KR101201360B1 - 기판 합착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로, 기판부가 안착되는 하판부와, 하판부를 커버하여 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부 및 상판부에 장착되고 필름부에 근접 위치되는 밀착부를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 밀착부가 필름부의 상측에 근접 위치되어 필름부가 부풀어오르는 것을 방지할 수 있다.

Description

기판 합착 장치{DEVICE FOR ATTACHING SUBSTRATES}
본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공과정에서 필름이 부풀어오르는 것을 방지하는 기판 합착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체발광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.
유기전계발광표시장치는 유기전계발광소자로 사용하는 재료와 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와 증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다.
고분자 또는 저분자 발광층의 패터닝 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경우 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의한 발광층 패터닝의 경우 금속 마스크의 사용으로 인해 대형 소자의 제작에 어려움이 있다.
위와 같은 패터닝의 방법을 대체할 수 있는 기술로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)이 최근 개발되고 있다.
레이저 열전사법이란 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열 에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법이다.
열전사법은 필름이 억셉터인 기판 전체를 덮고 있는 형태를 가지고, 필름과 기판은 스테이지 상에서 고정된다. 그리고, 라미네이션 과정을 통해 필름과 기판은 더욱 합착하게 되고, 라미네이션 후 레이저 전사를 수행하여 패터닝을 완성하게 된다.
한편, 본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 2003-0077063호(2003.10.01 공개, 발명의 명칭: 액정표시소자의 진공 합착 장치)에 개시되어 있다.
종래에는 진공과정에서 공기의 유동에 의해 필름이 부풀어오르게 되어 필름이 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 필름 상측에 근접 위치되어 필름이 부풀어오르는 것을 억제함으로써, 필름의 손상을 방지하는 기판 합착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판부가 안착되는 하판부; 상기 하판부를 커버하여 상기 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부; 및 상기 상판부에 장착되고, 상기 필름부에 근접 위치되는 밀착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치를 제공한다.
상기 하판부는 상기 기판부가 안착되는 하부베이스; 상기 하부베이스에 형성되고, 상기 기판부의 외측을 따라 복수개가 배치되는 하부관; 및 상기 하부관과 연통되어 공압을 조절하는 하부펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필름부는 상기 하부관을 덮는 필름; 및 상기 필름의 테두리에 결합되고, 상기 하판부에 안착되는 트레이를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 상판부는 상기 하부베이스에 안착되어 진공챔버를 형성하는 상부베이스; 상기 상부베이스에 장착되는 상부관; 및 상기 상부관과 연통되어 공압을 조절하는 상부펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착부는 상기 상부베이스의 상방에 위치되는 상부밀착판; 상기 상부밀착판과 연결되고, 상기 상부베이스를 관통하는 연결바; 상기 연결바의 하단부에 결합되고, 상기 필름의 상측에 근접 위치되는 하부밀착판; 및 상기 상부밀착판을 상하 이동시키는 가변체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 상부밀착판의 저면에는 상기 상부베이스와 접촉시 충격을 완화하는 완충패드가 부착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 밀착부가 필름의 상측에 근접 위치되어 필름이 부풀어오르는 것을 방지하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 완충패드에 의해 상부밀착판과 상부베이스의 접촉과정에서 발생하는 제품의 손상이나 소음을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부의 상방에 상판부가 위치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부에 상판부가 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 밀착부가 하방 이동되어 필름부에 근접 배치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 합착 장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부의 상방에 상판부가 위치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 하판부에 상판부가 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에서 밀착부가 하방 이동되어 필름부에 근접 배치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(1)에는 하판부(10), 상판부(20) 및 밀착부(30)가 구비된다.
하판부(10)에는 기판부(40)가 안착되고, 상판부(20)는 상하 이동되면서 하판부(10)에 안착되어 필름부(50)가 진공상태에 위치되도록 한다.
밀착부(30)는 상판부(20)에 장착되고, 상하 이동된다. 이러한 밀착부(30)는 필름부(50)의 상측에 근접 위치되어 필름부(50)가 부풀어오르는 것을 방지한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 하판부(10)에는 하부베이스(11), 하부관(12) 및 하부펌프(13)가 구비된다.
하부베이스(11)는 상측 중앙에 기판부(40)가 안착되기 위한 안착홈(14)이 형성되고, 하부관(12)은 하부베이스(11)에 형성된다.
하부관(12)은 기판부(40)의 외측에 근접되어 복수개가 배치되고, 하부베이스(11)의 상측과 연통되어 외부로 노출된다.
하부펌프(13)는 각 하부관(12)과 연통된다. 이러한 하부펌프(13)의 구동에 의해 하부관(12)을 통한 공기흡입이 이루어진다.
필름부(50)에 레이저를 조사하면, 필름부(50)의 광열변환층이 레이저광을 열로 변환시켜 열을 방출하면서 팽창한다. 이에 따라 전사층인 유기막층도 팽창되어 필름부(50)로부터 분리되면서 기판부(40)에 유기막층을 형성한다. 이때, 패터닝된 물질이 레이저가 전사되는 방향에 따라 기판부(40)에 부착된다.
필름부(50)에는 레이저광에 의해 반응되는 필름(51)과 이러한 필름(51)의 테두리 부분에 결합되어 필름(51)을 고정하는 트레이(52)가 구비된다.
트레이(52)는 하판부(10)에 안착되고, 하부관(12)은 기판부(40)와 트레이(52) 사이에 위치되는 하판부(10)의 상측면을 관통하여 필름(51)과 하판부(10) 사이의 공기를 외부로 배출한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상판부(20)에는 상부베이스(21), 상부관(22) 및 상부펌프(23)가 구비된다.
상부베이스(21)는 하부베이스(11)의 상측을 커버한다. 이러한 상부베이스(21)가 하부베이스(11)에 안착되면, 상부베이스(21)와 하부베이스(11) 사이에는 진공챔버(60)가 형성된다.
상부관(22)은 상부베이스(21)에 장착된다. 이러한 상부관(22)은 하단부가 상부베이스(21)의 저면에서 돌출 형성되고, 상단부가 상부케이스(21)의 상방에 위치된다. 한편, 상부관(22)은 복수개로 이루어지며, 상부베이스(21)를 관통한다.
상부펌프(23)는 각 상부관(22)과 연통된다. 이러한 상부펌프(23)의 구동에 의해 상부관(22)을 통한 공기흡입이 이루어진다.
본 발명의 일 실시예에 따른 밀착부(30)에는 상부밀착판(31), 연결바(32), 하부밀착판(33) 및 가변체(34)가 구비된다.
상부밀착판(31)은 상부베이스(21)의 상방에 위치된다. 이러한 상부밀착판(31)은 가변체(34)에 의해 상하 이동되며, 저면이 상부베이스(21)의 상측면에 도달되면 하방으로의 이동이 제한된다.
연결바(32)는 상부밀착판(31)과 연결된다. 이러한 연결바(32)는 상부베이스(21)의 관통홀(25)을 관통한다.
하부밀착판(33)은 연결바(32)의 하단부에 결합되어 진공챔버(60)에 위치된다. 이러한 하부밀착판(33)은 필름(51)과 대응되는 폭을 가지며 하방으로 이동되어 필름(51)의 상측에 근접 위치된다.
가변체(34)는 상부베이스(21)에 장착되어 상부밀착판(31)을 상하방향으로 이동시킨다.
예를 들어, 가변체(34)는 상부베이스(21)의 상측면에 장착되고, 상방에 위치되는 상부밀착판(31)을 상하로 이동시킨다. 그 외 가변체(34)는 상부밀착판(31)의 상측에 연결되고, 별도의 고정물에 고정된 상태에서 길이가 가변되어 상부밀착판(31)을 상하로 이동시킬 수 있다.
이러한 가변체(34)로는 유압에 의해 길이가 가변되는 실린더가 사용된다. 그 외 가변체(34)로는 모터의 구동에 의한 너트의 회전으로 인해 높낮이가 조절되는 볼트가 사용될 수 있다.
상부밀착판(31)의 저면에는 완충패드(35)가 부착된다. 이러한 완충패드(35)는 상부밀착판(31)과 상부베이스(21) 사이에 위치되고, 상부밀착판(31)이 과도하게 하방으로 이동되는 과정에서 상부베이스(21)와의 충돌을 방지하여 서로 간의 충돌로 인한 손상이나 소음을 억제시킨다.
한편, 상부밀착판(31)에는 가이드바(36)가 더 구비된다. 이러한 가이드바(36)는 상단부가 상부밀착판(31)과 결합되고, 상부베이스(21)에 형성되는 가이드홀(26)을 관통한다.
가이드바(36)는 상부밀착판(31)에 복수개가 구비되며, 상부베이스(21)에는 각 가이드바(36)에 대응되는 가이드홀(26)이 형성된다.
따라서, 상부밀착판(31)이 하방으로 이동되면 각 가이드바(36)가 가이드홀(26)을 관통하여, 상부밀착판(31)의 유동을 제한한다.
이로 인해, 상부밀착판(31)과 연결된 하부밀착판(33)은 필름(51)의 상측에 균일한 이격거리를 유지할 수 있다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
하판부(10)에 기판부(40) 및 기판부(40)를 덮는 필름부(50)가 안착(도 1 참조)된 후 상판부(20)가 하방으로 이동되어 하판부(10)에 안착된다(도 2 참조).
이와 같이 상판부(20)가 하판부(10)에 안착되면, 하부베이스(11)와 상부베이스(21) 사이에는 진공챔버(60)가 형성된다.
상기와 같이 진공챔버(60)가 형성되면, 밀착부(30)를 하방으로 이동시켜 필름부(50)의 필름(51) 상측에 근접 위치시킨다(도 3 참조).
즉, 가변체(34)의 길이 변화로 상부밀착판(31)이 하방으로 이동되면, 이와 연결된 상태를 유지하는 하부밀착판(33)이 하방으로 이동되어 필름(51)의 상측에 근접 위치된다.
이때, 상부밀착판(31)이 상부베이스(21)와 접촉시 상부밀착판(31)의 하방 이동이 제한되므로, 하부밀착판(33)이 과도하게 하방으로 이동되어 필름(51)과 접촉되는 것을 방지할 수 있다.
상부밀착판(31)의 저면에 부착되는 완충패드(35)는 상부밀착판(31)과 상부베이스(21)와의 충돌로 인한 손상이나 소음을 억제한다.
한편, 상부밀착판(31)에 장착된 복수의 가이드바(36)는 상부베이스(21)에 형성되는 가이드홀(26)을 각각 관통하여 상부밀착판(31)의 비틀림을 억제하므로, 상부밀착판(31)과 연결된 상태를 유지하는 하부밀착판(33)이 필름(51)의 상측면과 균일한 이격거리를 유지할 수 있도록 한다.
하부밀착판(33)이 필름(51)의 상측에 근접 위치된 상태에서, 하부펌프(13)와 상부펌프(23)의 구동으로 인해 진공챔버(60) 내부가 진공상태로 변화된다.
이때, 상부펌프(23)의 흡입력이 하부펌프(13)의 흡입력 보다 강하면, 하부관(12)을 통해 배출되는 공기 일부가 역류되어 필름(51)과 기판부(40) 사이로 유입되어 필름(51)이 부풀어오르게 된다.
그러나, 하부밀착판(33)이 필름(51)의 상측에 근접 위치되므로, 하부관(12)을 통해 공기가 역류되더라도 필름(51)이 부풀어오르는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 하판부 11 : 하부베이스
12 : 하부관 13 : 하부펌프
20 : 상판부 21 : 상부베이스
22 : 상부관 23 : 상부펌프
30 : 밀착부 31 : 상부밀착판
32 : 연결바 33 : 하부밀착판
34 : 가변체 35 : 완충패드
40 : 기판부 50 : 필름부
51 : 필름 52 : 트레이
60 : 진공챔버

Claims (6)

  1. 기판부가 안착되는 하판부;
    상기 하판부를 커버하여 상기 기판부를 덮는 필름부를 감싸는 상판부; 및
    상기 상판부에 장착되고, 상기 필름부에 근접 위치되는 밀착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 하판부는
    상기 기판부가 안착되는 하부베이스;
    상기 하부베이스에 형성되고, 상기 기판부의 외측을 따라 복수개가 배치되는 하부관; 및
    상기 하부관과 연통되어 공압을 조절하는 하부펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 필름부는
    상기 하부관을 덮는 필름; 및
    상기 필름의 테두리에 결합되고, 상기 하판부에 안착되는 트레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 상판부는
    상기 하부베이스에 안착되어 진공챔버를 형성하는 상부베이스;
    상기 상부베이스에 장착되는 상부관; 및
    상기 상부관과 연통되어 공압을 조절하는 상부펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 밀착부는
    상기 상부베이스의 상방에 위치되는 상부밀착판;
    상기 상부밀착판과 연결되고, 상기 상부베이스를 관통하는 연결바;
    상기 연결바의 하단부에 결합되고, 상기 필름의 상측에 근접 위치되는 하부밀착판; 및
    상기 상부밀착판을 상하 이동시키는 가변체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 상부밀착판의 저면에는 상기 상부베이스와 접촉시 충격을 완화하는 완충패드가 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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