KR101176430B1

KR101176430B1 - 진공화된 몸체 내부의 가스 압력을 결정하기 위한 방법 및 시스템

Info

Publication number: KR101176430B1
Application number: KR1020097005594A
Authority: KR
Inventors: 롤랜드 캡스
Original assignee: 바-큐-텍 아게
Priority date: 2006-09-26
Filing date: 2007-09-26
Publication date: 2012-09-03
Also published as: KR20090073106A; EP2069742B1; US20100116061A1; WO2008037451A3; US8047058B2; ATE476647T1; JP2010504508A; DE502007004673D1; CN101517389A; JP5027882B2; EP2069742A2; CN101517389B; WO2008037451A2; DE102006045471A1

Abstract

본 발명은 진공 소자 내부의 가스 압력을 결정하기 위해서, 또는 외장 및 외측면에 러그를 구비한 진공화 몸체 내부의 가스 압력을 결정하기 위해서 열에 의한 측정 방법을 적용하기 위한 방법 그리고 시스템에 관한 것으로서, 상기 러그는 자신의 자유 에지의 영역에서 상호 연결된 두 개의 박막 면에 의해서 제한되었다. 본 발명에 따른 시스템은 한편으로는 러그의 두 개의 박막 면 사이에 형성된 공간이 진공 소자의 외장 안에 있는 공간과 연통되고, 기공이 개방된 얇은 재료 층에 의해서 적어도 부분적으로 채워지는 것을 특징으로 하며, 다른 한편으로는 상기 재료 층의 장소에서 가스 압력에 의존하는 러그의 열전달 계수를 측정하기 위한 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 측정 장치의 작동 방식은 본 발명에 따른 방법의 대상이다.

Description

진공화된 몸체 내부의 가스 압력을 결정하기 위한 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING THE GAS PRESSURE IN EVACUATED BODIES}

본 발명은 진공 소자 내부의 가스 압력을 결정하기 위해서, 또는 특히 박막 형태의 외장을 구비하고 외측면에 러그가 형성된 진공화된 몸체 내부의 가스 압력을 결정하기 위해서 열에 의한 측정 방법을 적용하기 위한 방법 그리고 시스템에 관한 것으로서, 상기 러그는 자신의 자유 에지의 영역에서 상호 연결된 두 개의 박막 면에 의해서 제한되었다. 본 발명의 목적은 특히 박막에 의해서 둘러싸인 진공 절연판(vacuum insulating board) 내부의 가스 압력을 외부로부터 측정하는 것이다.

박막에 의해서 둘러싸인 진공 절연판 내부의 가스 압력을 포괄적으로, 신속하게 그리고 충분히 정확하게 결정하는 것은 상기와 같은 제품의 성공적인 생산 제어 및 품질 보호를 위한 중요한 전제 조건이다. 진공 절연판 내부의 가스 압력을 테스트하는 다수의 방법이 공지되어 있다. 가장 간단한 방법은, 진공 절연판을 예를 들어 진공 챔버 내에서 저압에 노출시켜서 외부 가스 압력이 줄어들 때에 커버의 팽창을 관찰하는 것이다. 이 경우에는 진공 절연판을 변형시킬 필요가 전혀 없다. 하지만, 상대적으로 높은 장치 비용 그리고 분 범위 안에서 이루어지는 상대적으로 긴 측정기간이 단점이다. 또한, 커버 박막이 자유롭게 들어 올려지도록 하기 위해서는 최소 크기의 테스트용 샘플이 반드시 필요하다.

DE 102 15 213호에 공지된 추가의 한 방법에서는 금속 플레이트 - 이 금속 플레이트 상에는 얇은 유리 섬유 부직포가 존재함 - 가 커버 막막과 절연 코어 사이에 있는 진공 절연판 안으로 삽입된다. 금속 플레이트는 히트 싱크(heat sink)로서 이용된다. 상승된 온도를 갖는 측정 헤드가 외부로부터 장착되고, 유리 섬유 부직포를 통과하여 차가운 금속 플레이트 안으로 전달되는 열전달이 측정된다. 이와 같은 열전달은 진공 절연판 내부의 가스 압력에 의존한다. 상기 방법의 측정 시간은 10초의 범위 안에 있다. 이 방법의 단점은, 예를 들어 2 mm의 두께에서는 삽입된 금속 플레이트가 표면으로부터 외부로 돌출하여 장애를 일으킨다는 것이다. 이와 같은 상황을 피하기 위해서는 절연 코어 안에 상응하는 홈이 제공되어야만 하며, 상기 홈의 제공은 특정의 제조 비용과 결부되어 있다. 또한, 진공 절연판이 스택으로 형성된 경우에는 금속 플레이트가 측정을 위해서 사용될 수 없는데, 그 이유는 상기 금속 플레이트는 노출되는 측면 에지에는 설치될 수 없기 때문이다.

전술된 내용으로부터 도출되는 본 발명의 과제는, 상기와 같은 단점들을 회피하는 가스 압력 측정 방법을 제시하는 것이다.

상기 과제는 본 발명과 유사한 방법에서, 진공화된 몸체의 외측면에 두 개의 박막 면에 의해 형성된 박막 러그가 제공되고, 상기 두 개의 박막 면이 박막 러그의 자유 에지의 영역에서 상호 연결되어 중간 공간을 형성하며, 상기 중간 공간이 진공 소자의 외장 안에 있는 공간과 연통되고, 기공이 개방된 얇은 재료 층에 의해서 적어도 부분적으로 채워지며, 상기 재료 층의 적어도 한 장소에서 가스 압력에 의존하는 열전달 계수가 측정됨으로써 해결된다.

본 발명은, 재료 자체가 가급적 낮은 열전달 특성을 갖는 경우에는 기공 또는 중간 공간 안에 있는 공기가 열전도를 위해서 중요한 역할을 담당하기 때문에 다공성 재료 층을 통과하여 실행되는 열전달은 기공 내부의 가스 압력 또는 상기 재료 층의 중간 공간 내부의 가스 압력에 의존하게 된다는 인식으로부터 출발한다. 이와 같은 경계 조건은 다수의 비금속에서 충족된다. 그렇기 때문에, 기공이 개방된 얇은 재료 층의 재료의 열전도성(λ)은 100 W/mK 미만이어야만 하는데, 예를 들면 50 W/mK 이하여야만 하며, 바람직하게는 20 W/mK 이하여야만 하고, 특히 10 W/mK 이하여야만 하며, 경우에 따라서는 심지어 5 W/mK 이하여야만 하고, 더 나아가서는 2 W/mK 이하여야만 한다.

진공 절연판은 압력 하중을 받을 수 있는 기공 개방형 절연 코어가 진공 밀봉된 커버 박막으로 이루어진 주머니 안에 삽입됨으로써 제조된다. 이 경우에는 실링 심(sealed seam)에 의해 폐쇄된 박막 러그가 생성되며, 상기 박막 러그는 코어 위로 돌출한다. 본 발명에 따르면 상기 박막 러그 안에는 얇은 부직포 재료가 삽입될 수 있으며, 이때에는 상기 부직포 재료가 절연 코어에 대하여 결합되는 경우가 바람직하다. 그와 같은 경우에는 절연 코어 내부와 부직포 재료의 테스트 면 내부에서 동일한 가스 압력이 주도하게 된다. 부직포 재료는 적어도 측정면의 영역에서는 균일해야만 하고, 바람직하게는 균일하게 표면 코팅되어야만 한다. 측정면 안에서는 가급적 주름 또는 접힌 자국이 형성되지 않아야 한다.

다른 제조 방법에서는 절연 코어가 단 하나의 배리어 박막으로 둘러싸이고, 실링 심이 판의 상부면 위에 놓인다. 상기 실링 심에 대하여 가로로 놓이는 두 개의 심은 통상적으로 절연 코어에 근접하도록 접힌다. 하지만, 절연 코어로부터 돌출하는 박막 러그가 두 개의 실링 심 중에 적어도 하나의 실링 심에서 형성되도록 주름을 잡는 것도 가능하다. 박막을 실링하기 전에 상기 러그 안에는 마찬가지로 얇은 테스트용 부직포 재료가 삽입될 수 있다. 경우에 따라서는 먼지를 막을 목적으로 코어를 둘러싸는 부직포도 이용될 수 있다. 상부 박막-부직포 재료-하부 박막으로 구성된 결합체 또는 러그의 열전달 계수는 진공 절연판을 완성한 후에 측정될 수 있다.

본 발명에 따른 진공 절연판을 제조하는 경우에는 커버 박막에 의해서 형성된 돌출 러그 안에 기공이 개방된 단열 재료의 얇은 층, 예를 들어 유리 섬유 부직포가 삽입된다. 진공 절연판을 완성한 후에 상기 박막 러그에서 열전달이 측정되고, 측정 결과로부터 내부의 가스 압력이 추론된다. 이 경우 얇은 재료 층에 있는 측정면의 크기는 바람직하게 약 5-10 ㎠이어야만 한다. 얇은 재료 층의 최소 크기 및 표면 형상도 상기 측정면의 크기에 상응하게 선택되어야만 한다.

두 개의 박막은 부직포 라이닝에 의해서 열에 의해 분리된다. 상기 라이닝 내부의 가스 압력에 의존하는 열저항이 형성된다. 기공이 개방된 라이닝을 위한 공동부가 기공이 개방된 절연 코어와 연결되면, 상기 라이닝 내부에서는 절연 코어에서와 동일한 가스 압력이 주도하게 된다. 절연 코어를 필요에 따라 둘러싸는 부직포가 이용되면, 상기와 같은 연결은 자동으로 만들어진다.

상기와 같이 제조된 박막 러그를 통과하여 실행되는 열전달은 바람직하게 각각 온도 조절된(temperature regulated) 금속판에 고정된 두 개의 열흐름 측정기에 의해서 측정된다. 이때 테스트용 부직포를 갖춘 박막 러그는 두 개의 열흐름 판 사이에 도달하며, 이 경우 상이하게 온도 조절된(temperature regulated) 금속판들은 각각 외부로 향한다. 박막 러그 및 얇은 부직포의 두 개 커버 박막의 열용량이 작기 때문에, 열흐름의 정적인 상태가 신속하게 설정된다. 두 개의 열흐름 측정기의 열흐름 평균 및 온도차로부터 박막-테스트용 부직포-박막으로 구성된 시스템의 열전달 계수가 산출된다. 테스트용 부직포의 두께 및 두 개 박막의 열저항이 공지되어 있다면, 테스트용 부직포의 열전도성도 산출될 수 있다. 테스트용 부직포 재료를 별도로 측정함으로써 결정될 수 있는, 가스 압력에 의존하는 테스트용 부직포의 열전도성의 공지된 의존성으로부터는 재차 진공 절연판 내부의 가스 압력이 추론될 수 있다.

두 개의 열흐름 측정기를 이용해서 열전도 계수를 측정하는 방식의 장점은, 측정용 샘플의 불안정한 열적 특성에 의존하는 두 개의 센서로부터 본 발명에 따라 얻어지는 평균값이 짧은 과도 시간 후에는 매우 신속하게 고정된 값을 나타낸다는 것이다. 5초 미만의 측정 시간이 가능하다.

하지만, 기본적으로는 단 하나의 열흐름 측정기를 이용한 측정 방식도 생각할 수 있다.

통상적으로 단지 수십 분의 1 mm의 두께를 갖는 열흐름 측정기가 가열 판의 홈 안에 삽입되어야만 하기 때문에, 결과적으로 열흐름 측정기 밖에서는 보호 링이 형성된다. 통상적으로 20 mm의 직경을 갖는 열흐름 측정기의 표면 및 가열 판의 보호 링은 하나의 연속하는 표면을 형성한다. 상기 보호 링에 의해서는 열이 조절되지 않은 상태로 박막을 거쳐 방사형 외부로 방출되는 현상이 방지된다. 열전달을 측정하기 위해서는 방사형 배열 대신에 정방형 또는 직사각형의 배열도 당연히 선택될 수 있다.

우수한 냉각 효과에 도달하기 위하여, 상대적으로 더 차가운 가열 판이 훨씬 더 큰 면적에 걸쳐질 수도 있다. 링 판은 필요에 따라 펠티에 소자(Peltier element)에 의해서 냉각되거나 또는 가장 간단한 경우에는 팬에 의해서 냉각될 수 있다.

두 개의 가열 판의 온도는 열전 소자에 의해서 측정되거나 또는 다른 온도 센서에 의해서 측정된다. 중요한 점은, 두 개의 가열 판 간에는 충분히 높은 온도차가 존재한다는 것이다. 이와 같은 온도차는 예를 들어 제 1 금속판이 실온 이하의 온도에서 또는 실온에 가까운 온도에서 냉각되고 제 2 금속판이 가열됨으로써 얻어질 수 있다. 이 경우에는 충분히 우수한 조절에 의해서 온도가 가급적 일정한 값으로 유지되도록 주의를 기울여야만 한다. 가열 판들의 온도차는 100 K에 달할 수 있다.

열흐름은 열흐름 측정기를 통해서 측정되는 대신에, 테스트용 부직포를 통과하는 가열 판을 가열하기 위해서 소비되는 전력을 통해서도 측정될 수 있다. 일반적으로 가열 박막은 가열 판을 가열하기 위해서 사용된다. 그 경우 상기 가열 박막은 동일한 값으로 조절되는 온도를 갖고 충분한 크기를 갖는 열적 보호 차폐에 의해서 둘러싸여야만 한다.

본 발명의 추가의 한 변형예에서, 온도 센서를 구비한 가열 박막은 테스트용 부직포를 내부에 갖추고 있는 변위된 박막 러그와 진공 절연 몸체 사이에 배치된다. 이와 같은 배열 상태 위에 냉각판이 올려진다. 가열 박막은 사전에 결정된 온도까지 가열되고, 제공된 전기적인 가열 파워가 측정된다. 불안정한 열흐름이 소멸된 후에는 일정한 가열 파워를 얻을 수 있는데, 이와 같은 일정한 가열 파워는 내부 가스 압력에 대한 산술 관계식에서 적용된 온도차로 나누기(÷) 한 후에 설정될 수 있다.

측정 헤드 또는 냉각 몸체와 박막 러그 사이에서 우수한 열적 접촉을 얻기 위해서는, 측정 헤드 또는 냉각 몸체에 각각 자성을 띠거나 또는 자화 가능한 부분들을 설치하는 것이 바람직하며, 그 결과로 상기 자성을 띠거나 자화 가능한 부분들은 서로 끌어 당겨져서 그 사이에 있는 박막 러그를 규정된 압력으로 압착하게 된다.

하지만, 가스 압력을 측정하기 위해서 기술된 본 발명은 박막에 의해 둘러싸여 있고 압력 하중을 받을 수 있는 진공 절연판에 한정되지 않는다. 다른 진공 소자에도 러그가 설치될 수 있으며, 상기 러그는 기공이 개방된 얇은 재료를 함유하고, 상기 러그에서는 가스 압력에 의존하는 열전달이 제시된 방법들에 의해서 결정될 수 있다. 러그를 제조하기 위해서는 플라스틱 박막 대신에 예를 들어 50 ㎛ 또는 바람직하게는 25 ㎛의 두께를 갖는 얇은 스테인레스 강 박막도 사용될 수 있다. 박막 러그는 용접 기술 및 실링 기술을 이용해서, 접착 또는 기타 진공 밀봉 방식의 연결에 의해서, 측정할 진공 소자의 용적에 연결될 수 있다. 그렇기 때문에 박막 러그는 진공 소자의 나머지와 동일한 재료로 이루어질 필요가 없다.

예를 들면 상기 측정 방법을 식료품 포장 기술에 사용하는 경우를 생각할 수 있다. 이와 같은 측정 방식에 의해서는 진공 포장된 제품의 진공 품질이 조절될 수 있다.

본 발명을 토대로 하는 추가의 특징들, 세부 사항들, 장점들 그리고 효과들은 본 발명의 바람직한 실시예들 및 도면을 참조하여 아래에서 상세하게 설명된다.

도 1은 중앙의 베이스 평면을 따라 절단된 본 발명에 따른 진공 절연판의 단면도로서, 측정 장치가 지시되어 있으며;

도 2는 도 1을 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도고;

도 3은 본 발명의 한 변형 실시예를 도 2에 상응하게 도시한 도면이며;

도 4는 사전에 결정된 온도차를 유지하기 위해서 필요한 가열 파워를 진공 절연판 내부를 주도하는 가스 압력 위에 도시한 좌표다.

진공 절연판의 형태로 된 진공화된 몸체(1)를 제조하기 위하여, 두 개의 박막(2)이 세 개의 측면 에지(4)를 따라 각각 하나의 실링 심(5)을 통해 상호 용접됨으로써, 250 mm x 450 mm의 치수를 가지며 위?아래로 겹쳐서 배치된 두 개의 하이 배리어 박막(2)(high barrier film)으로부터 주머니(3)가 제조된다. 주머니(3)의 개방된 측면(6)을 통해서, 200 mm x 300 mm x 20 mm의 치수를 가지며 마이크로 다공성 규산으로 이루어진 건조된 코어 플레이트(7)가 상기 주머니(3) 안으로 밀려 들어간다. 코어 플레이트(7)의 길이가 주머니(3)의 길이에 비해 현저히 짧기 때문에, 코어 플레이트(7)가 완전히 삽입된 후에 상기 코어 플레이트의 에지(8)와 개방된 주머니 에지(6) 사이에는 넓고 빈 영역(9)이 남는다. 상기 영역 안에 얇은 재료 층, 특히 마이크로 유리 섬유로 이루어진 부직포(10)가 삽입됨으로써, 상기 재료 층은 한편으로는 적어도 약 10 내지 20 mm만큼 코어 플레이트(7)와 중첩되고, 다른 한편으로는 주머니 개구(6)에 있는 실링 영역(11)을 자유롭게 남겨둔다. 부직포(10)의 치수는 폭이 약 50 mm이어야 하고, 길이가 약 100 mm이어야 한다. 코어 플레이트(7) 및 부직포(10)를 갖는 주머니(3)는 진공 챔버 내에서 약 1 mbar의 가스 압력으로 진공화되고, 마지막 실링 심(11)은 폐쇄된다. 이때에는 단지 (부분적으로) 부직포(10)로만 채워진 넓은 영역(9)이 러그(12)를 형성하며, 상기 러그는 나머지 측면 에지(4)에 있는 러그(13)보다 더 넓다. 진공 챔버를 환기시킨 후에 장착이 완료된 진공 절연판(1)이 꺼내진다.

상기 재료 층(10)은 상대적으로 더 넓은 러그(12)의 영역에서 두 개의 박막 층(2)을 열에 의해서 상호 분리한다. 그렇기 때문에 진공 절연판(1)을 완성한 후에는 상대적으로 더 넓은 러그(12)에 의해서 그리고 특히 부직포(10)가 있는 장소에서 열전달이 측정된다. 상기 측정 결과로부터 진공 절연판(1) 내부의 가스 압력이 결정될 수 있다. 이때 신뢰할만한 측정을 위해서는 얇은 재료 층(10)에서의 측정면의 크기가 약 5 내지 10 ㎠이어야만 한다. 그 결과로서 얇은 재료 층(10)에 상응하는 최소 크기도 얻어진다.

가스 압력을 결정하는 경우에는, 박막 러그(12)를 통과하여 실행되는 열전달을 측정하기 위해서 두 개의 열흐름 측정기(14, 15)가 이용된다. 상기 두 개의 열흐름 측정기(14, 15) 각각은 예를 들어 온도 조절(temperature regulated)되었으며 바람직하게는 금속으로 이루어진 플레이트 모양의 몸체(16, 17)에 각각 고정되어 있다. 상기 두 개의 온도 조절(temperature regulated)된 몸체(16, 17)는 서로 마주보도록 배치되어 있고, 서로를 향하고 있는 면에 열흐름 측정기(14, 15)를 각각 하나씩 구비하고 있다.

측정을 위하여 테스트용 부직포(10)를 갖는 박막 러그(12)가 상기 두 개의 플레이트 모양 열흐름 측정기(14, 15) 사이에 배치되며, 이 경우 상이하게 템퍼링 처리된 몸체(16, 17), 특히 금속 몸체는 상호 떨어져서 마주보고 있거나 또는 외부를 향하고 있다. 상기 러그(12)의 커버 박막(2)의 두 개 층의 열용량 그리고 상기 두 개 층 사이에 배치된 얇은 부직포(10)의 열용량이 작기 때문에, 열흐름의 안정된 상태(steady state)는 신속하게 설정된다.

두 개의 열흐름 측정기(14, 15)의 영역에 있는 온도 센서 또는 (금속-)몸체(16, 17)는 상기 두 개의 열흐름 측정기(14, 15) 간의 온도차를 전달한다. 상기 두 개의 열흐름 측정기(14, 15)의 열흐름 측정의 평균값으로부터 박막(2)-테스트용 부직포(10)-박막(2)으로 이루어진 시스템의 열전달 계수가 결정된다. 그 다음에 이어서 얇은 재료층(10)의 공지된 두께로부터 그리고 마찬가지로 공지된 두 개 박막(2)의 열저항으로부터 상기 얇은 재료층(10)의 열전도성이 산출된다. 마지막으로, 테스트용 부직포 재료(10)를 별도로 측정함으로써 결정될 수 있는, 가스 압력에 의존하는 상기 얇은 재료층(10)의 열전도성의 공지된 의존성으로부터 진공 절연판(1) 내부의 가스 압력이 추론된다.

도 3은 본 발명의 변형된 한 실시예를 보여주고 있으며, 본 실시예에서 측정 헤드(18)는 단지 얇은 가열 박막(19)으로만 이루어지는데, 상기 가열 박막에는 가열 상태를 조절하기 위한 온도 센서가 설치되어 있다. 가열 상태를 조절하기 위하여, 제어 및 온도 측정의 목적으로 약 30 mm의 직경을 갖는 가열 박막(19) 상에는 열전 소자 와이어가 고정되어 있다.

측정을 위하여, 도 3에 따라 삽입된 유리 섬유 부직포(10)를 갖는 진공 절연판(1)의 넓은 러그(12)가 상기 가열 박막(19) 둘레에 접히게 된다. 접힌 러그(20)의 두 개의 외측면에 각각 약 30 mm의 직경 및 약 10 mm의 두께를 갖는 플레이트 모양의 자석(21, 22)이 히트 싱크로서 설치됨으로써, 상기 자석들은 서로 끌어당겨서 박막 러그(12)와 우수한 열적 접촉을 형성하게 된다.

가열 박막(19) 및 온도 센서의 전기 단자(23)는 조절기에 연결되어 있다. 가열 박막(19)의 가열 전압은 측정 장치에 의해서, 특히 디지털 멀티미터에 의해서 측정되거나 또는 변환기에 의해서 (온도 신호와 함께) 컴퓨터에 판독 입력된다.

통상적으로 약 30 mm의 폭을 갖는 단 하나의 박막 러그(12)만을 필요로 하는 제일 처음으로 기술된 방법에 비하여, 본 경우에는 당연히 부직포 층(25)을 내부에 구비하고 폭이 두 배 이상 넓으며 가열 박막(19) 둘레에 놓일 수 있는 돌출 러그(24)가 필요하다.

박막(2)의 두 개의 외측면은 각각 두 개 자석(21, 22)의 형태를 갖는 냉각된 금속 플레이트와 접촉하고 있다. 이때 가열 박막(19)의 가열 파워는 두 개의 측면을 거쳐서 외부로, 더 차가운 외측면으로 흘러간다. (1 K의 온도차를 기준으로 하여) 측정된 고정된 가열 파워는 재차 진공 패널(1) 내부의 가스 압력 레벨에 대한 척도가 된다.

열전달을 측정하기 위해서는 우선 자석(21, 22)의 온도, 삽입된 부직포(10)를 포함한 박막 주름(20)의 온도 그리고 가열 박막(19)의 온도가 상호 적응되어 주변 온도에 대하여 적응될 때까지 기다려야만 한다. 가열 박막(19)의 온도는 측정을 시작할 때에 약 70 ℃의 설정 온도까지 신속하게 조절된다. 불안정한 과정들이 사라진 후에 가열 파워가 판독 출력된다. 측정 마지막에 가열 장치가 재차 스위치-오프 된다. 전체 측정기간은 약 20초이다.

측정 마지막에 측정된 가열 전압으로부터, 가열 박막(19)의 공지된 저항에 의해서 가열 파워가 산출된다. 가열 박막(19)과 외부에 있는 히트 싱크(21, 22) 간의 온도차를 결정하기 위하여, 상기 히트 싱크의 온도가 측정 시작 시점에 비해 약간만 증가한다는 내용이 가정된다. 대안적으로는, 온도 센서가 히트 싱크(21, 22)에 설치되고, 상기 히트 싱크들의 온도가 측정 시간 마지막에 마찬가지로 측정될 수도 있다. 이와 같은 방식으로 결정된 유리 섬유 부직포(10)의 열전달 계수는 보정 기능 또는 표에 의해서 진공 절연판(1)의 가스 압력으로 환산된다.

보정을 위해 이용되는 측정 열(row)에 대한 한 가지 예는 도 4의 다이어그램에 도시되어 있다. 상기 다이어그램에서는 박막 러그(12) 안에 삽입된 라이닝으로서 이용되는 마이크로 유리 섬유 부직포(10)를 위하여, 가열 박막(19) 안으로 유입된 파워가 - 히트 싱크(21, 22)에 대한 가열 박막(19)의 온도차를 표준으로 하여 - 다양한 가스 압력에서 측정되었다. 각각의 가스 압력은 가스 압력 측정계(manometer)에 의해서 별도로 결정되었다. 실선은 측정점들의 피팅 함 수(fitting function)이다. 이때 측정값이 사전에 결정된 경우에는 측정점들의 역함수(inverse function)로부터 1 내지 100 mbar의 범위 안에서 각각의 가스 압력이 산출될 수 있다.

전술된 장치는 특히 대상물 안에 영구적으로 설치된 진공 절연판(1) 내부의 가스 압력을 측정하기에 적합하다. 단지 온도 센서를 구비한 가열 박막(19) 및 두 개의 자석(21, 22)만 상기 진공 절연판에 남는다. 네 개의 연결 와이어(23)는 적합한 부시(bush)와 연결되고, 측정 장치용 대상물에 접근할 수 있도록 설치된다. 이와 같은 방식에 의하여, 개별적으로 선택된 단열판(1)에서는 가스 압력의 증가 과정이 1 mbar 내지 100 mbar의 범위 안에서 수년에 걸쳐 실행될 수 있다.

Claims

박막 형태의 외장을 가지고 있는 진공화된 몸체 내부의 가스 압력을 결정하기 위한 방법에 있어서,

상기 진공화된 몸체(1)의 외측면에 있는 박막 러그(12)에서, 재료 층(10)의 적어도 한 장소에서 가스 압력에 의존하는 열전달 계수를 측정하며,

상기 박막 러그(12)는 두 개의 박막 면(2)에 의해 형성되고,

상기 박막 면(2)은 상기 박막 러그(12)의 자유 에지의 영역에서 상호 연결되어 중간 공간을 형성하며,

상기 중간 공간은 상기 진공화된 몸체의 외장 안에 있는 공간과 연통되고, 기공이 개방된 얇은 재료 층(10)에 의해서 적어도 부분적으로 채워지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 채워진 중간 공간을 형성하는 두 개의 박막 면(2)은 상기 중간 공간에 인접하는 자신의 전체 면에 걸쳐서, 내부 진공과 외부 대기압 간의 차압(differential pressure)에 노출되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 열전달 계수를 측정하기 위하여

a) 상기 박막 러그(12)의 한 면에서는 온도 조절된(temperature regulated) 제 1 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 또는 금속 몸체 또는 인접한 열흐름 측정기(14)를 지닌 금속 몸체를 사용하며,

b) 상기 박막 러그(12)의 다른 면에서는 상기 제 1 몸체(16)와 상이한 온도를 갖는 온도 조절된(temperature regulated) 제2 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 및 상기 박막 러그(12) 쪽으로 이웃하는 열흐름 측정기(15)를 사용하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 3 항에 있어서,

열흐름을 측정하기 위하여, 각각의 설정 온도로 온도 조절된(temperature regulated) 두 개의 측정 헤드(14, 16 및 15, 17; 19, 21, 22)를 상기 박막 러그(12)와 접촉시키고, 상기 박막 러그의 양 면에 측정면 각각이 대향하고 있는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

열흐름 파형이 안정된 상태(steady state)에 이를 때까지 측정을 실시하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 4 항에 있어서,

두 개의 열흐름 측정기(14, 15)로부터 측정된 측정값의 평균값을 열흐름 결정에 사용하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

열흐름 측정기(14, 15)를 포함하는 단 하나의 몸체(16, 17; 21, 22)를 사용하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 3 항에 있어서,

적어도 하나의 열흐름 측정기(14, 15)의 온도 또는 적어도 하나의 온도 조절된(temperature regulated) 몸체(16, 17; 21, 22)의 온도를 온도 센서에 의해 검출하며, 상기 온도 센서는 관련 열흐름 측정기(14, 15) 또는 온도 조절된(temperature regulated) 몸체(16, 17; 21, 22)와 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 3 항에 있어서,

열흐름 측정기(14, 15) 대신에 단 하나의 가열 박막(19)을 포함하는 몸체(16, 17; 21, 22)를 사용하며, 상기 가열 박막의 전기 파워는 박막 러그(12)의 열전달 계수에 대한 척도이고, 동일한 온도의 보호 링에 의해 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 3 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 양측에 서로 마주 놓인 두 개의 몸체(16, 17)를 상이한 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 3 항에 있어서,

자기 인력을 이용하여 한편으로는 박막 러그(12)와 다른 한편으로는 상기 박막 러그(12)의 상이한 측에 있는 두 개의 몸체(16, 17; 21, 22) 사이에 우수한 열적 접촉을 야기하며, 상기 자기 인력은 상기 두 개 몸체(16, 17; 21, 22)의 영역 상에서 또는 그 영역 안에서 서로를 향하고 있는 반대 극성의 자기 극들 사이에서 발생하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 7 항에 있어서,

적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)를 적어도 하나의 가열 소자로 가열하여 일정한 온도로 조절하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 12 항에 있어서,

적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)를 펠티에 소자 또는 냉각수용 열교환기 또는 팬 중 적어도 하나의 냉각 장치를 이용하거나 자연적인 대류 현상에 의하여 냉각하여, 실온 이하의 온도에 가까운 일정한 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 내부에 있는 재료 층(10)을 180°만큼 한 번 접는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 14 항에 있어서,

온도 센서를 갖춘 가열 박막(19)를 라이닝(10)과 함께 접힌 박막 러그(12)의 주름 안에 배치하며, 상기 접힌 박막 러그(12)의 한 외측면 또는 양 외측면에서는 박막 가열 소자(19)에 비해 낮은 온도를 갖는 (각각) 하나의 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 (각각) 하나의 냉각 장치를 상기 가열 박막(19)과 마주 보도록 배치하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 15 항에 있어서,

자기 인력을 이용하여 한편으로는 박막 러그(12)와 다른 한편으로는 상기 박막 러그(12)의 상이한 외측면에 있는 두 개의 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치 사이에 우수한 열적 접촉을 야기하며, 상기 자기 인력은 상기 두 개 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치의 영역 상에서 또는 그 영역 안에서 서로를 향하고 있는 반대 극성의 자기 극들 사이에서 발생하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 16 항에 있어서,

설정 온도로 온도 조절된(temperature regulated) 가열 박막(19)을 상기 접힌 박막 러그(12)의 주름(20) 안에 배치하고, 양측에서 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치를 상기 박막 러그(12)와 접촉시키며, 안정된 값에 도달할 때까지 가열 파워를 시간적으로 변동시키는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

가열 박막(19), 온도 센서 또는 냉각 몸체(16, 17; 21, 22)로 이루어진 측정 부재를 상기 박막 러그(12) 상에 또는 그 안에 영구적으로 두는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 9 항에 있어서,

주변 온도의 측정이 시작된 후에 상기 가열 박막(19)을 설정 온도로 가열하며, 안정적인 열흐름 값에 도달할 때까지 가열 파워를 공급하고 측정하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 19 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)를 이용해서 열전달 계수를 결정하기 위하여

a) 상기 진공화된 몸체(1) 상에서 온도 센서를 갖춘 가열 박막(19)을 에지(4, 6) 근처에 또는 상기 박막 러그(12) 근처에 배치하며,

b) 얇은 재료 층(10)으로 채워진 박막 러그(12)를 그 위에 배치하며,

c) 그 위에 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치를 배치하며,

d) 사전에 결정된 온도에 도달시켜 그 온도를 일정하게 유지하기 위하여 상기 가열 박막(19)의 가열 파워를 측정하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 21은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 20 항에 있어서,

자성을 띠거나 또는 자화 가능한 플레이트가 제공된 가열 박막(19)과 자석이 설치된 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치가 자력에 의해 서로 끌어당김으로써, 한편으로는 박막 러그(12)와 냉각 몸체(16, 17; 21, 22) 또는 냉각 장치 사이에 그리고 다른 한편으로는 상기 박막 러그(12)와 상기 가열 박막(19) 사이에 우수한 열적 접촉이 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 15 항에 있어서,

전기 단자(23)에 의해 상기 가열 박막(19) 및 상기 냉각 몸체(16, 17; 21,22)가 진공화된 몸체(1) 상에 영구적으로 남아 있고, 상기 가열 박막(19)은 측정을 수행하기 위해 정상온도로 가열되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

박막 러그(12) 및 삽입된 기공성 재료 층(10)을 이용해서 열전달 계수를 결정하기 위하여, 상기 측정된 열흐름을 상기 박막 러그(12)의 양측 간 온도차에 의해 분리하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
제 1 항에 있어서,

공지된 가스 압력에서 이루어지는 별도의 측정으로부터 열전달 계수와 가스 압력 사이의 산술적인 관계를 추론하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 방법.
진공화된 몸체(1) 내부에서 열에 의한 측정 방법을 이용하여 가스 압력을 결정하기 위한 시스템으로서,

상기 진공화된 몸체(1)의 외측면에 박막 러그(12)가 형성되어 있고, 상기 박막 러그(12)는 두 개의 박막 면(2)에 의해 형성되며, 상기 박막 면(2)이 상기 박막 러그(12)의 자유 에지(4, 6)의 영역에서 상호 연결(5, 11)된, 가스 압력을 결정하기 위한 시스템에 있어서,

a) 상기 박막 러그(12)의 두 개의 박막 면(2) 사이에 형성된 중간 공간(9)은 상기 진공화된 몸체(1)의 외장(3) 안에 있는 공간과 연통되고, 기공이 개방된 얇은 재료 층(10)에 의해서 적어도 부분적으로 채워지며,

b) 상기 박막 러그(12)의 가스 압력에 의존하는 열전달 계수를 측정하기 위한 장치(14-17; 18, 19, 21, 22)가 상기 재료 층(10)의 자리에 제공되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 채워진 중간 공간(9)을 형성하는 박막 면(2)이 상기 중간 공간(9)에 인 접하는 자신의 전체 면에 걸쳐서 내부 진공과 외부 대기 압력 간 차이 압력에 노출되도록 상기 박막 면이 배치되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 박막 면(2)은 0.5 mm 이하의 두께 또는 0.2 mm 이하의 두께 또는 0.1 mm 이하의 두께를 갖는 스테인레스 강 박막 또는 금속 박막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)는 플라스틱 박막 또는 하이 배리어 박막 또는 알루미늄 복합 박막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 진공화된 몸체(1)는 압력 하중을 받을 수 있는 진공 절연판인 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 30은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

상기 얇은 재료 층(10)의 일부분은 0.5 ㎠ 내지 100 ㎠의 크기 또는 2 내지 20 ㎠의 크기 또는 5 내지 10 ㎠의 크기를 갖는 측정면을 포함하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 31은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 30 항에 있어서,

상기 얇은 재료 층(10)은 접힌 자국 및 주름 없이 상기 측정면 안에 놓이는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

상기 얇은 재료 층(10)은 하나 또는 다수의 개별 층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 33은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

절연처리되어 있는 코어(7)의 내부와 상기 재료 층(10) 내부에서 동일한 가스 압력이 나타나도록 상기 얇은 재료 층(10)이 상기 절연처리되어 있는 코어(7)와 연결되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 34은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

상기 기공이 개방된 얇은 재료 층(10)은 높은 가스 압력 또는 대기압에서의 최대값과 낮은 가스 압력 또는 진공(p ≤ 10 mbar, 또는 p ≤ 5 mbar 또는 p ≤ 2 mbar)에서의 최소값 간의 열전달 계수에 있어서 적어도 2배 또는 5배 이상 또는 10배 이상의 차이를 나타내는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 재료 층(10)의 두께는 0.05 mm 내지 5 mm 또는 0.1 mm 내지 1 mm 또는 0.2 mm 내지 0.5 mm인 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 기공이 개방된 얇은 재료 층(10)은 무기 혹은 유기 섬유로 이루어진 부직포의 형태로 형성되거나, 또는 유기 혹은 무기 섬유로 이루어진 직물의 형태로 형성되거나, 유기 혹은 무기 거품 층의 형태로 형성되거나, 또는 유기 혹은 무기 에어로겔 층의 형태로 형성되거나, 또는 유기 혹은 무기 분말의 형태로 형성되거나 또는 종이의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 37은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

상기 기공이 개방된 얇은 재료 층(10)은 단위 면적당 중량이 10 g/㎡ 내지 500 g/㎡ 또는 30 g/㎡ 내지 200 g/㎡ 또는 50 g/㎡ 내지 100 g/㎡인 유리 섬유 부직포 또는 플라스틱 섬유 부직포로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 38은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

금속 몸체 또는 온도 조절된(temperature regulated) 또는 온도 조절(temperature regulated)될 수 있는 적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)를 갖고, 측정할 진공화된 몸체(1)의 박막 러그(12)의 표면 영역에 접하게 될 면을 갖는 적어도 하나의 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22)를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 39은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 25 항에 있어서,

적어도 하나의 열흐름 측정기(14, 15)를 갖춘 적어도 하나의 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22)는 상기 박막 러그(12)의 표면 영역에 접하도록 하기 위해서 이용되는 면의 영역 상에 또는 그 영역 안에 제공되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 40은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 38 항에 있어서,

하나의 온도 조절(temperature regulated)될 수 있는 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 및 (각각) 하나의 열흐름 측정기(14, 15)를 갖춘 두 개의 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22)를 구비하며, 상기 측정 헤드의 인접면들은 측정할 진공화된 몸체(1)의 박막 러그(12)의 각각 하나의 표면 영역에 접하도록 하기 위하여 서로를 향하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 41은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 40 항에 있어서,

상기 두 개의 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22)의 온도 조절된(temperature regulated) 몸체(16, 17; 19, 21, 22)는 상이한 온도를 갖는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 42은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 40 항에 있어서,

상기 두 개의 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22)의 온도 조절(temperature regulated)될수 있는 몸체(16, 17; 19, 21, 22)에 상이한 온도를 부여하기 위한 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 43은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 40 항에 있어서,

상기 두 개의 열흐름 측정기(14, 15)의 측정 신호들로부터 측정값을 결정하기 위한 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 44은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 40 항에 있어서,

관련 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 또는 열흐름 측정기(14, 15)와 직접 접촉하는 온도 조절된(temperature regulated) 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 또는 열흐름 측정기(14, 15)의 온도를 검출하기 위한 하나 또는 다수의 온도 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 45은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 39 항에 있어서,

적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)는 열흐름 측정기(14, 15) 대신에 단 하나의 가열 박막(19)을 포함하며, 상기 가열 박막의 전기 파워는 박막 러그(12)의 열전달 계수에 대한 척도이고, 동일한 온도의 보호 링에 의해 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 46은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 45 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 한 측에 있는 제 1 몸체(16, 17; 19, 21, 22)에는 상기 박막 러그(12)의 다른 측에 있는 추가의 몸체(16, 17; 19, 21, 22) 또는 금속 플레이트가 마주 놓이며, 상기 추가의 몸체는 상기 제 1 몸체(16, 17; 19, 21, 22)에 대하여 상이하거나 또는 균일한 온도로 유지되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 46 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 상이한 측에 놓여 있는 두 개의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)가 자기적으로 서로 끌어당김으로써, 한편으로는 박막 러그(12)와 다른 한편으로는 양측에 놓인 측정 헤드(14-17; 18, 19, 21, 22) 사이에 우수한 열적 접촉이 보증되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 48은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 47 항에 있어서,

가열 또는 온도 조절을 위하여 적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)가 적어도 하나의 가열 박막(19)과 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 49은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 48 항에 있어서,

실온 이하의 온도에 가까운 온도를 유지하기 위하여, 적어도 하나의 몸체(16, 17; 19, 21, 22)가 펠티에 소자 또는 열교환기 또는 냉각수용 열교환기 또는 팬 또는 자연대류를 위한 냉각핀 중 적어도 하나의 냉각 장치에 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 25 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)는 재료 층(10)과 함께 90°이상 또는 180°로 적어도 한 번 이상 접히는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 51은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 50 항에 있어서,

온도 센서를 갖춘 가열 박막(19)은 재료 라이닝(10)과 함께 접힌 박막 러그(12)의 주름(20) 안에 배치되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 52은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 51 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)의 상호 떨어져서 마주한 한 외측면 또는 양 외측면에는 상기 가열 박막(19)에 비해 낮은 온도를 갖는 적어도 하나의 냉각 몸체(21, 22)가 배치되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 53은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

상기 냉각 몸체(21, 22)는 상기 박막 러그(12)의 양 외측면에서 자기적으로 서로 끌어당기는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 54은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 52 항에 있어서,

가열 박막(19), 온도 센서, 상기 박막 러그(12) 상이나 상기 박막 러그(12) 안에 영구적으로 남는 냉각 몸체(21, 22) 중 어느 하나로 이루어진 측정 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
제 52 항에 있어서,

상기 박막 러그(12)를 이용해서 열전달 계수를 결정하기 위하여

a) 상기 온도 센서를 갖춘 가열 박막(19)이 진공화된 몸체(1) 상에서 상기 몸체의 에지(4, 6) 근처에 배치되며,

b) 얇은 재료 층(10)으로 채워진 박막 러그(12)가 그 위에 배치되며,

c) 그 위에 냉각 몸체(21, 22)가 배치되는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 56은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 52 항에 있어서,

자성을 띠거나 또는 자화 가능한 플레이트가 제공된 가열 박막(19)과 자석이 설치된 냉각 몸체(21, 22)가 자력에 의해 서로 끌어당김으로써, 한편으로는 박막 러그(12)와 냉각 몸체(21, 22) 사이에 그리고 다른 한편으로는 박막 러그(12)와 가열 박막(19) 사이에 우수한 열적 접촉이 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 57은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 54 항에 있어서,

상기 진공화된 몸체(1) 상에 영구적으로 남는 전기 단자(23)를 포함하고 단지 측정의 목적으로만 설정 온도로 가열되는 가열 박막(19)을 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.
청구항 58은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 57 항에 있어서,

상기 전기 단자(23)에 의해 영구적으로 상기 진공화된 몸체(1) 상에 남는 냉각 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 가스 압력 결정 시스템.