KR101129963B1

KR101129963B1 - 쇼트 아크형 방전 램프

Info

Publication number: KR101129963B1
Application number: KR1020100044430A
Authority: KR
Inventors: 다케오 마츠시마; 유타카 무네
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2009-07-02
Filing date: 2010-05-12
Publication date: 2012-03-28
Also published as: CN101944471A; JP4760964B2; JP2011014375A; TW201103070A; DE102010022630B4; KR20110002784A; DE102010022630A1; TWI359438B

Abstract

(과제) 발광관 내에, 수소 투과성의 밀폐 중공 용기와, 상기 중공 용기의 내부에 수소를 흡착하는 게터재를 봉입하여 이루어지는 수소 게터를 구비한 쇼트 아크형 방전 램프에 있어서, 상기 수소 게터를 전극축에 장착함과 더불어, 상기 수소 게터와 전극간의 이상 방전을 방지한 구조를 제공하는 것이다.
(해결수단) 수소 게터를 구성하는 중공 용기를 덮도록, 고융점 재료로 이루어지는 커버를 설치하고, 상기 커버에 커버 내부 공간과 방전 공간을 연통하는 연통구를 형성한 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

쇼트 아크형 방전 램프{SHORT ARC TYPED DISCHARGE LAMP}

본 발명은, 반도체나 액정의 제조 분야 등의 노광용 광원이나 영사기의 백라이트용 광원에 적용되는 쇼트 아크형 방전 램프에 관한 것이다.

쇼트 아크형 방전 램프는, 발광관 내에 대향 배치된 한 쌍의 전극의 선단 거리가 짧고 점광원에 가까움으로 인해, 광학계와 조합시킴으로써 노광 장치용 혹은 영사기의 백라이트용의 광원으로서 이용되고 있다.

특허문헌 1 및 2는, 종래의 쇼트 아크형 방전 램프를 개시한다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 크세논 쇼트 아크 램프에 있어서는 발광 가스인 크세논 가스, 수은 증기 쇼트 아크 램프에 있어서는 버퍼 가스인 크세논 가스, 크립톤 가스 및 아르곤 가스의 엑시머 발광이, 석영 유리제의 방전 용기의 내면에 백탁을 일으키게 한다는 문제를 일으키고 있었다. 동일 문헌은, 이와 같은 문제의 대책으로서, 상기 방전 용기의 자외선 방사 발산도가 최대가 되는 부분의 내면으로부터 200μm인 범위의 평균 OH기 농도가 7.8×10²⁴개/m³이상이며, 또한 상기 내표면으로부터 깊이 20μm인 범위의 평균 OH기 농도가 1.5×10²⁵개/m³이상 1.2×10²⁶개/m³ 이하인 것을 규정하고 있다. 이와 같이, 쇼트 아크형 방전 램프에서는, 방전 용기의 내면에 OH기를 함유시키는 것은 일반적인 기술이다.

한편, 특허문헌 2는, 발광관의 내표면에 극히 가까운 영역에 고농도의 OH기가 존재하면, 방전 램프의 점등 초기에 있어서 램프 시동과 함께 발광관이 고온이 되기 때문에, OH기를 발광관 내표면으로부터 방출하고, 발광관 내표면으로부터 방출된 OH기가 H₂O가 되어 발광관 내에 확산되는 것이 개시되어 있다. 동일 문헌은, 그 대책으로서, 자외선 방사 발산도가 최대가 되는 부분의 내면으로부터 20μm의 범위의 평균 OH기 농도를 10ppm 이상, 190ppm 이하로 규정하고 있다.

이와 같이 발광관에는 OH기가 포함되어 있고, 그것이 발광 공간 내에 H₂O로서 확산되는 것이 알려져 있다. 또한, 발광관 내에 확산된 H₂O는, 아크로부터의 열에 의해 산소와 수소로 열분해된다. 발명자들의 예의 검토에 의해, 이와 같이 하여 발광관 내에 생성한 수소는, 조도의 안정도를 저하시키는 것을 찾아냈다. 조도 안정도는 아크가 요동하는 것에 의해, 광학계에 광의 입사량이나 입사 각도 분포가 변화함으로써 발생한다. 요동의 주기는 광학계에 따라서 상이하지만, 대체로 수밀리 초로부터 수 초의 사이에 조도 변동이 커지는 소위 깜박거림을 일으키게 한다. 이 조도 안정도의 저하는, 화상 투영 장치에 있어서는, 화면의 깜박거림으로서 문제가 되고, 노광 장치에 있어서는, 노광 불균일이라고 하는 문제를 일으킨다.

특허문헌 3은, 발광관 내에 방출되는 수소를 흡수하는 수소 게터를 발광관 내에 배치하는 것을 개시한다. 도 11은, 동일 문헌에 개시되는 방전 램프의 구성의 개략을 나타내는 설명도이다. 도 12는, 도 11에 나타내는 방전 램프가 구비하는 수소 게터의 단면 구조를 나타낸다.

도 11에 나타내는 방전 램프는, 밸브(201), 전극(202, 203), 시일링부(204), 금속박(205)을 구비한다. 206은 석영통, 207은 석영봉, 210은 수소 게터이다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 수소 게터(210)는, 탄탈 등의 금속으로 이루어지는 유저 원통(211)과 뚜껑(212)으로 이루어지는 금속 외피(213)와, 당해 금속 외피(213)의 내부에 시일링된 원통형상의 이트륨으로 이루어지는 수소 게터재(214)로 구성되며, 유저 원통(211)의 칼날밑부(211A)와 뚜껑(212)이 저항 용접됨으로써 금속 외피(213)의 내부가 시일링되어 있다.

그리고, 이 수소 게터(210)는, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 석영통(206)에서 밸브에 고정되고, 당해 석영통(206)에 설치된 석영봉(207)의 타단을 밸브(201)에 용착함으로써 밸브(201)에 고정되어 있다. 밸브(201) 내의 수소는, 탄탈 등의 수소 투과성을 가지는 금속 외피(213)를 통해서 금속 외피(213)의 내부에 침입하여, 게터재(214)에 의해 흡착된다.

이 문헌에 기재된 수소 게터(210)에 의하면, 금속 외피(213)의 내부에 수소 게터재(214)가 시일링되어 있기 때문에, 발광 공간 내의 다른 물질과 반응하지 않고 수소를 흡착할 수 있다.

그렇지만, 상기와 같이 수소 게터(210)를 밸브(201)에 장착하는 구조이기 때문에, 수소 게터(210)가 밸브(201)의 구성 성분인 실리카와 반응하는 일이 있으며, 이것에 의해 밸브가 실투하여 조도 저하를 부르거나, 밸브 파열을 일으킨다고 하는 우려가 있었다.

상기를 감안하여, 본 발명자들은 먼저, 상기 종래 기술의 결점을 해소하기 위해, 수소 투과성의 중공 용기와 이 내부에 수소를 흡착하는 게터재로 이루어지는 수소 게터를 전극축의 주위에 장착하는 구조를 제안하고 있다. 일본국 특원 2009-048066호가 그것이다.

도 8~도 10에 그 구조를 나타낸다. 도 8에 있어서, 쇼트 아크형 방전 램프(10)는, 발광관(11)과 그 양단에 연속하는 시일링관부(12A와 12B)를 구비한다. 발광관(11)의 내부에는, 음극(2)의 본체부(2B)와 양극(3)의 본체부(3B)가, 서로 마주 보아 배치됨과 더불어, 방전 공간 S에 발광 물질이 봉입되어 있다.

음극(2)은, 축부(2A)와 이것보다 큰 직경의 본체부(2B)에 의해 구성되고, 또, 양극(3)은, 축부(3A)와 이것보다 큰 직경의 본체부(3B)에 의해 구성된다.

도 8의 X부분은, 발광관(11)의 방전 공간 S에 있어서 수소 게터가 장착된 장소를 나타내며, 상기 수소 게터는 음극(2)의 축부(2A)에 고정되어 있다.

도 9는, 도 8의 쇼트 아크형 방전 램프의 X부분을 확대한 수소 게터의 장착 구조를 나타내는 부분 설명도이고, 도 10은, 수소 게터의 상세 구조도이다.

도 10에 있어서, 도 10(A)는 수소 게터를 경사 방향으로부터 본 사시도, 도 10(B)는 수소 게터를 도 10(A)에 나타내는 A－A선으로 절단한 길이 방향 단면도, 도 10(C)는 수소 게터를 도 10(A)에 나타내는 B－B선으로 절단한 직경 방향 단면도이다.

도면에 나타내는 바와 같이, 수소 게터(30)는, 수소를 투과시키는 금속에 의해 구성되는 직관 형상의 중공 용기(31)와, 상기 중공 용기(31)의 내부에 밀폐된 수소를 흡착하는 게터 재료(32)에 의해 구성된다. 31A, 31A는 양단 시일링부이며, 중공 용기(31)를 구성하는 직관 부재의 양단을 압접 가공함으로써, 혹은, 용착 혹은 용접함으로써 기밀하게 밀폐된다. 이것에 의해, 중공 용기(31) 내의 게터 재료(32)를 방전 공간과 격리하여, 방전 공간 내의 가스와 직접적으로 접하는 것을 방지함과 더불어, 상기 게터 재료(32)가 중공 용기(31)의 외부에 누설되는 일이 없도록 하고 있다.

또한, 중공 용기(31)는, 반드시 그 양단에 시일링부를 형성할 필요는 없고, 예를 들면 유저 통 형상의 부재를 이용해 일단측만을 시일링한 구조로 할 수도 있다.

또, 중공 용기(31)는, 수소를 투과시키지만 수은과 반응하기 어려운 금속으로 이루어지고, 예를 들면 탄탈 혹은 나이오븀에 의해 구성된다. 탄탈 및 나이오븀은, 단체(單體)이어도 되고 다른 물질과의 화합물이어도 된다.

이들의 물질에 의해 구성된 중공 용기(31)는, 수소를 효율 좋게 투과시킴과 더불어 게터 재료(32)가 특히 수은 등의 방전 매체와 반응하는 것을 방지하고, 게다가, 발광관(11) 내에 발생한 수소 등의 불순 가스를 제거할 수 있다. 중공 용기(31)는, 예를 들면 내경이 3.0mm, 두께가 0.1mm이다.

중공 용기(31)의 내부에 봉입된 게터 재료(32)는, 예를 들면 이트륨 혹은 지르코늄이다. 이트륨이나 지르코늄이라고 하는 물질은, 수소의 흡장력이 뛰어나다. 이트륨, 지르코늄은, 단체여도 다른 물질과의 화합물이어도 된다.

상기와 같은 구조를 가지는 수소 게터(30)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 복수개가, 전극축부(2A)의 측면을 포위하도록 서로 이간하여 상기 축부(2A)의 원주 방향으로 순차적으로 나란히 배치되고, 음극(2)의 축선 L과 평행한 자세로 축부(2A)의 측면에 고정되어 있다. 이들 수소 게터(30)는, 2개의 고정 부재(4A 및 4B)가 각 중공 용기(31)를 둘러싸도록 하여 각 중공 용기(31)의 외측에 감겨짐으로써 축부(2A)로부터 낙하하지 않도록 축부(2A)의 측면에 고정되어 있다.

상기 구성으로 함으로써, 수소 게터가 발광관과 반응한다고 하는 종래 기술의 결점을 없앰과 더불어, 방전 공간 내에 발생하는 수소를 중공 용기(31)에 의해 내부에 투과시키고, 이것을 게터 재료(32)에 의해 흡착한다고 하는 본래적 기능을 충분히 가져오는 것을 가능하게 한 것이다.

그런데, 본 발명자들에 의한 그 후의 지견에 의하면, 상기 선행 출원에 의거하는 선행 기술에 있어서는, 수소 게터(30)는, 금속제의 중공 용기(31)가 방전 공간 S에 노출된 상태로 배치되어 있기 때문에, 램프의 구조나 점등 조건 등에 따라서는, 시동시에, 음극(2)과 양극(3)에 시동 전압을 인가하면, 양극(3)과 수소 게터(30)의 중공 용기(31)의 사이에서 이상 방전이 발생하는 경우가 있는 것이 판명되었다.

이와 같은 이상 방전이 발생하면, 중공 용기(31)에 구멍이 나고, 이 구멍을 통해 방전 공간 S에 봉입된 수은 등의 발광 물질이 게터 재료(32)와 반응하여, 게터 재료(32)의 본래의 기능인 수소 흡착 능력이 큰폭으로 저하하고, 기능 부전이 되는 것이었다.

또한, 중공 용기(31)에 있던 구멍을 통해 게터 재료(32)가 방전 공간 S에 비산하여, 이것이 밸브에 부착함으로써, 밸브의 광투과성이 저하하며, 방사광이 저하한다고 하는 문제도 발생하는 일이 있었다.

일본국 특허 2891997호 일본국 특허 3591470호 일본국 특허공개 소 57-21835호

이 발명이 해결하고자 하는 과제는, 수소 투과성의 중공 용기 내에 수소를 흡착하는 게터재를 봉입하여 이루어지는 수소 게터를 발광관 내에 설치한 쇼트 아크형 방전 램프에 있어서, 상기 수소 게터를 전극축에 장착하여, 수소 게터가 발광관과 반응하는 것을 방지하면서 발광관의 방전 공간 내의 수소를 흡착할 수 있으며, 또한, 수소 게터의 중공 용기와 전극간의 이상 방전을 방지한 쇼트 아크형 방전 램프를 제공처로 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 이 발명에 관련된 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기 수소 게터가 전극축에 감겨지도록 장착되고, 상기 수소 게터를 덮도록 고융점 재료로 이루어지는 커버를 설치하며, 상기 커버에는 당해 커버의 내부 공간과 발광관 내의 방전 공간을 연통하는 연통구가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 커버가, 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 상기 선단벽에 이어져 상기 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽으로 이루어지고, 후방단이 개방되어 있으며, 상기 개방단이 상기 연통구를 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버가, 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 상기 선단벽에 이어져 상기 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽과, 상기 측면벽에 이어져 상기 수소 게터의 전극 본체측과는 반대측을 덮는 후단벽으로 이루어지고, 상기 연통구가 상기 선단벽 및/또는 측면벽 및/또는 후단벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 발명의 쇼트 아크형 방전 램프에 의하면, 전극축에 장착되고 수소 게터가 고융점 재료로 이루어지는 커버로 덮여 있으므로, 방전 램프의 시동시에, 전극간에 고전압을 인가해도, 수소 게터와 전극 사이에서 이상 방전이 발생하지 않고, 그 결과, 이상 방전에 의거하는 수소 게터의 파손이라고 하는 사태를 초래하는 일이 없는 것이다.

또한, 커버에는 방전 공간과 커버의 내부 공간을 연통하는 연통구가 형성되어 있으므로, 커버 내의 수소 게터가 방전 공간 내의 기체와 접하는 구조가 되어, 방전 공간에 존재하는 수소를 수소 게터로 확실히 흡수할 수 있다.

또, 상기 커버가, 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 선단벽에 이어져 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽으로 이루어지므로, 수소 게터에 있어서, 전극과의 사이에서 이상 방전이 가장 일어나기 쉬운 부분을 덮는 구조이며, 확실히 이상 방전을 방지하여, 확실히 수소 게터의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 상기 커버가, 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 선단벽부에 이어져 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽과, 측면벽에 이어져 수소 게터의 전극 본체와는 반대측을 덮는 후단벽으로 이루어지므로, 방전 공간에 위치하는 수소 게터를 완전히 덮을 수 있으며, 수소 게터와 전극 사이에서 이상 방전이 발생하는 것을 확실히 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관련된 쇼트 아크형 방전 램프의 수소 게터의 장착 구조를 나타내는 부분 단면 사시도.
도 2는 도 1의 단면도.
도 3은 다른 실시예의 단면도.
도 4는 다른 실시예의 단면도.
도 5는 다른 실시예의 단면도.
도 6은 다른 실시예의 설명도.
도 7은 다른 실시예의 설명도.
도 8은 선행 출원에 관련된 선행 기술을 나타내는 전체도.
도 9는 도 8의 주요부 사시도.
도 10은 도 9의 수소 게터의 상세도.
도 11은 종래 기술의 부분 단면도.
도 12는 도 11의 주요부 단면도.

도 1은, 전극(2)(도 8)의 전극축(2A)에 고정된 수소 게터(30)와 커버(50)의 구조를 나타내는 부분 단면 경시도이며, 도 2는, 그 전극축 방향의 단면도이다.

도면에 있어서, 수소 게터(30)는, 상술한 선행 기술에 관련된 것과 동일한 구조이며, 고정 부재(4A, 4B)에 의해 전극축(2A)에 장착되어 있다.

그리고, 상기 수소 게터(30)를 덮도록 하여 커버(50)가 설치되어 있다. 상기 커버(50)는, 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈 등의 고융점 재료로 이루어진다.

상기 커버(50)는, 수소 게터(30)의 전극 본체측을 덮는 선단벽(51)과, 상기 선단벽(51)에 이어져 수소 게터(30)의 측면을 덮는 측면벽(52)으로 이루어지고, 그 후방단(52A)은 개방되어 있다.

상기 선단벽(51)의 일부가 전극축(2A)에 용접에 의해 접합되어 있으며, 커버(50)가 전극축(2A)에 고정된 상태로 되어 있다.

그리고, 상기 커버(50)의 개방 후방단(52A)은, 방전 공간과 커버의 내부 공간을 연통하는 연통구(7)를 형성한다.

상기 커버(5)의 일례를 나타내면 이하와 같다.

커버(50)의 선단벽(51)은 직경 6~40mm의 원반형상이며, 중심에 전극축(2A)이 관통하는 구멍이 나 있다. 측면벽(52)은, 원통체이며 수소 게터(30)의 중공 용기(31)의 후방단측을 초과하는 길이를 가지고 있으며, 전극축 방향으로 5~50mm의 길이를 가지고 있다.

또, 선단벽(51)과 측면벽(52)의 두께는 0.3~5mm이다.

도 3은, 커버(50)의 변형예이다.

커버(50)는, 수소 게터(30)의 전극 본체측을 덮는 선단벽(51)과, 상기 선단벽(51)에 이어져 수소 게터(30)의 측면을 덮는 측면벽(52)과, 상기 측면벽(52)에 이어져 수소 게터(30)의 전극 본체 방향과는 반대측을 덮는 후단벽(53)을 가지며, 상기 후단벽(53)과 전극축(2A)의 사이에 간극이 형성되어 있어, 상기 간극이 연통구(7)를 구성하고 있다.

그리고, 선단벽(51)의 일부가 전극축(2A)에 용접에 의해 접합되어 있으며, 커버(50)가 전극축(2A)에 고정된 상태가 되어 있다.

도 4는, 커버(50)의 다른 변형예이다.

커버(50)는, 수소 게터(30)의 전극 선단 방향측을 덮는 선단벽(51)과, 상기 선단벽(51)에 이어져 수소 게터(30)의 측면을 덮는 측면벽(52)과, 상기 측면벽(52)에 이어져 수소 게터(30)의 전극 본체와는 반대측을 덮는 후단벽(53)을 가지고 있다.

그리고, 상기 선단벽(51)과 전극축(2A)의 사이에 간극이 비어 있고, 이 간극이 연통구(7)가 되어 있다.

또, 후단벽(53)의 일부가 전극축(2A)에 용접에 의해 접합되어 있고, 커버(50)가 축부에 고정된 상태가 되어 있다.

또한, 상기 도 3 및 도 4에 나타내는 실시예에 있어서는, 커버(50)의 선단벽(51) 혹은 후단벽(53)과, 전극축(2A)의 사이에 형성된 간극이 연통구(7)를 구성하는 것으로서 설명했지만, 연통구(7)는 이것에 한정되지 않고, 선단벽(51)이나 후단벽(53)에 개구를 형성하여 연통구로 하는 것이어도 된다.

도 5는, 커버(50)의 또한 다른 변형예이다.

커버(50)가, 선단벽(51)과 측면벽(52)과 후단벽(53)을 가지고 있는 것은 상기 도 3, 4와 동일하다. 그리고, 이 예에서는 측면벽(52)에 복수의 개구가 형성되어 연통구(7, 7)를 형성하고 있다.

또한, 상기 도 3~5에 있어서는, 각각 후단벽(53), 선단벽(51), 측면벽(52)에 연통구(7)가 형성되어 있는 것으로서 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 이들의 벽의 1개, 혹은 2개, 혹은 3개에 설치하도록 해도 된다.

즉, 선단벽(51) 및/혹은 측면벽(52) 및/혹은 후단벽(53)에 연통구(7)를 형성하면 된다.

도 6은, 커버(50)의 또한 다른 변형예이다.

커버(50)는, 선단벽(51)과 측면벽(52)과 후단벽(53)을 가지고 있다.

상기 선단벽(51) 및 후단벽(52)과, 전극축(2A)의 사이에 각각 간극이 형성되어 있고, 상기 간극이 연통구(7, 7)를 형성하고 있다.

그리고, 선단벽(51)의 전극 본체측 및 후단벽(53)의 전극 본체 반대측에는, 커버(50)의 이동을 방지하는 코일 스프링 등으로 이루어지는 고정 부재(9A 및 9B)가 각각 설치되어 있다.

또한, 수소 게터(30)의 중공 용기(31)의 형상은 상기 실시예와 같이 직관 형상에 한정하지 않고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 중공 링형상이어도 된다.

이 도면에 나타내는 것은, 도 7(A)에 나타내는 바와 같이, 단면이 편평 사각형의 중공 링형상이며, 도 7(B), (C)에 나타내는 바와 같이, 전체를 링형상으로 접어 구부려, 전극축(2A)에 휘감도록 장착된다.

또한, 도시하지 않지만, 링형상 중공 용기의 단면이 원형 등이어도 된다.

그 전극축에의 장착 방법도, 가늘고 긴 중공 용기를 코일 형상으로 전극축에 휘감도록 해도 된다.

즉, 수소 게터(30)의 중공 용기(31)의 형상 및 그 전극축에의 장착 방법은 여러 가지의 형태가 채용될 수 있는 것이다.

또한, 커버(50)는, 그 표면이 이상 방전의 방전 기점이 되지 않도록, 커버에 포함되는 토리아(Thoria)나 란타노이드계의 산화물의 함유량은 1W% 이하, 바람직하게는 0.1W%가 양호하다.

또, 도 3~도 6에 나타내는 커버(50)는, 선단벽(51)과 측면벽(52)과 후단벽(53)을 가지는 구조이므로, 수소 게터(30)의 중공 용기(31)가 커버 내에 위치하는 상태가 되며, 중공 용기(31)와 커버(50)의 치수 관계에 따라서는, 반드시 중공 용기(30)를 고정 부재(4A, 4B)에 의해 전극축(2A)에 고정하는 구조가 아니어도 된다.

또한, 전극은 전극 본체와 이것보다 소경의 전극축으로 이루어지는 것을 도시했지만, 반드시 이것에 한정되지 않고, 동일 직경의 것이어도 된다.

또, 수소 게터는 음극축에 장착하는 것을 나타냈지만, 양극축에 장착하는 것이어도 된다.

이상 설명한 것처럼, 본 발명에 관련된 쇼트 아크형 방전 램프는, 밀폐 중공 용기와, 이것에 봉입된 게터재로 이루어지는 수소 게터를 전극축에 장착하고, 상기 수소 게터를 덮도록 커버를 설치했으므로, 상기 수소 게터의 중공 용기와 전극간에 이상 방전을 일으키는 일이 없고, 중공 용기가 파손하는 것과 같은 일이 없으며, 그 안전이 유지된다고 하는 효과를 가져오는 것이다.

2, 3 : 전극 2A, 3A : 전극축
2B, 3B : 전극 본체 4A, 4B : 고정 부재
30 : 수소 게터 31 : 중공 용기
50 : 커버 51 : 선단벽
52 : 측면벽 53 : 후단벽
7 : 연통구

Claims

방전 공간을 형성하는 발광관을 구비하고, 전극 본체와 상기 전극 본체에 연속 설치되는 전극축으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 상기 발광관 내에 배치되며, 상기 발광관 내에는, 수소 투과성 재료로 이루어지는 밀폐 중공 용기 내에 수소를 흡착하는 게터재를 봉입하여 이루어지는 수소 게터가 설치되어 있는 쇼트 아크형 방전 램프에 있어서,
상기 수소 게터는, 상기 전극축에 장착되어 있고,
상기 수소 게터는 커버로 덮이고, 상기 커버에는 상기 커버의 내부 공간과 상기 방전 공간을 연통하는 연통구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프.
청구항 1에 있어서,
상기 커버는, 상기 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 상기 선단벽에 이어져 상기 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽으로 이루어지고, 후방단이 개방되어 있으며, 상기 후방단이 상기 연통구를 구성하는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프.
청구항 1에 있어서,
상기 커버는, 상기 수소 게터의 전극 본체측을 덮는 선단벽과, 상기 선단벽에 이어져 상기 수소 게터의 측면을 덮는 측면벽과, 상기 측면벽에 이어져 상기 수소 게터의 전극 본체측과는 반대측을 덮는 후단벽으로 이루어지고,
상기 연통구가 상기 선단벽, 상기 측면벽, 상기 후단벽 중 적어도 하나의 벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프.