method for inspecting sensor electrode of touch pannel
KR101312079B1 (en) Probe unit assembly and testing method of flat panel display using the same
KR101462954B1 (en) Fixture of auto test equipment for testing electronic circuit card
JP6058325B2 (en) Substrate inspection apparatus and substrate inspection method
JP5146109B2 (en) Inspection device
KR101670482B1 (en) Device for testing display panel, driving film and method for testing display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151208

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161208

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171221

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181218

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191219

Year of fee payment: 8