KR101182171B1 - 레이저 열전사용 필름 제거 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 기판스테이지와, 기판스테이지에 안착되는 도너필름부를 가압하는 롤러부와, 기판스테이지에 구비되고 도너필름부와 기판 사이로 공기를 분사하는 분사부 및 기판스테이지에 구비되고 도너필름부와 기판 사이로 누설된 공기를 제거하는 흡입부를 포함한다.
본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치는 흡입부가 누설된 공기를 외부로 배출시켜 줌으로써, 누설된 공기로 인한 필름의 손상을 방지할 수 있다.

Description

레이저 열전사용 필름 제거 장치{DEVICE OF REMOVING FILM FOR LASER INDUCED THERMAL IMAGING}
본 발명은 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 부착된 필름을 안정적으로 제거하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체발광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.
유기전계발광표시장치는 유기전계발광소자로 사용하는 재료와 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와 증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다.
고분자 또는 저분자 발광층의 패터닝 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경우 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의한 발광층의 패터닝 경우 금속 마스크의 사용으로 인해 대형 소자의 제작에 어려움이 있다.
위와 같은 패터닝의 방법을 대체할 수 있는 기술로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)이 최근 개발되고 있다.
레이저 열전사법이란 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열 에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법이다.
열전사법은 도너필름이 억셉터인 기판 전체를 덮고 있는 형태를 가지고, 도너필름과 기판은 스테이지 상에서 고정된다. 그리고, 라미네이션 과정을 통해 도너필름과 기판은 더욱 합착하게 되고, 라미네이션 후 레이저 전사를 수행하여 패터닝을 완성하게 된다.
상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.
종래에는 도너필름을 기판에서 제거하는 과정에서 무분별하게 공기가 유입되어 도너필름이 구겨질뿐만 아니라 이로 인해 기판의 전사된 부분을 손상시키는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 도너필름에 공기를 분사하여 기판에서 도너필름을 안정적으로 제거하면서 불필요한 공기 누설로 인한 기판의 불량을 방지하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판이 안착되는 기판스테이지; 상기 기판스테이지에 안착되는 도너필름부를 가압하는 롤러부; 및 상기 기판스테이지에 구비되고, 상기 도너필름부와 상기 기판 사이로 누설된 공기를 제거하는 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 제공한다.
상기 흡입부는 상기 기판스테이지를 관통하는 복수의 흡입배관; 상기 흡입배관과 연통되는 수렴배관; 상기 수렴배관과 연통되는 배출배관; 및 상기 배출배관과 연결되어 상기 공기를 흡입하는 배출펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 흡입배관은 상기 기판을 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 흡입부는 상기 롤러부의 위치에 따라 상기 공기를 순차 흡입하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치는 흡입부가 누설된 공기를 외부로 배출시켜 줌으로써, 누설된 공기로 인해 필름이 손상되는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 흡입부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 기판과 도너필름부가 안착된 기판스테이지를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 흡입배관의 배치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 흡입부를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 기판과 도너필름부가 안착된 기판스테이지를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 흡입배관의 배치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치(1)에는 기판스테이지(10), 롤러부(20) 및 흡입부(50)가 구비된다.
기판스테이지(10)에는 홈이 형성되고, 이러한 홈에 기판(11)과 도너필름부(12)가 순차적으로 적층된다.
기판스테이지(10)는 수평 이동된다. 이러한 기판스테이지(10)는 바퀴나 레일에 의해 이동되거나 실린더의 길이변화로 이동될 수 있으며, 그 외 기판스테이지(10)를 이동시키기 위한 다양한 구조물에 대한 채택이 가능하다.
도너필름부(12)에 레이저를 조사하면, 도너필름부(12)의 광열변환층이 레이저광을 열로 변환시켜 열을 방출하면서 팽창한다. 이에 따라 전사층인 유기막층도 팽창되어 도너필름부(12)로부터 분리되면서 기판(11)상에 유기막층을 형성한다. 이때, 패터닝된 물질이 레이저가 전사되는 방향에 따라 기판(11)에 부착된다.
도너필름부(12)에는 레이저광에 의해 반응되는 필름(13)과, 이러한 필름(13)의 테두리 부분에 결합되는 트레이(14)가 구비된다.
롤러부(20)는 도너필름부(12)를 가압한다. 이러한 롤러부(20)에는 구조물(미도시)에 결합되는 결합판(21)과 롤러(22)가 구비된다. 결합판(21)은 한 쌍이 필름(13)의 폭에 대응되도록 이격되고, 롤러(22)는 결합판(21)에 회전 가능하도록 결합되어 필름(13)을 가압한다.
흡입부(50)는 기판스테이지(10)에 구비되고, 도너필름부(12)와 기판(11) 사이로 누설된 공기를 제거한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 흡입부(50)에는 흡입배관(51), 수렴배관(52), 배출배관(53) 및 배출펌프(54)가 구비된다.
흡입배관(51)은 기판스테이지(10)를 관통한다. 이러한 흡입배관(51)은 복수로 이루어지고, 도너필름부(12)의 필름(13)과 트레이(14) 사이에 해당되는 기판스테이지(10)에 형성된다.
수렴배관(52)은 기판스테이지(10)에 구비되고, 각 흡입배관(51)과 연통된다.
배출배관(53)은 기판스테이지(10)에 구비되고, 수렴배관(52)과 연통된다. 이러한 배출배관(53)은 기판스테이지(10)에 장착되어 상하로 이동되는 이동부(38)를 우회하여 형성된다. 이동부(38)가 상승하면, 기판(11)과 필름(13) 사이의 공기를 외부로 배출하여 이들의 진공을 도모한다.
배출펌프(54)는 배출배관(53)과 연결된다. 이러한 배출펌프(54)가 구동되면 공기를 흡입하므로, 필름(13)이나 기판(11)에 불필요하게 유입된 공기가 외부로 배출된다.
한편, 흡입배관(31)은 기판(11)을 둘러싸도록 배치되어 기판(11)을 덮는 필름(13)으로 유입된 공기를 흡입한다.
흡입배관(31)은 복수로 구비되고 순차로 분사되기 위해 복수의 영역(a,b,c,d)으로 구분된다.
이와 같이 복수의 영역으로 구분되는 흡입배관(31)은 롤러부(20)의 위치에 따라 순차로 공기를 흡입한다.
복수의 영역으로 구분되는 흡입배관(31)은 각각 수렴배관(32)과 연통되고, 복수의 수렴배관(32)은 개별적인 배출배관(33)과 연통되어 베출펌프부(34)와 연결되거나, 공기 경로를 변환시키는 밸브를 갖는 하나의 배출배관(33)과 연통될 수 있다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 대한 작용을 설명하면 다음과 같다.
롤러(22)가 필름(13)을 가압한 상태에서 롤러(22)의 위치에 따라 기판(11)과 필름(13) 사이로 공기가 순차로 공급되어, 기판(11)에서 필름(13)을 순차로 이격시킨다.
이때, 롤러(22)는 과도한 공압에 의해 필름(13)이 구겨지지 않도록 필름(13)의 폭에 대응되는 길이로 필름(13)을 가압한다.
기판(11)과 필름(13) 사이로 공기가 순차로 공급되는 과정에서, 공기 중 일부는 롤러(22)가 통과되지 않은 기판(11)과 필름(13) 사이로 유입된다.
이때, 배출펌프(54)가 구동되면, 불필요한 위치로 누설된 공기가 흡입배관(51)과 수렴배관(52)을 거쳐 배출배관(53)을 통해 외부로 배출된다.
즉, 롤러(22)가 a영역을 통과하는 경우, b,c,d영역의 흡입배관(51)을 통해 기판(11)과 필름(13) 사이로 누설된 공기를 흡입한다.
기판스테이지(10)가 이동되어 롤러(22)가 b영역에 해당되는 흡입배관(51)을 통과하면, c,d영역에 해당되는 흡입배관(51)을 통해 기판(11)과 필름(13) 사이로 누설된 공기를 흡입한다.
기판스테이지(10)가 이동되어 롤러(22)가 c영역에 해당되는 흡입배관(51)을 통과하면, d영역에 해당되는 흡입배관(51)을 통해 기판(11)과 필름(13) 사이로 누설된 공기를 흡입한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 기판스테이지 12 : 도어필름부
13 : 필름 14 : 트레이
20 : 롤러부 21 : 결합판
22 : 롤러 50 : 흡입부
51 : 흡입배관 52 : 수렴배관
53 : 배출배관 54 ; 배출펌프

Claims (4)

  1. 기판이 안착되는 기판스테이지;
    상기 기판스테이지에 안착되는 도너필름부를 가압하는 롤러부; 및
    상기 기판스테이지에 구비되고, 상기 도너필름부와 상기 기판 사이로 누설된 공기를 제거하는 흡입부를 포함하고,
    상기 흡입부는
    상기 기판스테이지를 관통하는 복수의 흡입배관;
    상기 흡입배관과 연통되는 수렴배관;
    상기 수렴배관과 연통되는 배출배관; 및
    상기 배출배관과 연결되어 상기 공기를 흡입하는 배출펌프를 포함하며,
    상기 흡입배관은 상기 기판을 둘러싸도록 배치되고,
    상기 흡입부는 상기 롤러부의 위치에 따라 상기 공기를 순차 흡입하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치.
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