KR101197706B1

KR101197706B1 - 광균일도가 향상된 기판검사장치

Info

Publication number: KR101197706B1
Application number: KR1020100013312A
Authority: KR
Inventors: 민상식
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2010-02-12
Filing date: 2010-02-12
Publication date: 2012-11-05
Also published as: KR20110093335A

Abstract

본 발명은 광 균일도가 향상된 기판검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광 균일도가 향상되고, 광 효율이 개선된 기판검사장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판검사장치는 광학계로부터 기판의 이미지를 획득하여 기판을 검사하는 장치에 있어서, 상기 광학계는, 광원과, 상기 광원으로부터 전달된 광을 균일하게 하는 광 혼합부와, 상기 광 혼합부로부터 균일한 광을 전달받는 광조사부와, 상기 기판의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광균일도가 향상된 기판검사장치{SUBSTRAIT INSPECTION APPARATUS IMPROVED OPTICALEFFICIENCY}

본 발명은 광 균일도가 향상된 기판검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광 균일도가 향상되고, 광 효율이 개선된 기판검사장치에 관한 것이다.

기판을 검사하는 장치의 일예로서, 컬러 필터 패턴 자동광학검사(Automated Optical Inspection:이하 AOI) 시스템은 컬러 필터 기판(Color Filter substrate)의 미세한 패턴 결함을 정밀한 카메라에 의해 고속으로 검출하고, 검출된 결함을 실시간으로 재생, 저장 가능한 제품으로, 다양한 모델의 기판(Multi Model Substrate)에 대응이 가능하며, 사용자 운영하기 쉬운 소프트웨어와 인라인(Inline) 및 독립적으로 운영(Stand alone)이 가능한 검사 장비이다.

도 1을 참조하여 종래의 일반적인 기판검사장치(100)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 기판검사장치(100)는 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 기판을 검사한 광학계(150), 상기 기판의 상부에서 상기 카메라를 이동시키는 갠트리(140)를 포함한다. 또한 상기 스테이지는 설치장치의 바닥면 상에 구비되는 베이스플레이트(110)와, 상기 베이스플레이트상에 올려지는 석정반(120)과, 상기 석정반상에 올려져서 기판(S)을 부상시키는 부상유닛(130)을 포함한다. 또한 상기 광학계(150)는 기판의 이미지를 획득하는 카메라와 조명수단을 포함한다.

또한 상기 부상유닛(130)은 상기 카메라(150)의 검사영역에서 난반사 및 이로 인한 이미지 저하를 방지하기 위하여 슬릿(131)이 형성된다.

도 2를 참조하여 종래의 광학계(150)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 종래의 광학계(150)는 광원(151)과, 광 전달부(152)와, 선형의 광 안내부(153)와, 하프미러(154)를 포함한다.

상기 광 전달부(152)는 상기 선형의 광 안내부(153)로 광을 전달하는 구성요소이며, 상기 광 안내부(153)는 광원(151)으로부터 전달된 광을 출사하는 구성요소이다. 이와 같이 광 안내부(153)로부터 출사된 광은 상기 하프미러(154)를 통해 기판을 향해 조사된다.

그러나 이와 같이 구성된 종래의 광학계는 광 균일도가 떨어져서 카메라가 고퀄리티의 기판 이미지를 획득하는 것을 어렵게 한다. 또한 광 손실율이 크다는 문제점도 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 광 균일도가 향상되고, 광 효율이 개선된 기판검사장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판검사장치는 광학계로부터 기판의 이미지를 획득하여 기판을 검사하는 장치에 있어서, 상기 광학계는, 광원과, 상기 광원으로부터 전달된 광을 균일하게 하는 광 혼합부와, 상기 광 혼합부로부터 균일한 광을 전달받는 광조사부와, 상기 기판의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 광조사부는 소정길이를 갖고 석영재질로 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 광 혼합부는 한 쌍이 구비되며, 각각의 상기 광 혼합부가 상기 로드부 양측 단부에 혼합된 광을 전달하는 것이 바람직하다.

또한 상기 광원은 LED(Light Emitting Diod)인 것이 바람직하다.

또한 상기 광조사부의 전방에는 집광렌즈가 더 구비되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 광 균일도를 확보할 수 있고, 광효율성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래 기판검사장치를 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판검사장치의 광학계를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 의한 기판검사장치의 광학계를 나타낸 것이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 광학계의 요부를 나타낸 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판검사장치의 구성 및 작용을 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 기판검사장치의 광학계(50)는 카메라(미도시)와, 광원(51)과, 광 혼합부(53)와, 광조사부(55)와, 집광렌즈(56)를 포함한다.

본 실시예는 광강도(Light intensity)를 안정화하기 위하여 광원(51)으로 복수의 LED를 구비한다.

또한 상기 광혼합부(53)는 상기 복수의 광원(51)으로부터 전달된 광을 균일하게 혼합하는 구성요소로서, 도 4를 참조하면, 상기 광혼합부(53)의 일측에는 상기 광원(도 3의 51참조)으로부터 광을 전달받는 한 쌍의 제1광섬유(52a)가 연결되고, 타측에는 상기 한 쌍의 제1광섬유(52a)가 혼합되어 상기 광조사부(55)로 전달하는 하나의 제2광섬유(54)가 연결된다.

도 5를 참조하면, 상기 광조사부(55)는 석영재질로서 소정길이를 갖는 원통형상으로 형성되며, 출사되는 광을 안내하기 위한 광가이드부(57)가 감싸고 있다.

상기 집광렌즈(56)는 상기 광조사부(55)로부터 출사되는 광을 집광하는 기능을 한다. 이를 통해 기판에 조사되는 광의 너비(width)를 조절할 수 있다.

이와 같이 구성된 본 실시예는 복수의 광원(51)으로부터 전달된 광이 광혼합부(53)에서 균일하게 혼합되어 광 균일도(Light Uniformity)가 90%이상 확보된다.

이와 같이 균일하게 혼합된 광은 광조사부(55)에 전달되어 기판을 향해 조사되고, 이를 통해 카메라가 기판의 이미지를 획득하여 기판을 검사하는 것이다.

Claims

광학계로부터 기판의 이미지를 획득하여 기판을 검사하는 장치에 있어서,
상기 광학계는,
복수의 광원들과,
상기 복수의 광원들으로부터 전달된 광을 균일하게 하는 광 혼합부와,
상기 혼합부로부터 균일한 광을 전달받는 광조사부와,
상기 기판의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하고,
상기 광 혼합부는 한 쌍이 구비되며, 각각의 상기 광 혼합부가 상기 광조사부의 양측 단부에 혼합된 광을 전달하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제1항에 있어서,
상기 광조사부는 소정길이를 갖고 석영재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제1항에 있어서,
상기 광원은 복수개의 LED(Light Emitting Diod)인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제1항에 있어서,
상기 광조사부의 전방에는 집광렌즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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