KR101259350B1 - Electrode pattern inspection apparatus having t-type sensor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT) 여부 및 그 위치를 검사할 수 있는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor, and more particularly, to the electrical inspection of the electrode pattern formed on the glass panel for flat-panel TVs, that is, whether it is OPEN and SHORT, and the position thereof. It relates to an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor capable of inspecting.
일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 전극 패턴이 형성되어 있다. 예를 들면, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛로 형성되며 길이는 1m에 달하게 된다.In general, an electrode pattern is formed on a surface of a flat panel glass panel such as a PDP or LED. For example, in the case of a 42-inch PDP, the line width and pitch of one electrode pattern are 50 μm and 300 μm, respectively, and the length reaches 1 m.
따라서, 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 그러므로, 상기 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.Therefore, in the process of forming the electrode pattern as well as in the subsequent manufacturing process such as repeated heat treatment, the line is frequently disconnected or shorted with the adjacent line. Therefore, inspecting whether the electrode pattern is shorted in the middle of the manufacturing process is an essential process for increasing the yield of the finished product.
도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 전극패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 1 will be described the structure of a typical electrode pattern formed on a glass panel.
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an electrode pattern formed on a general glass panel.
도 1을 참조하면, 일반적인 전극패턴(200)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(210)와, 상기 패드부(210)와 연결되는 액티브 에어리어(220 : Active area)와, 상기 액티브 에어리어(220)와 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(230 : Fan out area)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 복수개의 전극패턴(200)은 서로 수평하게 형성되나 상기 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(20)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 전극패턴(200)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 전극패턴(200)이 서로 수평하게 연장된다.Referring to FIG. 1, a general electrode pattern 200 may include a plurality of
상기와 같이 일반적인 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)은 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)로 구분되도록 형성됨으로써 일반적인 전극 패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴(200)의 전기적 검사를 수행하기 위해서는 상기 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)의 전기적 검사를 각각 별도로 수행해야만 함으로써 전극패턴 검사시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.As described above, the electrode pattern 200 of the
이에 더하여, 일반적인 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.In addition, the general electrode pattern inspection apparatus can detect whether the electrode pattern is open or shorted, but there is a problem in that it is not able to detect the position of the open or shorted electrode pattern.
따라서, 본 발명의 목적은 한 번의 스캔작업으로 액티브 에어리어와 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부는 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 동시에 검출할 수 있는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor that can simultaneously detect whether the electrode pattern formed in the active area and the fan out area is open and short, as well as the open and short positions, in one scan operation. It is.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브와, 상기 전극패턴과 수직한 방향으로 이동하면서 상기 프로브로부터 인가되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부 및, 상기 전극패턴과 수직한 방향으로 상기 제 1 센서부와 연동되어 이동하면서 상기 프로브로부터 인가되어 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함한다.An electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an exemplary embodiment of the present invention, a probe for applying an electrical signal to the electrode pattern formed on the glass panel, and applied from the probe while moving in a direction perpendicular to the electrode pattern And a first sensor unit capable of receiving an electrical signal transmitted through an electrode pattern formed in the active area in a non-contact manner and detecting whether the electrode pattern formed in the active area is open or short, and in a direction perpendicular to the electrode pattern. A non-contact method may be used to detect whether an electrode pattern formed in the fan-out area is open or short by receiving an electrical signal applied from the probe and transmitted through an electrode pattern formed in the fan-out area while moving in association with the first sensor unit. It includes a second sensor unit that can be.
일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 상기 전극패턴과 수평한 방향으로 이동 가능하게 설치된다.For example, the first sensor unit is installed to be movable in a direction parallel to the electrode pattern.
한편, 상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.On the other hand, the first sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are arranged along the length direction of the electrode pattern, each sensor receives the electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern active area The open and short positions of the electrode patterns formed therein can also be detected.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 상기 전극패턴과 수평한 방향으로 이동 가능하게 설치된다.For example, the second sensor unit is installed to be movable in a direction parallel to the electrode pattern.
한편, 상기 제 2 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.Meanwhile, the second sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are arranged along the length direction of the electrode pattern, and each sensor receives fan by the position of the electrode pattern and receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern. Even open and short positions of the electrode pattern formed in the area can be detected.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는, 제 1 센서부와 제 2 센서부가 서로 연동되어 이동하면서 프로브로부터 인가되어 액티브 에어리어와 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴들을 통해 전달되는 전기적 신호를 동시에 비접촉 방식으로 받아들임으로써 한 번의 스캔작업 만으로 상기 액티브 에어리어와 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴들의 오픈 및 쇼트 여부를 동시에 검출할 수 있는 장점이 있다.As described above, an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention includes an electrode formed in an active area and a fan out area by being applied from a probe while the first sensor part and the second sensor part move in conjunction with each other. By simultaneously receiving the electrical signals transmitted through the patterns in a non-contact manner, there is an advantage in that it is possible to simultaneously detect whether the electrode patterns formed in the active area and the fan out area are opened or shorted by a single scan operation.
이에 더하여, 상기 제 1 센서와 제 2 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 전극패턴의 위치별로 각각의 센서가 전기적 신호를 전달받아 한 번의 스캔 작업으로 액티브 에어리어와 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 장점이 있다.In addition, the first sensor and the second sensor are formed by an array sensor arranged along the length direction of the electrode pattern so that each sensor receives an electrical signal for each position of the electrode pattern so that the active area and the fan are executed in one scan operation. There is an advantage of detecting the open and short positions of the electrode pattern formed in the out area.
따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는 글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있으므로 글래스 패널의 생산효율을 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, the electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention can significantly shorten the electrical inspection time of the electrode pattern formed on the glass panel, thereby greatly improving the production efficiency of the glass panel. .
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 개략도1 is a view showing an electrode pattern formed on a typical glass panel
Figure 2 is a schematic diagram for explaining the electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention
Figure 3 is a schematic diagram showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 개략도이다.2 is a schematic diagram for explaining an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is to perform the electrical inspection of the electrode pattern by the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention It is a schematic diagram which shows an example.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는 이동블록(110), 프로브(120), 제 1 센서부(130), 제 2 센서부(140)를 포함한다.2 and 3, an electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention includes a moving
상기 이동블록(110)은 글래스 패널(20)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단(도시되지 않음)에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.The moving
상기 프로브(120)는 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴들(200)에 전기적 신호를 인가한다. 예를 들면, 상기 프로브(120)로는 상기 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴들(200)의 패드부(210)와 접촉되어 상기 전극패턴들(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브(120)를 사용할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 프로브(120)로는 상기 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴들(200)에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가할 수 있는 비접촉 방식의 프로브(120)를 사용할 수도 있다. 여기서, 상기 프로브(120)는 상기 제 1 센서부(130)의 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(150)에 설치된다. 이와는 다르게, 상기 프로브(120)는 제 1 센서부(130)와 연동되어 이동될 수 있도록 상기 제 1 센서부(130)에 직접 설치될 수도 있다. 한편, 상기 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록(150)이나 제 1 센서부(130)에 와이어 본딩 방식으로 부착되어 고정되거나 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수 있다.The
상기 제 1 센서부(130)는 상기 이동블록(110)에 설치되어 상기 이동블록(110)이 상기 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동됨에 따라 상기 이동블록(110)과 함께 연동되어 상기 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 상기 프로브(120)로부터 인가되어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴들(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출한다. 여기서, 상기 제 1 센서부(130)는 3축 방향으로 이동 가능한 상기 이동블록(110)에 설치됨으로써 스캔 방향인 상기 전극패턴들(200)과 수직한 방향으로 이동될 수 있을 뿐만 아니라, 상기 전극패턴들(200)과 수평한 방향으로도 이동 가능하다. 한편, 상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서(131)가 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴들(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서(131)가 전극패턴들(200)의 위치별로 전달받을 수 있도록 한다. 따라서, 상기 제 1 센서부(130)에 의해 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부가 검출되면 상기 제 1 센서부(130)에 의해 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출된다.The
상기 제 2 센서부(140)는 상기 제 1 센서부(130)와 연동되어 이동될 수 있도록 상기 제 1 센서부(130)에 설치된다. 예를 들면, 상기 제 2 센서부(140)는 상기 제 1 센서부(130)와 'T'자 형상을 이루도록 상기 제 1 센서부(130)에 설치될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 상기 제 2 센서부(140)는 상기 제 1 센서부(130)에 설치되어 상기 제 1 센서부(130)와 연동되어 상기 전극패턴들(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 상기 프로브(120)로부터 인가되어 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출한다. 한편, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 2 센서부(140)는 상기 제 1 센서부(130)와는 별개로 독립적으로 상기 전극패턴들(200)과 수평한 방향으로 이동될 수 있도록 이동수단(도시되지 않음)에 의해 상기 제 1 센서부(130)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 센서부(140) 또한 상기 제 1 센서부(130)와 마찬가지로 다수개의 센서(141)가 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서(141)가 전극패턴들(200)의 위치별로 전달받을 수 있도록 한다. 따라서, 상기 제 2 센서부(140)에 의해 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부가 검출되면 상기 제 2 센서부(140)에 의해 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출된다.The
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는, 상기 프로브(120)의 일측에 상기 프로브(120)와 제 1 센서부(130)의 정렬유무와 전극패턴들(200)과 프로브(120)의 정렬유무를 확인하기 위한 카메라(160)가 더 설치될 수도 있다.
In addition, the electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention, the
다시, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.2 and 3 will be described with reference to the process and the effect of the open and short inspection of the electrode pattern using the electrode pattern inspection device having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention as follows. .
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 테스트 핀 블록(150)을 이동시켜 상기 테스트 핀 블록(150)에 설치된 프로브(120)가 패드부(210)에 접촉되도록 하여 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 한편, 상기 프로브(120)가 제 1 센서부(130)에 설치될 경우에는 상기 이동블록(110)을 이동시켜 상기 프로브(120)가 전극패턴(200)의 패드부(210)에 접촉되도록 하여 전극패턴에 전기적 신호를 인가한다.2 and 3, using the electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention to perform the open and short inspection of the electrode patterns 200 formed on the
상기 프로브(120)가 전극패턴(200)의 패드부에 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가하게 되면, 상기 제 1 센서부(130)는 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)에 인가되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들이게 됨으로써 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출한다. 여기서, 상기 제 1 센서부(130)는 복수개의 센서들(131)이 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써, 상기 제 1 센서부(130)에 의해 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되면, 상기 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서(131)가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받음으로써, 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 상기 제 1 센서부(130)에 의해 검출된다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)이 오픈 되었을 경우에는 상기 전극패턴(200)의 오픈된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(200)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 프로브(120)가 접촉된 패드부(210))에서부터 상기 전극패턴(200)이 오픈되기 전의 위치까지 구비된 센서(131)에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나, 오픈된 위치에 구비된 센서(131)에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서(131)가 위치한 전극패턴(200)의 위치가 오픈된 부분으로 검출되어 전극패턴(200)의 오픈된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.When the
상술한 바와 같은 상태로 상기 제 1 센서부(130)는 프로브(120)와 함께 스캔방향, 즉 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 각각의 전극패턴들(200)의 전기적 검사를 수행한다.In the above-described state, the
상기와 같이 상기 제 1 센서부(130)가 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부와 위치를 검사함과 동시에, 상기 제 2 센서부(140)는 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)에 인가되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출한다. 여기서, 상기 제 2 센서부(140) 또한 상기 제 1 센서부(130)와 마찬가지로 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써, 상기 제 2 센서부(140)에 의해 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되면, 상기 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서(141)가 전극패턴(140)의 위치별로 전달받음으로써, 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 상기 제 2 센서부(140)에 의해 검출된다.As described above, the
예를 들면, 상기 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)이 오픈 되었을 경우에는 상기 전극패턴(200)이 오픈된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(200)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 프로브(120)가 접촉된 전극패턴(200)에서부터 상기 전극패턴(200)이 오픈되기 전의 위치까지 구비된 센서(141)에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 오픈된 위치에 구비된 센서(141)에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서(141)가 위치한 전극패턴(200)의 위치가 오픈된 부분으로 검출되어 전극패턴(200)의 오픈된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.For example, when the electrode pattern 200 formed in the fan out
상기와 같은 제 2 센서부(140)는 상기 제 1 센서부(130)와 연동되어 스캔방향, 즉 상기 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 각각의 전극패턴들(200)의 전기적 검사를 수행한다.The
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는 제 1 센서부(130)와 제 2 센서부(140)가 서로 연동되어 이동하면서 프로브(120)로부터 인가되어 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 동시에 비접촉 방식으로 받아들임으로써 한 번의 스캔작업 만으로 상기 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴들(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 동시에 검출할 수 있다.As described above, the electrode pattern inspection apparatus having the T-type sensor according to an embodiment of the present invention is applied from the
이에 더하여, 상기 제 1 센서부(130)와 제 2 센서부(140)가 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 전극패턴(200)의 위치별로 각각의 센서(131)(141)가 전기적 신호를 전달받아 한 번의 스캔 작업으로 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.In addition, the
그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치는 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있어 글래스 패널(20)의 생산효율을 대폭 향상시킬 수 있다.
Therefore, the electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor according to an embodiment of the present invention can significantly shorten the electrical inspection time of the electrode pattern 200 formed on the
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary skill in the art will be described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.
(110) : 이동블록 (120) : 프로브
(130) : 제 1 센서부 (140) : 제 2 센서부
(150) : 테스트 핀 블록 (160) : 카메라(110): moving block (120): probe
130: first sensor unit 140: second sensor unit
150: Test Pin Block 160: Camera
Claims (5)
상기 글래스 패널에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브;
상기 전극패턴과 수직한 방향으로 이동하면서 상기 프로브로부터 인가되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부; 및
상기 전극패턴과 수직한 방향으로 상기 제 1 센서부와 연동되어 이동하면서 상기 프로브로부터 인가되어 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함하는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치.In the inspection apparatus for performing an electrical inspection of the electrode pattern formed on the glass panel,
A probe for applying an electrical signal to an electrode pattern formed on the glass panel;
It is possible to detect whether the electrode pattern formed in the active area is open or short by receiving an electrical signal applied from the probe and transmitted through the electrode pattern formed in the active area while moving in a direction perpendicular to the electrode pattern. A first sensor unit; And
An electrode pattern formed in the fan out area by receiving a non-contact electrical signal applied from the probe and transmitted through an electrode pattern formed in the fan out area while moving in association with the first sensor unit in a direction perpendicular to the electrode pattern; Electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor comprising a second sensor unit capable of detecting whether the opening and the short.
상기 제 1 센서부는,
상기 전극패턴과 수평한 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The first sensor unit,
Electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor, characterized in that installed to be movable in a horizontal direction with the electrode pattern.
상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The first sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of an electrode pattern, and each sensor receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern and is formed in an active area. Electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor characterized in that it can also detect the open and short position of the electrode pattern.
상기 제 2 센서부는,
상기 전극패턴과 수평한 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치.The method of claim 1,
The second sensor unit,
Electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor, characterized in that installed to be movable in a horizontal direction with the electrode pattern.
상기 제 2 센서부는,
다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치.The method of claim 4, wherein
The second sensor unit,
A plurality of sensors are formed by an array sensor arranged along the length direction of the electrode pattern, and each sensor receives the electrical signals transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern to open the electrode pattern formed in the fan out area. And a T-type sensor which can detect even a short position.
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