KR101300465B1 - Non-contact type electrode pattern inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적이고 신속하게 수행할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치가 개시된다. 상기 전극패턴 검사장치는 글래스 패널의 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브; 및 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부를 포함한다.Disclosed is a non-contact electrode pattern inspection apparatus capable of stably and quickly performing electrical inspection of an electrode pattern formed on a high resolution glass panel. The electrode pattern inspection apparatus may include a first probe configured to apply an electrical signal in a non-contact manner to an electrode pattern formed in a fan out area of a glass panel; And a first sensor unit configured to detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short by receiving an electrical signal applied from the first probe and transmitted through the electrode pattern formed in the fan out area in a non-contact manner. Include.

Description

비접촉식 전극패턴 검사장치{NON-CONTACT TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}Non-contact electrode pattern inspection device {NON-CONTACT TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 비접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a non-contact electrode pattern, and more particularly, to a non-contact electrode capable of inspecting whether an electrode pattern formed in a glass panel for flat-panel TVs is open, that is, checking whether an open and a short are opened. It relates to a pattern inspection device.

일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.In general, an electrode pattern formed of a data line and a gate line is formed on a surface of a flat panel TV glass panel such as a PDP and an LED.

통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.In general, in the case of 42-inch PDP, the line width and pitch of one electrode pattern are 50 μm and 300 μm, respectively, whereas the line length reaches 1 m. Frequently, lines are broken or short with an adjacent line. Therefore, inspecting whether the formed electrode pattern is short-circuited in the middle of the manufacturing process is an essential process for increasing the yield of the finished product.

상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.In order to inspect the electrical characteristics of the electrode pattern as described above, a test pin block is generally used, and the test using the test pin block is performed by connecting a plurality of probes provided in the test pin block to both ends of the electrode pattern and the target electrode pattern and the adjacent pattern. The contact method of conducting the conduction test of the electrode pattern to check the opening and short-circuit of the electrode pattern, and the non-contact method of receiving power applied without contacting the probe on one side and applying power to the electrode pattern. Used.

그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.However, the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem in that it is possible to detect whether the electrode pattern is open or shorted, but not to the position of the open or shorted electrode pattern.

도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 전극패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 1 will be described the structure of a typical electrode pattern formed on a glass panel.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an electrode pattern formed on a general glass panel.

도 1을 참조하면, 일반적인 전극패턴(200)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(210)와, 상기 패드부(210)와 연결되는 액티브 에어리어(220 : Active area)와, 상기 액티브 에어리어(220)와 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(230 : Fan out area)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 복수개의 전극패턴(200)은 서로 수평하게 형성되나 상기 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(20)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 전극패턴(200)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 전극패턴(200)이 서로 수평하게 형성된다.Referring to FIG. 1, a general electrode pattern 200 may include a plurality of pads 210 for contacting a probe, an active area 220 connected to the pads 210, and an active area ( And a fan out area 230 for distributing output to another location. Here, the plurality of electrode patterns 200 formed in the active area 220 are formed horizontally with each other, but the electrode patterns 200 formed in the fan out area 230 have a glass panel 20 for distributing output to other places. The gap between the electrode patterns 200 neighboring each other by a predetermined distance toward the end side of the N) is gradually reduced, and then the electrode patterns 200 adjacent to each other are horizontally formed.

상기와 같이 일반적인 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)은 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)로 구분되도록 형성됨으로써 일반적인 전극 패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴(200)의 전기적 검사를 수행하기 위해서는 상기 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)를 전기적 검사를 각각 별도로 수행해야만 하였다. 그리하여, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사장치는 전극패턴 검사시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.As described above, the electrode pattern 200 of the general glass panel 20 is formed to be divided into the active area 220 and the fan out area 230 to perform electrical inspection of the electrode pattern 200 using a general electrode pattern inspection device. In order to perform the electrical test, the active area 220 and the fan out area 230 had to be separately performed. Thus, the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem that the electrode pattern inspection takes a long time.

따라서, 본 발명의 목적은 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부는 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a non-contact electrode pattern inspection apparatus capable of detecting whether the electrode pattern formed in the fan out area is opened and shorted as well as the open and short positions in one scan operation.

본 발명의 다른 목적은 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치를 검출할 수 있는 전기적 검사와, 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is an electrical inspection capable of detecting open and short positions as well as whether the electrode patterns formed in the fan-out area are open and short, and open and short positions as well as whether the electrode patterns formed in the active area are open and short. It is to provide a non-contact electrode pattern inspection apparatus that can simultaneously perform an electrical inspection that can be detected.

본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 상기 글래스 패널의 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브 및, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부를 포함한다.An apparatus for inspecting a non-contact electrode pattern according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first probe for applying an electrical signal in a non-contact manner to an electrode pattern formed in a fan out area of the glass panel, and is applied from the first probe. And a first sensor unit configured to receive an electrical signal transmitted through an electrode pattern formed in the fan out area in a non-contact manner and detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short.

일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.For example, the first sensor unit is installed to be movable in a direction perpendicular to the scan direction.

일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.For example, the first sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of an electrode pattern, and each sensor receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern. It is possible to detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short, and even open and short positions.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 형성된 패드부와 접촉되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 더 포함한다.On the other hand, the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the second probe for contacting the pad portion formed in the electrode pattern of the glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern formed in the active area, and the second probe The apparatus may further include a second sensor unit configured to receive an electrical signal transmitted from the electrode pattern formed in the active area in a non-contact manner and detect whether the electrode pattern formed in the active area is open, shorted, and positioned.

일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.For example, the second sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are arranged along the length direction of the electrode pattern, and each sensor transmits electrical signals transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern. In addition, it is possible to detect whether the electrode pattern formed in the active area is open or short, and at the same time, even the open and short positions.

일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치된다.For example, the second sensor unit is installed to be movable along the electrode pattern.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention detects whether the electrode pattern formed in the fan-out area is opened or shorted in a single scan operation, and also detects the open and short positions quickly and accurately. By making it possible to shorten the electrode pattern inspection time has the effect of improving the production efficiency of the glass panel.

이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사와, 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있도록 하여 전극패턴 검사 시간을 더욱 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the electrical inspection for detecting whether the electrode pattern formed in the fan out area is open and short, and the position thereof, and the opening and short of the electrode pattern formed in the active area The electrical inspection to detect whether or not and the position can be performed at the same time to further shorten the electrode pattern inspection time has the effect of further improving the production efficiency of the glass panel.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면1 is a view showing an electrode pattern formed on a typical glass panel
Figure 2 is a schematic diagram for explaining the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.2 is a schematic view for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치(100)는 이동블록(110), 제 1 프로브(140), 제 1 센서부(150), 제 2 프로브(120), 제 2 센서부(130)를 포함한다.2, the electrode pattern inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is a moving block 110, the first probe 140, the first sensor unit 150, the second probe 120, The second sensor unit 130 is included.

상기 이동블록(110)은 글래스 패널(20 : 도 3참조)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.The moving block 110 is installed to be positioned above the glass panel 20 (see FIG. 3). Here, the moving block 110 may be installed in the three-axis moving means movable in the three axis direction. The three-axis moving means capable of moving the moving block 110 in the three-axis direction is generally applied to an electrode pattern inspection device, and for the convenience of description, the schematic and description of the configuration thereof will be omitted. .

상기 제 1 프로브(140)는 상기 글래스 패널(20)의 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가할 수 있도록 후술되는 제 1 센서부(150)에 직접 설치된다. 상기 제 1 프로브(140)는 글래스 패널(20)의 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가한다.The first probe 140 is directly connected to the first sensor unit 150 to be described later to apply an electrical signal to the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 of the glass panel 20 in a non-contact manner. Is installed. The first probe 140 applies an electrical signal in a non-contact manner to the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 of the glass panel 20.

상기 제 1 센서부(150)는 상기 제 1 프로브(140)로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 1 센서부(150)에는 상기 제 1 프로브(140)가 설치된다. 상기 제 1 센서부(150)는 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치의 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 이동수단(151)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 센서부(150)를 상기 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 이동수단(151)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 상세한 설명에서 그 구성에 대한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 1 센서부(150)는 다수개의 센서가 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.The first sensor unit 150 receives the electrical signal transmitted from the first probe 140 and transmitted through the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 in a non-contact manner, and thus the fan out area 230. Open or short of the electrode pattern 200 formed in the can be detected. The first probe 140 is installed in the first sensor unit 150. The first sensor unit 150 may be installed in the moving block 110 by the moving means 151 to be movable in a direction perpendicular to the scan direction of the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. . Here, the moving means 151 capable of moving the first sensor unit 150 in a direction perpendicular to the scan direction is generally applied to a general mechanical device, and for the convenience of description, the configuration thereof will be described in detail. The description is omitted. On the other hand, the first sensor unit 150 is a plurality of sensors are formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 200, each sensor is an electrical signal transmitted through the electrode pattern 200 Received by the position of the electrode pattern 200 to detect whether the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 is open or short and at the same time can also detect the open and short positions.

상기 제 2 프로브(120)는 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 형성된 패드부(210)와 직접적으로 접촉되어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 2 프로브(120)는 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)의 끝단부에 형성된 상기 패드부(210)에 직접적으로 접촉되어 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 2 프로브(120)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 2 프로브(120)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 2 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 2 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.The second probe 120 is in direct contact with the pad portion 210 formed in the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200 formed in the active area 220. It is installed in the movable block 110 to be. The second probe 120 is in direct contact with the pad portion 210 formed at the end of the electrode pattern 200 of the glass panel 20 to be electrically connected to the electrode pattern 200 formed in the active area 220. Apply a signal. Here, the second probe 120 is preferably installed directly on the moving block 110 as described above to be moved in conjunction with the moving block 110, otherwise, the second probe ( 120 may be installed in a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes along the side of the moving block 110. For example, the second probe 120 may be attached to the test pin block or the moving block 110 by a wire bonding method. In addition, the second probe 120 may be fixed to the test pin block or the moving block 110 by a plurality of fixing members.

상기 제 2 센서부(130)는 상기 제 2 프로브(120)로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 2 센서부(130)는 상기 전극패턴(200) 따라 이동 가능하도록 이동수단(131)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 상기 제 2 센서부(130)를 상기 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)은 상기 제 1 센서부(150)를 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(151)과 마찬가지로 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 2 센서부(130)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴(200 : 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다. 그리하여, 상기 제 2 센서부(130)는 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함은 물론 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.The second sensor unit 130 receives the electrical signal applied from the second probe 120 and transmitted through the electrode pattern 200 formed in the active area 220 in a non-contact manner, thereby receiving the active area 220. It is possible to detect whether the electrode pattern 200 formed therein is open or short. The second sensor unit 130 may be installed in the moving block 110 by the moving means 131 to be movable along the electrode pattern 200. Moving means 131 for moving the second sensor unit 130 along the electrode pattern 200 is a moving means for moving the first sensor unit 150 along the electrode pattern 200 ( As in 151, it is generally applied to a general mechanical device, and a detailed description thereof will be omitted for convenience of description. Meanwhile, the second sensor unit 130 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of the electrode pattern 200 (the electrode pattern formed in the active area 220). Thus, the second sensor unit 130 receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern 200 formed in the active area 220 for each sensor by the position of the electrode pattern 200 to receive the active area ( In addition to detecting whether the electrode pattern 200 formed in the 220 is open or short, it is also possible to detect the open and short positions of the electrode pattern 200.

상기 제 2 센서부(130)는 다수개의 센서가 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 한 번의 검출 작업만으로 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)이 쇼트 되었을 경우에는 상기 전극패턴(200)의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(200)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 제 2 프로브(120)가 접촉된 전극패턴(200)에서부터 상기 전극패턴(200)의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴(200)의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.The second sensor unit 130 is electrically transmitted through the electrode pattern 200 by forming a plurality of sensors by an array sensor disposed along a length direction of the electrode pattern 200 formed in the active area 220. Each sensor may receive a signal for each position of the electrode pattern 200. Therefore, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can quickly detect the opening and shorting of the electrode pattern 200 and open and short positions of the electrode pattern formed in the active area 220 with only one detection operation. Can be detected accurately. For example, when the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is shorted, an electrical signal is no longer applied along the electrode pattern 200 from the shorted position of the electrode pattern 200. Therefore, the sensor provided from the electrode pattern 200 to which the second probe 120 is contacted to the position before the electrode pattern 200 is shorted may detect an electrical signal, but from the sensor provided at the shorted position. No electrical signal is detected. Accordingly, the position of the electrode pattern 200 in which the sensor, for which the electrical signal is not detected, is located is detected as a shorted portion so that the open and shorted positions of the electrode pattern 200 can be detected quickly and accurately.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 2 프로브(120)의 일측에 위치하도록 카메라가 더 설치되어 상기 제 2 프로브(120)가 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)에 제대로 접촉되었는지를 확인할 수도 있다.
In addition, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, although not shown in the figure, the camera is further installed to be located on one side of the second probe 120, the second probe 120 is a glass panel 20 It may be checked whether the electrode pattern 200 formed on the upper side is properly contacted.

도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to Figures 2 and 3 will be described with respect to the process and the effect of performing the open and short test of the electrode pattern using the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 이동블록(110)을 이동시켜 상기 이동블록(110)에 설치된 제 2 프로브(120)가 패드부(210)에 직접적으로 접촉되도록 하여 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 함과 동시에 상기 제 1 프로브(140)는 비접촉 방식으로 팬 아웃 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)에 직접 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 즉, 상기 제 2 프로브(120)는 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(200)에 형성된 패드부(210)에 접촉식으로 인가하며, 상기 제 1 프로브(140)는 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)에 직접적으로 인가한다.2 and 3, in order to perform the open and short inspection of the electrode pattern 200 formed on the glass panel 20 using the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, first, a moving block ( The second probe 120 installed in the moving block 110 may be in direct contact with the pad unit 210 by moving the 110 to apply an electrical signal to the electrode pattern 200 formed in the active area 220. At the same time, the first probe 140 can apply an electrical signal directly to the electrode pattern 200 formed in the fan out area 220 in a non-contact manner. That is, the second probe 120 applies an electrical signal for open and short inspection of the electrode pattern 200 formed in the active area 220 to the pad part 210 formed in the electrode pattern 200 in a contact manner. The first probe 140 directly transmits an electrical signal for the open and short inspection of the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 to the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230. Is authorized.

상기와 같이 제 2 프로브(120)에 의해 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 2 센서부(130)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제 2 센서부(120)는 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 2 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.As described above, the electrical signal applied to the electrode pattern 200 by the second probe 120 is received by the second sensor unit 130 in a non-contact manner, thereby forming the electrode pattern 200 formed in the active area 220. It is possible to detect whether the door is open or short. In this case, the second sensor unit 120 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 200 and is applied by the second probe 120 to be transmitted through the electrode pattern 200. Each sensor receives the electrical signals for each position of the electrode pattern 200, and simultaneously detects whether the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is open or short, and at the same time, the electrode pattern formed in the active area 220. Even open and short positions of 200 can be detected. Therefore, even if the opening or shorting of the electrode pattern 200 formed in the active area 220 is detected, there is no need to perform a separate inspection operation for detecting the opening and shorting positions of the electrode pattern 200. The electrical inspection time of the electrode pattern 200 can be shortened.

이와 동시에, 상기 제 1 프로브(140)에 의해 비접촉 식으로 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 1 센서부(150)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제 1 센서부(150)는 상기 제 2 센서부(120)와 마찬가지로 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 1 프로브(140)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없어 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.At the same time, the electrical signal applied to the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 in a non-contact manner by the first probe 140 is received in a non-contact manner by the first sensor unit 150 to fan out. It is possible to detect whether the electrode pattern 200 formed in the area 230 is open or short. Here, the first sensor unit 150 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 200 like the second sensor unit 120 and applied by the first probe 140. And the sensor receives the electrical signal transmitted through the electrode pattern 200 for each position of the electrode pattern 200 to detect whether the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 is open and short and At the same time, the open and short positions of the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 may be detected. Therefore, even if it is detected whether the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 is open or short, it is necessary to perform a separate inspection operation for detecting the open and short positions of the electrode pattern 200. As a result, the electrical inspection time of the electrode pattern 200 can be shortened.

본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 상술한 바와 같은 상태로 이동블록(110)이 상기 액티브 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)과 수직한 방향, 즉 스캔방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 복수개의 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있도록 한다.In the electrode pattern inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, the moving block 110 moves in a direction perpendicular to the electrode pattern 200 formed in the active area 230, that is, in a scan direction, in the above-described state. It is possible to simultaneously detect whether the plurality of electrode patterns 200 formed in the area 220 and the fan out area 230 are open and short.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다.As described above, the electrode pattern inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention can quickly detect open and short positions of the electrode pattern 200 formed in the fan-out area 230 in one scanning operation, as well as open and short positions. Can be detected accurately.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 액티브 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다.In addition, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention detects whether the electrode pattern 200 formed in the active area 230 is open or short in a single scan operation, and also detects the open and short positions quickly and accurately. can do.

따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 전극패턴(200)에 오픈 및 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없다.Therefore, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention performs a separate inspection operation for detecting the open and short positions of the electrode pattern 200 even if the electrode pattern 200 is open or short. There is no need to do it.

그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 상기 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있어 글래스 패널(20)의 생산효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can shorten the electrical inspection time of the electrode pattern 200 can improve the production efficiency of the glass panel 20.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사는 물론, 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있다. In addition, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, as well as the electrical inspection for detecting the position and the position of the electrode pattern 200 formed in the fan out area 230 in a single scan operation, as well as active An electrical test for detecting whether the electrode pattern 200 formed in the area 220 is open or short and its position may be simultaneously performed.

따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 상기 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 더욱 단축시켜 글래스 패널(20)의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
Therefore, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may further shorten the electrical inspection time of the electrode pattern 200 to further improve the production efficiency of the glass panel 20.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

(100) : 전극패턴 검사장치 (110) : 이동블록
(120) : 제 2 프로브 (130) : 제 2 센서부
(140) : 제 1 프로브 (150) : 제 1 센서부100: electrode pattern inspection device (110): moving block
120: second probe 130: second sensor unit
140: first probe 150: first sensor unit

Claims (6)

글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
상기 글래스 패널의 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브; 및
상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있으며, 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 제 1 센서부를 포함하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.In the inspection apparatus for performing an electrical inspection of the electrode pattern formed on the glass panel,
A first probe applying a non-contact electrical signal to an electrode pattern formed in a fan out area of the glass panel; And
An electrical signal applied from the first probe and transmitted through an electrode pattern formed in the fan out area may be received in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short, and perpendicular to the scan direction. Non-contact electrode pattern inspection device comprising a first sensor unit installed to be movable in one direction. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The first sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of an electrode pattern, and each sensor receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern in the fan out area. A non-contact electrode pattern inspection device, characterized in that the detection of the open and short of the formed electrode pattern and at the same time can also detect the open and short position. 제 1 항에 있어서,
상기 글래스 패널의 전극패턴에 형성된 패드부와 접촉되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브; 및
상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 더 포함하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
A second probe contacting the pad portion formed on the electrode pattern of the glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern formed in the active area; And
A second sensor unit for receiving an electrical signal applied from the second probe and transmitted through an electrode pattern formed in the active area in a non-contact manner and detecting whether the electrode pattern formed in the active area is open, shorted and positioned; Non-contact electrode pattern inspection device comprising. 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 센서부는,
다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.5. The method of claim 4,
The second sensor unit,
A plurality of sensors are formed by an array sensor arranged along the length direction of the electrode pattern, and each sensor receives the electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern to open and open the electrode pattern formed in the active area. Non-contact electrode pattern inspection device characterized in that the detection of the short and at the same time can also detect the open and short position. 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 센서부는,
상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.5. The method of claim 4,
The second sensor unit,
Non-contact electrode pattern inspection device, characterized in that installed to be movable along the electrode pattern.
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