JP4826669B2 - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents

Description

本発明は、ショートアーク型放電ランプに係わり、特に、半導体や液晶の製造分野等の露光用光源や映写機のバックライト用光源に適用されるショートアーク型放電ランプに関する。

ショートアーク型放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極の先端距離が短く点光源に近いことから、光学系と組み合わせることによって露光装置用光源や映写機のバックライト用光源として利用されている。

特許文献１には、従来技術に係るショートアーク型放電ランプが開示されている。同文献によれば、クセノンショートアークランプにおいては発光ガスであるキセノンガス、また水銀蒸気ショートアークランプにおいてはバッファガスであるキセノンガス、クリプトンガス及びアルゴンガスによるエキシマ発光が、石英ガラス製の放電容器の内面に白濁を生じさせるという問題が指摘されている。更に、同文献によれば、このような問題の対策として、放電容器の紫外線放射発散度が最大となる部分の内面から２００μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が７．８×１０^２４個／ｍ^３以上であり、かつ内面から深さ２０μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が１．５×１０^２５個／ｍ^３以上１．２×１０^２６個／ｍ^３以下に規定することが記載されている。

しかし、このように発光管にＯＨ基を含ませると、それが発光空間内にＨ_２０として拡散し、発光管内に拡散したＨ_２０が、アークからの熱により酸素と水素に熱分解される。発明者等の鋭意検討した結果によれば、このようにして発光管内に生成された水素は、照度の安定度を低下させることを見出した。照度安定度の低下はアークが揺らぐことによって、光学系への光の入射量や入射角度分布を変化させる。揺らぎの周期は光学系によって異なるが、概ね数ミリ秒から数秒の間で照度変動が大きくなる所謂チラツキを生じさせる。この照度安定度の低下は、画像投影装置においては、画面のチラツキとして問題となり、露光装置においては、露光ムラという問題を引き起こす。

また、特許文献２には、発光管内に放出される水素を吸収する水素ゲッターを発光管内に配置することが開示されている。図１０（ａ）は、同文献に記載されている放電ランプの概略構成を示す図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示した放電ランプに備えられる水素ゲッターの断面構造を示す図である。
図１０（ａ）に示す放電ランプは、バルブ１０１、電極１０２、１０３、封止部１０４、金属箔１０５を備える。１０６は水素ゲッター、１０７は石英棒、１０８は石英筒である。水素ゲッター１０６は、図１０（ｂ）に示すように、円筒状のイットリウムからなる水素ゲッター材１０９が、タンタル等の金属からなる有底円筒１１０と蓋１１１とからなる金属外皮１１２の内部に密封されている。有底円筒１１０の鍔部１１０Ａと蓋１１１とが抵抗溶接されることによって金属外皮１１２の内部が密封される。水素ゲッター１０６は、図１０（ａ）に示すように、水素ゲッター１０６を収納した石英筒１０８がバルブ１０１に固定され、石英筒１０８に設けられた石英棒１０７の他端をバルブ１０１に溶着することによりバルブ１０１に固定している。バルブ１０１内の水素は、タンタル等の水素透過性を有する有底円筒１１０を通して内部に侵入し、水素ゲッター材１０９によって吸着される。水素ゲッター材１０９は、有底円筒１１０と蓋１１１とからなる金属外皮１１２の内部に密封されているので、水素ゲッター材１０９が発光空間内の他の物質と反応することが防止され、水素を効率良く吸着することができる。

しかしながら、この放電ランプは、水素ゲッター１０６をバルブ１０１に取付ける構造であるために、水素ゲッター１０６がバルブ１０１の構成成分であるシリカと反応してしまうことがあった。これによりバルブ１０１が失透して照度低下を招いたり、バルブ１０１の破裂を引き起こす虞れがあった。

また、特許文献３には、不純物ガス吸着部材を電極に溶接等によって接着した短アーク放電灯が開示されている。図１１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ同文献に記載されている陰極先端部の要部正面断面図及び平面図であり、電極２０１は、円錐状部分２０２を除く平行部分には、直径ｄよりも小さい直径を有する細径部２０３が形成されている。細径部２０３とコイル２０４との間の空所には、ジルコニウム箔からなる筒状のゲッター２０５が配設され、溶接等の適宜の接着手段にて細径部２０３に固定されている。

特許第２８９１９９７号 特公昭５７−２１８３５号 特許３３８０６１５号

本件発明者等は、水素ゲッターを発光管内に配設するにあたり、図１０に示す水素ゲッター材１０９の金属外皮１１２を、特許文献３に示すようにして、電極に溶接して固定する方法を検討した。この方法は、上記のバルブの失透及び破裂に対して有効であることは認められるが、金属外皮を電極に溶接した場合は、溶接中に金属外皮に穴が空いて水素ゲッター材が発光管内に露出し、水素ゲッター材が発光管内に封入された水銀等の発光物質と反応して、水素ゲッター材の水素吸収機能が低下することが予想された。

本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、水素を吸収する水素ゲッターを密閉するとともに、水素を透過する中空容器を発光管内の電極に備えるショートアーク型放電ランプにおいて、前記水素ゲッターを電極に固定しないようにして配備したショートアーク型放電ランプを提供することにある。

本発明は、上記の課題を解決するために、請求項１記載の発明は、発光管内に、本体部と該本体部に連設された軸部とで構成される一対の電極を互いに対向配置し、水素を透過する中空容器内に水素を吸収するゲッター材を封入してなる水素ゲッターを設けたショートアーク型放電ランプにおいて、前記軸部に、前記水素ゲッターが載置されるケーシングを取り付けたことを特徴とするショートアーク型放電ランプである。
請求項２記載の発明は、請求項１において、前記ケーシングは、水素ガスを該ケーシング内に流通させるための開口を有することを特徴とするショートアーク型放電ランプである。
請求項３記載の発明は、請求項１において、前記ケーシングが、コイル状に形成されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプである。
請求項４記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１つの請求項の記載において、前記中空容器は、略Ｃ字状に形成され、前記軸部に巻装されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプである。
請求項５記載の発明は、請求項４の記載において、前記軸部の直径をＤ２（ｍｍ）、前記略Ｃ字状の中空容器の内径をＤ１（ｍｍ）としたとき、下記の式（１）の関係を満たすことを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
式（１）Ｄ１−Ｄ２＞０．００５（ｍｍ）

本発明のショートアーク型放電ランプによれば、水素を吸収するゲッター材を密閉するとともに水素を透過する中空容器からなる水素ゲッターを載置するためのケーシングが電極の軸部に付設されており、このケーシング内に配置された水素ゲッターが電極の軸部に固定されていない。そのため、中空容器内に密閉されたゲッター材が発光管内に露出することが防止され、ゲッター材が発光管内に封入された発光物質と反応することが防止されるため、放電ランプの点灯時に発光管内に放出される水素がゲッター材によって確実に吸収され、放電ランプの照度の安定度の低下を防止することができる。

第１の実施形態に係る、発光管の内部が一部開示されたショートアーク型放電ランプ１の構成を示す斜視図である。 図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に固定される、内部に中空容器１６が載置されたケーシング１５の一部が開示された斜視図である。 水素を吸着するゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過させる金属によって構成される直管状の中空容器１８の構成を示す斜視図、Ａ−Ａから見た断面図、及びＢ−Ｂから見た断面図である。 図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッターが載置されたケーシング１５が取り付けられた構成を示す断面図である。 中空容器１６の内径Ｄ１と軸部１３Ｂの直径Ｄ２とが互いに異なる７種類のショートアーク型放電ランプにおける（Ｄ１−Ｄ２）と照度の変動率（照度安定度）との関係を実験した結果を示す表である。 第２の実施形態に係り、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング１９が取り付けられた構成を示す断面図である。 第３の実施形態に係り、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング２０が取り付けられた構成を示す断面図である。 第４の実施形態に係り、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング２１が取り付けられた構成を示す斜視図及びケーシング２１の一部が開示された斜視図である。 第５の実施形態に係り、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、複数個の直管状の中空容器１８からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング１５が取り付けられた構成であって、ケーシング１５の一部が開示された斜視図である。 引用文献２に記載されている放電ランプの概略構成及び放電ランプが備える水素ゲッターの断面構造を示す図である。 特許文献３に記載されている陰極先端部の要部正面断面図及び平面図である。

本願発明の第１の実施形態を図１〜図５を用いて説明する。
図１は、本実施形態に係る、発光管の内部が一部開示されたショートアーク型放電ランプ１の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、ショートアーク型放電ランプ１は、発光管１１とその両端に連続する封止管部１２Ａと１２Ｂを備える。発光管１１の内部には、陰極１３の本体部１３Ａと陽極１４の本体部１４Ａとが、互いに向き合って配置されるとともに、放電空間Ｓに発光物質が封入されている。発光物質として少なくとも水銀が封入され、バッファガスとしてキセノン、アルゴン、クリプトンの少なくとも１種類が封入されている。また、発光物質としてキセノン、アルゴン、クリプトンの少なくとも１種類以上を封入しても良い。陰極１３は、軸部１３Ｂとこれより大径の本体部１３Ａとにより構成される。軸部１３Ｂには、水素を透過する中空容器内に水素を吸収するゲッター材をを密閉してなる水素ゲッターがケーシング１５内に載置されている。また、陽極１４は、軸部１４Ｂとこれより大径の本体部１４Ａとにより構成される。

図２は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に固定される、内部に水素ゲッター２３が載置されたケーシング１５の一部を切り欠いた構成を示す斜視図である。
同図に示すように、ケーシング１５内には、例えば、略Ｃ字形状を有する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が不図示の軸部１３Ｂの周囲に載置されている。なお、ケーシング１５を取付ける場所は、電極部（本体部と軸部）であれば良く、陰極側の軸部に限定されるものではない。

図３（ａ）は、水素を吸着するゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過させる金属によって構成される直管状の中空容器１８の構成を示す斜視図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａから見た断面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂから見た断面図である。
これらの図に示すように、両端の封止部１８Ａ、１８Ｂは、中空容器１８を構成する直管部１８Ｃの両端を圧接加工することにより、又は溶着もしくは溶接することによって機密に密閉されている。これにより、中空容器１８内のゲッター材１７を放電空間と隔離して、放電空間内のガスと直接的に触れることを防止するとともに、ゲッター材１７が中空容器１８の外部に漏れることのないようにしている。なお、中空容器１８は、必ずしもその両端に封止部を形成する必要は無く、例えば、有底筒状の部材を用いて一端側のみを封止した構造とすることもできる。
図２に示した略Ｃ字形状を有する中空容器１６は、図３（ｂ）に示した中空容器１８の両端を紙面の上側又は下側に折り曲げ加工することによってＣ字形状に形成したものである。

図４は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング１５が取り付けられた構成を示す断面図である。
同図に示すように、ケーシング１５は、上下に電極軸部１３Ｂを挿入するための開口１５１Ａ、１５１Ｂが形成された、円筒状の容器であり、例えば、タングステン、モリブデン、タンタル等の材料によって構成される。ケーシング１５には、軸部１３Ｂに巻装されたコイル状のワイヤーからなる一対の落下防止部材１９Ａ、１９Ｂがケーシング１５を上下に挟むように配置され、軸部１３Ｂに固定されている。ケーシング１５は、上方側の開口１５１Ａの直径が軸部１３Ｂの直径よりも大きくなっており、開口１５１Ａを通じて発光管１１内に放出された水素ガスがケーシング１５内に導かれる。中空容器１６からなる水素ゲッター２３は軸部１３Ｂに溶接されることなく、軸部１３Ｂの周囲に巻装された状態でケーシング１５内に載置されており、ケーシング１５の底板１５２によって落下することが防止されている。

また、図４に示すように、イットリウム等の水素を吸収する材料よりなるゲッター材１７は、タンタル等の水素を透過させる金属からなる略Ｃ字状の中空容器１６内に密封されている。中空容器１６は、水素を透過させるが水銀と反応し難い金属からなり、例えば、タンタル又はニオビウムによって構成される。タンタルおよびニオビウムは、単体でも良いし他の物質との化合物でも良い。これらの物質により構成された中空容器１６は、水素を効率良く透過させるとともに、ゲッター材１７が特に水銀等の放電媒体と反応することを防止し、しかも、発光管１１内に発生した水素等の不純ガスを除去することができる。ゲッター材１７は、例えば、イットリウム又はジルコニウムである。イットリウムやジルコニウムといった物質は、水素の吸蔵力に優れている。イットリウム及びジルコニウムは、単体であっても他の物質との化合物であっても良い。

次に、軸部１３Ｂの直径と略Ｃ字状に形成された中空容器１６の内径との関係について説明すると、軸部１３Ｂの直径をＤ２（ｍｍ）とし、略Ｃ字状の中空容器１６の内径をＤ１（ｍｍ）としたとき、以下の式（１）の関係を満たす。
式（１） Ｄ１−Ｄ２＞０．００５（ｍｍ）
すなわち、軸部１３Ｂの直径Ｄ２と中空容器１６の内径Ｄ１とが上記の式（１）の関係を満たす場合は、軸部１３Ｂと中空容器１６との間には隙間が介在する。したがって、この隙間によって、ショートアーク型放電ランプ１の点灯時に軸部１３Ｂが高温化した場合において、軸部１３Ｂから中空容器１６への熱の流入が阻害される。その結果、ゲッター材１７が高温化することが抑制され、ゲッター材１７の水素吸収機能を損なうことがない。

図５は、中空容器１６の内径Ｄ１と軸部１３Ｂの直径Ｄ２とが互いに異なる７種類のショートアーク型放電ランプを作製し、（Ｄ１−Ｄ２）と照度の変動率（照度安定度）との関係を実験した結果を示す表である。
ここで、実験に使用したショートアーク型放電ランプは以下の仕様のものである。発光管内容積は、１×１０^−３ｍ^３、キセノン封入量は、８×１０^４Ｐａ、水銀封入量は、３５ｍｇ／ｃｃ、電極間距離は１×１０^−２ｍ、陰極側軸部外径は約８ｍｍである。
また、実験に使用した水素ゲッター２３に係る仕様は以下のものである。水素吸蔵物質としてのイットリウムからなるゲッター材１７を密封する略Ｃ形状のタンタル中空容器１６を内包するケーシング１５よりなり、ゲッター材１７であるイットリウムの量は１．０ｇであり、タンタル中空容器１６の寸法は、肉厚０．１５ｍｍ、略Ｃ形状のタンタル中空容器１６の内径は約８ｍｍ、外径は１３．５ｍｍ、高さは１２ｍｍであり、ケーシング１５の寸法は、内径１４ｍｍ、外径１６ｍｍ、内高さ１４ｍｍ、外高さ１６ｍｍであり、材質はφ１の純タングステンによりカバー形状にしたものである。
同表に示すように、中空容器１６の内径Ｄ１はφ７．９５０〜φ８．３０５ｍｍ、軸部１３Ｂの直径Ｄ２の直径はφ７．９４５〜φ８．０５０ｍｍである。
また、実験によって算出された照度変動率（照度安定度）の算出は方法は以下の通りである。まず、ショートアーク型放電ランプを露光装置に取り付け、そのレチクル（マスク）面に照度計を設置し、次にショートアーク型放電ランプの照度が安定となるまで点灯した後、一定時間（例えば１秒間に１００点測定する）の間照度を測定した。測定した照度の最大値と最小値の差を平均値で除して、さらに１００を乗ずることによって、照度変動率（％）を算出した。
同表の実験結果に示すように、中空容器１６の内径Ｄ１が軸部１３Ｂの直径Ｄ２より大きい場合は、その差が０．００５であっても変動率は低く抑えられることが分かった。つまり、密着していないことにより、ゲッター材１７の温度が下がり、水素吸収量が増加するからである。なお、中空容器１６の内径Ｄ１が軸部１３Ｂの直径Ｄ２より小さい場合の差は０．０５０以下とした。Ｄ１−Ｄ２が負になる場合においては、中空容器１６が有する弾性により軸部に取付けられる。Ｄ１−Ｄ２の値が０．０５０より大きいと、弾性の限界を超えてしまい軸部１３Ｂに中空容器１６を入れることができないためである。

本実施形態のショートアーク型放電ランプによれば、発光管１１を構成する発光管構成部材から発光管内に放出された水素が、ケーシング１５内に流入して、水素ゲッター２３の中空容器１６を透過して、中空容器１６内に密封されたゲッター材１７によって吸収されるため、照度安定度の低下を防止することができた。しかも、水素ゲッター２３は中空容器１６が軸部１３Ｂに溶接されることなくケーシング１５内に載置されているため、ゲッター材１７を発光管内に露出させることなく、また、発光管１１が失透・破裂するという不具合の発生を伴わずに、ゲッター材１７を密閉した中空容器１６を軸部１３Ｂの周囲に付設することができる。

本願発明の第２の実施形態を図１及び図６を用いて説明する。
図６は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング２０を取り付けた構成を示す断面図である。
図６に示すように、ケーシング２０は、上壁部２０１Ａ、下壁部２０１Ｂのそれぞれに開口２０２Ａ、２０２Ｂが形成され、下壁部２０１Ｂの開口２０２Ｂの開口端が軸部１３Ｂに溶接されることによって軸部１３Ｂに固定されている。上壁部２０１Ａに設けられた開口２０２Ａの直径は、発光管１１内に放出された水素が通過できるように、軸部１３Ｂの直径よりも大きくなっている。ゲッター材１７が密閉された中空容器１６からなる水素ゲッター２３は軸部１３Ｂに溶接されることなく、軸部１３Ｂの周囲に巻装された状態でケーシング２０内に載置されている。発光管１１内に放出された水素ガスは、ケーシング２０の上壁部２０１Ａの開口２０２Ａを通してケーシング２０内に導かれ、中空容器１６を透過して、ゲッター材１７に吸収される。

本願発明の第３の実施形態を図１及び図７を用いて説明する。
図７は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング２１を取り付けた構成を示す断面図である。
図７に示すように、ケーシング２１は、上壁部２１１Ａ、下壁部２１１Ｂにそれぞれ設けられた開口２１２Ａ、２１２Ｂの開口端が軸部１３Ｂに溶接されることによって、軸部１３Ｂに固定されている。下壁部２１１Ｂには、発光管１１内に放出された水素ガスをケーシング２１内に導くための環状の開口２１３が形成されている。ゲッター材１７が密閉された中空容器１６からなる水素ゲッター２３は軸部１３Ｂに溶接されることなく、軸部１３Ｂの周囲に巻装された状態でケーシング２１内に載置されている。発光管１１内に放出された水素ガスは、ケーシング２１の下壁部２１１Ｂの開口２１３を通してケーシング２１内に導かれ、中空容器１６を透過して、ゲッター材１７に吸収される。

本願発明の第４の実施形態を図１及び図８を用いて説明する。
図８（ａ）は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、ケーシング１５に代えて、ゲッター材１７を密閉するとともに、水素を透過する中空容器１６からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング２２を取り付けた構成を示す斜視図、図７（ｂ）は、ケーシング２２の一部を開示した斜視図である。
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、ケーシング２２は、ワイヤーを軸部１３Ｂを包囲するように互いに密に巻き回すことによってコイル状に形成され、上端部２２１Ａおよび下端部２２１Ｂを軸部１３Ｂに溶接することによって軸部１３Ｂに固定されている。このケーシング２２の内部に、ゲッター材１７が密閉された中空容器１６からなる水素ゲッター２３が軸部１３Ｂの周囲に巻装された状態で載置されている。発光管１１内に放出された水素ガスは、ケーシング２２を構成するワイヤーの隙間を通してケーシング２２内に導かれ、中空容器１６を透過して、ゲッター材１７に吸収される。

本願発明の第５の実施形態を図１及び図９を用いて説明する。
図９は、図１に示した陰極１３の軸部１３Ｂの周囲に、各中空容器が図３に示したものと同様であって、複数個の直管状の中空容器１６（１）・・・１６（ｎ）からなる水素ゲッター２３が載置されたケーシング１５が取り付けられた構成であって、ケーシング１５の一部が開示された斜視図である。
図９に示すように、図４に示したようなケーシング１５内に、軸部１３Ｂの周囲に複数個の直管状の中空容器１６（１）・・・１６（ｎ）からなる水素ゲッター２３が載置されている。発光管１１内に放出された水素ガスは、ケーシング１５の開口１５１Ａを通してケーシング１５内に導かれ、中空容器１６（１）・・・１６（ｎ）を透過して、各中空容器内のゲッター材１７に吸収される。なお、ケーシングは図４に示した形状のケーシングに限定されず、図６〜図８に示したケーシングを用いることもできる。

１ ショートアーク型放電ランプ
１１ 発光管
１２Ａ、１２Ｂ 封止管部
１３ 陰極
１３Ａ 本体部
１３Ｂ 軸部
１４ 陽極
１４Ａ 本体部
１４Ｂ 軸部
１５ ケーシング
１５１Ａ、１５１Ｂ 開口
１５２ 底板
１６ 中空容器
１６（１）・・・１６（ｎ） 中空容器
１７ ゲッター材
１８ 中空容器
１８Ａ、１８Ｂ 封止部
１８Ｃ 直管部
１９Ａ、１９Ｂ 落下防止部材
２０ ケーシング
２０１Ａ 上壁部
２０１Ｂ 下壁部
２０２Ａ、２０２Ｂ 開口
２１ ケーシング
２１１Ａ 上壁部
２１１Ｂ 下壁部
２１２Ａ、２１２Ｂ 開口
２１３ 開口
２２ ケーシング
２２１Ａ 上端部
２２１Ｂ 下端部
２３ 水素ゲッター

Claims (5)

1. 発光管内に、本体部とそれに連設された軸部とで構成される一対の電極を互いに対向配置し、水素を透過する中空容器内に水素を吸収するゲッター材を封入してなる水素ゲッターを設けたショートアーク型放電ランプにおいて、
   前記軸部に、前記水素ゲッターが載置されるケーシングを取り付けたことを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
2. 前記ケーシングは、水素ガスを該ケーシング内に流通させるための開口を有することを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
3. 前記ケーシングが、コイル状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
4. 前記中空容器は、略Ｃ字状に形成され、前記軸部に巻装されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つの請求項記載のショートアーク型放電ランプ。
5. 前記軸部の直径をＤ２（ｍｍ）、前記略Ｃ字状の中空容器の内径をＤ１（ｍｍ）としたとき、下記の式（１）の関係を満たすことを特徴とする請求項４記載のショートアーク型放電ランプ。
   式（１） Ｄ１−Ｄ２＞０．００５（ｍｍ）