KR101316537B1 - Non-contact array type electrode pattern inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있는 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치가 개시된다. 상기 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치는 글래스 패널의 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 프로브 및, 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 포함하여 비접촉 방식으로 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있는 것을 특징으로 한다.Disclosed is a non-contact array type electrode pattern inspection apparatus capable of stably performing electrical inspection of an electrode pattern formed on a high resolution glass panel. The non-contact array type electrode pattern inspection apparatus is a probe for applying an electrical signal to the electrode pattern of the glass panel in a non-contact manner, and the electrical pattern applied from the probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner to open the electrode pattern. And a sensor unit capable of detecting whether or not a short is detected. The electrode pattern may be electrically inspected in a non-contact manner.

Description

비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치{NON-CONTACT ARRAY TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}Non-contact array type electrode pattern inspection device {NON-CONTACT ARRAY TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a non-contact array type electrode pattern, and more particularly, an electrical test of an electrode pattern formed on a glass panel for flat-panel TVs, that is, inspection of whether an open and a short can be inspected. It relates to a non-contact array type electrode pattern inspection device.

일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.In general, an electrode pattern formed of a data line and a gate line is formed on a surface of a flat panel TV glass panel such as a PDP and an LED.

통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.In general, in the case of 42-inch PDP, the line width and pitch of one electrode pattern are 50 μm and 300 μm, respectively, whereas the line length reaches 1 m. Frequently, lines are broken or short with an adjacent line. Therefore, inspecting whether the formed electrode pattern is short-circuited in the middle of the manufacturing process is an essential process for increasing the yield of the finished product.

상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.In order to inspect the electrical characteristics of the electrode pattern as described above, a test pin block is generally used, and the test using the test pin block is performed by connecting a plurality of probes provided in the test pin block to both ends of the electrode pattern and the target electrode pattern and the adjacent pattern. The contact method of conducting the conduction test of the electrode pattern to check the opening and short-circuit of the electrode pattern, and the non-contact method of receiving power applied without contacting the probe on one side and applying power to the electrode pattern. Used.

그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 쇼트된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.However, the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem in that it is possible to detect whether the electrode pattern is open and short, but not to the position of the open or shorted electrode pattern.

한편, 상기와 같이 평면 TV용 글래스 패널의 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사할 시 사용되는 프로브는 일반적으로 화이퍼(Fiber) 형태의 와이어로서, 예를 들면, 텅스텐, 금, 스테인리스, 어머퍼스(Amorphous) 합금, 니켈-티탄 합금 등의 합금으로 제작된다.On the other hand, the probe used when inspecting the electrical characteristics of the electrode pattern of the flat panel glass panel as described above is generally a wire of the fiber (Fiber) type, for example, tungsten, gold, stainless steel, amorphous ( Amorphous alloys are made of alloys such as nickel-titanium alloys.

그러나 상기와 같은 종래의 화이버 형태의 와이어로 형성되는 프로브는 전극과의 마찰에 의한 마모도가 높아 의해 통상 20km를 전후하여 수명이 다할 뿐만 아니라, 마모에 의하여 접촉면의 형상이 변화하여 접촉부의 불규칙함과 더불어 전극패턴에 스크래치가 발생하기 쉬울 뿐만 아니라, 사용하는 금속 재질에 따라서는 표면에 녹이 발생하여 전극패턴과의 접촉 불량을 일으킬 수 있다는 문제점이 있었다.However, the probe formed of the conventional fiber-type wire as described above has a high wear resistance due to friction with the electrode, and thus has a life span of about 20 km. In addition, scratches are not easily generated on the electrode patterns, and depending on the metal material used, rust may occur on the surface thereof, thereby causing poor contact with the electrode patterns.

한편, 최근에는 전극패턴의 피치가 30㎛ 내지 50㎛ 이내로 형성되는 OLED와 같은 패널의 사용이 증가하고 있는 실정으로서, 검사대상의 전극패턴 피치가 통상 50㎛이하가 되려면 사용되는 프로브는 직경이 20㎛ 정도가 되어야 하지만, 20㎛의 직경을 가지도록 제작된 화이버 형태 와이어로 형성되는 프로브는 탄성유지가 곤란하여 형태 변형이 쉽고 마모가 매우 심해 수명이 매우 짧아 실용화시킬 수 없다는 문제점이 있었다.On the other hand, in recent years, the use of panels such as OLEDs having an electrode pattern pitch of 30 μm to 50 μm is increasing, and the probe used has a diameter of 20 when the electrode pattern pitch to be inspected is usually 50 μm or less. Although it should be about μm, a probe formed of a fiber-shaped wire manufactured to have a diameter of 20 μm has a problem in that it is difficult to maintain elasticity, so shape deformation is easy, wear is very severe, and the service life is very short, so it cannot be put to practical use.

따라서, 본 발명의 목적은 고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 보다 비접촉 방식으로 신속하고 정확하게 안정적으로 수행할 수 있는 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a non-contact array type electrode pattern inspection apparatus capable of performing the electrical inspection of the electrode pattern formed on the high resolution glass panel more quickly and accurately and stably in a non-contact manner.

본 발명의 다른 목적은 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있으며, 사용 수명을 대폭 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 전기적 검사에 의한 전극패턴의 불량 발생현상을 방지할 수 있는 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention can be used irrespective of the scanning direction, and can provide a non-contact array type electrode pattern inspection apparatus that can not only significantly extend the service life, but also prevent the occurrence of defects of the electrode pattern by electrical inspection. It is.

본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 프로브 및, 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 포함하여 비접촉 방식으로 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있는 것을 특징으로 한다.Non-contact array type electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, a probe for applying an electrical signal to the electrode pattern of the glass panel in a non-contact manner, and an electrical signal applied from the probe and transmitted through the electrode pattern It is characterized in that the electrical inspection of the electrode pattern can be performed in a non-contact manner, including a sensor unit that can be accepted in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is open or short.

일예를 들면, 상기 센서부는 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 여부를 검출할 수 있는 오픈 검출용 센서부 및, 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 쇼트 여부를 검출할 수 있는 적어도 하나의 쇼트 검출용 센서부를 포함한다.For example, the sensor unit may receive an electrical signal applied from the probe and transmitted through an electrode pattern in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is open, and an open detection sensor unit and an electrode applied from the probe. At least one short detection sensor unit for detecting whether the electrode pattern is short by receiving an electrical signal transmitted through the pattern in a non-contact manner.

여기서, 상기 오픈 검출용 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 전극패턴의 오픈 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 위치까지도 검출할 수 있도록 한다.Here, the open detection sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of the electrode pattern, and each sensor receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern. At the same time as detecting whether the electrode pattern is open or open, the electrode pattern can be detected.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치는, 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 비 접촉 방식의 프로브를 사용하여 전극패턴의 피치 간격과 상관없이 상기 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있도록 한다.As described above, the non-contact array type electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention uses a non-contact probe that applies an electrical signal to the electrode pattern in a non-contact manner, regardless of the pitch interval of the electrode pattern. Allows you to perform an electrical inspection of the pattern.

그리고, 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치는 비접촉 방식으로 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브를 사용함으로써 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있어 장비의 구조를 간소화시켜 제조가 용이함은 물론 제작비용을 대폭 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, the non-contact array type electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can be used regardless of the scan direction by using a probe that applies an electrical signal to the electrode pattern in a non-contact manner, thereby simplifying the structure of the equipment and making it easy to manufacture. Of course, there is an effect that can significantly reduce the production cost.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치는, 프로브의 마모 현상이 발생되지 않아 유지비용의 절감과 더불어 글래스 패널의 생산 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the non-contact array type electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the wear phenomenon of the probe does not occur, it is possible to reduce the maintenance cost and improve the production efficiency of the glass panel.

또한, 본 발명은 전극패턴의 전기적 검사 시 프로브 뿐만 아니라 센서부도 전극패턴과 접촉되지 않고 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가 받아 상기 전극패턴에 스크래치가 발생되지 않음으로써 전극패턴의 전기적 검사에 의한 글래스 패널의 불량 발생률을 대폭 저감시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is a glass panel according to the electrical inspection of the electrode pattern by the electrical pattern of the electrode pattern is not generated by the electrical pattern of the electrode pattern is not contacted with the probe during the electrical inspection of the electrode pattern is not in contact with the electrode pattern and the electrode pattern is not generated. There is an effect that can significantly reduce the failure rate.

이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 전극패턴의 오픈 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention shortens the electrode pattern inspection time by detecting whether the electrode pattern is opened and shorted in a single scan operation, as well as quickly and accurately detecting the open position of the electrode pattern. Therefore, there is an effect that can further improve the production efficiency of the glass panel.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 평면 개략도1 is a schematic view for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
2 is a schematic plan view for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 평면 개략도이다.1 is a schematic diagram for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic top view for explaining an electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치는, 프로브(10)와 센서부(20)를 포함할 수 있다.1 and 2, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may include a probe 10 and a sensor unit 20.

상기와 같이 구성되는 전극패턴 검사장치의 프로브(10)는 글래스 패널(50)의 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 프로브(10)는 상기 센서부(20)와 연동되어 이동될 수 있도록 상기 센서부(20)에 직접적으로 설치될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 프로브(10)는 상기 센서부(20)의 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(60)에 설치될 수 있다.The probe 10 of the electrode pattern inspection apparatus configured as described above applies an electrical signal to the electrode pattern of the glass panel 50 in a non-contact manner. Here, the probe 10 may be directly installed in the sensor unit 20 to be moved in conjunction with the sensor unit 20. Alternatively, the probe 10 may be installed in the test pin block 60 installed to be movable in three axes next to one side of the sensor unit 20.

상기 센서부(20)는 상기 프로브(10)로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있다. 상기 센서부(20) 또한 상기 프로브(10)와 마찬가지로 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 이동블록(210)에 설치될 수 있다.The sensor unit 20 may detect whether the electrode pattern is open or short by receiving an electrical signal applied from the probe 10 and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner. The sensor unit 20 may also be installed in the moving block 210 installed to be movable in the three axis direction like the probe 10.

상기 테스트 핀 블록(60)과 이동블록(210)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 사용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.The three-axis movement means capable of moving the test pin block 60 and the movement block 210 in three axis directions is generally used in an electrode pattern inspection device, and for the convenience of description, the configuration thereof is illustrated in the drawings and the detailed description. The schematics and explanations are omitted.

상기 센서부(20)에 대하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 센서부(20)는 오픈 검출용 센서부(220)와 쇼트 검출용 센서부(230)를 포함한다. 상기 오픈 검출용 센서부(220)는 이동블록(210)에 설치되어 상기 프로브(10)로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 여부를 검출할 수 있다. 상기 쇼트 검출용 센서부(230) 상기 프로브(10)로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉식 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 상기 이동블록(210)에 설치된다. 여기서, 상기 쇼트 검출용 센서부(230)는 도면에는 도시되지 않았지만 상기 이동블록(210)을 따라 이동 가능하도록 이동수단에 의해 상기 이동블록(210)에 설치될 수 있다.Referring to the sensor unit 20 in more detail, the sensor unit 20 includes an open detection sensor unit 220 and a short detection sensor unit 230. The open detection sensor unit 220 may be installed in the moving block 210 to receive an electrical signal transmitted from the probe 10 through the electrode pattern in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is open. have. The short detection sensor unit 230 is installed in the moving block 210 to receive an electrical signal applied from the probe 10 and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is short. do. Here, the short detection sensor unit 230 may be installed in the moving block 210 by moving means to move along the moving block 210 although not shown in the drawing.

한편, 상기 오픈 검출용 센서부(220)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 상기와 같이 오픈 검출용 센서부(220)가 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로 한 번의 검출 작업으로 전극패턴의 오픈 여부의 검출과 더불어 전극패턴의 오픈 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다. 예를 들면 전극패턴이 오픈 되었을 경우에는 전극패턴의 오픈된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴을 따라 인가되지 않는다. 그러므로 프로브(10)가 위치한 전극패턴의 끝단부에서부터 전극패턴이 오픈되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 오픈된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴의 위치가 오픈된 부분으로 검출되어 전극패턴의 오픈된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있는 것이다.On the other hand, the open detection sensor unit 220 is preferably formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the longitudinal direction of the electrode pattern. As described above, since the open detection sensor unit 220 is formed by the array sensor, each sensor may receive an electric signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern. Therefore, it is possible to quickly and accurately detect the open position of the electrode pattern as well as the detection of whether the electrode pattern is open in one detection operation. For example, when the electrode pattern is opened, the electrical signal is no longer applied along the electrode pattern from the open position of the electrode pattern. Therefore, the sensor provided from the end of the electrode pattern where the probe 10 is located to the position before the electrode pattern is opened may detect an electrical signal, but the electrical signal is not detected from the sensor provided at the open position. Accordingly, the position of the electrode pattern in which the sensor, for which the electrical signal is not detected, is located is detected as an open portion for the first time, so that even the open position of the electrode pattern can be detected quickly and accurately.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는, 상기 프로브(10)의 일측에는 상기 프로브(10)와 센서부(20)의 정렬유무와 전극패턴과 프로브(10)의 정렬유무를 확인하기 위한 카메라(70)가 더 설치될 수도 있다.
In addition, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, one side of the probe 10, the alignment of the probe 10 and the sensor unit 20 and the alignment of the electrode pattern and the probe 10 Camera 70 for checking may be further installed.

다시, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널의 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIGS. 1 and 2, a process and an effect of performing an electrical inspection of the electrode pattern of the glass panel using the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 테스트 핀 블록(60)을 이동시켜 상기 테스트 핀 블록(60)에 설치된 프로브(10)가 상기 전극패턴의 상부에 위치하도록 하여 상기 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 이와 동시에 이동블록(210)을 이동시켜 센서부(20)를 상기 프로브(10)와 정렬시킨다.1 and 2, in order to perform the open and short inspection of the electrode pattern formed on the glass panel 50 using the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, first, the test pin block 60. By moving the probe 10 installed in the test pin block 60 is located above the electrode pattern so that the electrical signal can be applied to the electrode pattern in a non-contact manner. At the same time, the moving block 210 is moved to align the sensor unit 20 with the probe 10.

상기와 같이 프로브(10)에 의해 전극패턴에 인가된 전기적 신호는 오픈 검출용 센서부(220)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 전극패턴의 오픈 여부를 검출할 수 있도록 한다. As described above, the electrical signal applied to the electrode pattern by the probe 10 is received by the open detection sensor unit 220 in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is open.

여기서, 상기 오픈 검출용 센서부(220)는 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 프로브(10)에 의해 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 상기 전극패턴의 오픈 여부의 검출과 동시에 상기 전극패턴의 오픈 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 전극패턴의 오픈 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴의 오픈 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.Here, the open detection sensor unit 220 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern and is applied by the probe 10 to transmit an electrical signal transmitted through the electrode pattern to each sensor. When the electrode pattern is transmitted for each position of the electrode pattern, the open position of the electrode pattern may be detected at the same time as detecting whether the electrode pattern is open. Therefore, even if it is detected whether the electrode pattern is open, it is not necessary to perform a separate inspection operation for detecting the open position of the electrode pattern, it is possible to shorten the electrical inspection time of the electrode pattern.

이와 동시에, 상기 프로브(10)에 의해 전극패턴에 인가된 전기적 신호는 쇼트 검출용 센서부(230)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 전극패턴의 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다.At the same time, the electrical signal applied to the electrode pattern by the probe 10 is received by the short detection sensor unit 230 in a non-contact manner to detect whether the electrode pattern is short.

따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 상기와 같은 상태로 이동블록(210)이 상기 전극패턴과 수직한 방향으로 이동하면서 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있도록 한다.Accordingly, the electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention performs the detection of whether the electrode pattern is open and short while the moving block 210 moves in a direction perpendicular to the electrode pattern in the above state. Do it.

상기와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 비접촉 방식의 프로브(10)를 사용하여 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가함으로써 전극패턴의 피치와 상관없이 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는데 사용할 수 있다. 따라서, 상기 전극패턴 검사장치는 OLED등과 같은 고해상도 패널 등과 같은 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는데도 사용할 수 있다. As described above, the electrode pattern inspection apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention applies an electrical signal to the electrode pattern formed on the glass panel 50 using the non-contact probe 10, regardless of the pitch of the electrode pattern. It can be used to perform an electrical test of. Therefore, the electrode pattern inspection apparatus can also be used to perform electrical inspection of electrode patterns such as high-resolution panels such as OLED.

또한, 비접촉 방식의 프로브(10)를 사용하여 전극패턴에 전기적 신호를 인가함에 따라 프로브(10)를 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있다는 장점이 있다. In addition, as the electrical signal is applied to the electrode pattern using the non-contact probe 10, the probe 10 may be used regardless of the scan direction.

그리고, 프로브(10) 및 센서부(20)와 전극패턴의 접촉이 없으므로 상기 전극패턴에 스크래치가 발생되지 않는다는 장점이 있다.In addition, since there is no contact between the probe 10, the sensor unit 20, and the electrode pattern, scratches do not occur in the electrode pattern.

또한, 마찰로 인한 프로브(10)의 마모 현상이 발생되지 않아 상기 프로브(10)의 교체주기를 대폭 연장시켜 유지비용의 감소는 물론 프로브(10) 교체 작업에 소요되는 작업공수를 절감시켜 궁극적으로는 평면 TV용 글래스 패널(50)의 생산 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
In addition, wear of the probe 10 due to friction does not occur, thereby greatly extending the replacement cycle of the probe 10, thereby reducing maintenance costs and ultimately reducing the labor required for the replacement of the probe 10. This has the advantage of improving the production efficiency of the glass panel 50 for a flat panel TV.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

(10) : 프로브 (20) : 센서부
(210) : 이동블록 (220) : 오픈 검출용 센서부
(230) : 쇼트 검출용 센서부10: probe 20: sensor
(210): moving block (220): open detection sensor
230: sensor unit for short detection

Claims (3)

글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
상기 글래스 패널의 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 프로브; 및
상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 포함하여 비접촉 방식으로 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있으며,
상기 센서부는,
상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 여부를 검출할 수 있는 오픈 검출용 센서부; 및
상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 쇼트 여부를 검출할 수 있는 적어도 하나의 쇼트 검출용 센서부를 포함하고,
상기 오픈 검출용 센서부는,
다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 전극패턴의 오픈 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 위치까지도 검출할 수 있는 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치.In the inspection apparatus for performing an electrical inspection of the electrode pattern formed on the glass panel,
A probe for applying an electrical signal to the electrode pattern of the glass panel in a non-contact manner; And
Including a sensor that can detect whether the electrode pattern is open or short by receiving an electrical signal applied from the probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner, the electrical pattern of the electrode pattern can be performed in a non-contact manner.
The sensor unit includes:
An open detection sensor unit configured to detect whether the electrode pattern is open by receiving an electrical signal applied from the probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner; And
At least one short detection sensor unit for detecting whether the electrode pattern is short by receiving an electrical signal applied from the probe and transmitted through the electrode pattern in a non-contact manner,
The open detection sensor unit,
A plurality of sensors are formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern, each sensor receives the electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern to detect whether the electrode pattern is open. And a non-contact array type electrode pattern inspection device capable of detecting the open position of the electrode pattern at the same time. 삭제delete 삭제delete
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