JP5027882B2 - 真空排気体内のガス圧力を決定するための方法および装置 - Google Patents
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Description
Claims (58)
- 熱測定方法を使用して、フィルム状包装を有する真空要素内又は真空排気体内のガス圧力を決定するための方法であって、
前記真空要素又は前記真空排気体の外側に配置されているフラップ(12)からガス圧力に依存する伝熱係数が測定され、前記フラップ(12)は、該フラップの自由縁部の領域において接合された2つのフィルム面によって形成されるとともに、前記真空要素又は前記真空排気体の前記包装内部の空間と連通し且つ通気孔が形成されている薄い材料層(10)で少なくとも部分的に満たされた隙間を画成し、前記伝熱係数が前記材料層(10)の少なくとも1箇所で測定されることを特徴とする前記方法。 - 前記少なくとも部分的に満たされた隙間を画成している前記2つのフィルム面(2)が、内部真空圧力と外部雰囲気気圧との間の差圧に、前記隙間近傍の全表層に亘って晒されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- (a) 前記フラップ(12)の1つの表面上の、第1の温度調整された金属のボディ(16、17;19、21、22)であって、前記フラップ(12)の方を向く熱流計(14)を隣接して備える前記第1の温度調整された金属のボディ(16、17;19、21、22)と、
(b) 前記フラップ(12)の他の表面上の、前記第1の温度調整されたボディ(16)と異なる温度を有する他の温度調整された金属のボディ(16、17;19、21、22)であって、前記フラップ(12)の方の向く熱流計(15)を隣接して備える前記他の温度調整された金属のボディ(16、17;19、21、22)と、
によって、前記フラップ(12)の前記伝熱係数が測定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。 - 熱流を測定するために、特定の公称温度に調整された2つの測定ヘッド(14、16及び15、17;19、21、22)を、それらの測定領域を両側から向い合わせて、前記フラップ(12)と接触させることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記伝熱係数を測定する測定プロセスが、熱流がほぼ安定した状態に達するまで続けられることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の方法。
- 前記2台の熱流計(14、15)の平均が熱流を決定するために用いられることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記フラップの伝熱係数が、一つの熱流計(14、15)を備える一つだけのボディ(16、17;21、22)によって測定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 少なくとも一つの前記熱流計(14、15)の温度および/または少なくとも一つの温度調整された前記ボディ(16、17;21、22)の温度が、一つ又は複数の特定の前記熱流計(14、15)および/または一つ又は複数の特定の前記温度調整されたボディ(16、17;21, 22)と直接接触する温度センサによって検出されることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 電力が前記フラップ(12)の伝熱係数の尺度であって、同じ温度のガードリングによって囲まれることができる加熱フィルム(19)を備えるボディ(16、17;21、22)が使用されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記フラップ(12)の2つの側のそれぞれの一方に互いに向かい合って配置される2つの前記ボディ(16、17)が、異なる温度に維持されることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記フラップ(12)と前記フラップ(12)の異なる側上に配置された前記2つのボディ(16、17;21, 22)との間の良好な熱接触が、前記2つのボディ(16、17;21、22)の領域で相互に対向する反対の磁極の間で生じる磁気吸引力によって引き起こされることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 少なくとも一つの加熱要素によって、少なくとも一つの前記ボディ(16,17;19、21、22)が加熱され、一定温度に調整されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記ボディ(16、17;19、21、22)が、ペルチェ素子、熱交換器、及び送風機を含む少なくとも一つの冷却装置によって、又は、自然な対流によって冷やされ、可能な限り周囲温度と同程度かそれ以下の一定の温度で維持されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記材料層(10)を備える前記フラップ(12)が、180度折られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 温度センサを備える加熱フィルム(19)が、材料層(10)を有する、折られた前記フラップ(12)の折り重ねの範囲内に配置され、前記折られたフラップ(12)の1つまたは各々の外側面に、前記加熱フィルム(19)より低い温度を有するとともに前記加熱フィルム(19)に対向してラフに配置された、冷却ボディ(16、17;21、22)又は冷却装置が配置されることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記フラップ(12)と前記フラップ(12)の異なる外面上に配置された2つの冷却ボディ(16、17;21, 22)または冷却装置との間の良好な熱接触が、前記2つの冷却ボディ(16、17;21、22)または冷却装置の領域で相互に対向する反対の磁極の間で生じる磁気吸引力によって引き起こされることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 公称温度に調整された前記加熱フィルム(19)が、前記折られたフラップ(12)の前記折り重ね(20)の範囲内に配置され、冷却ボディ(16、17;21、22)または冷却装置が前記フラップ(12)と両側で接触し、経時変化する熱出力が、十分に安定した値に達するまで、追跡されることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 加熱フィルム(19)、温度センサ、および、冷却ボディ(16、17;21、22)からなる測定要素が、前記フラップ(12)に取り外せないように存置されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 測定を開始した後に、前記加熱フィルム(19)が周囲温度から公称温度まで加熱され、その熱流が十分に安定した値に達するまで、その熱出力が入力され、測定されることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記フラップ(12)を通じて前記伝熱係数を決定するために、
a)温度センサを備える前記加熱フィルム(19)を、前記真空要素又は前記真空排気体(1)上でその縁(4、6)の近くまたは前記フラップ(12)の近くに配置し、
b)前記薄い材料層(10)で満たされた前記フラップ(12)を、その上に敷設し、
c)冷却ボディ(16、17;21、22)または冷却装置をその上に配置し、そして、
d) 予め定められた温度に達し、一定に保たれるまで、前記加熱フィルム(19)の熱出力が測定されることを特徴とする請求項19に記載の方法。 - 前記加熱フィルム(19)は、磁石のディスク又は磁化可能なディスクを備える前記フラップ(12)と、磁石を備えている前記冷却ボディ(16、17;21、22)または冷却装置とが、磁力よって互いに引きつけ合い、それによって、一方では前記フラップ(12)と前記冷却ボディ(16、17;21、22)または冷却装置との間の良好な熱接触を生じさせるとともに、他方では前記フラップ(12)と前記加熱フィルム(19)との間の良好な熱接触を生じさせることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 電気コネクタ(23)を備える前記加熱フィルム(19)と、前記冷却ボディ(16、17;21、22)が、前記真空要素又は前記真空排気体(1)上に取り外せないように存置され、前記加熱フィルム(19)が測定値を実行するだけのために公称温度まで加熱されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 挿入された多孔性の前記材料層(10)と共に前記フラップ(12)を通して前記伝熱係数を決定するために、測定された熱流は、前記フラップ(12)の2つの表面間の温度差によって割り算される、請求項1〜22の何れかに記載の方法。
- 前記伝熱係数と前記ガス圧力との数学的関係が、既知のガス圧力によって実行された別々の測定から得られることを特徴とする請求項1〜23の何れかに記載の方法。
- 真空要素または真空排気体(1)内のガス圧力を、熱測定方法によって測定するためのシステムであって、
前記真空要素または真空排気体(1)の外側にフラップ(12)が形成され、該フラップ(12)は2枚のフィルム面(2)によって画成され、前記2枚のフィルム面は、前記フラップ(12)の自由縁部(4、6)の領域において接合(5、11)されており、
a)前記フラップ(12)の前記2枚のフィルム間の空間(9)は、前記真空要素または真空排気体(1)の包装(3)内部の空間と連通し、且つ、通気孔を有する薄い材料層(10)で少なくとも部分的に満たされ、
b)装置(14〜17;18、19、21、22)が、前記材料層(10)の位置で、前記フラップ(12)のガス圧力に依存する伝熱係数を測定するために設けられていることを特徴とする、前記システム。 - 前記満たされた隙間(9)を画成している前記フィルム面(2)は、内部の真空と外部の気圧との間の差圧に、前記隙間(9)に隣接する面の全体にわたってさらされるように配置されていることを特徴とする請求項25に記載のシステム。
- 前記フラップ(12)の前記フィルム(2)が、0.5mm以下の厚みを有するステンレス鋼フィルムから成るとことを特徴とする請求項25または26に記載のシステム。
- 前記フラップ(12)が、高いバリア性能の膜またはアルミニウム複合フィルムから成ることを特徴とする請求項25〜27の何れかに記載のシステム。
- 前記真空要素または真空排気体(1)が耐圧性真空断熱パネルであることを特徴とする請求項25〜28の何れかに記載のシステム。
- 前記薄い材料層(10)の一部が、0.5cm2〜100cm 2 のサイズの測定領域を含むことを特徴とする請求項25〜29の何れかに記載のシステム。
- 前記薄い材料層(10)は、前記測定領域内に折り目やしわが無いことを特徴とする請求項25〜30の何れかに記載のシステム。
- 前記薄い材料層(10)は、一以上の個々の層から成ることを特徴とする請求項25〜31の何れかに記載のシステム。
- 前記材料層(10)は、真空排気されたコア(7)と連通しており、前記コア(7)内に、前記材料層(10)内と同じ圧力が存在することを特徴とする請求項25〜32の何れかに記載のシステム。
- 通気孔を有する前記薄い材料層(10)は、高いガス圧力または気圧の最大値と、低いガス圧力または真空(p≦10mbar)での最小値との間において、伝熱係数の差を提供することを特徴とする請求項25〜33の何れかに記載のシステム。
- 前記材料層(10)の厚みが0.05mmと5mmの間であることを特徴とする請求項25〜34の何れかに記載のシステム。
- 前記通気孔を有する薄い材料層(10)は、有機または無機の繊維、有機または無機の繊維で作られたファブリック、有機または無機の発泡層、有機または無機のエアロゲル層、有機または無機の粉体、または紙で作られたマットから成ることを特徴とする請求項25〜35の何れかに記載のシステム。
- 通気孔を有する前記薄い材料層(10)は、単位領域当たりの重量が、10g/m2と500g/m2との間の、ガラス繊維マットまたは合成繊維マットから成ることを特徴とする請求項25〜36の何れかに記載のシステム。
- 少なくとも1つの測定ヘッド(14〜17;18、19、21、22)が、試験されるべき真空要素または真空排気体(1)の前記フラップ(12)の表面領域に対して配置される表面を有する、温度調整されるかまたは温度調整可能な少なくとも一つのボディ(16、17;19、21、22)を備えることを特徴とする請求項25〜37の何れかに記載のシステム。
- 少なくとも1つの前記測定ヘッド(14−17;18、19、21、22)は、前記フラップ(12)の表面領域に対して配置される面の領域に配置される少なくとも一つの熱流計(14、15)を備えることを特徴とする請求項38に記載のシステム。
- 2つの前記測定ヘッド(14−17;18、19、21、22)が、温度調整されるかまたは温度調整可能な前記ボディ(16、17;19、21、22)を備え、且つ、熱流計(14、15)を備え、テスト時において前記真空要素または真空排気体(1)のフラップ(12)のそれぞれの表面領域に対して配置されるそれぞれの接触面が互いに対向することを特徴とする請求項38に記載のシステム。
- 前記2つの測定ヘッド(14〜17;18、19、21、22)の前記温度調整されたボディ(16、17;19、21、22)は、異なる温度を有することを特徴とする請求項40に記載のシステム。
- 前記2つの測定ヘッド(14〜17;18, 19, 21, 22)の前記温度調整可能なボディ(16、17;19、21、22)に異なる温度を与えるための装置を備えることを特徴とする請求項40または41に記載のシステム。
- 前記2つの熱流計(14、15)から、測定信号の平均を決定するための装置によって特徴づけられる請求項40〜42の何れかに記載のシステム。
- 前記温度調整されたボディ(16、17;19、21、22)又は前記熱流計(14、15)の温度を検出するために作動可能であって、関連する前記ボディ(16、17;19、21、22)又は前記熱流計(14、15)と直接接触している、少なくとも一つの温度センサを備えることを特徴とする請求項40〜43の何れかに記載のシステム。
- 少なくとも一つの前記ボディ(16、17;19、21、22)は、電力が前記フィルム(12)の前記伝熱係数の尺度となるとともに同じ温度のガードリングによって囲まれる加熱フィルム(19)を備えることを特徴とする請求項38に記載のシステム。
- 前記フラップ(12)の一方の側に配置された第1のボディ(16、17;19、21、22)が、前記フラップ(12)の他方の側に配置される他のボディ(16、17;19、21、22)と反対側に配置され、前記他のボディは、できる限り均一な温度であって前記第1のボディ(16、17;19, 21, 22)と異なる温度に維持されることを特徴とする請求項45に記載のシステム。
- 前記フラップ(12)の異なる側上に配置された前記2つのボディ(16、17;19、21、22)が互いに磁気的に引き合うことにより、前記フラップ(12)と、その両側の一方側に対してそれぞれ載っている前記測定ヘッド(14−17;18、19、21、22)と間の良好な熱接触を保証することを特徴とする請求項46に記載のシステム。
- 少なくとも一つのボディ(16、17;19、21、22)は、加熱及び/又は温度調整するために少なくとも一つの前記加熱フィルム(19)に連結されるかまたは連結することができることを特徴とする請求項47の何れかに記載のシステム。
- 前記少なくとも一つのボディ(16、17;19、21、22)が、周囲温度近くまたは周囲温度以下の温度に維持するために、少なくとも一つの冷却要素(21、22)及び/又はペルチェ素子、熱交換器、送風機を含む少なくとも一つの冷却装置、または、自然対流のための冷却フィン、に連結されるかまたは連結することができることを特徴とする請求項48に記載のシステム。
- 前記材料層(10)を備える前記フラップ(12)が、少なくとも一度、90度以上に、折られることを特徴とする請求項25に記載のシステム。
- 温度センサを備える加熱フィルム(19)が、挿入された材料層(10)と共に折られた前記フラップ(12)の折り重ね(20)の範囲内に配置されていることを特徴とする請求項50に記載のシステム。
- 前記加熱フィルム(19)より低い温度を有する冷却ボディ(21、22)が、前記フラップ(12)の互いに背けられた外側面の一方面または両方面に対して配置されることを特徴とする請求項50または51に記載のシステム。
- 前記冷却ボディ(21、22)が磁気的に前記フラップ(12)の2つの外側の表面に引きつけられるとことを特徴とする請求項52に記載のシステム。
- 前記加熱フィルム(19)、前記温度センサ、および前記冷却ボディ(21、22)から成り、且つ、前記フラップ(12)に対し及び/又は前記フラップ(12)内に取り外せないように残される、測定要素によって特徴づけられる請求項52に記載のシステム。
- 前記フラップ(12)を介して伝熱係数を決定するために、
a) 温度センサから成る加熱フィルム(19)が、前記真空要素または真空排気体(1)の端(4、6)の近傍に配置され、
B) 薄い材料層(10)で満たした前記フラップ(12)が、その上に配置され、
C)冷却ボディ(21、22)が、その上に載置されることを特徴とする請求項25に記載のシステム。 - 前記フラップ(12)が磁気ディスク又は磁化可能なディスクを備えるとともに、前記冷却ボディ(21、22)が磁力により互いに引き合う磁石を備えることにより、前記フィルム(12)と前記冷却ボディ(21、22)との間で良好な熱接触を生成する一方、前記フラップ(12)と前記加熱フィルム(19)との間に良好な熱接触を生成することを特徴とする請求項52に記載のシステム。
- 前記加熱フィルム(19)は、その電気コネクタ(23)によって前記真空要素または真空排気体(1)に取り外せないように残したままで、測定を実行するためだけに公称温度まで加熱されることを特徴とする請求項54に記載のシステム。
- 冷却装置が、前記真空要素または真空排気体(1)上に取り外せないように残されることを特徴とする請求項57に記載のシステム。
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SI24816A (sl) | 2014-09-15 | 2016-03-31 | Aleš Baggia | Magnetno indukcijski sistem, senzor in metoda za merjenje zračnega tlaka v vakuumsko izolacijskih ploščah |
CA2972639C (en) | 2015-01-15 | 2020-01-28 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Method for controlling a gas supply to a vacuum pump. |
JP7285621B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2023-06-02 | 株式会社堀場エステック | 真空計 |
WO2022217270A1 (en) * | 2021-04-09 | 2022-10-13 | Peli Biothermal Llc | Pressure transition indicator and vacuum insulation panel equipped therewith for signaling loss of vacuum |
US11959696B2 (en) | 2022-04-11 | 2024-04-16 | Whirlpool Corporation | Vacuum insulated appliance with pressure monitoring |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4205551A (en) * | 1979-04-02 | 1980-06-03 | The Aro Corporation | Seal tester |
CN85200111U (zh) * | 1985-04-01 | 1985-12-20 | 北京大学 | 定温式热偶真空计 |
JP2610250B2 (ja) * | 1986-03-13 | 1997-05-14 | 株式会社東芝 | 断熱板及びその検査方法 |
US5345814A (en) * | 1990-12-28 | 1994-09-13 | Whirlpool Corporation | Method and apparatus for testing vacuum insulation panel quality |
IT1246785B (it) * | 1991-04-16 | 1994-11-26 | Getters Spa | Contenitore di protezione temporanea per un materiale getter |
JPH09166510A (ja) * | 1995-10-12 | 1997-06-24 | Toshiba Corp | 内圧測定方法及びその装置 |
US5750882A (en) * | 1997-04-04 | 1998-05-12 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | Gas permeability measurements for film envelope materials |
JPH11139461A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Jms:Kk | 容器包装体 |
US6019505A (en) | 1997-12-31 | 2000-02-01 | Honeywell Inc. | Time lag approach for measuring thermal conductivity and specific heat |
DE10058566C2 (de) * | 2000-08-03 | 2002-10-31 | Va Q Tec Ag | Folienumhüllter, evakuierter Wärmedämmkörper und Herstellungsverfahren für diesen |
JP2002131257A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-09 | Nisshinbo Ind Inc | 熱伝導率測定方法、測定装置及び断熱材の製造方法 |
DE10117021A1 (de) | 2001-04-05 | 2002-10-10 | Bsh Bosch Siemens Hausgeraete | Vakuumisolationselement und Verfahren zur Qualitätsprüfung eines Vakuumisolationselementes |
DE10215213C1 (de) * | 2002-04-06 | 2003-09-11 | Va Q Tec Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Messung des Gasdruckes in evakuierten Dämmplatten |
DE10322764A1 (de) * | 2003-05-19 | 2004-12-30 | Va-Q-Tec Ag | Container mit Vakuumisolation und Schmelzspeichermaterialien |
DE10348169B4 (de) * | 2003-10-16 | 2015-08-20 | Va-Q-Tec Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Gasdruckes in metallumhüllten Hohlkörpern |
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