KR20050064964A - Electrode line inspection device for flat-display panel and method for the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서 전극선이 하나 이상 배치되어 있는 평판 디스플레이 패널의 전극 검사 장치에 있어서, 상기 패널의 상측에 위치하여 자계를 발생시키는 자계 발생부와, 상기 자계 발생부를 구동시키는 구동부와, 상기 자계 발생부에 의해 상기 패널에 생성되는 유도 전류를 증폭하는 증폭 수단과, 상기 증폭된 유도 전류를 통해 전극의 쇼트 여부 를 판단하는 마이컴부를 포함하여 구성되어, 자기 유도 원리에 의하여 비접촉식으로 미세한 평판 디스플레이 패널상의 전극의 쇼트(Short) 여부를 파악하고, 자동으로 패널 전극의 쇼트 위치를 정확히 검출하여 부분적인 수리를 가능하게 하여 공정 원가를 줄이고 수율을 향상시킬 수 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display electrode inspecting apparatus and a method thereof, comprising: a magnetic field generating unit for generating a magnetic field located above the panel; And a driving unit for driving a generator, amplifying means for amplifying the induced current generated in the panel by the magnetic field generating unit, and a microcomputer unit for determining whether the electrode is shorted through the amplified induced current. According to the principle, it is possible to detect short-circuits of electrodes on a flat panel display panel in a non-contact manner and automatically detect the short position of the panel electrodes to enable partial repair, thereby reducing process cost and improving yield.
Description
본 발명은 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 비접촉식으로 미세한 평판 디스플레이 패널상의 전극의 쇼트(Short) 여부를 파악하고, 자동으로 패널 전극의 쇼트 위치를 정확히 검출하여 부분적인 수리를 가능하게 하여 공정 원가를 줄이고 수율을 향상 시킬 수 있는 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting a flat panel display and a method thereof, and particularly, to determine whether an electrode is short on a fine flat panel display panel without contact, and to automatically detect a short position of the panel electrode to perform partial repair. The present invention relates to a flat panel display panel inspection apparatus and method for reducing process cost and improving yield.
도 1a 와 도 1b 는 PDP 패널의 오픈/쇼트된 전극이 도시된 도면이다. 도 2 는 LCD 패널의 쇼트된 전극이 도시된 도면이다. 도 1a, 도1b 및 도 2 와 같이 평면 디스플레이 패널은 패널 전극간의 간격이 미세하기 때문에 패널 공정시 전극선이 끊어지거나(오픈) 두개 이상의 전극선이 서로 붙어있는 경우(쇼트)가 빈번하게 발생한다.1A and 1B illustrate an open / shorted electrode of a PDP panel. 2 is a diagram illustrating a shorted electrode of an LCD panel. As shown in FIGS. 1A, 1B, and 2, the flat display panel has a small gap between panel electrodes, and thus, the electrode lines are frequently broken (opened) or two or more electrode lines are stuck to each other (short) during the panel process.
따라서 종래의 평판 디스플레이 패널 검사 장치는 도 3 에 도시된 바와 같이 전극(1)의 양 끝(A, B)을 접촉하여 멀티미터(3)등의 계측기를 사용하여 측정한 전극의 저항 또는 탐침(2)을 통해 상기 전극에 전압을 인가하여 상기 멀티미터(3)등의 계측기를 사용하여 측정한 전류의 특성을 통해 패널 전극의 오픈/쇼트 여부를 파악한다. Therefore, the conventional flat panel display panel inspection apparatus, as shown in FIG. 3, touches both ends A and B of the electrode 1 and measures the resistance or probe of the electrode measured using a measuring instrument such as a multimeter 3. Through 2) is applied to the electrode to determine whether the panel electrode is open or short through the characteristics of the current measured using a measuring instrument such as the multimeter (3).
그러나 상기와 같이 탐침(2)을 사용하여 패널 전극의 오픈/쇼트 여부를 파악하는 방식은 수 마이크론 선폭의 전극에 상기 탐침을 접촉시켜야 하기 때문에 미세한 탐침을 사용하여야 하고 탐침의 가공이 어렵다. 또한 상기 탐침과 전극을 일치시키기기 위한 미세 공정이 필요하고 탐침과 전극의 접촉으로 인해 패널 전극이 물리적으로 손상을 받는다는 단점이 있다.However, as described above, the method of determining whether the panel electrode is open or short using the probe 2 requires contacting the probe with an electrode having a micron line width, and thus, a minute probe must be used and the processing of the probe is difficult. In addition, there is a disadvantage that a fine process for matching the probe and the electrode is required and the panel electrode is physically damaged due to the contact between the probe and the electrode.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 상기와 같은 탐침(2)을 사용한 접촉식 검사와는 달리 도 4 에 도시된 바와 같이 도 1a, 도 1b 또는 도 2 에 도시된 평판 디스플레이 패널을 자기 센서(4)로 스캔하여 패널 전극의 쇼트 여부를 파악한다. In order to solve this problem, unlike the contact inspection using the probe 2 as described above, as shown in FIG. 4, the flat panel display panel illustrated in FIG. 1A, 1B, or 2 is used as the magnetic sensor 4. Scan to determine whether the panel electrode is short.
하지만 상기와 같은 방법으로는 도 2 에 도시된 바와 같이 가로로 배열된 전극과 세로로 배열된 전극간에 쇼트가 발생한 경우, 패널 전극이 쇼트된 위치를 정확히 파악할 수 없다는 문제점이 있다.However, according to the method described above, when a short occurs between the horizontally arranged electrodes and the vertically arranged electrodes as shown in FIG. 2, there is a problem in that the shorted position of the panel electrodes cannot be accurately determined.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 자기 유도 원리에 의해 비접촉식으로 미세한 평판 디스플레이 패널상의 전극의 쇼트(Short) 여부를 파악하고, 자동으로 패널 전극의 쇼트 위치를 정확히 검출하여 부분적인 수리를 가능하게 하여 공정 원가를 줄이고 수율을 향상시키는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its object is to determine whether the electrode is short on a fine flat panel display panel in a non-contact manner by magnetic induction principle, and automatically determine the short position of the panel electrode. It is possible to reduce the process cost and improve the yield by enabling the partial repair by accurately detecting the.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치의 특징에 따르면, 상기 패널의 상측에 위치하여 자계를 발생시키는 자계 발생부와, 상기 자계 발생부를 구동시키는 구동부와, 상기 자계 발생부에 의해 상기 패널에 생성되는 유도 전류를 증폭하는 증폭 수단과, 상기 증폭된 유도 전류를 통해 전극의 쇼트 여부를 판단하는 마이컴부를 포함하여 구성된다.According to a feature of an apparatus for inspecting a flat panel display panel according to the present invention for solving the above problems, a magnetic field generating unit positioned above the panel to generate a magnetic field, a driving unit for driving the magnetic field generating unit, and the magnetic field generation And amplifying means for amplifying the induced current generated in the panel by the unit, and a microcomputer unit for determining whether the electrode is shorted through the amplified induced current.
또한, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 방법의 특징에 따르면, 자계 발생 수단에 의해 생성된 유도 전류 또는 기전력을 측정하는 제 1 단계와, 상기 제 1 단계에서 측정한 유도 전류 또는 기전력을 기 설정된 허용범위와 비교하는 제 2 단계와, 상기 비교된 유도전류 또는 기전력이 상기 허용범위를 벗어나는 경우 패널 전극선을 쇼트로 판단하는 제 3 단계를 포함하여 이루어진다.Further, according to a feature of the flat panel display inspection method according to the present invention, the first step of measuring the induced current or electromotive force generated by the magnetic field generating means, and the predetermined allowance of the induced current or electromotive force measured in the first step And a second step of comparing the range with a third step and determining the panel electrode line as a short when the compared induced current or electromotive force is out of the allowable range.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 5 는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치의 구조가 도시된 도이고, 도 6 은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치를 사용하여 패널 전극 검사시 형성되는 등가 회로와 기전력이 도시된 도이다.5 is a diagram illustrating a structure of an apparatus for inspecting a flat panel display electrode according to the present invention, and FIG. 6 is an equivalent circuit and electromotive force formed when inspecting a panel electrode using the apparatus for inspecting a flat panel display panel according to the present invention. It is also.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치는 도 5 에 도시된 바와 같이 평면상에 배열되어 있는 패널 전극의 쇼트에 의한 전기적인 결함을 검사하기 위해 평면상에서 일정한 거리를 가지고 교류 신호를 흘려 자계를 발생시키는 자계 발생부(10)를 포함한다. The flat panel display panel electrode inspection apparatus according to the present invention generates a magnetic field by flowing an AC signal at a predetermined distance on a plane to check for electrical defects caused by a short of the panel electrodes arranged on the plane as shown in FIG. It includes a magnetic field generating unit 10 to.
상기 자계 발생부(10)는 교류 신호를 생성하는 신호 발생기(11)와 상기 신호 발생부에서 생성된 교류신호가 흘러 자계를 발생하게 하는 자계 발생 수단(12)을 포함하여 구성된다. 이때 상기 자계 발생 수단은 코일을 기본으로 포함한다.The magnetic field generator 10 includes a signal generator 11 for generating an AC signal and a magnetic field generator 12 for generating an magnetic field by flowing an AC signal generated by the signal generator. In this case, the magnetic field generating means basically includes a coil.
패널(100) 검사시 상기 자계 발생부(10)는 평면 디스플레이 패널(100) 상측에 위치하여 상기 패널을 좌에서 우 또는 우에서 좌로 이동한다. 만약 상기 패널의 전극간 쇼트된 부분이 있다면 상기 쇼트된 전극은 도 6 에 도시된 바와 같은 등가 회로를 이루게 된다. When the panel 100 is inspected, the magnetic field generator 10 is positioned above the flat display panel 100 to move the panel from left to right or right to left. If there is a shorted portion between the electrodes of the panel, the shorted electrode forms an equivalent circuit as shown in FIG.
따라서 상기 자계 발생부(10)가 상기 패널(100)의 쇼트된 전극 위를 이동할 때 상기 자계 발생부(10)에 의해서 형성된 자기장(C)에 의해 상기 쇼트된 전극에 유도 전류가 흐르게 되고 도 6 에 도시된 바와 같이 상기 유도 전류로 인한 기전력(D)이 형성된다. 상기 유도 전류 및 상기 유도 전류로 인해 형성된 기전력은 패널 전극이 쇼트된 부분(a)에서 최대가 된다. Therefore, when the magnetic field generator 10 moves on the shorted electrode of the panel 100, an induced current flows through the shorted electrode by the magnetic field C formed by the magnetic field generator 10, and FIG. 6. As shown in FIG. 3, an electromotive force D is formed due to the induced current. The induced current and the electromotive force formed by the induced current are maximized at the portion (a) in which the panel electrode is shorted.
증폭 수단(20)은 상기 자계 발생부(10)가 상기 패널(10)을 스캔하면서 상기 쇼트된 전극에 형성되는 유도 전류를 증폭한다. The amplifying means 20 amplifies the induced current formed in the shorted electrode while the magnetic field generator 10 scans the panel 10.
마이컴부(30)는 상기 증폭 수단(20)에 의해 증폭된 유도 전류가 허용 범위를 벗어나는 경우 상기 패널(100)의 전극을 쇼트되었다고 판정하거나 상기 증폭수단(20)에 의해 증폭된 유도 전류를 통해 상기 쇼트된 전극간에 형성되는 등가 회로의 기전력을 계산하여 상기 기전력이 허용 범위를 초과하는 경우 상기 패널(100)의 전극이 쇼트되었다고 판정한다. The microcomputer unit 30 determines that the electrode of the panel 100 is shorted when the induced current amplified by the amplifying means 20 is out of an allowable range or through the induced current amplified by the amplifying means 20. The electromotive force of the equivalent circuit formed between the shorted electrodes is calculated to determine that the electrode of the panel 100 is short when the electromotive force exceeds the allowable range.
이때, 상기 자계 발생부(10)의 자계 발생 수단(11)은 구동부(40)에 의해서 구동된다. 상기 구동부는 상기 자계 발생수단(11)을 패널(100)의 좌측에서 우측으로 또는 우측에서 좌측으로 이동하면서 상기 패널을 스캔한다.At this time, the magnetic field generating means 11 of the magnetic field generating portion 10 is driven by the driving portion 40. The driving unit scans the panel while moving the magnetic field generating means 11 from left to right or right to left of the panel 100.
여기서 패널의 전극선이 교차하지 않고 평행한 배열을 이루는 경우, 패널 전극간 쇼트가 발생하면, 쇼트된 패널 전극에 발생한 유도 전류 또는 기전력을 계측함으로써 쇼트된 전극선의 위치는 알 수 있지만 패널 전극이 쇼트된 정확한 위치는 알 수 없다. Here, when the electrode lines of the panel do not cross and form a parallel arrangement, when the short between the panel electrodes occurs, the position of the shorted electrode line can be known by measuring the induced current or electromotive force generated in the shorted panel electrode. The exact location is unknown.
따라서 상기와 같이 패널(100)의 전극이 쇼트되었다고 판정된 경우 쇼트 판정된 전극의 이미지를 추출하여 패널 전극이 쇼트된 위치를 파악하기 위해 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치는 이미지 획득 수단(50)을 더 포함하여 구성된다.Therefore, when it is determined that the electrode of the panel 100 is short as described above, the flat panel display panel electrode inspection apparatus further includes an image acquisition means 50 to extract the image of the short-determined electrode to determine the position where the panel electrode is shorted. It is configured to include.
상기 이미지 획득 수단(50)은 패널 전극의 이미지를 추출하는 카메라 수단(51)과 상기 카메라 수단이 추출한 패널 전극의 이미지를 디지털화 하여 저장하는 메모리부(52)를 포함하여 구성된다. The image acquiring means 50 includes a camera means 51 for extracting an image of the panel electrode and a memory 52 for digitizing and storing an image of the panel electrode extracted by the camera means.
상기 이미지 획득 수단(50)의 상기 카메라 수단(51)은 상기 패널의 쇼트 판정된 전극을 따라 이동하면서 상기 패널 전극의 이미지를 추출하고, 상기 메모리부(52)는 상기 카메라 수단이 추출한 패널 전극의 이미지를 저장한다.The camera means 51 of the image acquiring means 50 extracts an image of the panel electrode while moving along the short-determined electrode of the panel, and the memory unit 52 of the panel electrode extracted by the camera means. Save the image.
그리고 상기 구동부(40)는 상기 이미지 획득 수단(50)의 카메라 수단(51)이 쇼트 판정된 패널 전극을 따라 이동하면서 패널 전극 이미지 추출을 가능하게 하는 이미지 획득 구동부(41)를 더 포함하여 구성된다.The driver 40 further includes an image acquisition driver 41 that enables the extraction of the panel electrode image while the camera means 51 of the image acquisition means 50 moves along the short-determined panel electrode. .
뿐만 아니라, 상기 마이컴부(30)는 상기 이미지 획득 수단(50)의 메모리부(52)에 저장된 패널 전극 이미지를 분석하여 상기 패널 전극의 이미지상에서 패널의 전극선 사이를 분리하는 검은선의 유무를 추적하여 자동으로 패널 전극의 쇼트 위치를 검출의해 패널 전극이 쇼트된 정확한 위치를 파악하는 화상 처리부(31)를 더 포함하여 구성된다.In addition, the microcomputer unit 30 analyzes the panel electrode image stored in the memory unit 52 of the image acquisition unit 50 to track the presence or absence of black lines separating the electrode lines of the panel on the image of the panel electrode. And an image processor 31 which automatically detects the short position of the panel electrode to grasp the exact position where the panel electrode is shorted.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 방법을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the flat panel display electrode inspection method according to the present invention.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 방법은 도 7 에 도시된 바와 같이, 먼저 제 1 단계에서 자계 발생 수단에 의해 패널 전극에 생성된 유도 전류 또는 기전력을 측정한다. 상기 제 1 단계는 자계 발생 수단에 의해 패널 전극이 스캔되는 제 1 과정과, 상기 제 1 과정을 통해 상기 패널 전극에 형성된 유도 전류 또는 기전력을 계측하는 제 2 과정을 포함한다. (S1 참조)In the method of inspecting a flat panel display electrode according to the present invention, as shown in FIG. 7, first, the induced current or electromotive force generated in the panel electrode by the magnetic field generating means in the first step is measured. The first step includes a first step of scanning a panel electrode by a magnetic field generating means, and a second step of measuring an induced current or electromotive force formed in the panel electrode through the first step. (See S1)
제 2 단계에서는 상기 제 1 단계에서 계측한 유도 전류 또는 기전력을 기 설정된 허용범위와 비교한다. (S2 참조)In the second step, the induced current or electromotive force measured in the first step is compared with a preset allowable range. (See S2)
제 3 단계에서는 상기 제 2 단계의 비교 결과에 따라 상기 유도 전류 또는 기전력이 상기 허용범위보다 큰 경우 패널 전극을 쇼트로 판정한다. (S3 참조)In the third step, when the induced current or electromotive force is larger than the allowable range, the panel electrode is determined as a short according to the comparison result of the second step. (See S3)
상기 평판 디스플레이 패널 전극 검사 방법은 이미지 획득 수단이 쇼트 판정된 패널 전극을 따라 이동하면 상기 패널 전극의 이미지를 추출하는 제 4 단계와, 상기 제 4 단계에서 추출한 패널 전극의 이미지를 통해 자동으로 패널 전극의 쇼트된 위치를 파악하는 제 4 단계를 더 포함하여 자동으로 쇼트 판정된 패널 전극에서 상기 패널 전극이 쇼트된 위치를 검출하여 부분적인 수리를 가능하게 한다.The method for inspecting a flat panel display panel includes a fourth step of extracting an image of the panel electrode when the image acquisition means moves along the short-determined panel electrode, and automatically by using the image of the panel electrode extracted in the fourth step. And further including a fourth step of identifying a shorted position of the panel to automatically detect the shorted position of the panel electrode to enable partial repair.
이상과 같이 본 발명에 대한 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치 및 그 방법을 예시된 도면을 참조로 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않고, 본 발명의 기술사상이 보호되는 범위에서 당업자에 의해 응용될 수 있다. As described above, the apparatus for inspecting a flat panel display electrode and a method thereof according to the present invention have been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed herein, and the technical spirit of the present invention is protected. It can be applied by those skilled in the art in the range to be.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치 및 그 방법은 자기 유도 원리를 사용하여 비접촉 방식으로 평판 디스플레이 패널 전극의 미세한 선 간 쇼트 위치를 자동으로 정확하게 검출하여 불량이 원인을 규명하거나 수리가 가능하게 함으로써, 공정 원가를 줄이고 수율을 향상 시킬 수 있다. The flat panel display electrode inspection apparatus and method according to the present invention configured as described above by using a magnetic induction principle automatically detects the fine line short position of the flat panel panel electrode in a non-contact manner to determine the cause of the defect or By enabling repairs, process costs can be reduced and yields improved.
도 1a 는 PDP(Plasma display panel)의 오픈 전극이 도시된 도면,FIG. 1A illustrates an open electrode of a plasma display panel (PDP).
도 1b 는 PDP(Plasma display panel)의 쇼트 전극이 도시된 도면,1B is a diagram illustrating a short electrode of a plasma display panel (PDP);
도 2 는 LCD(Liquid crystal display) 패널의 쇼트 전극이 도시된 도면,2 is a diagram illustrating a short electrode of a liquid crystal display (LCD) panel;
도 3 은 종래 기술에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 제 1 실시예가 도시된 도면,3 is a view showing a first embodiment of a flat panel display panel inspection apparatus according to the prior art;
도 4 은 종래 기술에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 제 2 실시예가 도시된 도면,4 is a view showing a second embodiment of a flat panel display panel inspection apparatus according to the prior art,
도 5 는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 구조도,5 is a structural diagram of a flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention;
도 6 는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치를 사용해서 패널전극 검사시 형성되는 등가 회로 및 기전력 변화가 도시된 도면,6 is a view showing an equivalent circuit and an electromotive force change formed during panel electrode inspection using the flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention;
도 7 은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 방법이 도시된 순서도이다. 7 is a flowchart illustrating a method for inspecting a flat panel display panel according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
10 : 자계 발생부 20 : 증폭수단 10: magnetic field generating unit 20: amplification means
30 : 마이컴부 40 : 구동부30: microcomputer unit 40: drive unit
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