KR101162069B1

KR101162069B1 - 접합 기판의 분단 방법 및 접합 기판

Info

Publication number: KR101162069B1
Application number: KR1020100052801A
Authority: KR
Inventors: 고오지 야마모토; 노리후미 아리마; 츠요시 하타
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2009-06-09
Filing date: 2010-06-04
Publication date: 2012-07-04
Also published as: KR20100132448A; TW201107256A; CN101921056A; JP2010285286A

Abstract

(과제) 2매의 기판을 접합한 접합 기판에 있어서, 한쪽 기판의 단부가 분단된 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있고, 또한 기판에 열응력을 발생시켜 접합 기판의 한쪽 기판을 분단할 수 있는 접합 기판의 분단 방법 및 접합 기판을 제공한다.
(해결 수단) 취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판(1)의 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 단부인 가장자리 부재(12)를, 당해 다른 한쪽 기판으로부터 분단한다. 가장자리 부재(12)와 가장자리 부재(12)에 대향하는 다른 한쪽 기판과의 사이에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서(5, 5, …)를 배치하고, 스페이서(5, 5, …)가 배치되어 있는 영역의 면적이, 가장자리 부재(12)의 면적의 70％ 이상이 되도록 스페이서(5, 5, …)를 배치한다.

Description

접합 기판의 분단 방법 및 접합 기판{METHOD FOR DIVIDING BONDED SUBSTRATE AND BONDED SUBSTRATE}

본 발명은, 2매의 기판을 접합한 접합 기판에 있어서, 한쪽 기판의 가장자리 부재를 다른 한쪽 기판으로부터 높은 정밀도로 분단(dividing)할 수 있는 접합 기판의 분단 방법 및 접합 기판에 관한 것이다.

유리판 등의 판 형상의 취성 재료(brittle material)를 2매 접합한 접합 기판의 한쪽 기판을 다른 한쪽 기판으로부터 분단시키는 공정이 필요해지는 경우가 있다. 예를 들면 접합 기판이 액정 표시 장치에 이용하는 LCD 등의 표시 패널을 잘라내는 마더 유리(mother glass)인 경우, 마더 유리의 한쪽 기판의 가장자리 부재를 분단하여 잘라냄으로써, 내부에 형성되어 있는 전극을 외부로 노출시킬 수 있어, 전기적으로 외부 전극 등과 접속할 수 있다. 이에 따라, 마더 유리로부터 표시 패널을 잘라내기 전에, 가동 확인 등을 행할 수 있다.

예를 들면 특허 문헌 1에서는, 접합한 유리 기판의 한쪽 기판의 단부(端部)를, 스크라이버(scriber)를 이용하여 형성한 스크라이브 라인을 따라 분단함으로써 분리하여, 다른 한쪽 기판의 단부에 형성된 전극을 노출시키는 방법이 개시되어 있다.

또한, 특허문헌 2에서는, 기판의 주면을 따른 이동을 방해하지 않도록 기판을 지지하여, 분단 예정선을 따라 유리 기판을 가열 및 냉각하여 기판의 내부에 열응력을 발생시킴으로써, 기판의 두께 방향으로 관통하는 균열을 형성하여 유리 기판을 분단하는 방법이 개시되어 있다.

일본공개특허공보 평06－305757호 일본공개특허공보 2007－191363호

그러나, 한쪽 기판에 소정의 깊이의 균열을 형성하여, 형성한 균열을 따라 한쪽 기판을 분단할 수 있었던 경우라도, 접합한 기판끼리를 구속하는 힘인 기판 구속력이 큰 경우에는, 분단한 한쪽 기판을 다른 한쪽 기판으로부터 분리하는 것이 곤란한 경우가 발생하고 있었다. 또한, 접합 기판의 한쪽 기판을 레이저 가열 및 냉각함으로써 기판의 두께 방향으로 관통하는 균열을 형성하여 유리 기판을 분단하는 경우, 접합한 기판끼리를 구속하는 힘인 기판 구속력이 큰 경우에는, 기판의 두께 방향으로 관통하는 균열의 형성이 곤란했다. 이러한 문제점은, 접합한 기판끼리가 밀착해 버림으로써 발생한다고 생각되며, 특히 레이저 가열 및 냉각에 의해 기판을 분단하는 경우에는, 기판에 잔류된 냉각수의 표면 장력 효과에 의해 접합한 기판간의 기판 구속력이 보다 커져, 접합한 기판을 분단하는, 또는 분단된 한쪽 기판을 다른 한쪽 기판으로부터 분리하는 것이 한층 곤란해진다.

특허문헌 1에서는, 접합 기판을 구성하는 한쪽 기판의 단부를 스크라이브 라인을 따라 분단하고 있지만, 분단한 가장자리 부재를 분리하는 방법은 개시되어 있지 않다. 따라서, 표시 패널의 단부에 형성된 전극을 노출시키는 공정의 경우, 단부에 있어서의 한쪽 기판을 CO₂ 레이저 등에 의해 분단한 경우라도, 분단한 가장자리 부재를 다른 한쪽 기판으로부터 분리시키는 것이 곤란하다는 문제점은 해소되지 않는다.

또한, 특허문헌 2에서는, 단판(單板)의 기판을 레이저 가열 및 냉각함으로써 기판의 두께 방향으로 관통하는 균열을 형성하여 분단하는 경우에, 균열의 형성에 수반하는 기판의 변위를 방해하지 않도록 변형하는 가이드 부재로 기판의 단면(端面)을 끼워두고 있다. 그러나, 접합 기판의 한쪽 기판을 분단하는 경우에 있어서의 기판의 변위에 대해서는 고려되어 있지 않다. 따라서, 접합 기판의 한쪽 기판을 분단하는 경우, 접합한 기판끼리를 구속하는 힘인 기판 구속력에 의해 균열의 형성이 방해되기 때문에, 분단이 곤란하다는 문제점은 해소되지 않는다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 2매의 기판을 접합한 접합 기판에 있어서, 한쪽 기판의 단부가 분단된 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있고, 또한 기판에 열응력을 발생시켜 접합 기판의 한쪽 기판을 분단할 수 있는 접합 기판의 분단 방법 및 접합 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 제1 발명에 따른 접합 기판의 분단 방법은, 취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판의 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 단부인 가장자리 부재를, 당해 다른 한쪽 기판으로부터 분단하는 접합 기판의 분단 방법에 있어서, 상기 가장자리 부재와 당해 가장자리 부재에 대향하는 다른 한쪽 기판과의 사이에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서를 배치하고, 상기 스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적이, 상기 가장자리 부재의 면적의 70％ 이상이 되도록 상기 스페이서를 배치하는 것을 특징으로 한다.

또한, 제2 발명에 따른 접합 기판의 분단 방법은, 제1 발명에 있어서, 상기 접합 기판은 LCD용 기판인 것을 특징으로 한다.

또한, 제3 발명에 따른 접합 기판의 분단 방법은, 제2 발명에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 복수의 행 및 열로 배치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 제4 발명에 따른 접합 기판의 분단 방법은, 제1 발명에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 소정의 분포 밀도로 배치되는 것을 특징으로 한다.

다음으로, 상기 목적을 달성하기 위해 제5 발명에 따른 접합 기판은, 취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판에 있어서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하고 있는 단부인 가장자리 부재와, 당해 가장자리 부재에 대향하는 다른 한쪽 기판과의 사이에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서가 배치되어 있고, 상기 스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적이, 상기 가장자리 부재의 면적의 70％ 이상이 되도록 상기 스페이서를 배치하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 제6 발명에 따른 접합 기판은, 제5 발명에 있어서, 상기 접합 기판은 LCD용 기판인 것을 특징으로 한다.

또한, 제7 발명에 따른 접합 기판은, 제6 발명에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 복수의 행 및 열로 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 제8 발명에 따른 접합 기판은, 제5 발명에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 소정의 분포 밀도로 배치되는 것을 특징으로 한다.

제1 발명, 제2 발명, 제5 발명 및 제6 발명에서는, 취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판의 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 단부인 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 분단한다. 접합 기판의 가장자리 부재의 소정의 범위에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서를 배치한다. 스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적이, 접합 기판으로부터 분단되는 한쪽 기판의 가장자리 부재의 면적의 70％ 이상이 되도록 스페이서를 배치함으로써, 접합 기판의 한쪽 기판과 다른 한쪽 기판과의 사이의 기판 구속력이, 접합 기판의 단부에 있어서도 확실하게 저감된다. 따라서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 확실하게 분단 및 분리할 수 있어, 예를 들면 LCD용의 접합 기판에 있어서, 내부의 단자를 확실하게 외부로 노출할 수 있다. 또한, 「스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적」이란, 서로 소정의 간격으로 배치되어 있는 스페이서군 중, 가장 외측에 배치되어 있는 스페이서를 잇는 포락선(包絡線) 내의 면적을 의미하고 있다.

제3 발명 및 제7 발명에서는, 스페이서를, 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 복수의 행 및 열로 배치함으로써, 한쪽 기판과 다른 한쪽 기판과의 사이의 기판 구속력이, 접합 기판의 단부에 있어서도 확실하게 저감된다. 따라서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 확실하게 분단 및 분리할 수 있어, 내부의 단자를 확실하게 외부로 노출할 수 있다.

제4 발명 및 제8 발명에서는, 스페이서를, 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 소정의 분포 밀도로 배치함으로써, 한쪽 기판과 다른 한쪽 기판과의 사이의 기판 구속력이, 접합 기판의 단부에 있어서도 확실하게 저감된다. 따라서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 확실하게 분단 및 분리할 수 있어, 내부의 단자를 확실하게 외부로 노출할 수 있다.

상기 구성에 의해, 접합 기판의 한쪽 기판과 다른 한쪽 기판과의 사이의 기판 구속력이, 접합 기판의 단부에 있어서도 확실하게 저감된다. 따라서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 확실하게 분단 및 분리할 수 있어, 예를 들면 LCD용의 접합 기판에 있어서, 내부의 단자를 확실하게 외부로 노출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 구성을 모식적으로(schematically) 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 가장자리 부재 근방의 구성을 모식적으로 나타내는 부분 단면도이다.
도 3은 스페이서의 형상을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 스페이서의 배치를 나타내는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 스페이서의 다른 배치를 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 기판 구속력의 비교도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하에, 본 발명을 그 실시 형태를 나타내는 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 이하, 접합 기판은 LCD용의 표시 패널을 잘라내는 마더 유리으로, 2매의 유리 기판을 접합하여 형성된 마더 유리로부터 4매의 LCD용의 표시 패널을 잘라내는 경우에 대해서 설명한다.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 접합 기판(1)은, 판 형상의 취성 재료, 예를 들면 유리판을 앞뒤 2매 접합한 마더 유리이다. 도 1의 예에서는, 마더 유리(접합 기판)(1)로부터 4매의 LCD용의 표시 패널(10, 10, …)을 잘라낸다. 마더 유리(1)의 양단에는, 4매의 LCD용의 표시 패널(10, 10, …)의 가동 상태를 검사하기 위한 검사 전극이, 마더 유리(1)의 양단의 가장자리 부재(12, 12)까지 연장되어 있다.

도 2는, 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판(1)의 가장자리 부재(12) 근방의 구성을 모식적으로 나타내는 부분 단면도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 접합 기판(1)은, 상하 2매의 유리 기판(21, 22)이 스페이서(5, 5, …)에 의해 소정의 간격을 유지하면서 시일재(4)를 통하여 접합되어 있다. 전극(3)은, 유리 기판(22)의 내면측에 배치되어 있어, 가동 상태의 검사시에는, 유리 기판(21)의 가장자리 부재(12)를 스크라이브 라인(13)을 따라 분단하여 전극(3)을 외부로 노출시킨다.

본 실시 형태에서는, 일정 간격으로 스페이서(5, 5, …)를 배치함으로써, 상하 2매의 유리 기판(21, 22)간의 기판 구속력을 저감시키고 있다. 도 2에서는 직육면체 형상의 스페이서를 모식적으로 도시하고 있지만, 원주 형상, 구 형상 등의 다른 형상의 스페이서를 이용해도 좋다.

도 3은, 스페이서(5)의 형상을 나타내는 사시도이다. 스페이서(5)는, 100㎛사방(四方)으로 높이가 5㎛인 직육면체 형상이며, 본 실시 형태에서는 2.5mm 간격으로 스페이서(5, 5, …)를 배치하고 있다. 스페이서(5, 5, …)는, 가장자리 부재(12)의 표시 패널(10)측으로부터 순차로 배치하도록 되어 있다.

도 4는, 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판(1)의 스페이서(5, 5, …)의 배치를 나타내는 모식도이다. 스페이서(5, 5, …)는, 가장자리 부재(12) 중, 스크라이브 라인(13)측으로부터 배치되어 있으며, 스크라이브 라인(13)측으로부터 5행으로 배치되어 있고, 스페이서(5, 5)의 간격은, 서로 2.5mm가 되도록 배치되어 있다. 스페이서(5, 5)의 간격은 이에 한정되는 것은 아니며, 3mm 이하이면 좋다.

가장자리 부재(12)를 분단시키는 경우, 스크라이브 홈을 스크라이브 라인(13)을 따라 형성한 후, 하중을 부여하여 가장자리 부재(12)를 분단한다. 가장자리 부재(12)는, 스페이서(5, 5, …)를 배치함으로써 기판 구속력이 저감되어 있기 때문에, 스크라이브 라인(13)을 따라 분단한 경우에는, 용이하게 가장자리 부재(12)를 유리 기판(22)으로부터 분리할 수 있다. 또한, 전술한 「스크라이브 홈」이란, 예를 들면 스크라이빙 휠을 이용한 스크라이브 가공, 스크라이브 라인을 따라 유리 기판(21)을 레이저 가열 및 냉각하는 레이저 스크라이브 가공 등에 의해 형성된, 기판의 두께 방향으로 관통하지 않는 소정 깊이의 균열을 의미한다.

또한, 스크라이브 라인(13)을 따라 유리 기판(21)을 가열 및 냉각함으로써 기판의 두께 방향으로 관통하는 균열을 형성하여 가장자리 부재(12)를 분단하는 경우에는, 스페이서(5, 5, …)를 배치함으로써 기판 구속력이 저감되어 있기 때문에 가장자리 부재(12)의 변위가 방해되는 일 없이, 스크라이브 라인(13)을 따라 확실하게 균열을 형성할 수 있다.

이 경우, 스페이서(5, 5, …)가 배치되어 있는 영역(A2)의 면적은, 가장자리 부재(12)에 상당하는 영역(A1)의 면적의 대략 70％ 이상인 것이 바람직하다. 대략 70％ 이상임으로써, 확실하게 한쪽 유리 기판(21)을 분단할 수 있기 때문이다. 또한, 「스페이서(5, 5, …)가 배치되어 있는 영역(A2)의 면적」이란, 서로 소정의 간격으로 배치되어 있는 스페이서군 중, 가장 외측에 배치되어 있는 스페이서(5, 5, …)를 잇는 포락선 내의 면적을 나타내고 있으며, 도 4와 같이 스페이서(5, 5, …)가 m행 n열(m, n은 자연수)로 가장자리 부재(12)의 길이 방향 전역에 걸쳐서 규칙적으로 배치되어 있는 경우에는, 스페이서(5, 5, …)가 배치되어 있는 m행분의 면적, 즉 5행분의 면적을 의미한다.

따라서, 스페이서(5, 5, …)는, 전극(3)이 연장되어 있는 영역인 전극 영역에서, 스크라이브 라인(13)측으로부터 행렬 형상으로 배치되는 것에 한정되는 것은 아니고, 스페이서(5, 5, …)가 배치되어 있는 영역(A2)의 면적이, 가장자리 부재(12)에 상당하는 영역(A1)의 면적의 대략 70％ 이상이 되는 배치이면 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 스크라이브 라인(13)측으로부터 소정의 범위에 입자 형상의 스페이서(5, 5, …)를 산포함으로써, 랜덤으로 배치해도 좋다. 도 5는, 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판(1)의 스페이서(5, 5, …)의 다른 배치를 나타내는 모식도이다.

도 4와는 달리, 스페이서(5, 5, …)는, 가장자리 부재(12)의 스크라이브 라인(13)측으로부터 소정의 범위에 소정의 분포 밀도로 산포되어 있으며, 스페이서(5, 5)의 간격은, 서로 3mm 이하가 되도록 배치되어 있다.

도 6은, 본 발명의 실시 형태에 따른 접합 기판(1)의 기판 구속력의 비교도이다. 도 6은, 100㎛ 사방으로 높이가 5㎛인 대략 직육면체 형상인 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 배치하고 있는 접합 기판(1)의 2매의 유리 기판(21, 22)간의 기판 구속력을 측정한 결과를 나타내고 있다. 측정에 있어서, 스크라이브 라인(13)으로 분단된 가장자리 부재(12)의 일단을 유리 기판(21)의 일면에 평행하며, 게다가 스크라이브 라인(13)과 직교하는 방향으로 잡아당겨 가장자리 부재(12)를 유리 기판(22)으로부터 분리시켜, 인장력의 최대치를 기판 구속력으로 했다.

또한, 그룹 A는 스페이서(5, 5, …)를 배치하고 있지 않은 경우의 측정 결과를, 그룹 B는 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 반면(半面)에 배치한 경우의 측정 결과를, 그룹 C는 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 전면(全面)에 배치한 경우의 측정 결과를, 각각 나타내고 있다. 또한, 그룹마다 해칭이 되어 있지 않은 측정 결과는 2매의 유리 기판(21, 22)간에 수분이 포함되어 있는 경우의 측정 결과를, 해칭이 되어 있는 측정 결과는 2매의 유리 기판(21, 22)간에 포함되는 수분이 적은 경우의 측정 결과를, 각각 나타내고 있다.

우선, 해칭이 되어 있는 측정 결과를 비교한 경우, 기판 구속력은 스페이서(5, 5, …)를 배치하고 있지 않은 그룹 A의 측정 결과(64)가 가장 크고, 이하, 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 반면에 배치한 그룹 B의 측정 결과(65), 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 전면에 배치한 그룹 C의 측정 결과(66)로 순차로 저감되고 있다. 따라서, 스페이서(5, 5, …)를 배치한 영역이 차지하는 면적의 비율이 커지면 커질수록, 2매의 유리 기판(21, 22)간의 기판 구속력은 작아져, 한쪽 유리 기판(2)의 가장자리 부재(12)를 분리하기 쉬워지는 것은 명백하다.

또한, 해칭이 되어 있지 않은 측정 결과를 비교한 경우, 기판 구속력은 스페이서(5, 5, …)를 배치하고 있지 않은 그룹 A의 측정 결과(61)와, 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 반면에 배치한 그룹 B의 측정 결과(62)는 그다지 변화되어 있지 않다. 그러나, 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로 가장자리 부재(12)의 대략 전면에 배치한 그룹 C의 측정 결과(63)는, 다른 측정 결과와 비교하여 저감되어 있다.

통상, 2매의 유리 기판(21, 22)간에 수분이 포함된 경우, 수분의 표면 장력에 의해 유리 기판(21, 22)간의 기판 구속력이 커지는 것이 상정된다. 그러나, 스페이서(5, 5, …)를 가장자리 부재(12)의 대략 전면에 배치한 경우에는, 기판 구속력이 다른 측정 결과와 비교하여 저감되어 있는 점에서, 스페이서(5, 5, …)를 배치한 영역이 차지하는 면적의 비율이 일정한 비율을 넘은 경우에는, 표면 장력에 의한 영향을 받지 않고, 한쪽 유리 기판(2)의 가장자리 부재(12)를 분단하기 쉬워지는 것을 알 수 있다. 실험적으로는, 스페이서(5, 5, …)를 2.5mm 간격으로, 가장자리 부재(12)의 대략 70％의 면에 배치한 시점부터 기판 구속력이 저감되고 있다.

이상과 같이 본 실시 형태에 의하면, 접합 기판의 한쪽 기판과 다른 한쪽 기판과의 사이의 기판 구속력이, 접합 기판의 단부에 있어서도 확실하게 저감된다. 따라서, 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 가장자리 부재를, 다른 한쪽 기판으로부터 확실하게 분단 및 분리할 수 있어, 예를 들면 LCD용의 접합 기판에 있어서, 내부의 단자를 확실하게 외부로 노출할 수 있다.

또한, 접합 기판은 LCD용의 표시 패널을 포함하는 마더 유리에 한정되는 것은 아니며, 2매의 취성 재료를 접합하고 있어, 한쪽 기판의 가장자리 부재를 분리할 필요가 있는 접합 기판이면 특별히 한정되는 것은 아니다. 또한, LCD용의 표시 패널을 포함하는 마더 유리에 한정되는 것은 아니며, 표시 패널을 각각 잘라낸 후, 표시 소자의 구동, 가동 확인 등에 이용하기 위해 표시 패널 단체의 한쪽 유리 기판의 가장자리 부재를 분단하는 경우에 있어서도 동등한 효과를 기대할 수 있다. 그 외, 본 발명의 취지의 범위 내이면 다양한 종류의 변형, 치환 등이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

1 : 마더 유리(접합 기판)
2 : 유리 기판
3 : 전극
4 : 시일재
5 : 스페이서
10 : 표시 패널
12 : 가장자리 부재
13 : 스크라이브 라인

Claims

취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판의 한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하는 단부인 가장자리 부재를, 당해 다른 한쪽 기판으로부터 분단하는 접합 기판의 분단 방법에 있어서,
상기 가장자리 부재와 당해 가장자리 부재에 대향하는 다른 한쪽 기판과의 사이에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서를 배치하고,
상기 스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적이, 상기 가장자리 부재의 면적의 70％ 이상이 되도록 상기 스페이서를 배치하는 것을 특징으로 하는 접합 기판의 분단 방법.
제1항에 있어서,
상기 접합 기판은 LCD용 기판인 것을 특징으로 하는 접합 기판의 분단 방법.
제2항에 있어서,
상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 복수의 행 및 열로 배치되는 것을 특징으로 하는 접합 기판의 분단 방법.
제1항에 있어서,
상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 소정의 분포 밀도로 배치되는 것을 특징으로 하는 접합 기판의 분단 방법.
취성 재료로 이루어지는 2매의 기판을 접합한 접합 기판에 있어서,
한쪽 기판의, 다른 한쪽 기판에 대향하고 있는 단부인 가장자리 부재와, 당해 가장자리 부재에 대향하는 다른 한쪽 기판과의 사이에, 서로 3mm 이하의 간격으로 스페이서가 배치되어 있고,
　상기 스페이서가 배치되어 있는 영역의 면적이, 상기 가장자리 부재의 면적의 70％ 이상이 되도록 상기 스페이서를 배치하고 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판.
제5항에 있어서,
상기 접합 기판은 LCD용 기판인 것을 특징으로 하는 접합 기판.
제6항에 있어서,
상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 복수의 행 및 열로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판.
제5항에 있어서,
상기 스페이서는, 상기 가장자리 부재를 분단하는 스크라이브 라인으로부터 기판의 단부를 향하여 소정의 분포 밀도로 배치되는 것을 특징으로 하는 접합 기판.