JP2010080253A - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明の目的は、放電アークを不安定にすることなく、発光管内の不純ガスを確実に捕捉することができるショートアーク型放電ランプを提供することである。
【解決手段】 発光管の内部に互いに対向して配置される本体部と当該本体部の基端側に連続する棒状の軸部とよりなる一対の電極と、前記軸部の基端部に固定された集電板と、を備え、
前記集電板に前記軸部の基端側を挿入する貫通穴が形成され、当該貫通穴に前記軸部の基端部が挿入されて保持されたものにおいて、
前記軸部の基端部には有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属よりなる蓋部材が配置され、前記軸部に形成された有底穴と前記蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、当該空間に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されている、というものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 発光管の内部に互いに対向して配置される本体部と当該本体部の基端側に連続する棒状の軸部とよりなる一対の電極と、前記軸部の基端部に固定された集電板と、を備え、
前記集電板に前記軸部の基端側を挿入する貫通穴が形成され、当該貫通穴に前記軸部の基端部が挿入されて保持されたものにおいて、
前記軸部の基端部には有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属よりなる蓋部材が配置され、前記軸部に形成された有底穴と前記蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、当該空間に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されている、というものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体や液晶の製造分野などで使用されるショートアーク型放電ランプに関する。
ショートアーク型放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極の先端距離が短く、点光源に近いことから、光学系と組み合わせることにより集光効率の高い露光装置の光源として利用されている。
しかし、ショートアーク型放電ランプの電極は、点灯中に高温となるため、発光管内に不純ガスが混入していると、最も高温になる電極先端部に不純物化合物が生成し、電極の蒸発が激しくなる。不純ガスのうち特に酸素と炭酸ガスは、電極先端部に酸化物や炭化物といった不純物化合物を生成するため、電極の蒸発を生じさせ易いと考えられていた。
そして、電極の蒸発が激しくなると、電極から蒸発した物質が発光管内面に付着して発光管が黒化し、さらには、露光面における照度に悪影響を与え、また、電極の先端部が蒸発して変形することにより輝点のずれが生じる惧れがあった。
しかし、ショートアーク型放電ランプの電極は、点灯中に高温となるため、発光管内に不純ガスが混入していると、最も高温になる電極先端部に不純物化合物が生成し、電極の蒸発が激しくなる。不純ガスのうち特に酸素と炭酸ガスは、電極先端部に酸化物や炭化物といった不純物化合物を生成するため、電極の蒸発を生じさせ易いと考えられていた。
そして、電極の蒸発が激しくなると、電極から蒸発した物質が発光管内面に付着して発光管が黒化し、さらには、露光面における照度に悪影響を与え、また、電極の先端部が蒸発して変形することにより輝点のずれが生じる惧れがあった。
そこで、発光管内の不純ガスを吸収して捕捉するために、電極を支持する内部リード棒にゲッターを取り付けることが従来より行われていた。ゲッター効果を奏する金属はいくつかあるが、従来からショートアーク型放電ランプに使用されている代表的なものは、ジルコニウムとタンタルである。そのうちでもタンタルは、ゲッター効果を生じる動作温度が700〜1200℃と比較的高温であること、また、蒸気圧が低いことからバルブ内の温度が高温になる小型のショートアーク型放電ランプのゲッターとして最良と考えられていた。
特許文献1には、内部リード棒に不純物を捕捉するためのゲッターを取り付けた構成のショートアーク型放電ランプが開示される。図7は、特許文献1に開示される従来のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す図である。
同図に示すショートアーク型放電ランプは、略球状の発光管71を備え、当該発光管71内に陰極72と陽極73とがそれぞれ内部リード棒74に支持されて対向している。75は内部リード棒に接続された金属箔であり、76は排気チップである。タンタルであるタンタルワイヤー77は、内部リード棒74に巻き付けた後、スポット溶接で強固に固定されており、タンタルワイヤーの温度は点灯時に1500〜1700℃である。
同図に示すショートアーク型放電ランプは、略球状の発光管71を備え、当該発光管71内に陰極72と陽極73とがそれぞれ内部リード棒74に支持されて対向している。75は内部リード棒に接続された金属箔であり、76は排気チップである。タンタルであるタンタルワイヤー77は、内部リード棒74に巻き付けた後、スポット溶接で強固に固定されており、タンタルワイヤーの温度は点灯時に1500〜1700℃である。
しかしながら、上記した従来のショートアーク型放電ランプにおいては、タンタルワイヤー77が内部リード棒74に取り付けられている構成であるため、以下のような実用的な面で問題になっていた。
すなわち、タンタルワイヤー77が発光管71内に露出していることによって、タンタルワイヤー77とタンタルワイヤー77を備えた電極に対向する電極(陰極72)との間の不所望の位置にアークが形成され、不安定になる場合があった。
このように、タンタルワイヤー77が発光管71内に露出して配置されていることにより、放電アークが不安定になるので、露光面における照度に悪影響を与えるという問題があった。
すなわち、タンタルワイヤー77が発光管71内に露出していることによって、タンタルワイヤー77とタンタルワイヤー77を備えた電極に対向する電極(陰極72)との間の不所望の位置にアークが形成され、不安定になる場合があった。
このように、タンタルワイヤー77が発光管71内に露出して配置されていることにより、放電アークが不安定になるので、露光面における照度に悪影響を与えるという問題があった。
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、放電アークを不安定にすることなく、発光管内の不純ガスを確実に捕捉することができるショートアーク型放電ランプを提供することである。
本発明者らは、鋭意検討したところ、発光管内に残留する水素ガスが、ショートアーク型放電ランプの照度安定性に与える影響が特に大きいことを見出した。そして、発光管内に残留する水素ガスを捕捉する一方で、上記した不所望の位置でのアーク形成を軽減することを追及したことにより、次に説明するような解決手段を採用した。
請求項1記載のショートアーク型放電ランプは、発光管の内部に互いに対向して配置される本体部と当該本体部の基端側に連続する棒状の軸部とよりなる一対の電極と、前記軸部の基端部に固定された集電板と、を備え、
前記集電板に前記軸部の基端側を挿入する貫通穴が形成され、当該貫通穴に前記軸部の基端部が挿入されて保持されたものにおいて、
前記軸部の基端部には有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属よりなる蓋部材が配置され、前記有底穴と前記蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、当該空間に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されている、というものである。
請求項1記載のショートアーク型放電ランプは、発光管の内部に互いに対向して配置される本体部と当該本体部の基端側に連続する棒状の軸部とよりなる一対の電極と、前記軸部の基端部に固定された集電板と、を備え、
前記集電板に前記軸部の基端側を挿入する貫通穴が形成され、当該貫通穴に前記軸部の基端部が挿入されて保持されたものにおいて、
前記軸部の基端部には有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属よりなる蓋部材が配置され、前記有底穴と前記蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、当該空間に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されている、というものである。
請求項2記載のショートアーク型放電ランプは、請求項1記載のショートアーク型放電ランプにおいて、水素を透過させる金属よりなる蓋部材が集電板と軸部との間に介在する、というものである。
請求項3記載のショートアーク型放電ランプは、請求項2記載のショートアーク型放電ランプにおいて、軸部が、基端側に向かうにつれてその外径が次第に細くなる縮径部が形成され、集電板の貫通穴の穴径がその先端部分からその基端部分に向けて次第に小さくなっている、というものである。
請求項4記載のショートアーク型放電ランプは、請求項2または請求項3記載のショートアーク型放電ランプにおいて、前記軸部が環状の鍔部を備え、前記蓋部材が、前記環状の鍔部と前記集電板における貫通穴の内壁とに挟まれた状態で保持されている、というものである。
請求項5記載のショートアーク型放電ランプは、請求項1ないし請求項4に記載のショートアーク型放電ランプにおいて、水素ゲッターが軸部に形成された有底穴の内壁と前記蓋部材との双方に溶着されている、というものである。
請求項6記載のショートアーク型放電ランプは、請求項1ないし請求項5に記載のショートアーク型放電ランプにおいて、水素ゲッターがイットリウムまたはジルコニウムを含有する、というものである。
請求項7記載のショートアーク型放電ランプは、請求項1ないし請求項6に記載のショートアーク型放電ランプにおいて、蓋部材がタンタルまたはモリブデンまたはニオブを含有する、というものである。
請求項1記載のショートアーク型放電ランプは、電極の軸部の基端部に有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属からなる蓋部材が配置され、軸部に形成された有底穴と蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、この空間内に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されている。
このため、水素ゲッターが発光管内の空間に露出しないので、水素ゲッターと水素ゲッターを備えた電極に対向する電極との間の不所望の位置にアークが形成されることがない。
さらに、上記の閉じられた空間には、水素を透過する金属からなる蓋部材を通じて発光管内の水素ガスが流入することができ、この空間内に配置された水素ゲッタによって流入した水素ガスを確実に捕捉することができる。
このため、水素ゲッターが発光管内の空間に露出しないので、水素ゲッターと水素ゲッターを備えた電極に対向する電極との間の不所望の位置にアークが形成されることがない。
さらに、上記の閉じられた空間には、水素を透過する金属からなる蓋部材を通じて発光管内の水素ガスが流入することができ、この空間内に配置された水素ゲッタによって流入した水素ガスを確実に捕捉することができる。
請求項2記載のショートアーク型放電ランプは、水素を透過させる金属よりなる蓋部材が電極における軸部と集電板との間に介在している。
このため、軸部と集電板との間に介在する蓋部材が水素の通り道となるため、軸部における有底穴と蓋部材とにより形成される空間内に、水素ガスを効率良く流入させることができる。したがって、発光管内の水素ガスを水素ゲッターによって捕捉し易くなる。
このため、軸部と集電板との間に介在する蓋部材が水素の通り道となるため、軸部における有底穴と蓋部材とにより形成される空間内に、水素ガスを効率良く流入させることができる。したがって、発光管内の水素ガスを水素ゲッターによって捕捉し易くなる。
請求項3記載のショートアーク型放電ランプは、軸部には、基端側に向かうにつれてその外径が次第に細くなる縮径部が形成され、集電板の貫通穴の穴径がその先端側からその基端側に向けて次第に小さくなっている。
このため、蓋部材は、軸部の縮径部の外周面と集電板の有底穴の内壁との双方から押圧されることによって両者間に確実に保持される。
このため、蓋部材は、軸部の縮径部の外周面と集電板の有底穴の内壁との双方から押圧されることによって両者間に確実に保持される。
請求項4記載のショートアーク型放電ランプは、軸部に環状の鍔部を備え、この鍔部と集電板における有底穴の内壁とによって強固に蓋部材を保持することができる。
請求項5記載のショートアーク型放電ランプは、水素ゲッターが軸部に形成された有底穴の内壁と前記蓋部材との双方に溶着されている。
このため、ショートアーク型放電ランプの耐圧強度を高いものとすることができる。
このため、ショートアーク型放電ランプの耐圧強度を高いものとすることができる。
請求項6記載のショートアーク型放電ランプは、水素ゲッターがイットリウムまたはジルコニウムを含有するものである。
これらの物質は水素の吸蔵力に優れるため、発光管内に残留する水素ガスを効率良く捕捉することができる。
これらの物質は水素の吸蔵力に優れるため、発光管内に残留する水素ガスを効率良く捕捉することができる。
請求項7記載のショートアーク型放電ランプは、蓋部材がタンタルまたはモリブデンまたはニオブを含有するものである。
これらの物質は水素の透過性に優れているため、発光管内に残留する水素ガスを、軸部の有底穴と蓋部材とにより閉じられた空間内に確実に流入させることができる。
これらの物質は水素の透過性に優れているため、発光管内に残留する水素ガスを、軸部の有底穴と蓋部材とにより閉じられた空間内に確実に流入させることができる。
図1は、本発明のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
本発明のショートアーク型放電ランプは、略球状に形成された発光管1を備える。発光管1の内部には、陰極2の本体部21と陽極3の本体部31とが、互いに向き合って配置されるとともに、発光物質が封入されている。
陰極2は、その先端側が、陽極3の本体部31に向かうにつれて次第に縮径するテーパー部を有する本体部21と、当該本体部21の基端側に続く棒状の軸部22とにより構成される。軸部22の先端部が、本体部21の基端側に形成された有底穴21aに嵌入されている。
陽極3は、その先端側に丸みが形成された本体部31と、当該本体部31の基端側に続く棒状の軸部32とにより構成される。軸部32の先端部が、本体部31の基端側に形成された有底穴31aに嵌入されている。
陰極2および陽極3は、例えばタングステンよりなる各本体部21、31および各軸部22、32により構成される。
陰極2および陽極3は、上記のように各本体部21、31と各軸部22、32とが互いに別部材であっても良いし、各本体部と各軸部とが一体に形成されていても良い。
発光物質は希ガス、例えばキセノンだけでもよく、また、水銀が封入されたものでもよい。例えばキセノンガスが0.5MPa(室温)以上であり、また、例えばキセノンガスまたは/およびアルゴンガスまたは/およびクリプトンガスが0.01〜1MPa(室温)、水銀が1mg/cc以上である。
本発明のショートアーク型放電ランプは、略球状に形成された発光管1を備える。発光管1の内部には、陰極2の本体部21と陽極3の本体部31とが、互いに向き合って配置されるとともに、発光物質が封入されている。
陰極2は、その先端側が、陽極3の本体部31に向かうにつれて次第に縮径するテーパー部を有する本体部21と、当該本体部21の基端側に続く棒状の軸部22とにより構成される。軸部22の先端部が、本体部21の基端側に形成された有底穴21aに嵌入されている。
陽極3は、その先端側に丸みが形成された本体部31と、当該本体部31の基端側に続く棒状の軸部32とにより構成される。軸部32の先端部が、本体部31の基端側に形成された有底穴31aに嵌入されている。
陰極2および陽極3は、例えばタングステンよりなる各本体部21、31および各軸部22、32により構成される。
陰極2および陽極3は、上記のように各本体部21、31と各軸部22、32とが互いに別部材であっても良いし、各本体部と各軸部とが一体に形成されていても良い。
発光物質は希ガス、例えばキセノンだけでもよく、また、水銀が封入されたものでもよい。例えばキセノンガスが0.5MPa(室温)以上であり、また、例えばキセノンガスまたは/およびアルゴンガスまたは/およびクリプトンガスが0.01〜1MPa(室温)、水銀が1mg/cc以上である。
次に、図1に示すショートアーク型放電ランプの封止部構造について説明する。便宜のため、陰極側の封止部構造のみについて説明するが、陽極側の封止部構造は陰極側の封止部構造と同一である。
軸部22の基端部には、金属製の集電板4が設けられている。集電板4は、その中央に貫通穴41を有する円板形状を有している。軸部22の基端部は、集電板4における貫通穴41に挿入された状態で集電板4の開口端に例えば溶接等により固定されている。なお、図1では軸部22の基端面と集電板4の基端面とが同一平面に位置しているが、軸部22が集電板4の基端面から伸び出すようにしても良い。
電極保持体5は、例えば石英ガラスよりなる筒状の部材であり、軸部22を保持するものである。電極保持体5は、集電板4に隣接して配置される。軸部22は、電極保持体5の中央に形成された貫通孔5aを貫通して配置される。
ガラス部材6は、例えば石英ガラスよりなる柱状の部材であり、集電板4に隣接して配置されている。ガラス部材6は、その基端側に外部リード棒7を保持するための有底穴61が形成され、この有底穴61に外部リード棒7の先端部が嵌入されて保持されている。
外部リード棒7は、例えばタングステンにより構成される棒状の部材であり、その先端部には、金属製の集電板8が設けられている。集電板8は、その中央に貫通孔8aを有する円板形状を有している。外部リード棒7は、その先端部が集電板8の貫通孔8aを貫通して、集電板8の先端面から伸び出すように配置され、例えば溶接などによって集電板8の開口端部に固定されている。
外部リード棒保持体9は、例えば石英ガラスよりなる筒状の部材であり、集電板8に隣接して配置される。外部リード棒7は、外部リード棒保持体9の貫通孔9aを貫通して配置される。
ガラス部材6の側周面には、複数の金属箔10が、互いに重なり合うことなく、封止管11の管軸方向と平行に並んで配置される。各金属箔10は、例えば、モリブデンなどの金属からなる。各金属箔10は、例えば溶接などによって、その先端部が集電板4の側周面に電気的に接続されるとともにその基端部が集電板8の側集面に電気的に接続される。
封止管11は、例えば石英ガラスによって直管状に形成され、その先端部が発光管1の端部に繋がっている。封止管11とガラス部材6とは、封止管11の外部からバーナーで加熱することにより、両者の間に金属箔10を介在した状態で溶着されている。
軸部22の基端部には、金属製の集電板4が設けられている。集電板4は、その中央に貫通穴41を有する円板形状を有している。軸部22の基端部は、集電板4における貫通穴41に挿入された状態で集電板4の開口端に例えば溶接等により固定されている。なお、図1では軸部22の基端面と集電板4の基端面とが同一平面に位置しているが、軸部22が集電板4の基端面から伸び出すようにしても良い。
電極保持体5は、例えば石英ガラスよりなる筒状の部材であり、軸部22を保持するものである。電極保持体5は、集電板4に隣接して配置される。軸部22は、電極保持体5の中央に形成された貫通孔5aを貫通して配置される。
ガラス部材6は、例えば石英ガラスよりなる柱状の部材であり、集電板4に隣接して配置されている。ガラス部材6は、その基端側に外部リード棒7を保持するための有底穴61が形成され、この有底穴61に外部リード棒7の先端部が嵌入されて保持されている。
外部リード棒7は、例えばタングステンにより構成される棒状の部材であり、その先端部には、金属製の集電板8が設けられている。集電板8は、その中央に貫通孔8aを有する円板形状を有している。外部リード棒7は、その先端部が集電板8の貫通孔8aを貫通して、集電板8の先端面から伸び出すように配置され、例えば溶接などによって集電板8の開口端部に固定されている。
外部リード棒保持体9は、例えば石英ガラスよりなる筒状の部材であり、集電板8に隣接して配置される。外部リード棒7は、外部リード棒保持体9の貫通孔9aを貫通して配置される。
ガラス部材6の側周面には、複数の金属箔10が、互いに重なり合うことなく、封止管11の管軸方向と平行に並んで配置される。各金属箔10は、例えば、モリブデンなどの金属からなる。各金属箔10は、例えば溶接などによって、その先端部が集電板4の側周面に電気的に接続されるとともにその基端部が集電板8の側集面に電気的に接続される。
封止管11は、例えば石英ガラスによって直管状に形成され、その先端部が発光管1の端部に繋がっている。封止管11とガラス部材6とは、封止管11の外部からバーナーで加熱することにより、両者の間に金属箔10を介在した状態で溶着されている。
図2は、本発明のショートアーク型放電ランプの第1の実施形態を説明するための部分説明図を示す。
軸部22は、基端側に有底穴221が形成され、この有底穴221を塞ぐように蓋部材23が取り付けられ、有底穴221と蓋部材23とにより閉じられた空間24を備える。この空間24に水素ゲッター25が配置されている。
軸部22の基端側には、軸部の基端側に向かうにつれ次第に外径の小さくなる縮径部222が形成されている。集電板4における貫通穴41は、縮径部222に対応した形状になっており、すなわち、軸部22の基端側に向かうにつれてその穴径が次第に小さくなるように形成されている。なお、図3の断面に示すように、縮径部222の稜線222aと軸部22の中心軸Lに平行な直線Xとでなす角θ1と、貫通穴41の斜面41aと前記直線Xとでなす角θ2の双方を8°以下であると共に同一にすることが好ましい。こうすることにより、軸部22の縮径部222と集電板4の貫通穴41の内壁面との間に蓋部材23を確実に保持することができる。
軸部22は、基端側に有底穴221が形成され、この有底穴221を塞ぐように蓋部材23が取り付けられ、有底穴221と蓋部材23とにより閉じられた空間24を備える。この空間24に水素ゲッター25が配置されている。
軸部22の基端側には、軸部の基端側に向かうにつれ次第に外径の小さくなる縮径部222が形成されている。集電板4における貫通穴41は、縮径部222に対応した形状になっており、すなわち、軸部22の基端側に向かうにつれてその穴径が次第に小さくなるように形成されている。なお、図3の断面に示すように、縮径部222の稜線222aと軸部22の中心軸Lに平行な直線Xとでなす角θ1と、貫通穴41の斜面41aと前記直線Xとでなす角θ2の双方を8°以下であると共に同一にすることが好ましい。こうすることにより、軸部22の縮径部222と集電板4の貫通穴41の内壁面との間に蓋部材23を確実に保持することができる。
水素ゲッター25は、例えばイットリウムまたはジルコニウムなどにより構成される。イットリウムまたはジルコニウムは、単体であっても他の物質との化合物であっても良い。イットリウムやジルコニウムは、水素の吸蔵力が優れている。したがって、水素ゲッターとしてイットリウムやジルコニウムを使用することにより、発光管内に残留する水素ガスを効率良く捕捉することができる。
蓋部材23は、水素を透過する金属からなり、全体として有底筒状に形成されている。蓋部材23は、軸部22の基端部に当接する底面23aと、この底面に連続する胴部23bとを備えている。蓋部材23における胴部23bは、軸部22の縮径部222の外周面を囲むように配置され、縮径部222と集電板4の貫通穴41の内壁との双方によって押圧されることにより両者間に保持されている。
このようにして、水素を透過する金属よりなる蓋部材23の一部分を軸部22と集電板4との間に介在させることによって、軸部22と集電板4との間に水素の流路が形成されるため、発光管1内に残留する水素ガスを上記の空間24に効率良く流入させることができる。
このようにして、水素を透過する金属よりなる蓋部材23の一部分を軸部22と集電板4との間に介在させることによって、軸部22と集電板4との間に水素の流路が形成されるため、発光管1内に残留する水素ガスを上記の空間24に効率良く流入させることができる。
蓋部材23は、例えばタンタルまたはモリブデンまたはニオブなどにより構成される。タンタルまたはモリブデンまたはニオブは、単体であっても他の物質との化合物であっても良い。タンタルやモリブデンまたはニオブなどの物質は、水素を透過する一方で、発光管内の水銀や酸素を透過させない。
つまり、蓋部材23は、発光管1内に残留する水素ガスを上記の空間24内に流入させるための流路となる一方で、空間24内に発光管1内の水銀や酸素が流入することを防ぐために必要とされる。特に、水素ゲッター25にイットリウムを使用した場合は、イットリウムが水銀と反応して水銀化合物を形成し蒸発し易いこと、イットリウムが酸素と反応して緻密な酸化膜を形成し、水素の吸収を妨げることから、蓋部材23を設けることが必要である。
つまり、蓋部材23は、発光管1内に残留する水素ガスを上記の空間24内に流入させるための流路となる一方で、空間24内に発光管1内の水銀や酸素が流入することを防ぐために必要とされる。特に、水素ゲッター25にイットリウムを使用した場合は、イットリウムが水銀と反応して水銀化合物を形成し蒸発し易いこと、イットリウムが酸素と反応して緻密な酸化膜を形成し、水素の吸収を妨げることから、蓋部材23を設けることが必要である。
以上のように、本発明のショートアーク型放電ランプは、水素ゲッターを備えることにより、ショートアーク型放電ランプの照度安定性を低下させる原因となる水素を捕捉することにより、照度安定性の低下を防止することができる。
しかも、水素ゲッター25は、軸部22の有底穴221と蓋部材23とにより閉じられた空間24に配置され、発光管1内に露出していない。このため、不所望の位置にアークが形成されることがなく、したがって、一対の電極間に形成される放電アークを安定な状態に維持することができる。
しかも、水素ゲッター25は、軸部22の有底穴221と蓋部材23とにより閉じられた空間24に配置され、発光管1内に露出していない。このため、不所望の位置にアークが形成されることがなく、したがって、一対の電極間に形成される放電アークを安定な状態に維持することができる。
図4は、本発明のショートアーク型放電ランプの第2の実施形態を説明するための部分説明図を示す。図4では、図2と共通する箇所に同図と同一の符号を付している。図4において、22は軸部、221は有底穴、23は蓋部材、23aは底面、23bは胴部、24は空間、25は水素ゲッター、222は縮径部、4は集電板、41は貫通穴である。
縮径部222の一部には、環状の鍔部223が設けられている。同図に示す実施形態は、蓋部材23が環状の鍔部223と貫通穴41の内壁との双方によって押圧されて両者の間に保持されている。このような鍔部223を設けることにより、蓋部材23を縮径部222と集電板4との間により強固に保持することができる。
縮径部222の一部には、環状の鍔部223が設けられている。同図に示す実施形態は、蓋部材23が環状の鍔部223と貫通穴41の内壁との双方によって押圧されて両者の間に保持されている。このような鍔部223を設けることにより、蓋部材23を縮径部222と集電板4との間により強固に保持することができる。
図5は、本発明のショートアーク型放電ランプの第3の実施形態を説明するための部分説明図を示す。図5では、図2と共通する箇所に同図と同一の符号を付している。図5において、22は軸部、221は有底穴、23は蓋部材、23aは底面、23bは胴部、24は空間、25は水素ゲッター、222は縮径部、4は集電板、41は貫通穴である。
図5に示す実施形態は、水素ゲッター25が、軸部22の有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとに溶着した状態で、空間24内に配置されている。水素ゲッター25は、空間24内に収納された後に、真空炉等の加熱手段によって水素ゲッター25の融点以上に、例えばイットリウムであればその融点である1526℃以上、好ましくは1600〜1800℃に加熱されることにより溶融した状態になり、有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとの双方に溶着される。
図5に示す実施形態は、ショートアーク型放電ランプの点灯ガス圧に対する耐圧強度を高くすることができる。その理由は、次のとおりである。
図2の蓋部材23の底面23aには、ランプ点灯時においては、そのランプ内圧がかかることになる。該底面の厚みが十分でないと空間24側に変形し破断に至る。
例えば、蓋部材をタンタルとし、底面の厚みを0.1mmとし、空間24の開口部外径を10mmとすると、ランプ内圧が1MPa以上になると該底面が空間24側に塑性変形する。この塑性変形が進行すると、終には該底面が破断に至る。
図5の水素ゲッター25は有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとの双方に溶着されているので、空間24が実質、存在しない状態となり、または、底面23aの厚みが実質、厚くなった状態となり、底面23aが空間24側に塑性変形することがなく、点灯ガス圧に対する耐圧強度を高くすることができる。
図5に示す実施形態は、水素ゲッター25が、軸部22の有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとに溶着した状態で、空間24内に配置されている。水素ゲッター25は、空間24内に収納された後に、真空炉等の加熱手段によって水素ゲッター25の融点以上に、例えばイットリウムであればその融点である1526℃以上、好ましくは1600〜1800℃に加熱されることにより溶融した状態になり、有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとの双方に溶着される。
図5に示す実施形態は、ショートアーク型放電ランプの点灯ガス圧に対する耐圧強度を高くすることができる。その理由は、次のとおりである。
図2の蓋部材23の底面23aには、ランプ点灯時においては、そのランプ内圧がかかることになる。該底面の厚みが十分でないと空間24側に変形し破断に至る。
例えば、蓋部材をタンタルとし、底面の厚みを0.1mmとし、空間24の開口部外径を10mmとすると、ランプ内圧が1MPa以上になると該底面が空間24側に塑性変形する。この塑性変形が進行すると、終には該底面が破断に至る。
図5の水素ゲッター25は有底穴221の内壁と蓋部材23の底面23aとの双方に溶着されているので、空間24が実質、存在しない状態となり、または、底面23aの厚みが実質、厚くなった状態となり、底面23aが空間24側に塑性変形することがなく、点灯ガス圧に対する耐圧強度を高くすることができる。
図6は、本発明のショートアーク型放電ランプの第4の実施形態を説明するための部分説明図を示す。図6では、図2と共通する箇所に同図と同一の符号を付している。図6において、22は軸部、221は有底穴、23は蓋部材、23aは底面、23bは胴部、24は空間、25は水素ゲッター、222は縮径部、4は集電板である。
図6に示す実施形態は、軸部22における縮径部222が、集電板4を貫いて、集電板4の基端面42から伸び出ている。ガラス部材6の先端側には有底穴62が形成されており、この有底穴62に集電板4から伸び出た縮径部222が嵌入されて保持されている。
図6に示す実施形態は、軸部22における縮径部222が、集電板4を貫いて、集電板4の基端面42から伸び出ている。ガラス部材6の先端側には有底穴62が形成されており、この有底穴62に集電板4から伸び出た縮径部222が嵌入されて保持されている。
1 発光管
2 陰極
21 本体部
22 軸部
221 有底穴
222 縮径部
223 鍔部
23 蓋部材
24 空間
25 水素ゲッター
3 陽極
31 本体部
32 軸部
4 集電板
5 電極保持体
6 ガラス部材
7 外部リード棒
8 集電板
9 外部リード棒保持体
10 金属箔
11 封止管
71 発光管
72 陰極
73 陽極
74 内部リード棒
75 金属箔
76 排気チップ
77 タンタルワイヤー
2 陰極
21 本体部
22 軸部
221 有底穴
222 縮径部
223 鍔部
23 蓋部材
24 空間
25 水素ゲッター
3 陽極
31 本体部
32 軸部
4 集電板
5 電極保持体
6 ガラス部材
7 外部リード棒
8 集電板
9 外部リード棒保持体
10 金属箔
11 封止管
71 発光管
72 陰極
73 陽極
74 内部リード棒
75 金属箔
76 排気チップ
77 タンタルワイヤー
Claims (7)
- 発光管の内部に互いに対向して配置される本体部と当該本体部の基端側に連続する棒状の軸部とよりなる一対の電極と、前記軸部の基端部に固定された集電板と、を備え、
前記集電板に前記軸部の基端側を挿入する貫通穴が形成され、当該貫通穴に前記軸部の基端部が挿入されて保持されたショートアーク型放電ランプにおいて、
前記軸部の基端部には有底穴が形成され、当該有底穴を塞ぐように水素を透過させる金属よりなる蓋部材が配置され、前記有底穴と前記蓋部材とにより閉じられた空間が形成され、
当該空間に発光管内の水素を吸収する水素ゲッターが配置されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。 - 前記水素を透過させる金属よりなる蓋部材が、前記集電板と前記軸部との間に介在することを特徴とする請求項1に記載のショートアーク型放電ランプ。
- 前記軸部は、基端側に向かうにつれてその外径が次第に細くなる縮径部が形成され、
前記集電板は、前記貫通穴の穴径がその先端側からその基端側に向けて次第に小さくなっていることを特徴とする請求項2に記載のショートアーク型放電ランプ。 - 前記軸部が環状の鍔部を備え、
前記蓋部材が、前記環状の鍔部と前記集電板における貫通穴の内壁とに挟まれた状態で保持されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のショートアーク型放電ランプ。 - 前記水素ゲッターが、前記軸部に形成された有底穴の内壁と前記蓋部材との双方に溶着されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4に記載のショートアーク型放電ランプ。
- 前記水素ゲッターが、イットリウムまたはジルコニウムを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項5に記載のショートアーク型放電ランプ。
- 前記蓋部材が、タンタルまたはモリブデンまたはニオブを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項6に記載のショートアーク型放電ランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008247176A JP2010080253A (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | ショートアーク型放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008247176A JP2010080253A (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | ショートアーク型放電ランプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010080253A true JP2010080253A (ja) | 2010-04-08 |
Family
ID=42210450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008247176A Pending JP2010080253A (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | ショートアーク型放電ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010080253A (ja) |
-
2008
- 2008-09-26 JP JP2008247176A patent/JP2010080253A/ja active Pending
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