KR101188080B1 - Corner chamfer device of seed stick for ingot growing - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 태양광전지의 핵심소재인 잉곳을 성장시키기 위하여 사용되는 시드봉의 모서리를 자동으로 연마하기 위한 잉곳성장용 시드봉 모서리 면취장치에 관한 것이다.The present invention relates to a seed rod edge chamfering device for ingot growth for automatically polishing the edge of the seed rod used to grow the ingot which is a key material of the solar cell.
태양전지 셀(cell)을 만드는 웨이퍼(wafer)는 잉곳(ingot)을 얇은 판 형태로 슬라이스 절단하여 만들어지고, 잉곳은 용융실리콘을 시드봉(seed stick)으로부터 성장(growing)시켜 기둥모양의 결정으로 만든 것이다.A wafer for making a solar cell is made by slicing an ingot into a thin plate, and the ingot is formed into pillar-shaped crystals by growing molten silicon from a seed stick. It is made.
상기 시드봉은 사각, 육각, 팔각 등등 다양한 형태로 제작될 수 있는 것인데, 통상 사각형태가 가장 많이 사용되며, 시드봉으로부터 용융실리콘을 성장시키는 잉곳 제조를 용이하게 하기 위하여 상기 시드봉의 각 모서리에 면취(chamfer)작업을 실시하기도 한다.
The seed rods may be manufactured in various shapes such as square, hexagonal, octagonal, etc., a square shape is most commonly used, and chamfered at each corner of the seed rods to facilitate ingot production of growing molten silicon from the seed rods. Sometimes chamfers are performed.
그러나, 종래에는 잉곳성장용 시드봉이 공급되어 지그에 장전된 후 각 모서리에 대한 연마면취작업이 완료되고 완료된 시드봉을 취출하여 배출하는 일련의 과정을 포함하는 시드봉 모서리 면취작업이 대부분 수작업에 의해 이루어지고 있기 때문에, 인력의 낭비가 크고, 작업자의 피로가 증가되고, 작업자에 대한 안전성도 떨어지고, 생산성도 낮았으며, 면취작업에 대한 가공비용 부담도 높다는 문제점이 지적된다.
However, conventionally, the seed rod edge chamfering operation including a series of processes of removing and discharging the completed seed rod after the seeding rod for ingot growth is supplied and loaded in the jig is completed for each corner and the finished seed rod is discharged. It is pointed out that the waste of manpower is increased, worker fatigue is increased, worker safety is low, productivity is low, and processing cost burden for chamfering work is high.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래 시드봉 모서리 면취작업시에 제반되었던 문제점을 일소하기 위해 창출된 것으로, 특히 잉곳성장용 시드봉이 공급되어 지그에 장전된 후 각 모서리에 대한 연마면취작업이 완료되고 완료된 시드봉을 취출하여 배출하는 일련의 과정이 자동으로 이루어질 수 있는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치를 제공함에 그 기술적 과제의 주안점을 두고 완성한 것이다.The present invention was created to eliminate the problems associated with the conventional seed bar edge chamfering operation as described above, in particular, the seed rod for ingot growth is supplied to the jig after the polishing chamfering operation for each corner is completed and completed It provides the edge chamfering device of seed rod for ingot growth, which can automatically take out and discharge the seed rod.
상기한 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명은 각 구성부가 설치되는 베이스(11)와; 상기 베이스(11)의 전방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되어 상기 시드봉(S)을 일방향 연속 공급하는 공급부(20)와; 상기 공급부(20)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 공급부(20)에서 연속 공급되는 시드봉(S)을 1개씩 취출한 후 상기 시드봉(S)의 모서리 중 어느 하나의 모서리가 최상부로 향하도록 시드봉(S)을 일정 각도 전환하여 지그에 안착시키는 장전부(30)와; 상기 장전부(30)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 시드봉(S)을 안착시키는 안착홈(41)이 일렬로 다수 구비된 안착지그(40)와; 상기 안착지그(40)의 일측에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 다수의 안착홈(41)에 안착된 다수의 시드봉(S)을 90°회전시키면서 차순위의 안착홈(41)으로 이송시키는 회전이송부(50)와; 상기 안착지그(40)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 안착지그(40)에 안착된 다수 시드봉(S)의 모서리를 연마하는 연마면취부(60)와; 상기 안착지그(40)의 후방 상부에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 면취부에서 각 모서리에 대한 연마가 완료된 시드봉(S)을 1개씩 취출하여 배출시키는 취출부(70)와; 상기 안착지그(40)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 후방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되고, 상기 취출부(70)에서 배출되는 시드봉(S)을 받아서 일방향 연속 배출하는 배출부(80);를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The present invention for realizing the above-described technical problems and the
상기와 같은 해결 수단을 갖는 본 발명은 시드봉(S)이 공급되어 안착지그(40)에 장전된 후 각 모서리에 대한 연마면취작업이 완료되고 완료된 시드봉(S)을 취출하여 배출하는 일련의 과정을 순차적으로 자동 실시될 수 있으므로, 인력 낭비를 최소화할 수 있고, 생산성이 대폭 향상되며, 나아가 면취작업에 대한 가공비용도 절감되는 등 그 기대되는 효과가 실로 유익한 발명이다.The present invention having the above-described solution is a series of discharged by discharging the seed rod (S) after the seed chamfer (S) is supplied and loaded in the
도 1은 본 발명에서 제시하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치의 바람직한 실시 예를 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명에 따른 공급부를 발췌하여 나타낸 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 장전부의 시드봉 취출과정을 나타낸 참고도.
도 4는 본 발명에 따른 장전용 시드봉집게장치의 작동을 나타낸 참고도.
도 5는 본 발명에 따른 장전부의 시드봉 안착?장전과정을 나타낸 참고도.
도 6a 및 6b는 본 발명에 따른 회전이송부의 작동과정을 나타낸 참고도.
도 7은 안착지그의 각 안착홈에 안착된 시드봉의 모서리가 연마부에 의해 연마되는 상태를 나타낸 참고도.
도 8은 회전이송부의 측면상태 및 시드봉지지고정수단을 나타낸 측면도.
도 9는 시드봉지지고정수단의 작동 상태를 나타낸 참고도.
도 10은 본 발명에 따른 연마면취부 및 취출부를 나타낸 참고도.
도 11은 취출부의 작동과정을 나타낸 참고도.
도 12는 취출부에 의해 시드봉이 배출용 요홈에 안착되는 과정을 나타낸 참고도.1 is a front view showing a preferred embodiment of the edge chamfering device of the seed rod for ingot growth proposed in the present invention.
Figure 2 is a front view showing an extract of the supply unit according to the present invention.
3 is a reference diagram showing a seed rod extraction process of the loading section according to the present invention.
Figure 4 is a reference diagram showing the operation of the seed rod clamp device for loading according to the present invention.
5 is a reference diagram showing a seed rod seating-loading process of the loading section according to the present invention.
Figure 6a and 6b is a reference diagram showing the operation of the rotary feeder in accordance with the present invention.
7 is a reference diagram showing a state that the edge of the seed rod seated in each seating groove of the seating jig is polished by the polishing unit.
Figure 8 is a side view showing the side state and the seed bag fixing means of the rotary feeder.
9 is a reference diagram showing the operating state of the seed bag fixing means.
Figure 10 is a reference diagram showing the abrasive chamfering and extracting portion according to the present invention.
11 is a reference diagram showing the operation of the take-out part.
12 is a reference diagram showing a process that the seed rod is seated in the discharging groove by the extraction unit.
도 1에 본 발명에서 제시하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치(10)의 바람직한 실시 예가 도시되는데, 도시된 바와 같이 본 발명은,1 shows a preferred embodiment of the
각 구성부가 설치되는 베이스(11)와; 상기 베이스(11)의 전방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되어 상기 시드봉(S)을 일방향 연속 공급하는 공급부(20)와; 상기 공급부(20)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 공급부(20)에서 연속 공급되는 시드봉(S)을 1개씩 취출한 후 상기 시드봉(S)의 모서리 중 어느 하나의 모서리가 최상부로 향하도록 시드봉(S)을 일정 각도 전환하여 지그에 안착시키는 장전부(30)와; 상기 장전부(30)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 시드봉(S)을 안착시키는 안착홈(41)이 일렬로 다수 구비된 안착지그(40)와; 상기 안착지그(40)의 일측에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 다수의 안착홈(41)에 안착된 다수의 시드봉(S)을 90°회전시키면서 차순위의 안착홈(41)으로 이송시키는 회전이송부(50)와; 상기 안착지그(40)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 안착지그(40)에 안착된 다수 시드봉(S)의 모서리를 연마하는 연마면취부(60)와; 상기 안착지그(40)의 후방 상부에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 면취부에서 각 모서리에 대한 연마가 완료된 시드봉(S)을 1개씩 취출하여 배출시키는 취출부(70)와; 상기 안착지그(40)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 후방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되고, 상기 취출부(70)에서 배출되는 시드봉(S)을 받아서 일방향 연속 배출하는 배출부(80);를 포함 구성되어,A
다수의 모서리를 갖는 시드봉(S)의 각 모서리를 자동 면취할 수 있도록 이루어진 것이 특징임을 알 수 있다.
It can be seen that it is characterized in that each corner of the seed rod (S) having a plurality of edges made to automatically chamfer.
이하 본 발명에 따른 각 구성부를 구체적으로 설명하기로 한다.
Hereinafter, each component according to the present invention will be described in detail.
상기 공급부(20)는, 외면에 상기 시드봉(S)이 안착되는 공급용 요홈(21)이 등간격 배열된 공급용 컨베이어벨트(22)를 포함하는 공급용 이송컨베이어(23)와; 상기 공급용 이송컨베이어(23)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)에 설치되는 제1실린더(24)와; 상단에 시드봉(S)을 안착하는 공급안착요홈(25)이 형성되고, 상기 제1실린더(24)의 작동에 따라 일정간격 승하강되는 제1승하강로드(26);를 포함하여 이루어지는 것이 특징이다.The
상기 공급안착요홈(25)이 형성된 제1승하강로드(26)는 후술되는 장전용 시드봉집게장치(39)가 시드봉(S)을 용이하게 집을 수 있도록 하기 위한 것으로, 제1실린더(24)의 작동에 따라 상승하여 상기 공급용 컨베이어벨트(22)의 공급용 요홈(21)에 안착된 시드봉(S)을 일정한 위치로 상방이탈시키는 것이다.The first raising and lowering
상기 공급용 이송컨베이어(23)의 최전방에는 시드봉(S)을 상기 공급용 요홈(21)에 원활하게 안착시키기 위하여 후방으로 갈수록 하향경사를 이루는 미끄럼경사면을 구비함이 바람직하다.In order to smoothly seat the seed rod (S) in the
상기 미끄럼경사면의 전방상부에 작업자가 시드봉(S)을 내려놓게 되면, 시드봉(S)은 미끄러지면서 반듯하게 정렬되어 상기 공급용 요홈(21)에 원활하게 안착된다.When the operator puts down the seed rods S on the front upper portion of the sliding slope, the seed rods S are smoothly aligned and are smoothly seated in the supply recess 21.
상기 공급용 요홈(21)에 안착된 시드봉(S)은 공급용 컨베이어를 따라 상기 장전부(30)의 하측으로 이송된다.
The seed rod S seated in the
상기 장전부(30)는, 상기 베이스(11)에 고정결합되는 다수의 제1축지지프레임(31)에 회전가능하게 결합되고, 일측에 제1각도전환바(32)가 구비된 제1회전봉(33)과; 상기 베이스(11)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1각도전환바(32)를 밀거나 당겨 상기 제1회전봉(33)을 일정 각도 회전시키는 각도전환용 제3실린더(34)와; 상기 제1회전봉(33)에 고정결합되는 장전실린더(35)와; 상기 장전실린더(35)의 실린더로드(36)에 고정결합되고, 장전에어핑거(37) 및 장전에어핑거(37)의 작동에 따라 벌어지거나 오므라드는 장전집게(38)로 구성되어 상기 시드봉(S)을 집을 수 있도록 구비되는 장전용 시드봉집게장치(39);를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The
상기 시드봉(S)이 공급부(20)를 통해 장전부(30)의 하부로 이송되면 장전실린더(35) 및 장전용 시드봉집게장치(39)는 수직상태로 하강하여 시드봉(S)을 집은 후 상승하게 되고, 상승된 장전실린더(35) 및 장전용 시드봉집게장치(39)는 각도전환용 제3실린더(34)의 작동에 의해 시드봉(S)과 함께 일정각도 회전(시드봉(S)이 직사각 또는 정사각인 경우에는 45°만큼 회전됨)된 다음 상기 안착지그(40)의 최전방에 위치한 첫번째 안착홈(41)에 시드봉(S)을 안착시키게 된다.
When the seed rods S are transferred to the lower portion of the
상기 회전이송부(50)는, 제1캠(51)의 작동에 따라 승하강되는 승하강플레이트(53)와; 제2캠(52)의 작동에 따라 전,후진 작동되는 밀바(54)와; 상기 승하강플레이트(53)와 함께 승하강 가능하면서 상기 밀바(54)의 작동에 따라 전,후진 가능하고, 일측에 돌출핀(55)이 다수 구비된 전후진플레이트(56)와; 상기 승하강플레이트(53)에 내설되되 상기 전후진플레이트(56)에 탄성력이 가해지도록 내설되는 탄성스프링(57)과; 상기 승하강플레이트(53)에 회전가능하게 결합되고, 하부에는 상기 돌출핀(55)과 결합을 이루는 장홈(58)이 마련되고 상부에는 시드봉(S)을 수용하는 'ㄷ'형 수용홈(59a)이 형성된 다수의 회전이송수단(59);을 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The
상기 최전방 안착홈(41)에 안착된 시드봉(S)의 각 모서리 가운데 가장 위쪽에 위치한 1순위의 첫번째 모서리(A1)에 대한 연마면취작업이 연마면취부(60)에 완료된 후에는 승하강 플레이트에 결합된 회전이송수단(59)이 제1캠(51)의 작동에 의해 승강하면서 시드봉(S)을 안착지그(40)의 안착홈(41)으로부터 상방이탈시키게 된다. After the polishing chamfering operation is completed on the
상기 시드봉(S)이 상방이탈된 후에는 제2캠(52)이 작동되어 전후진플레이트(56)가 전진하면서 회전이송수단(59)을 일정각도 회전(시드봉이 직사각 또는 정사각 형태인 경우에는 90°만큼 회전됨)시키게 되는데, 이때 시드봉(S)은 'ㄷ'형 수용홈(59a) 내에서 미끄러져 반대편으로 이동되면서 동시에 90°회전되어 연마면취작업이 행하여 지지않은 두번째 모서리가 가장 위쪽에 위치하게 된다.After the seed rods S are separated upwards, the
2순위의 두번째 모서리가 가장 위쪽에 위치한 상태가 되면 다시 제1캠(51)이 작동하여 승하강플레이트(53)에 결합된 회전이송수단(59)이 하강되면서 시드봉(S)을 두번째 안착홈(41)에 안착시켜 연마면취부(60)에 의한 연마면취작업을 실시하게 된다.When the second corner of the second position is located at the uppermost position, the
상기와 같은 과정을 반복함으로써, 시드봉(S)의 3순위의 세번째부터 끝순위의 마지막번째까지의 모서리에 대한 연마면취작업을 모두 완료할 수 있게 된다.By repeating the above process, it is possible to complete all the grinding chamfering work for the corners from the third to the last of the third rank of the seed rod (S).
또한, 상기 연마면취부(60)에 의한 연마면취작업시에는 상기 안착지그(40)의 다수 안착홈(41)에 다수의 시드봉(S)이 모두 안착된 상태에서 한꺼번에 연마면취작업을 실시하게 되는데, 이때 상기 안착지그(40)의 첫번째부터 마지막번째까지의 다수 안착홈(41)에는 임의의 첫번째 모서리(A1)가 가장 위쪽에 위치한 시드봉(S)부터 마지막번째 모서리가 가장 위쪽에 위치한 시드봉(S)이 각각 대응되게 순차적으로 안착된다.
In addition, during the polishing chamfering operation by the
상기 연마면취부(60)는, 상기 베이스(11)에 고정설치되는 이송모터(65)와; 상기 이송모터(65)에 의해 시드봉(S)의 길이방향으로 이송 가능한 이송프레임(66)과; 상기 이송프레임(66)에 고정결합되는 승하강모터(61)와; 상기 승하강모터(61)의 정,역 구동에 따라 승하강 가능한 승하강프레임(62)과; 상기 승하강프레임(62)에 고정결합되는 회전모터(63)와; 상기 회전모터(63)의 구동에 따라 회전가능하도록 구비되는 연마숫돌(64);을 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The
상기 승하강모터(61)의 구동축에 스크루를 일체로 결합하고, 상기 스크루에는 스크루블럭을 나사결합시켜 스크루블럭이 스크루의 정,역회전에 따라 전,후진이 가능하도록 하고, 상기 스크루의 양측으로는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 직선이동 가능한 가이드블럭을 각각 구비한 다음, 상기 스크루블럭 및 가이드블럭을 승하강프레임(62)와 고정결합시키게 되면, 상기 승하강모터(61)의 정,역 구동에 따라 상기 승하강프레임(62)이 안정되게 승하강될 수 있다.A screw is integrally coupled to the drive shaft of the elevating
상기 이송모터(65)의 구동축에 스크루를 일체로 결합하고, 상기 스크루에는 스크루블럭을 나사결합시켜 스크루블럭이 스크루의 정,역회전에 따라 전,후진이 가능하도록 하고, 상기 스크루의 양측으로는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 직선이동 가능한 가이드블럭을 각각 구비한 다음, 상기 스크루블럭 및 가이드블럭을 이송프레임(66)과 고정결합시키게 되면, 상기 이송모터(65)의 정,역 구동에 따라 이송프레임(66)이 안정되게 이송될 수 있다.The screw is integrally coupled to the drive shaft of the
상기 연마숫돌(64)은 회전모터(63)에 의해 일방향 회전되는 가운데, 승하강모터(61)의 구동에 의해 각 안착부(41)에 안착된 시드봉(S)의 최상측 모서리를 연마할 수 있는 지점까지 하강되고, 하강된 후에는 이송모터(65)에 의해 시드봉(S)의 길이방향으로 이송되면서 시드봉(S)의 모서리를 연마,면취시키게 된다.The
또한, 연마면취부(60)에서 면취작업시에 각 안착홈(41)에 안착된 시드봉(S)이 흔들림없이 고정될 수 있도록 하기 위하여, 시드봉고정실린더(91)의 작동에 의해 전후진 가능한 고정바(92)가 시드봉(S)의 양쪽 끝에 밀착되어 지지고정할수 있도록 구성되는 시드봉지지고정수단(90)을 베이스(11) 상부에 고정결합시켜 구성함이 바람직하다.
In addition, in order to ensure that the seed rod S seated in each
상기 취출부(70)는, 상기 베이스(11)에 고정결합되는 다수의 제2축지지프레임(71)에 회전가능하게 결합되고 일측에 제2각도전환바(72)가 구비된 제2회전봉(73)과; 상기 베이스(11)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제2각도전환바(72)를 밀거나 당겨 상기 제2회전봉(73)을 일정 각도 회전시키는 각도전환용 제4실린더(74)와; 상기 제2회전봉(73)에 고정결합되는 취출실린더(75)와; 상기 취출실린더(75)의 실린더로드(76)에 고정결합되고, 취출에어핑거(77) 및 취출에어핑거(77)의 작동에 따라 벌어지거나 오므라드는 취출집게(78)로 구성되어 상기 시드봉(S)을 집을 수 있도록 구비되는 취출용 시드봉집게장치(79);를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The takeout part 70 is rotatably coupled to a plurality of second
상기 시드봉(S)의 각 모서리에 대한 연마면취작업이 모두 완료되면, 취출용 시드봉집게장치(79)는 수평상태에서 전방으로 전진하여, 상기 다수의 회전이송수단(59) 가운데 최후방에 위치한 마지막 회전이송수단(59)에 의해 안착지그(40)의 후방으로 회전이송된 시드봉(S)을 집은 후 후방으로 후퇴하게 되고, 후퇴된 취출용 시드봉집게장치(79)는 각도전환용 제4실린더(74)의 작동에 의해 시드봉(S)을 집은 상태에서 90°회전된 다음 배출용 컨베이어벨트(82)의 배출용 요홈(81)에 시드봉(S)을 안착시켜 배출시킨다.
When all the grinding chamfering operation for each corner of the seed rod (S) is completed, the extraction seed
상기 배출부(80)는, 외면에 상기 시드봉(S)이 안착되는 배출용 요홈(81)이 등간격 배열된 배출용 컨베이어벨트(82)를 포함하는 배출용 이송컨베이어(83)와; 상기 배출용 이송컨베이어(83)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)에 설치되는 제2실린더(84)와; 상단에 시드봉(S)을 안착하는 공급안착요홈(85)이 형성되고 상기 제2실린더(84)의 작동에 따라 일정간격 승하강되는 제2승하강로드(86);를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.The
상기 공급안착요홈(85)이 형성된 제2승하강로드(86)는 상기 취출용 시드봉집게장치(79)가 집고 있는 시드봉(S)을 배출용 컨베이어벨트(82)의 요홈(81)에 용이하게 안착시킬 수 있도록 하기 위한 것으로, 제2실린더(84)의 작동에 따라 일정한 위치로 상승한 상태에서 상기 취출용 시드봉집게장치(79)로부터 시드봉(S)을 공급안착요홈(85)에 받은 다음 제2실린더(84)의 작동에 의해 하강하면서 연마면취작업이 완료된 시드봉(S)을 배출용 컨베이어벨트(82)의 요홈(81)에 안착시키는 것이다.The second raising and lowering
상기 배출용 이송컨베이어(83)의 최후방에는 배출된 시드봉(S)이 바닥으로 낙하하여 파손되는 것을 방지하기 위한 낙하방지턱을 구비함이 바람직하다.The rear end of the
상기 배출용 공급용 요홈(21)에 안착된 시드봉(S)은 배출용 컨베이어를 따라 후방으로 이송배출된다.
The seed rod S seated in the
한편, 공급부(20)에 의해 시드봉(S)이 공급되고, 장전부(30)에 의해 안착지그(40)에 시드봉(S)을 장전시키고, 연마면취부(60) 및 회전이송부(50)에 의해 시드봉(S)의 각 모서리에 대한 연마면취작업을 완료하고, 연마면취작업이 완료된 시드봉(S)을 취출하여 배출하는 일련의 과정이 시간상의 차이가 없도록 하여 원활하게 진행될 수 있도록 각 구성부마다 센서를 부착하는 것도 가능하다. 이때, 센서는 각 구성부에 대한 작업의 완료를 알리는 역할을 담당하게 되며, 모든 센서에서 신호가 발생되었을 때 각 구성부가 연속된 1회의 일련된 작동을 실시할 수 있도록 구성함이 바람직하다.Meanwhile, the seed rod S is supplied by the
10 : 면취장치 11 : 베이스
20 : 공급부 30 : 장전부
40 : 안착부 50 : 회전이송부
60 : 연마면취부 70 : 취출부
80 : 배출부 90 : 시드봉지지고정수단
S : 시드봉10: chamfering device 11: base
20: supply part 30: loading part
40: seating portion 50: rotation transfer portion
60: polishing chamfer 70: take out part
80: discharge portion 90: seed bag fixing means
S: seed rod
Claims (7)
각 구성부가 설치되는 베이스(11)와;
상기 베이스(11)의 전방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되어 상기 시드봉(S)을 일방향 연속 공급하는 공급부(20)와;
상기 공급부(20)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 공급부(20)에서 연속 공급되는 시드봉(S)을 1개씩 취출한 후 상기 시드봉(S)의 모서리 중 어느 하나의 모서리가 가장 위쪽을 향하도록 시드봉(S)을 일정 각도 전환하여 지그에 안착시키는 장전부(30)와;
상기 장전부(30)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 시드봉(S)을 안착시키는 안착홈(41)이 일렬로 다수 구비된 안착지그(40)와;
상기 안착지그(40)의 일측에 위치하도록 상기 베이스(11)의 중앙 상부에 설치되고, 상기 다수의 안착홈(41)에 안착된 다수의 시드봉(S)을 90°회전시키면서 차순위의 안착홈(41)으로 이송시키는 회전이송부(50)와;
상기 안착지그(40)의 상방에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 안착지그(40)에 안착된 다수 시드봉(S)의 모서리를 연마하는 연마면취부(60)와;
상기 안착지그(40)의 후방 상부에 위치하도록 상기 베이스(11) 상부로 연장 설치되고, 상기 연마면취부(60)에서 각 모서리에 대한 연마가 완료된 시드봉(S)을 1개씩 취출하여 배출시키는 취출부(70)와;
상기 안착지그(40)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)의 후방 상부에 이송컨베이어 형태로 설치되고, 상기 취출부(70)에서 배출되는 시드봉(S)을 받아서 일방향 연속 배출하는 배출부(80);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
In constructing a device for automatically chamfering each corner of the seed rod (S) having a plurality of corners,
A base 11 on which each component is installed;
A supply unit 20 installed in the form of a conveying conveyor on the front upper portion of the base 11 to continuously supply the seed rod S in one direction;
It is installed to extend above the base 11 so as to be located above the supply part 20, and after taking out one seed rod S continuously supplied from the supply part 20, one of the corners of the seed rod S. A loading unit 30 for seating on the jig by switching the seed rod S at an angle such that one of the corners faces upwards;
A mounting jig (40) installed at a central upper portion of the base (11) to be located behind the loading portion (30) and provided with a plurality of seating grooves (41) for mounting the seed rods (S);
It is installed on the center of the base 11 so as to be located on one side of the seating jig 40, the seating groove of the next order while rotating a plurality of seed rods (S) 90 ° seated in the plurality of seating groove 41 A rotation transfer unit 50 for transferring to 41;
An abrasive chamfering part 60 which is installed to extend above the base 11 so as to be positioned above the seating jig 40, and polishes the edges of the plurality of seed rods S seated on the seating jig 40;
Installed above the base 11 so as to be positioned above the seating jig 40, and extracting and discharging one seed rod S polished for each corner from the polishing chamfer 60. A takeout part 70;
The discharge unit is installed in the form of a conveying conveyor in the rear upper portion of the base 11 so as to be located behind the seating jig 40, and receives the seed rod (S) discharged from the take-out portion 70 to continuously discharge in one direction ( 80); Edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that comprising a.
상기 공급부(20)는,
외면에 상기 시드봉(S)이 안착되는 공급용 요홈(21)이 등간격 배열된 공급용 컨베이어벨트(22)를 포함하는 공급용 이송컨베이어(23)와;
상기 공급용 이송컨베이어(23)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)에 설치되는 제1실린더(24)와;
상단에 시드봉(S)을 안착하는 공급안착요홈(25)이 형성되고, 상기 제1실린더(24)의 작동에 따라 일정간격 승하강되는 제1승하강로드(26);를 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
The method of claim 1,
The supply unit 20,
A feeding conveyor 23 including a feeding conveyor belt 22 having a feeding recess 21 in which the seed rods S are seated on an outer surface thereof at regular intervals;
A first cylinder (24) mounted to the base (11) to be located behind the supply conveying conveyor (23);
It is configured to include; the supply seating recess 25 for seating the seed rod (S) at the top is formed, the first elevating rod (26) is raised and lowered by a predetermined interval in accordance with the operation of the first cylinder (24); Edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that.
상기 장전부(30)는,
상기 베이스(11)에 고정결합되는 다수의 제1축지지프레임(31)에 회전가능하게 결합되고, 일측에 제1각도전환바(32)가 구비된 제1회전봉(33)과;
상기 베이스(11)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1각도전환바(32)를 밀거나 당겨 상기 제1회전봉(33)을 일정 각도 회전시키는 각도전환용 제3실린더(34)와;
상기 제1회전봉(33)에 고정결합되는 장전실린더(35)와;
상기 장전실린더(35)의 실린더로드(36)에 고정결합되고, 장전에어핑거(37) 및 장전에어핑거(37)의 작동에 따라 벌어지거나 오므라드는 장전집게(38)로 구성되어 상기 시드봉(S)을 집을 수 있도록 구비되는 장전용 시드봉집게장치(39);를 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
The method of claim 1,
The loading section 30,
A first rotating rod (33) rotatably coupled to a plurality of first shaft support frames (31) fixedly coupled to the base (11) and having a first angle conversion bar (32) at one side;
A third cylinder (34) rotatably installed on the base (11) and configured to rotate or rotate the first rotating rod (33) by pushing or pulling the first angle switching bar (32);
A loading cylinder 35 fixedly coupled to the first rotating rod 33;
The seed rod is fixedly coupled to the cylinder rod 36 of the loading cylinder 35, and is composed of a loading clamp 38 that is opened or retracted according to the operation of the loading finger 37 and the loading finger 37. The seed rod clamp device (39) for loading, which is provided to pick up S); edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that it comprises a.
상기 회전이송부(50)는,
제1캠(51)의 작동에 따라 승하강되는 승하강플레이트(53)와;
제2캠(52)의 작동에 따라 전,후진 작동되는 밀바(54)와;
상기 승하강플레이트(53)와 함께 승하강 가능하면서 상기 밀바(54)의 작동에 따라 전,후진 가능하고, 일측에 돌출핀(55)이 다수 구비된 전후진플레이트(56)와;
상기 승하강플레이트(53)에 내설되되 상기 전후진플레이트(56)에 탄성력이 가해지도록 내설되는 탄성스프링(57)과;
상기 승하강플레이트(53)에 회전가능하게 결합되고, 하부에는 상기 돌출핀(55)과 결합을 이루는 장홈(58)이 마련되고 상부에는 시드봉(S)을 수용하는 'ㄷ'형 수용홈(59a)이 형성된 회전이송수단(59);을 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
The method of claim 1,
The rotation transfer unit 50,
A lifting plate 53 which is lifted and lowered according to the operation of the first cam 51;
A mill bar 54 which is operated forward and backward according to the operation of the second cam 52;
A forward and backward plate 56 capable of moving up and down with the lifting plate 53 and moving forward and backward according to the operation of the mill bar 54 and provided with a plurality of protruding pins 55 on one side thereof;
An elastic spring 57 which is installed in the elevating plate 53 and is installed so that an elastic force is applied to the forward and backward plates 56;
Rotatingly coupled to the elevating plate 53, the lower groove is provided with a long groove 58 to form a coupling with the protruding pins 55, the upper 'c' type receiving groove for receiving the seed rod (S) ( 59a) is formed, including; rotary transfer means (59); edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that it comprises a.
상기 연마면취부(60)는,
상기 베이스(11)에 고정설치되는 이송모터(65)와;
상기 이송모터(65)에 의해 시드봉(S)의 길이방향으로 이송 가능한 이송프레임(66)과;
상기 이송프레임(66)에 고정결합되는 승하강모터(61)와;
상기 승하강모터(61)의 정,역 구동에 따라 승하강 가능한 승하강프레임(62)과;
상기 승하강프레임(62)에 고정결합되는 회전모터(63)와; 상기 회전모터(63)의 구동에 따라 회전가능하도록 구비되는 연마숫돌(64);을 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
The method of claim 1,
The polishing chamfer 60,
A transfer motor 65 fixed to the base 11;
A transfer frame 66 which is transferable in the longitudinal direction of the seed rod S by the transfer motor 65;
A lifting motor 61 fixedly coupled to the transfer frame 66;
An elevating frame 62 capable of elevating in accordance with forward and reverse driving of the elevating motor 61;
A rotary motor 63 fixedly coupled to the elevating frame 62; Edge grinding device of the seed rod for ingot growth, characterized in that it comprises a; grinding wheel (64) provided to be rotatable in accordance with the drive of the rotary motor (63).
상기 취출부(70)는,
상기 베이스(11)에 고정결합되는 다수의 제2축지지프레임(71)에 회전가능하게 결합되고, 일측에 제2각도전환바(72)가 구비된 제2회전봉(73)과;
상기 베이스(11)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제2각도전환바(72)를 밀거나 당겨 상기 제2회전봉(73)을 일정 각도 회전시키는 각도전환용 제4실린더(74)와;
상기 제2회전봉(73)에 고정결합되는 취출실린더(75)와;
상기 취출실린더(75)의 실린더로드(76)에 고정결합되고, 취출에어핑거(77) 및 취출에어핑거(77)의 작동에 따라 벌어지거나 오므라드는 취출집게(78)로 구성되어 상기 시드봉(S)을 집을 수 있도록 구비되는 취출용 시드봉집게장치(79);를 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.
The method of claim 1,
The extraction unit 70,
A second rotating rod (73) rotatably coupled to a plurality of second shaft support frames (71) fixedly coupled to the base (11), and having a second angle conversion bar (72) at one side thereof;
A fourth cylinder (74) rotatably installed on the base (11) and configured to rotate or rotate the second rotating rod (73) by pushing or pulling the second angle switching bar (72);
A blowout cylinder 75 fixedly coupled to the second rotating rod 73;
The seed rod is fixedly coupled to the cylinder rod 76 of the ejection cylinder 75, and is composed of a ejection tong 78 which is opened or retracted according to the operation of the ejection air finger 77 and the ejection air finger 77. Extraction seed rod tongs device (79) provided to pick up S); Edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that it comprises a.
상기 배출부(80)는,
외면에 상기 시드봉(S)이 안착되는 요홈(81)이 등간격 배열된 배출용 컨베이어벨트(82)를 포함하는 배출용 이송컨베이어(83)와;
상기 배출용 이송컨베이어(83)의 후방에 위치하도록 상기 베이스(11)에 설치되는 제2실린더(84)와;
상단에 시드봉(S)을 안착하는 공급안착요홈(85)이 형성되고, 상기 제2실린더(84)의 작동에 따라 일정간격 승하강되는 제2승하강로드(86);를 포함하여 구성되는 것임을 특징으로 하는 잉곳성장용 시드봉의 모서리 면취장치.The method of claim 1,
The discharge unit 80,
A discharging conveyer 83 including a discharging conveyor belt 82 in which grooves 81 on which the seed rods S are seated are arranged at equal intervals;
A second cylinder (84) installed on the base (11) to be located behind the discharge conveying conveyor (83);
It is configured to include; a supply seating recess (85) for seating the seed rod (S) at the top is formed, the second elevating rod (86) is raised and lowered by a predetermined interval in accordance with the operation of the second cylinder (84); Edge chamfering device of the seed rod for ingot growth, characterized in that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110080122A KR101188080B1 (en) | 2011-08-11 | 2011-08-11 | Corner chamfer device of seed stick for ingot growing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110080122A KR101188080B1 (en) | 2011-08-11 | 2011-08-11 | Corner chamfer device of seed stick for ingot growing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101188080B1 true KR101188080B1 (en) | 2012-10-08 |
Family
ID=47287428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110080122A KR101188080B1 (en) | 2011-08-11 | 2011-08-11 | Corner chamfer device of seed stick for ingot growing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101188080B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102111657B1 (en) * | 2019-01-16 | 2020-05-15 | 김범수 | Apparatus of Manufacturing Carbon Electrod Block Continuously in Bulk for Boiler |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11292689A (en) | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Production of silicon single crystal, seed crystal and seed crystal holding tool |
-
2011
- 2011-08-11 KR KR1020110080122A patent/KR101188080B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11292689A (en) | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Production of silicon single crystal, seed crystal and seed crystal holding tool |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102111657B1 (en) * | 2019-01-16 | 2020-05-15 | 김범수 | Apparatus of Manufacturing Carbon Electrod Block Continuously in Bulk for Boiler |
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