KR101189669B1 - 기판 적재용 카세트 - Google Patents

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KR101189669B1
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조병일
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    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets

Abstract

기판 적재용 카세트가 개시되어 있다.
개시된 기판 적재용 카세트는, 상부 구조물인 수평상의 탑 프레임(100), 하부 구조물인 수평상의 바텀 프레임(200) 및 상기 탑 프레임(100)과 바텀 프레임(200)의 양측을 지지하는 수직상의 사이드 프레임(300)들로 이루어지며, 상기 프레임(100,200,300)들에 의해 그 내부에 기판을 수납할 수 있는 수납공간(S)이 형성된 기판 적재용 카세트에 있어서;
상기 수납공간(S)의 일측과 타측의 상,하부에 좌우방향으로 위치 가변이 가능하게 설치되는 가변프레임(420); 상기 상부와 하부의 가변프레임(420) 사이에 고정되며 그 길이방향을 따라 다수의 기판홀더(431)가 형성된 기판 지지프레임(430) 및 상기 상,하부의 가변프레임(420)을 좌우방향으로 위치를 조절하여 주는 위치조절부재(440)를 포함하되,
상기 가변프레임(420)은 상기 수납공간(S)의 전방과 후방에 분할되게 설치되며, 상기 가변프레임(420)에 설치되는 기판홀더(431) 및 기판 지지프레임(430)은 각 가변프레임(420)에 상응한 길이로 된 것을 더 포함하며,
상기 바텀 프레임(200)은, ㄷ자로 절곡 성형하여 그루브(211)를 형성하고, 이 그루브(211)가 서로 마주하도록 배치되는 알루미늄재로 된 한 쌍의 장변바(210); 및 상기 각 장변바(210)의 바닥면에 적층되게 설치되어 컨베이어 롤과의 마찰력을 감쇠시키는 SUS재로 된 보호가드(220) 및 상기 마주하는 장변바(210) 사이에 배치되며, 상면의 양단부는 상기 각 그루브(211)로 삽입된 채 각 장변바(210)의 상면 아래에 중첩되어 볼트 체결되고, 하면의 양단부는 상기 각 장변바(210)의 하면 단부와 밀접되는 알루미늄재로 된 다수의 단변바(230)로 구성된 것을 더 포함하는 것이다.

Description

기판 적재용 카세트{Substrate cassette loaded}
본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
특히, 사이드 서포터의 기판에 대한 지지면적을 기존 대비 넓힘으로써 이에 지지되는 기판에 집중하중이 작용되는 것을 감쇠시킬 수 있다는 점 및 카세트의 밑면에 컨베이어 롤과의 마찰력 감소를 위해 저마찰용 보호가드가 설치된 점에 특징을 갖는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
평판 디스플레이 제조에 사용되는 (유리)기판은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있으므로 간격을 두고 수납할 수 있는 기판 적재용 카세트(이하 카세트라 약칭함)에 의해 보관되거나 운반된다.
이러한 카세트(cassette)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상부 구조물인 탑 프레임(2), 하부 구조물인 바텀 프레임(3) 및 상기 탑 프레임(2)과 바텀 프레임(3)의 양측을 연결하는 사이드 프레임(4)들로 이루어져 있다.
특히 사이드 프레임(4)들은 길이방향을 따라 등간격으로 설치되는 서포트 핑거(4a)를 갖추고 있는데, 이 서포트 핑거(4a)는 서로 마주보면서 기판의 밑면 가장자리 양쪽을 받쳐서 지지하게 된다.
이러한 구성에 따라, 각 서포트 핑거(4a)의 위에 로봇 아암(미도시)에 의해 기판(1)을 올려놓게 되면 기판(1)은 서포트 핑거(4a)에 의해 그 밑면 가장자리가 지지되면서 카세트 내부에 수평하게 적층되고, 이로써 기판(1)을 다층으로 적재하여 보관 및 운반할 수 있게 된다.
그러나, 이러한 종래의 카세트는 기판(1)의 서포트 핑거(4a)와 선접촉되는 부분에 집중 하중이 가해지게 된다. 즉, 서포트 핑거(4a)를 통해 기판(1)의 밑면을 군데군데 부분적으로 지지함에 따라 서포트 핑거(4a)에 의해 지지되는 부분에 집중하중이 작용하게 되어 기판 변형의 원인이 될 뿐만 아니라 이를 디스플레이에 장착하였을 때 흑점(dark spot)이 나타나게 되는 원인이 되고 있다. 특히, 최근에는 기판이 대형화되어 그 무게가 점차 무거워짐에 따라 서포트 핑거(4a)와 접촉하는 기판(1) 부분이 더욱 변형되기 쉽다.
이를 개선하기 위해, 특허등록 제0580608호(이하 '선행특허'라 한다)에서는 도 2에서와 같이, 기판프레임(5)의 기판홀더(5a) 면적을 넓게 하여 기판(1)과 면접촉되게 한 것이 제안된 바 있다.
그러나, 상기한 선행특허는 기판홀더(5a)의 면적이 그리 넓지 않기 때문에 기판의 변형을 근원적으로 방지하기에는 역부족이다.
또한, 카세트는 이동시에 컨베이어 롤이 이용되는데, 이때 바텀 프레임(3)은 알루미늄재질로 되므로 그 밑면이 수지계의 컨베이어 롤과 지속적으로 접촉됨에 따른 큰 마찰력으로 수지계 컨베이어 롤이 마모되면서 파티클이 발생하게 되고, 이러한 파티클은 카세트 및 기판에 부착되어 불량을 유발하는 문제점이 있었다.
아울러, 알루미늄은 마찰력이 지속될 경우 검은색으로 변색되고 검댕이가 묻어나게 되어 컨베이어 롤을 오염시키는 문제점도 지적된다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 주요 목적은 카세트의 밑면(정확하게는 바텀 프레임의 밑면)에 컨베이어 롤과의 마찰력 감소를 위해 저마찰용 보호가드가 설치된 기판 적재용 카세트를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 사이드 서포터의 지지면적을 기존 대비 넓힘으로써 이에 지지되는 기판에 작용되는 집중하중을 분산시킬 수 있도록 한 기판 적재용 카세트를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
상부 구조물인 수평상의 탑 프레임, 하부 구조물인 수평상의 바텀 프레임 및 상기 탑 프레임과 바텀 프레임의 양측을 지지하는 수직상의 사이드 프레임들로 이루어지며, 상기 프레임들에 의해 그 내부에 기판을 수납할 수 있는 수납공간이 형성된 기판 적재용 카세트에 있어서;
상기 수납공간의 일측과 타측의 상,하부에 좌우방향으로 위치 가변이 가능하게 설치되는 가변프레임; 상기 상부와 하부의 가변프레임 사이에 고정되며 그 길이방향을 따라 다수의 기판홀더가 형성된 기판 지지프레임 및 상기 상,하부의 가변프레임을 좌우방향으로 위치를 조절하여 주는 위치조절부재를 포함하되,
상기 가변프레임은 상기 수납공간의 전방과 후방에 분할되게 설치되며, 상기 가변프레임에 설치되는 기판홀더 및 기판 지지프레임은 각 가변프레임에 상응한 길이로 된 것을 더 포함하며,
상기 바텀 프레임은, ㄷ자로 절곡 성형하여 그루브를 형성하고, 이 그루브가 서로 마주하도록 배치되는 알루미늄재로 된 한 쌍의 장변바; 및 상기 각 장변바의 바닥면에 적층되게 설치되어 컨베이어 롤과의 마찰력을 감쇠시키는 SUS재로 된 보호가드 및 상기 마주하는 장변바 사이에 배치되며, 상면의 양단부는 상기 각 그루브로 삽입된 채 각 장변바의 상면 아래에 중첩되어 볼트 체결되고, 하면의 양단부는 상기 각 장변바의 하면 단부와 밀접되는 알루미늄재로 된 다수의 단변바로 구성된 것을 더 포함하는 기판 적재용 카세트이다.
또한, 본 발명의 상기 바텀 프레임은, ㄷ자로 절곡 성형하여 그루브를 형성하고, 이 그루브가 서로 마주하도록 배치되는 알루미늄재로 된 한 쌍의 장변바; 및상기 각 장변바의 바닥면에 적층되게 설치되어 컨베이어 롤과의 마찰력을 감쇠시키는 SUS재로 된 보호가드 및 상기 마주하는 장변바 사이에 배치되며, 상면의 양단부는 상기 각 그루브로 삽입된 채 각 장변바의 상면 아래에 중첩되어 볼트 체결되고, 하면의 양단부는 상기 각 장변바의 하면 단부와 밀접되는 알루미늄재로 된 다수의 단변바;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 보호가드는, 상기 장변바의 바닥 표면에 적층되는 보호부 및 상기 보호부의 일단부로부터 상향 절곡되어 상기 장변바의 외측면과 볼트 체결되는 결합부로 이루어지되, 상기 결합부의 상단은, 상기 장변바의 외면 소정부위에 형성되는 결합슬롯에 끼움 결합되는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 각 장변바의 상면에 상기 사이드 프레임의 단부가 삽입되도록 일정간격을 두고 지지홀이 형성되고, 상기 각 장변바의 상면 상에는 상기 사이드 프레임의 외면과 밀착된 채 볼트 결합되는 체결리브가 일체로 형성된 것을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 위치조절부재는, 상기 탑 프레임과 바텀 프레임에 각각 구비되며 다수의 위치설정홈이 형성된 상,하부 가이드블록 및 상기 가변프레임을 관통하여 상기 위치설정홈에 삽입되며 승강 가능한 복수의 조작폴대;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 조작폴대의 일단에는 조작폴대를 조작방향으로 탄력지지하기 위한 스프링이 구비되고, 상기 조작폴대의 일단에는 조작폴대의 상승범위를 제한하기 위한 스냅링이 구비된 것을 특징으로 한다.
이상의 본 발명은 바텀 프레임의 밑면에 저마찰용 보호가드를 설치하여 컨베이어 롤과의 마찰력을 감쇠시킴으로써 파티클 발생을 억제하고, 알루미늄재인 바텀 프레임으로부터 검댕이가 묻어나는 것을 방지할 수 있다.
사이드 서포터의 지지면적을 기존 대비 넓힘으로써 이에 지지되는 기판에 집중하중이 작용되는 것을 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 기판의 변형을 방지할 수 있고, 흑점과 같은 불량을 방지할 수 있다
도 1은 종래 카세트의 일 예시도이다.
도 2는 종래 카세트의 다른 예시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 카세트의 사시도이다.
도 4는 도 3의 A부 분해사시도이다.
도 5는 도 4의 결합사시도이다.
도 6은 도 5의 B-B선 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 조작폴대의 분해사시도이다.
도 8은 조작폴대의 작동전 상태도이다.
도 9는 조작폴대의 작동 상태도이다.
이하에서는 본 발명의 실시예가 개시된다.
개시되는 실시예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 카세트의 사시도이고, 도 4는 도 3의 A부 분해사시도이며, 도 5는 도 4의 결합사시도이고, 도 6은 도 5의 B-B선 단면도이다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명의 카세트는 상부 구조물인 수평상의 탑 프레임(100), 하부 구조물인 수평상의 바텀 프레임(200), 상기 탑 프레임(100)과 바텀 프레임(200)의 양측을 지지하는 수직상의 사이드 프레임(300)을 포함하며, 상기 프레임들에 의해 그 내부에는 기판(미도시)을 수납하기 위한 수납공간(S)이 구성된다.
여기서, 본 발명의 특징적 부품인 상기 바텀 프레임(200)은 장변바(210), 보호가드(220) 및 단변바(230)를 포함한다.
장변바(210)는 ㄷ자로 절곡 성형함으로써 그루브(211)가 형성되어 있다. 이때, 상기 장변바(210)의 상면(212)은 강도 보강을 위해 계단형으로 형성되며, 하면(213)은 상면(212)보다 짧게 구성되어 있다. 또한, 장변바(210)의 외면 소정부위에는 결합슬롯(214)이 형성되어 있다. 또한, 상기 장변바(210)의 상면(212)에는 상기 사이드 프레임(300)의 단부가 삽입되도록 일정간격을 두고 지지홀(215)이 형성되어 있고, 상면(212)의 외측 모서리 부위에는 상기 사이드 프레임(300)의 외면과 밀착된 채 볼트 결합되는 체결리브(216)가 일체로 형성되어 있다. 또한, 상기 장변바(210)의 재질은 무게 감량을 위해 알루미늄으로 되는 것이 바람직하다.
보호가드(220)는 상기 장변바(210)의 하면(213)을 보호하기 위한 것으로, 상기 장변바(210)의 바닥 표면에 적층되는 보호부(221), 상기 보호부(221)의 일단부로부터 상향 절곡되어 상기 장변바(210)의 외측면에 볼트 체결되는 결합부(222)로 이루어져 있다. 또한, 상기 결합부(222)의 상단은 상기 장변바(210)에 형성된 결합슬롯(214)에 끼움 결합된다.
여기서, 상기 보호가드(220)는 마찰력이 작은 스테인레스 스틸(SUS)로 되는 것이 바람직하나, 이에 한정하지는 않으며, 마찰력이 SUS와 유사하거나 이하의 재질은 모두 적용가능하다. 이러한 보호가드(220)는 컨베이어 롤(R)과 지속적으로 접촉되더라도 마찰력이 작은 관계로 수지계인 컨베이어 롤이 파쇄되지 않으므로 이물질 발생을 방지할 수 있음과 아울러 알루미늄과는 달리 마찰로 인해 검댕이가 묻어나지 않으므로 오염을 방지할 수 있다.
단변바(230)는 상기 한 쌍의 장변바(210) 사이를 연결하기 위한 것으로, 상기 장변바(210)의 사이에 일정간격으로 복수개가 배치된다. 상기 단변바(230)는 I형 단면을 이루고 있으며, 상면(231)에 비해 하면(232)의 길이가 짧게 구성된다. 또한, 상기 단변바(230)의 상면(231) 양단부는 상기 각 장변바(210)의 그루브(211)로 삽입된 채 각 장변바(210)의 상면(212) 아래에 중첩되어 볼트 체결된다. 또한, 단변바(230)의 하면(232) 양단부는 상기 각 장변바(210)의 하면(213) 단부와 밀접된다. 또한, 단변바(230)의 재질은 무게 감량을 위해 알루미늄으로 되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 상기 바텀 프레임(200)은 상기 단변바(230) 사이를 연결하는 연결바(240)를 더 구성할 수 있다.
또 한편, 본 발명의 기판 적재용 카세트는 도 3에서와 같이, 상기 수용공간(S) 내에 기판(미도시)을 적층상태로 거치하기 위한 기판 지지부재(400)를 구비하고 있다.
상기 기판 지지부재(410)는, 가변프레임(420), 기판 지지프레임(430) 및 위치조절부재(440)를 포함한다.
가변프레임(420)은 상기 수납공간(S)의 일측과 타측의 상,하부에 좌우방향으로 위치변위가 가능하게 설치된다. 이러한 가변프레임(420)은 상기 수납공간(S)의 전방과 후방에 분할되게 설치되어 수납공간(S)의 전방 좌,우측에 각각 상,하로 배치되고, 또한 수납공간(S)의 후방 좌,우측에도 각각 상,하로 배치된다.
기판 지지프레임(430)은 상기 상,하부에 위치하는 각 가변프레임(420)의 사이에 조립되며, 그 길이방향을 따라 다수의 기판홀더(431)가 배열되어 있어서 각 기판홀더(431) 상에 기판(미도시)의 측단이 안착된다.
여기서, 상기 기판홀더(431)는 상기 가변프레임(420)의 길이에 상응하는 길이로 된다. 따라서, 기판홀더(431)는 기존 대비 그 면적이 확대되어 이에 안착되는 기판(미도시)을 안정적으로 지지하게 되어 기판 양측단에 작용되는 집중하중을 분산시킬 수 있고, 이로 인해 기판의 이상 변형을 미연에 방지할 수 있다.
위치조절부재(440)는 상,하부 가이드블록(441,442) 및 조작폴대(443)를 포함한다.
상,하부 가이드블록(441,442)은 도 3에서와 같이, 상기 탑 프레임(100)과 바텀 프레임(200)에 각각 구비되며 다수의 위치설정홈(441a,442a)이 형성되어 있다. 상기 상부 가이드블록(441)과 하부 가이드블록(442)은 상하방향으로 동일위치에 설치되며, 이에 형성된 위치설정홈(441a,442a)도 동일위치에 형성된다. 다만, 상부 가이드블록(441)의 위치설정홈(441a)들은 연결홈(441b)에 의해 상호 연통되도록 구성될 수 있으며, 반면 하부 가이드블록(442)의 위치설정홈(442a)들은 상호 연통되지 않고 독립적으로 구성될 수 있다.
조작폴대(443)는 도 7에서와 같이, 상기 가변프레임(420)의 좌,우 위치를 가변하기 위한 조작대로 사용되는 것으로서, 상,하로 승강 가능하도록 상기 가변프레임(420)을 관통하게 설치된다. 이때, 상기 가변프레임(420)을 관통한 조작폴대(443)의 상,하단은 상기 상부 가이드블록(441)의 위치설정홈(441a) 및 하부 가이드블록(442)의 위치설정홈(442a)에 삽입된다.
또한, 상기 조작폴대(443)의 일단에는 조작폴대(443)를 조작방향으로 탄력지지하기 위한 스프링(443a)이 구비되고, 상기 조작폴대(443)의 일단에는 조작폴대의 상승범위를 제한하기 위한 스냅링(443b)이 구비되어 있다.
따라서, 상기 조작폴대(443)를 잡고 위로 올려서 조작폴대의 상,하단을 현재의 위치설정홈으로부터 이탈시킨 후, 조작폴대(443)를 원하는 다른 위치설정홈으로 위치이동시키고 조작폴대를 내려놓으면 조작폴대와 결합되어 있는 가변프레임(420) 및 이 가변프레임(420)에 결합된 기판홀더(431)의 좌,우 위치를 가변시킬 수 있으므로, 결국 서로 마주하는 기판 지지부재(410)의 간격을 조절할 수 있어서 기판의 크기에 따라 호환적으로 기판을 지지할 수 있게 된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 탑 프레임 200 : 바텀 프레임
210 : 장변바 211 : 그루브
212 : 상면 213 : 하면
214 : 결합슬롯 215 : 지지홀
216 : 체결리브 220 : 보호가드
230 : 단변바 231 : 상면
232 : 하면 300 : 사이드 프레임
400 : 기판 지지부재 420 : 가변 프레임
430 : 기판 지지프레임 431 : 기판홀더
440 : 위치조절부재 441 : 상부 가이드블록
442 : 하부 가이드블록 443 : 조작폴더

Claims (6)

  1. 상부 구조물인 수평상의 탑 프레임(100), 하부 구조물인 수평상의 바텀 프레임(200) 및 상기 탑 프레임(100)과 바텀 프레임(200)의 양측을 지지하는 수직상의 사이드 프레임(300)들로 이루어지며, 상기 프레임(100,200,300)들에 의해 그 내부에 기판을 수납할 수 있는 수납공간(S)이 형성된 기판 적재용 카세트에 있어서;
    상기 수납공간(S)의 일측과 타측의 상,하부에 좌우방향으로 위치 가변이 가능하게 설치되는 가변프레임(420); 상기 상부와 하부의 가변프레임(420) 사이에 고정되며 그 길이방향을 따라 다수의 기판홀더(431)가 형성된 기판 지지프레임(430) 및 상기 상,하부의 가변프레임(420)을 좌우방향으로 위치를 조절하여 주는 위치조절부재(440)를 포함하되,
    상기 가변프레임(420)은 상기 수납공간(S)의 전방과 후방에 분할되게 설치되며, 상기 가변프레임(420)에 설치되는 기판홀더(431) 및 기판 지지프레임(430)은 각 가변프레임(420)에 상응한 길이로 된 것을 더 포함하며,
    상기 바텀 프레임(200)은, ㄷ자로 절곡 성형하여 그루브(211)를 형성하고, 이 그루브(211)가 서로 마주하도록 배치되는 알루미늄재로 된 한 쌍의 장변바(210); 및 상기 각 장변바(210)의 바닥면에 적층되게 설치되어 컨베이어 롤과의 마찰력을 감쇠시키는 SUS재로 된 보호가드(220) 및 상기 마주하는 장변바(210) 사이에 배치되며, 상면의 양단부는 상기 각 그루브(211)로 삽입된 채 각 장변바(210)의 상면 아래에 중첩되어 볼트 체결되고, 하면의 양단부는 상기 각 장변바(210)의 하면 단부와 밀접되는 알루미늄재로 된 다수의 단변바(230)로 구성된 것을 더 포함하는 기판 적재용 카세트.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 보호가드(220)는,
    상기 장변바(210)의 바닥 표면에 적층되는 보호부(221) 및
    상기 보호부(221)의 일단부로부터 상향 절곡되어 상기 장변바의 외측면과 볼트 체결되는 결합부(222)로 이루어지되,
    상기 결합부(222)의 상단은, 상기 장변바(210)의 외면 소정부위에 형성되는 결합슬롯(214)에 끼움 결합되는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 각 장변바(210)의 상면에는 상기 사이드 프레임(300)의 단부가 삽입되도록 일정간격을 두고 지지홀(215)이 형성되고, 상기 각 장변바(210)의 상면 상에는 상기 사이드 프레임(300)의 외면과 밀착된 채 볼트 결합되는 체결리브(216)가 일체로 형성된 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 위치조절부재(440)는, 상기 탑 프레임(100)과 바텀 프레임(200)에 각각 구비되며 다수의 위치설정홈(441a,442a)이 형성된 상,하부 가이드블록(441,442) 및
    상기 가변프레임(420)을 관통하여 상기 위치설정홈(441a,442a)에 삽입되며 승강 가능한 복수의 조작폴대(443);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 조작폴대(443)의 일단에는 조작폴대를 조작방향으로 탄력지지하기 위한 스프링(443a)이 구비되고, 상기 조작폴대(443)의 일단에는 조작폴대의 상승범위를 제한하기 위한 스냅링(443b)이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
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