KR101201359B1 - 기판 합착 장치 - Google Patents

기판 합착 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101201359B1
KR101201359B1 KR1020110067118A KR20110067118A KR101201359B1 KR 101201359 B1 KR101201359 B1 KR 101201359B1 KR 1020110067118 A KR1020110067118 A KR 1020110067118A KR 20110067118 A KR20110067118 A KR 20110067118A KR 101201359 B1 KR101201359 B1 KR 101201359B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
lower plate
tray
substrate
plate portion
Prior art date
Application number
KR1020110067118A
Other languages
English (en)
Inventor
김상오
Original Assignee
에이피시스템 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이피시스템 주식회사 filed Critical 에이피시스템 주식회사
Priority to KR1020110067118A priority Critical patent/KR101201359B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101201359B1 publication Critical patent/KR101201359B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F16/00—Transfer printing apparatus
    • B41F16/0006—Transfer printing apparatus for printing from an inked or preprinted foil or band
    • B41F16/0093—Attachments or auxiliary devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/18—Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
    • B41J2/447—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources
    • B41J2/45—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources using light-emitting diode [LED] or laser arrays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로, 기판부가 안착되는 하판부와, 하판부를 커버하여 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부 및 하판부에 장착되고 필름부를 고정시키는 고정부를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 고정부에 의해 필름부의 위치가 고정되고, 필름부의 저면에 고정부가 위치되어 제품 사이즈를 축소할 수 있다.

Description

기판 합착 장치{DEVICE FOR ATTACHING SUBSTRATES}
본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버를 줄여 제품의 부피를 줄이고, 기판을 안정적으로 지지하는 기판 합착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체발광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.
유기전계발광표시장치는 유기전계발광소자로 사용하는 재료와 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와 증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다.
고분자 또는 저분자 발광층의 패터닝 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경우 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의한 발광층 패터닝의 경우 금속 마스크의 사용으로 인해 대형 소자의 제작에 어려움이 있다.
위와 같은 패터닝의 방법을 대체할 수 있는 기술로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)이 최근 개발되고 있다.
레이저 열전사법이란 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열 에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법이다.
열전사법은 필름이 억셉터인 기판 전체를 덮고 있는 형태를 가지고, 필름과 기판은 스테이지 상에서 고정된다. 그리고, 라미네이션 과정을 통해 필름과 기판은 더욱 합착하게 되고, 라미네이션 후 레이저 전사를 수행하여 패터닝을 완성하게 된다.
한편, 본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 2003-0077063호(2003.10.01 공개, 발명의 명칭: 액정표시소자의 진공 합착 장치)에 개시되어 있다.
종래에는 필름이 포함된 트레이가 안착되는 기판에는 트레이를 고정시키기 위한 클램프가 설치되고, 이러한 클램프의 공간 확보를 위해 진공챔버가 커져서 제품의 부피가 커지고, 진공 분위기로의 전환시간이 오래 걸리는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 트레이 고정을 위한 클램프를 삭제하여 제품의 사이즈를 줄여주고 진공챔버 부피 축소로 인해 진공 분위기로의 전환시간을 단축하는 기판 합착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판부가 안착되는 하판부; 상기 하판부를 커버하여 상기 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부; 및 상기 하판부에 장착되고, 상기 필름부를 고정시키는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치를 제공한다.
상기 필름부는 상기 기판부를 덮는 필름; 및 상기 필름의 테두리에 결합되고, 상기 하판부에 안착되는 트레이를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부는 상기 하판부에 형성되는 관통홀에 위치되어 상하 이동되고, 상기 트레이를 받쳐주는 지지바; 상기 관통홀을 밀폐시키는 실링; 및 상기 지지바의 상단부에 장착되고, 상기 트레이와 접촉되어 상기 트레이를 고정시키는 고정체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정체는 점착척인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 필름부의 트레이를 받쳐주는 지지바의 상단부에 점착척인 고정체가 위치되어, 필름부의 위치가 고정되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 상판부가 트레이의 외측에 근접된 상태로 하판부에 안착되므로, 진공챔버의 부피를 최소화하여 제품의 슬림화가 가능하고 단시간에 진공챔버의 진공변환이 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 고정부가 상승되어 필름부를 지지하는 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 고정부가 하강되어 필름부가 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 상판부가 하강되어 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 합착 장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 고정부가 상승되어 필름부를 지지하는 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 고정부가 하강되어 필름부가 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 상판부가 하강되어 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(1)에는 하판부(10), 상판부(20) 및 고정부(30)가 구비된다.
하판부(10)에는 진공관(11)이 복수로 형성되고, 진공관(11)은 진공펌프(12)의 구동에 의해 공기를 흡입한다. 이러한 하판부(10)에는 기판부(40)가 안착된다.
기판부(40)는 하판부(10)의 상측면에 안착되고, 필름부(50)는 하판부(10)에 안착되어 기판부(40)를 커버한다.
필름부(50)에 레이저를 조사하면, 필름부(50)의 광열변환층이 레이저광을 열로 변환시켜 열을 방출하면서 팽창한다. 이에 따라 전사층인 유기막층도 팽창되어 필름부(50)로부터 분리되면서 기판부(40)에 유기막층을 형성한다. 이때, 패터닝된 물질이 레이저가 전사되는 방향에 따라 기판부(40)에 부착된다.
필름부(50)에는 레이저광에 의해 반응되는 필름(51)과 이러한 필름(51)의 테두리 부분에 결합되어 필름(51)을 고정하는 트레이(52)가 구비된다.
트레이(52)는 하판부(10)에 안착되고, 진공관(11)은 기판부(40)와 트레이(52) 사이에 위치되는 하판부(10)의 상측면을 관통하여 필름(51)과 하판부(10) 사이의 공기를 외부로 배출한다.
상판부(20)는 하판부(10)를 커버한다. 이러한 상판부(20)가 하판부(10)에 안착되면, 상판부(20)와 하판부(10) 사이에는 기판부(40)와 필름부(50)가 위치되는 공간인 진공챔버(60)가 형성된다.
고정부(30)는 하판부(10)에 장착되고, 필름부(50)를 고정시킨다. 따라서, 고정부(30)는 진공챔버(60)가 진공상태로 변화되는 과정에서 발생되는 공기의 유동에 의해 필름부(50)의 위치가 변화되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 고정부(30)에는 지지바(31), 실링(32) 및 고정체(33)가 구비된다.
지지바(31)는 하판부(10)에 장착된다. 이러한 지지바(31)는 하판부(10)에 형성되는 관통홀(13)에 위치되고, 상하로 이동되어 트레이(52)를 받쳐준다.
예를 들어, 지지바(31)는 자체 길이가 가변되는 실린더이거나 상하로 이동되는 승하강기가 될 수 있다.
지지바(31)는 트레이(52)의 각 면에 대응되어 복수개가 배치되며, 높낮이가 조절되어 트레이(52)를 하판부(10)에 안착시킨다.
실링(32)은 관통홀(13)을 밀폐시켜, 외기가 진공챔버(60)로 유입되는 것을 방지한다. 이러한 실링(32)은 지지바(31)의 외측에 부착되거나, 관통홀(13)이 형성되는 하판부(10)의 내측벽에 부착되어, 지지바(31)와 관통홀(13) 사이의 틈새를 제거한다.
고정체(33)는 지지바(31)의 상단부에 장착되고, 트레이(52)의 저면과 면접촉되어 트레이(52)를 고정시킨다. 이러한 고정체(33)로는 점착척(Physical Sticky Chuck; PSC)이 사용된다.
점착척이 트레이(52)와 면접촉되면, 점착척과의 마찰에 의해 트레이(52)가 고정된 상태를 유지한다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
하판부(10)의 상방으로 로봇과 같은 이송기에 의해 필름부(50)가 이송되면, 지지바(31)가 상승하여 필름부(50)의 트레이(52)를 받쳐준다(도 1 참조).
지지바(31)의 상단부에는 고정체(33)가 결합되고, 이러한 고정체(33)는 트레이(52)와 면접촉되어 트레이(52)를 고정시킨다.
상기한 상태에서 지지바(31)가 하방 이동되어 트레이(52)가 하판부(10)의 상측에 안착되면, 트레이(52)와 결합된 필름(51)은 하판부(10)에 안착된 기판부(40)를 커버한다(도 2 참조).
이때, 필름(51)은 기판부(40)의 면적과 대응되는 크기를 가지며, 필름(51)의 테두리와 결합된 트레이(52)는 기판부(40)의 외측에 배치된다.
필름부(50)가 하판부(10)에 안착된 후, 상판부(20)가 하강하여 하판부(10)에 안착된다(도 3 참조).
이와 같이 하판부(10)에 상판부(20)가 안착되면, 하판부(10)와 상판부(20) 사이에 진공챔버(60)가 형성되고, 하판부(10)의 진공관(11)을 통해 진공챔버(60)의 공기가 배출되어 진공챔버(60)가 진공상태가 된다.
이때, 상판부(20)에는 별도의 진공장치가 구비되어 진공챔버(60)의 진공상태를 유도한다.
한편, 진공챔버(60)가 진공상태가 되는 과정에서 공기의 유동이 발생하더라도, 지지바(31)의 상단부에 장착된 고정체(33)가 트레이(52)와 밀착된 상태를 유지하여, 필름부(50)의 이동이 방지된다.
고정체(33)는 트레이(52)와 직접 접촉되므로, 상판부(20)는 필름부(50)의 트레이(52) 외측에 근접 위치될 수 있다.
따라서, 하판부(10)와 상판부(20) 사이의 진공영역인 진공챔버(60)의 부피가 최소화되어, 기판 합착 장치(1)의 전체적인 크기가 슬림화되고, 진공챔버(60)의 진공상태 변환시간이 단축될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 하판부 11 : 진공관
12 : 진공펌프 20 : 상판부
30 : 고정부 31 : 지지바
32 : 실링 33 : 고정체
40 : 기판부 50 : 필름부
51 : 필름 52 : 트레이
60 : 진공챔버

Claims (4)

  1. 기판부가 안착되는 하판부;
    상기 하판부를 커버하여 상기 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부; 및
    상기 하판부에 장착되고, 상기 필름부를 고정시키는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 필름부는
    상기 기판부를 덮는 필름; 및
    상기 필름의 테두리에 결합되고, 상기 하판부에 안착되는 트레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 고정부는
    상기 하판부에 형성되는 관통홀에 위치되어 상하 이동되고, 상기 트레이를 받쳐주는 지지바;
    상기 관통홀을 밀폐시키는 실링; 및
    상기 지지바의 상단부에 장착되고, 상기 트레이와 접촉되어 상기 트레이를 고정시키는 고정체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 고정체는 점착척인 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
KR1020110067118A 2011-07-07 2011-07-07 기판 합착 장치 KR101201359B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110067118A KR101201359B1 (ko) 2011-07-07 2011-07-07 기판 합착 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110067118A KR101201359B1 (ko) 2011-07-07 2011-07-07 기판 합착 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101201359B1 true KR101201359B1 (ko) 2012-11-14

Family

ID=47564656

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110067118A KR101201359B1 (ko) 2011-07-07 2011-07-07 기판 합착 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101201359B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111993663A (zh) * 2020-08-21 2020-11-27 宁波猎知乐科技咨询有限公司 一种防水木门加工用覆膜机

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008185748A (ja) 2007-01-30 2008-08-14 Canon Anelva Corp 基板重ね合わせ装置及び表示装置の製造方法
KR100983605B1 (ko) 2008-09-24 2010-09-24 에이피시스템 주식회사 기판 안착 유닛 및 이를 구비하는 기판 접합 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008185748A (ja) 2007-01-30 2008-08-14 Canon Anelva Corp 基板重ね合わせ装置及び表示装置の製造方法
KR100983605B1 (ko) 2008-09-24 2010-09-24 에이피시스템 주식회사 기판 안착 유닛 및 이를 구비하는 기판 접합 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111993663A (zh) * 2020-08-21 2020-11-27 宁波猎知乐科技咨询有限公司 一种防水木门加工用覆膜机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101569796B1 (ko) 기판 정렬 장치, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 정렬 방법
KR101060652B1 (ko) 유기물 증착장치 및 이를 이용한 증착 방법
JP2017155338A (ja) 有機発光素子の蒸着装置
JP2010283405A5 (ja) ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
JP2006179465A (ja) レーザ熱転写装置及びラミネータ並びにレーザ熱転写装置を用いたレーザ熱転写方法
KR101968801B1 (ko) 성막 장치
KR20120134368A (ko) 기판 척킹 디척킹 장치
KR101201359B1 (ko) 기판 합착 장치
JP4398358B2 (ja) レーザ熱転写装置
KR20150081154A (ko) 증착 장치
KR101201363B1 (ko) 기판 합착 장치
KR20060020049A (ko) 유기전계발광표시장치의 제조를 위한 레이저 열전사 방법
JP2006066373A (ja) 有機電界発光表示装置及びドナー基板の製造方法
US20190352113A1 (en) Transport device
KR101201360B1 (ko) 기판 합착 장치
TWI462363B (zh) 鐳射誘致熱成像用膜的去除裝置
KR101201362B1 (ko) 기판 합착 장치
JP2007119895A (ja) 蒸着装置
KR100761073B1 (ko) 레이저 열전사 방법
KR101514214B1 (ko) 기판과 마스크의 어태치 장치
KR102296394B1 (ko) 기판 에칭장치
KR100623705B1 (ko) 도너 기판 제조장치, 도너 기판의 제조방법 및 상기 도너기판을 사용한 유기전계발광표시장치의 제조방법
KR101508309B1 (ko) 기판과 마스크의 어태치 장치 및 방법
KR101182168B1 (ko) 충격흡수용 레이저 열전사 장치
KR101369724B1 (ko) 유기물 증착방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151106

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160906

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee