KR101312079B1 - Probe unit assembly and testing method of flat panel display using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체는 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바를 포함하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 쇼팅바를 이용하여 평판 표시 장치의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하므로 미리 평판 표시 장치의 손상 유무를 판단 할 수 있어 검사 공정을 신속하게 정확하게 진행할 수 있다.The probe unit assembly according to an embodiment of the present invention includes a plurality of conductive plates, array frames, and conductive plates having grooves arranged in grooves, contact pins installed in the grooves of the array frames and contacting pad portions of the flat panel display element. It is preferable to include a probe unit including a covering assembly, and a shorting bar attached to the assembly, a shorting bar attached below the shorting body and including a shorting pad in contact with the pad part. Therefore, the probe unit assembly and the inspection method of the flat panel display device using the same according to the present invention first determine only whether the flat panel display device is damaged by using the shorting bar, and then proceeds the inspection process by using the probe unit, thus damaging the flat panel display device in advance. The presence or absence of the test can be used to quickly and accurately carry out the inspection process.
프로브유니트, 쇼팅바, 조립체, 액정표시장치, 프로브, 접촉핀 Probe Unit, Shorting Bar, Assembly, Liquid Crystal Display, Probe, Contact Pin

Description

프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법{PROBE UNIT ASSEMBLY AND TESTING METHOD OF FLAT PANEL DISPLAY USING THE SAME}PROBE UNIT ASSEMBLY AND TESTING METHOD OF FLAT PANEL DISPLAY USING THE SAME
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 포함하는 프로브 장치로 액정 표시 장치의 패드부를 검사하는 상태를 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a state of inspecting a pad portion of a liquid crystal display with a probe device including a probe unit assembly according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트의 저면도이다.2 is a bottom view of a probe unit according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 프로브 유니트를 III-III선을 따라 잘라 도시한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of the probe unit of FIG. 2 taken along line III-III.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼팅바의 저면도이다.4 is a bottom view of the shorting bar according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 도 4의 쇼팅바를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view of the shorting bar of FIG. 4 taken along line IV-IV.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 및 쇼팅바가 결합된 프로브 유니트 조립체의 저면도이다.6 is a bottom view of a probe unit assembly in which a probe unit and a shorting bar are coupled according to an embodiment of the present invention.
도 7은 도 6의 프로브 유니트 조립체를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the probe unit assembly of FIG. 6 taken along line VI-VI. FIG.
도 8 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용하여 검사 공정을 수행하는 상태를 순서대로 도시한 도면이다.8 and 10 are views sequentially showing a state of performing a test process using a probe unit assembly according to an embodiment of the present invention.
도 9는 쇼팅 패드가 패드부에 접촉된 상태를 상세히 도시한 정면도이다.9 is a front view illustrating in detail the state in which the shorting pad is in contact with the pad portion.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10: 평판 표시 장치 12: 패드부 10: flat panel display 12: pad portion
14: 지지대 130: 프로브 유니트 14: support 130: probe unit
131: 배열틀 132: 도전판 131: array frame 132: conductive plate
133: 접촉핀 140: 결합체 133: contact pin 140: assembly
150: 쇼팅바 151: 쇼팅 패드 150: shorting bar 151: shorting pad
152: 쇼팅 몸체                153: 실리콘 고무 152: shorting body 153: silicone rubber
154: 도전성 물질 154: conductive material
본 발명은 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 관한 것으로서, 평판 표시 장치의 이상 유무를 전기적으로 검사하는 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe unit assembly and a method of inspecting a flat panel display using the same, and more particularly, to a probe unit assembly and a method of inspecting a flat panel display using the same.
일반적으로 액정 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 그 제조 과정 중 또는 제조 완료 후에 부분적 또는 전체적인 전기적 검사를 거쳐 양품과 불량품을 선별하게 된다. 이러한 전기적 검사 과정에는 외부로부터 각종 전기적 신호를 전달하고 평판 표시 장치의 응답 신호를 검출하여 분석하는 검사 장치가 사용되며, 이러한 검사 장치와 평판 표시 장치의 패드부를 전기적으로 연결시키기 위해서는 프로브(probe)와 같은 접촉핀이 형성된 프로브 유니트 조립체가 사용된다.In general, a flat panel display device such as a liquid crystal display device selects a good product or a defective product through a partial or full electrical inspection during or after completion of the manufacturing process. In the electrical inspection process, a test apparatus that transmits various electrical signals from the outside and detects and analyzes a response signal of the flat panel display device is used. In order to electrically connect the pad of the test apparatus and the flat panel display device, a probe and A probe unit assembly with the same contact pin is used.
즉, 프로브 유니트 조립체는 평판 표시 장치의 신호선 패드부에 접촉한 후 검사 신호를 인가하여 평판 표시 장치의 화면 점등 상태 및 컬러 구현 상태에서 불량 여부를 검사한다. That is, the probe unit assembly contacts the signal line pad of the flat panel display device and then applies a test signal to inspect whether the flat panel display device is defective in the screen on state and the color implementation state of the flat panel display device.
최근의 고집적 추세에 따라 평판 표시 장치의 패드부의 간격이 대략 50㎛이내로 좁아지고 있으므로 패드부와 접촉해야 하는 접촉핀의 두께가 얇아져서 접촉핀의 강도가 약해지게 된다. 이에 따라 장시간 또는 수백 회 검사 공정을 진행하는 경우 접촉핀이 부러지거나 손상될 위험이 높아진다.According to the recent high integration trend, the pad portion of the flat panel display device is narrowed to about 50 μm or less, so that the thickness of the contact pin to contact the pad portion is reduced, resulting in a weak strength of the contact pin. This increases the risk of breaking or damaging the contact pins over long or hundreds of inspections.
이와 같이 손상된 접촉핀을 이용하여 검사 공정을 진행하는 경우, 평판 표시 장치의 불량 판정이 나오더라도 평판 표시 장치 자체가 불량인지, 프로브 유니트 조립체의 접촉핀이 불량인지 판별하기 어렵게 된다.When the inspection process is performed using the damaged contact pins as described above, it is difficult to determine whether the flat panel display itself is defective or whether the contact pin of the probe unit assembly is defective even if the flatness of the flat display apparatus is determined.
본 발명의 기술적 과제는 평판 표시 장치의 불량 여부를 미리 판단하여 검사 속도 및 불량 검출 능력을 향상 시킨 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a probe unit assembly and a method for inspecting a flat panel display device using the same, which improves a test speed and a defect detection capability by determining whether the flat panel display is defective in advance.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체는 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 상기 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고 상기 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 상기 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 상기 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바를 포함하는 것이 바람직하다. Probe unit assembly according to an embodiment of the present invention is a plurality of conductive plates having a groove having an array frame, a contact pin is provided in the groove of the array frame contacting the pad portion of the flat panel display element, the array frame and the conductive plate A probe unit includes a probe unit including a combination covering a shorting body, and a shorting body attached to the combination, and a shorting bar attached to the shorting body and contacting the pad part.
또한, 상기 결합체에는 나사홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the screw groove is formed in the assembly.
또한, 상기 쇼팅바에는 상기 나사홈과 대응되는 위치에 나사공이 형성되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the shortening bar is preferably formed with a screw hole in a position corresponding to the screw groove.
또한, 상기 프로브 유니트와 쇼팅바는 상기 나사홈과 나사공을 관통하는 나사에 의하여 결합되는 것이 바람직하다.In addition, the probe unit and the shorting bar may be coupled by a screw passing through the screw groove and the screw hole.
또한, 상기 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 도전성 물질이 혼재되어 있는 구조인 것이 바람직하다.In addition, the shorting pad is preferably a structure in which a conductive material is mixed in the silicone rubber.
또한, 상기 도전성 물질은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 상기 물질을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나인 것이 바람직하다.In addition, the conductive material is preferably any one selected from iron, nickel, cobalt, copper or resin particles coated with the material.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 접촉체를 가지는 프로브 유니트 및 쇼팅 패드를 가지는 쇼팅바로 이루어진 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 쇼팅 패드를 평판 표시 장치의 패드부에 접촉시키는 단계, 상기 쇼팅 패드를 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 손상 유무를 판별하는 단계, 상기 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 접촉핀을 상기 패드부에 접촉시키는 단계, 그리고 상기 접촉핀을 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 색 구현 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, a method of inspecting a flat panel display using a probe unit assembly according to an exemplary embodiment of the present invention includes moving a probe unit assembly including a probe unit having a contact and a shorting bar having a shorting pad to move the shorting pad to a flat panel display. Contacting the pad part, supplying a signal to the pad part through the shorting pad to determine whether the flat panel display is damaged, and moving the probe unit assembly to contact the contact pin with the pad part. And checking a color implementation state of the flat panel display by supplying a signal to the pad unit through the contact pin.
또한, 누름 수단을 이용하여 상기 쇼팅 패드를 가압하여 상기 패드부에 접촉시키는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to press the shorting pad to contact the pad part by using a pressing means.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. Then, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
이제 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Now, a probe unit assembly and an inspection method of a flat panel display device using the same according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 포함하는 프로브 장치로 액정 표시 장치의 패드부를 검사하는 상태를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a state of inspecting a pad portion of a liquid crystal display with a probe device including a probe unit assembly according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 장치는 프로브 블록(20), 프로브 블록(20)의 하단에 장착되어 검사를 수행하는 프로브 유니트 조립체(30)를 포함한다. 프로브 유니트 조립체(30)는 프로브 유니트(130)과 쇼팅바(150)를 포함하며, 프로브 유니트(130)의 끝부분에는 접촉핀(133)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, a probe device according to an embodiment of the present invention includes a probe block 20 and a probe unit assembly 30 mounted at a lower end of the probe block 20 to perform an inspection. The probe unit assembly 30 includes a probe unit 130 and a shorting bar 150, and a contact pin 133 is installed at an end of the probe unit 130.
접촉핀(133)을 지지대(14) 위에 탑재되어 있는 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)에 접촉시켜 검사 신호를 인가함으로써 평판 표시 장치(10)의 화면 점등 상태 및 색구현 상태를 검사한다. The contact pins 133 are brought into contact with the pad portion 12 of the flat panel display 10 mounted on the support 14 to apply a test signal to inspect the screen lighting state and the color implementation state of the flat panel display 10. do.
이하에서, 프로브 유니트 조립체(30)에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the probe unit assembly 30 will be described in detail.
도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트의 저면도가 도시되어 있고, 도 3에는 도 2의 프로브 유니트를 III-III선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다. 2 is a bottom view of the probe unit according to the exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the probe unit of FIG. 2 taken along line III-III.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체(30)를 이루는 프로브 유니트(130)는 배열틀(131), 배열틀(131) 내부에 설치되어 있는 복수개의 도전판(132) 및 도전판(132) 아래에 설치되어 도전판(132)을 덮는 결합체(140)를 포함한다.As shown in Figure 2 and 3, the probe unit 130 constituting the probe unit assembly 30 according to an embodiment of the present invention is arranged in the array frame 131, the array frame 131 Two conductive plates 132 and an assembly 140 installed under the conductive plates 132 to cover the conductive plates 132.
배열틀(131)은 전체적으로 박스형상을 이루고 있으며, 내부에 넓은 홈을 가지고 있다. 배열틀(131)에는 2개의 관통봉(135)이 형성되어 있으며, 관통봉(135)은 배열틀(131)의 양측벽에 고정되어 있다.The arrangement frame 131 has a box shape as a whole and has a wide groove therein. Two through bars 135 are formed in the array frame 131, and the through bars 135 are fixed to both side walls of the array frame 131.
배열틀(131)의 넓은 홈에는 복수개의 도전판(132)이 패드부(12)의 간격에 맞춰 50㎛ 정도의 미소 피치 간격을 유지하며 평행하게 배열되어 있다. 도전판(132)의 길이 방향이 관통봉(135)의 길이 방향과 수직한 방향이 되도록 도전판(132)은 배치되고, 관통봉(135)은 복수개의 도전판(132)을 모두 관통하여 도전판(132)을 배열틀(131)에 고정시킨다. 도전판(132) 간의 간격 사이에는 실리콘 패드(도시하지 않음) 등이 삽입되어 있다. A plurality of conductive plates 132 are arranged in parallel in a wide groove of the array frame 131 while maintaining a small pitch interval of about 50 μm in accordance with the interval of the pad portion 12. The conductive plate 132 is disposed such that the longitudinal direction of the conductive plate 132 is perpendicular to the longitudinal direction of the through bar 135, and the through bar 135 penetrates all the plurality of conductive plates 132 to conduct the conductive plate 132. The plate 132 is fixed to the array frame 131. A silicon pad (not shown) or the like is inserted between the gaps between the conductive plates 132.
도전판(132)의 한쪽 끝부분에는 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)와 접촉하는 접촉핀(133)이 형성되어 있고, 도전판(132)의 다른 쪽 끝부분에는 검사 장치(도시하지 않음)에 연결되는 연결핀(134)이 형성되어 있다.One end of the conductive plate 132 is formed with a contact pin 133 in contact with the pad portion 12 of the flat panel display 10, and the other end of the conductive plate 132 is provided with an inspection device (not shown). Connecting pin 134 is formed.
결합체(140)는 복수개의 도전판(132)을 덮을 수 있도록 소정의 두께를 가진 강판으로 이루어지며, 결합체(140)의 중앙에는 3개의 나사홈(141)이 형성되어 있다. 그리고, 결합체(140)의 가장 자리부에는 3개의 가이드핀(142)이 형성되어 있다. 결합체(140)는 도전판(132)의 거의 대부분을 덮고 있으나, 접촉핀(133)이 형성된 부위는 덮고 있지 않다. 이는 접촉핀(133)이 외부로 돌출되어 패드부(12)에 닿을 수 있도록 하기 위함이다. The assembly 140 is made of a steel plate having a predetermined thickness so as to cover the plurality of conductive plates 132, and three screw grooves 141 are formed in the center of the assembly 140. In addition, three guide pins 142 are formed at the edge of the assembly 140. The assembly 140 covers most of the conductive plate 132, but does not cover a portion where the contact pin 133 is formed. This is to allow the contact pin 133 to protrude to the outside to contact the pad portion 12.
도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼팅바의 저면도가 도시되어 있고, 도 5에는 도 4의 쇼팅바를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다. 4 is a bottom view of the shorting bar according to the exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the shorting bar of FIG. 4 taken along line IV-IV.
도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체(30)를 이루는 쇼팅바(150)는 쇼팅 몸체(152) 및 쇼팅 몸체(152) 아래에 부착되어 있는 쇼팅 패드(151)를 포함한다.As shown in FIGS. 4 and 5, the shorting bar 150 constituting the probe unit assembly 30 according to an embodiment of the present invention is a shorting body 152 and a shorting attached to the shorting body 152. Pad 151.
쇼팅 몸체(152)는 그 위 부분이 결합체(140)에 부착되는 금속제 지지판이며,쇼팅 몸체(152)에는 배열틀(131)의 나사홈(141)에 대응되는 위치에 나사공(155)이 형성되어 있고, 가이드 핀(142)에 대응되는 위치에 가이드 홈(156)이 형성되어 있다. 가이드 핀(142) 및 가이드 홈(156)은 프로브 유니트(130)가 쇼팅바(150)와 정밀하게 결합할 수 있도록 한다.The shorting body 152 is a metal support plate, the upper portion of which is attached to the assembly 140, the shorting body 152 is formed with a screw hole 155 at a position corresponding to the screw groove 141 of the array frame 131 The guide groove 156 is formed at a position corresponding to the guide pin 142. The guide pin 142 and the guide groove 156 allow the probe unit 130 to be precisely coupled to the shorting bar 150.
쇼팅 패드(151)는 복수개의 패드부(12)와 전체적으로 접촉하여 패드부(12)를 단락시키는 역할을 한다. 쇼팅 패드(151)는 대부분 실리콘 고무(153)로 이루어지며, 여기에 도전성 물질(154)이 혼합되어 있다. 이러한 도전성 물질(154)은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 이러한 금속을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나일 수 있다. The shorting pad 151 may be in contact with the plurality of pad parts 12 to short-circuit the pad part 12. The shorting pad 151 is mostly made of a silicone rubber 153, and the conductive material 154 is mixed therein. The conductive material 154 may be any one selected from iron, nickel, cobalt, copper, or resin particles covering the metal.
상기에서 설명한 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)를 결합시켜 프로브 유니트 조립체를 완성하며, 도 6 및 도 7에는 프로브 유니트 조립체가 도시되어 있다.The probe unit assembly is completed by combining the probe unit 130 and the shorting bar 150 described above, and the probe unit assembly is illustrated in FIGS. 6 and 7.
도 6에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 및 쇼팅바가 결합된 프로브 유니트 조립체의 저면도가 도시되어 있고, 도 7에는 도 6의 프로브 유니트 조 립체를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다.FIG. 6 is a bottom view of a probe unit assembly in which a probe unit and a shorting bar are coupled according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the probe unit assembly of FIG. 6 taken along line VI-VI. Is shown.
도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 가이드핀(142) 및 나사(157)에 의해 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)는 서로 고정 결합되어 있다.As illustrated in FIGS. 6 and 7, the probe unit 130 and the shorting bar 150 are fixedly coupled to each other by the guide pin 142 and the screw 157.
쇼팅 몸체(152)의 가이드홈(156) 내부에 결합체(140)의 가이드핀(142)이 삽입되어 있으며, 쇼팅 몸체(152)의 나사공(155)과 결합체(140)의 나사홈에는 나사(157)가 삽입되어 쇼팅 몸체(152)와 결합체(140)가 나사결합되어 있다.The guide pin 142 of the coupling body 140 is inserted into the guide groove 156 of the shorting body 152, and the screw hole 155 of the shorting body 152 and the screw groove of the coupling body 140 are screws ( 157 is inserted into the shorting body 152 and the coupling 140 is screwed.
도 6의 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)가 결합된 구조는 게이트 및 데이터 패드부(12)가 모두 존재하는 평판 표시 장치(10)에 대한 프로브 유니트 조립체(30)의 결합 구조를 나타낸다. 이는 쇼팅바(150)의 쇼팅 패드(151)와 패드부(12)간의 접촉 공정 및 프로브 유니트(130)의 접촉핀(133)과 패드부(12)간의 접촉 공정을 위해 수평 이동 시 프로브 유니트 조립체(30)와 검사 장치(도시하지 않음)간의 간섭을 제거하기 위한 구조이다.The structure in which the probe unit 130 and the shorting bar 150 of FIG. 6 are combined indicates a coupling structure of the probe unit assembly 30 to the flat panel display device 10 having both the gate and the data pad unit 12. . This is a probe unit assembly during horizontal movement for the contact process between the shorting pad 151 and the pad portion 12 of the shorting bar 150 and the contact pin 133 and the pad portion 12 of the probe unit 130. It is a structure for removing interference between the 30 and an inspection device (not shown).
한편, 게이트 패드 또는 데이터 패드가 하나만 존재하는 평판 표시 장치에서는 검사 장치(도시하지 않음)가 X축 또는 Y축 중 어느 한 축 방향으로 수평 이동하면 되므로 프로브 유니트(130)와 쇼팅바(150)간의 결합 구조는 변경될 수 있다.On the other hand, in a flat panel display having only one gate pad or data pad, the inspection device (not shown) may move horizontally in either of the X and Y axes, so that the probe unit 130 and the shorting bar 150 may be separated. The bonding structure can be changed.
도 8 및 도 10에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용하여 검사 공정을 수행하는 상태를 순서대로 도시하였다. 8 and 10 illustrate a state in which the inspection process is performed using the probe unit assembly according to the embodiment of the present invention in order.
우선, 도 8에 도시한 바와 같이, 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)로 이루어진 프로브 유니트 조립체(30)는 소정 거리만큼 수평 및 수직 이동하여 쇼팅 패드(151)를 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)에 접촉시킨다. 따라서, 쇼팅 패 드(150)를 복수개의 패드부(12)와 전체적으로 접촉시켜 패드부(12)를 단락시키고 신호를 공급함으로써 평판 표시 장치(10)의 손상 유무를 판별한다.First, as shown in FIG. 8, the probe unit assembly 30 including the probe unit 130 and the shorting bar 150 moves horizontally and vertically by a predetermined distance to move the shorting pad 151 to the flat panel display 10. Contact the pad portion 12. Therefore, the shorting pad 150 is brought into contact with the plurality of pads 12 as a whole to short-circuit the pads 12 and supply a signal to determine whether the flat panel display 10 is damaged.
도 9에는 쇼팅 패드가 패드부에 접촉된 상태를 상세히 도시하였다. 9 illustrates a state in which the shorting pad is in contact with the pad part.
도 9에 도시한 바와 같이, 쇼팅 패드(151)를 패드부(12)에 접촉시키는 경우 누름 수단(도시하지 않음)을 이용하여 쇼팅 패드(151)를 가압하여 패드부(12)에 일정한 압력을 균등하게 전달한다. 누름 수단에 의한 압력은 평판 표시 장치의 구조 및 패드부 수에 따라 상이하나 2 내지 5kgf 인 것이 바람직하다.As shown in FIG. 9, when the shorting pad 151 is in contact with the pad part 12, the shorting pad 151 is pressed using a pressing means (not shown) to apply a constant pressure to the pad part 12. Deliver evenly. The pressure by the pressing means is different depending on the structure of the flat panel display and the number of pads, but preferably 2 to 5 kgf.
이 때, 쇼팅 패드(151)는 탄력성 있는 실리콘 고무(153)로 이루어지므로 패드부(12)의 높이에 차이가 있는 경우에도 접촉되지 않은 패드부(12) 없이 모든 패드부(12)가 접촉이 된다. 따라서, 패드부(12)마다 균일한 신호가 인가될 수 있다.At this time, since the shorting pad 151 is made of elastic silicone rubber 153, even if there is a difference in the height of the pad part 12, all pad parts 12 are in contact without the pad part 12 which is not in contact. do. Therefore, a uniform signal may be applied to each pad unit 12.
다음으로, 도 10에 도시한 바와 같이, 소정 거리만큼 수평 및 수직 이동하여 프로브 유니트(130)의 접촉핀(133)을 패드부(12)에 접촉시킴으로써 평판 표시 장치(10)의 색 구현 상태를 검사하는 전체 테스트(full contact test) 또는 그로스 테스트(gross test) 등의 검사 공정을 진행한다.Next, as illustrated in FIG. 10, the color implementation state of the flat panel display device 10 may be adjusted by horizontally and vertically moving the contact pin 133 of the probe unit 130 to the pad unit 12 by a predetermined distance. An inspection process such as a full contact test or a gross test is performed.
이와 같이, 우선 쇼팅바(150)를 이용하여 평판 표시 장치(10)의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 이상이 없는 것으로 판단되면 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하여 색 구현 상태 및 전체적인 정밀 검사를 수행한다.As described above, first, only the damage of the flat panel display 10 is determined using the shorting bar 150, and if it is determined that there is no abnormality, the inspection process is performed using the probe unit to perform the color implementation state and the overall precision inspection. To perform.
불량 접촉핀(133)으로 인해 평판 표시 장치(10)에 신호가 인가되지 않는 경우에도 쇼팅 패드(151)를 이용하여 평판 표시 장치(10)에 불량이 없음을 검사한 후, 접촉핀(133)으로 검사 공정을 진행하므로 접촉핀(133)의 불량에 의하여 신호가 인가되지 않아 색 구현이 되지 않더라도 평판 표시 장치(10)의 불량이 아닌 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 접촉핀(133)을 교체한 후 다시 검사 공정을 진행하게 되므로 완벽하게 모든 불량을 검출할 수 있다.Even when a signal is not applied to the flat panel display device 10 due to the bad contact pin 133, the flat panel display device 10 is inspected for defects using the shorting pad 151. Since the inspection process is performed, it may be determined that the flat panel display device 10 is not defective even if the signal is not applied due to the failure of the contact pin 133 and thus the color is not implemented. Therefore, since the inspection process is performed again after replacing the contact pin 133, all defects can be perfectly detected.
한편, 상기의 접촉핀(133) 및 쇼팅 패드(151)를 이용한 검사 방법은 평판 표시 장치의 구조 및 검사 환경에 따라 순서가 변경될 수 있으며, 두 가지 검사 방법 중 한 가지만을 선택하여 검사할 수도 있다.Meanwhile, the inspection method using the contact pin 133 and the shorting pad 151 may be changed in order depending on the structure and the inspection environment of the flat panel display device. Alternatively, one of the two inspection methods may be selected and inspected. have.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 액정 표시 장치 등의 평판 표시 장치에만 한정되는 것은 아니며, 각종 소자의 불량 유무 검사를 위하여 사용될 수도 있다. The probe unit assembly and the inspection method of the flat panel display device using the same according to an exemplary embodiment of the present invention are not limited to a flat panel display device such as a liquid crystal display device.
본 발명에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 쇼팅바를 이용하여 평판 표시 장치의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하므로 미리 평판 표시 장치의 손상 유무를 판단 할 수 있어 검사 공정을 신속하게 정확하게 진행할 수 있다. In the probe unit assembly and the inspection method of the flat panel display apparatus using the same according to the present invention, since only the damage of the flat panel display apparatus is first determined using the shorting bar, the inspection process is performed using the probe unit. It can be judged so that the inspection process can proceed quickly and accurately.
또한, 종래의 프로브 유니트에 쇼팅바를 결합하여 제조하므로 별도의 비용이 발생하지 않는다.In addition, since the shorting bar is manufactured by combining the conventional probe unit, no extra cost is incurred.
또한, 쇼팅바와 프로브 유니트를 결합한 상태로 검사 공정을 진행하므로, 간편하게 소정의 위치 이동만으로 2개의 검사 공정을 수행할 수 있다.In addition, since the inspection process is performed while the shorting bar and the probe unit are coupled, two inspection processes can be performed simply by moving a predetermined position.
또한, 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 전도성 물질이 혼재되어 있으므로, 쇼팅 패드의 높이가 일정하지 않은 경우에도 모든 쇼팅 패드에 균일한 검사 신호가 인가 될 수 있게 하여 검사 능력을 향상시킨다. In addition, since the shorting pad is mixed with a conductive material in the silicone rubber, even when the height of the shorting pad is not constant, a uniform test signal can be applied to all the shorting pads, thereby improving the testability.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Accordingly, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also within the scope of the present invention.

Claims (8)

  1. 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 상기 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고An array frame having a groove, a probe unit including a plurality of conductive plates installed in the grooves of the array frame and having contact pins contacting pad portions of the flat panel display element, a combination covering the array frame and the conductive plate, and
    상기 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 상기 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 상기 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바A shorting bar attached to the coupling body, a shorting bar attached to the shorting body and including a shorting pad in contact with the pad part.
    를 포함하는 프로브 유니트 조립체.Probe unit assembly comprising a.
  2. 제1항에서,In claim 1,
    상기 결합체에는 나사홈이 형성되어 있는 프로브 유니트 조립체.Probe unit assembly is a screw groove is formed in the combination.
  3. 제2항에서,3. The method of claim 2,
    상기 쇼팅바에는 상기 나사홈과 대응되는 위치에 나사공이 형성되어 있는 프로브 유니트 조립체.Probe unit assembly is formed in the shorting bar screw hole in a position corresponding to the screw groove.
  4. 제3항에서,4. The method of claim 3,
    상기 프로브 유니트와 쇼팅바는 상기 나사홈과 나사공을 관통하는 나사에 의하여 결합되는 프로브 유니트 조립체.And the probe unit and the shorting bar are coupled by a screw passing through the screw groove and the screw hole.
  5. 제1항에서,In claim 1,
    상기 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 도전성 물질이 혼재되어 있는 구조인 프로브 유니트 조립체.The shorting pad is a probe unit assembly having a structure in which a conductive material is mixed in a silicone rubber.
  6. 제5항에서,The method of claim 5,
    상기 도전성 물질은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 상기 물질을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나인 프로브 유니트 조립체.And the conductive material is any one selected from iron, nickel, cobalt, copper or resin particles coating the material.
  7. 접촉핀를 가지는 프로브 유니트 및 쇼팅 패드를 가지는 쇼팅바로 이루어진 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 쇼팅 패드를 평판 표시 장치의 패드부에 접촉시키는 단계,Moving the probe unit assembly comprising a probe unit having a contact pin and a shorting bar having a shorting pad to contact the shorting pad to a pad portion of the flat panel display device;
    상기 쇼팅 패드를 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 손상 유무를 판별하는 단계,Determining whether the flat panel display is damaged by supplying a signal to the pad part through the shorting pad;
    상기 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 접촉핀을 상기 패드부에 접촉시키는 단계, 그리고Moving the probe unit assembly to contact the contact pin with the pad part, and
    상기 접촉핀을 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 색 구현 상태를 검사하는 단계Checking a color implementation state of the flat panel display by supplying a signal to the pad unit through the contact pins;
    를 포함하는 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법.Inspection method of a flat panel display device using a probe unit assembly comprising a.
  8. 제7항에서,8. The method of claim 7,
    누름 수단을 이용하여 상기 쇼팅 패드를 가압하여 상기 패드부에 접촉시키는 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법.A method for inspecting a flat panel display using a probe unit assembly which presses the shorting pad using a pressing means to contact the pad part.
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JP2004354338A (en) 2003-05-30 2004-12-16 Optrex Corp Lighting inspection device for liquid crystal display panel
KR20060029102A (en) * 2004-09-30 2006-04-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display panel and method for fabricating thereof
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