JP3380615B2 - 短アーク放電灯 - Google Patents
短アーク放電灯Info
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- JP3380615B2 JP3380615B2 JP03520594A JP3520594A JP3380615B2 JP 3380615 B2 JP3380615 B2 JP 3380615B2 JP 03520594 A JP03520594 A JP 03520594A JP 3520594 A JP3520594 A JP 3520594A JP 3380615 B2 JP3380615 B2 JP 3380615B2
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- Japan
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- cathode
- discharge lamp
- getter
- arc discharge
- short arc
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、短アーク放電灯に関
し、特に、管球の黒化による被照射面での照度低下を低
減し、寿命を長くするのに好適な短アーク放電灯に関す
る。
し、特に、管球の黒化による被照射面での照度低下を低
減し、寿命を長くするのに好適な短アーク放電灯に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】水銀とアルゴンまたはキセノン等の不活
性ガスが封入された石英ガラス管球内中央部に対向して
配置された陽極と陰極との間でアークを発生させる短ア
ーク放電灯が知られている。そして、この放電灯から放
出される光のうちフィルタを通して得られる紫外線は、
半導体ウェーハの露光に利用されることも知られてい
る。
性ガスが封入された石英ガラス管球内中央部に対向して
配置された陽極と陰極との間でアークを発生させる短ア
ーク放電灯が知られている。そして、この放電灯から放
出される光のうちフィルタを通して得られる紫外線は、
半導体ウェーハの露光に利用されることも知られてい
る。
【０００３】特に、最近では、半導体ウェーハの集積度
が高くなるに伴なってパターン線幅が微細化する傾向が
あり、放出される光のうちｉ線と呼ばれる波長の短い紫
外線（波長＝３６５ｎｍ）が露光に利用され、そのシャ
ープさがより一層求められている。例えば、シャープさ
を示す指標となる半値幅が２ｎｍ以下のものが求められ
る場合もある。
が高くなるに伴なってパターン線幅が微細化する傾向が
あり、放出される光のうちｉ線と呼ばれる波長の短い紫
外線（波長＝３６５ｎｍ）が露光に利用され、そのシャ
ープさがより一層求められている。例えば、シャープさ
を示す指標となる半値幅が２ｎｍ以下のものが求められ
る場合もある。
【０００４】ところで、短アーク放電灯においては、管
球中に封入された水銀や不活性ガス以外の不純物ガス、
または電極の蒸気が管球内面に付着することにより、長
期間の使用により被照射面での照度が低下する。このよ
うに管球内面の汚れは黒化と呼ばれる。黒化による照度
低下を防止するため、不純物ガス吸着部材がゲッタとし
て管球内に配置される。前記ゲッタはこれまで陽極や陰
極またはこれらを管球内に支持する支持棒（リード棒と
もよばれる）に装着または塗布されていた。
球中に封入された水銀や不活性ガス以外の不純物ガス、
または電極の蒸気が管球内面に付着することにより、長
期間の使用により被照射面での照度が低下する。このよ
うに管球内面の汚れは黒化と呼ばれる。黒化による照度
低下を防止するため、不純物ガス吸着部材がゲッタとし
て管球内に配置される。前記ゲッタはこれまで陽極や陰
極またはこれらを管球内に支持する支持棒（リード棒と
もよばれる）に装着または塗布されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の放電管ではゲッ
タの装着位置によって、次のような問題点が生じてい
た。つまりゲッタを陽極の表面に設けた場合は、陽極が
高温のためゲッタが蒸発しやすく、また、ゲッタを陰極
の表面に設けた場合は、放電灯の点灯初期にゲッタにア
ークが飛ぶことがある。このようなことがあると、ゲッ
タ作用が損なわれるだけてなく、ゲッタの蒸気によって
黒化が促進される場合もあった。
タの装着位置によって、次のような問題点が生じてい
た。つまりゲッタを陽極の表面に設けた場合は、陽極が
高温のためゲッタが蒸発しやすく、また、ゲッタを陰極
の表面に設けた場合は、放電灯の点灯初期にゲッタにア
ークが飛ぶことがある。このようなことがあると、ゲッ
タ作用が損なわれるだけてなく、ゲッタの蒸気によって
黒化が促進される場合もあった。
【０００６】一方、ゲッタの蒸発を避けるため、リード
棒等のアークから離れた位置にゲッタを設けた場合に
は、アークから離れすぎているために不純物の吸着とい
うゲッタ本来の機能が発揮しにくくなる。特に、ｉ線の
ような波長が極端に短い領域では、黒化による管球の汚
れが照度低下に大きな影響を及ぼすという問題点があっ
た。
棒等のアークから離れた位置にゲッタを設けた場合に
は、アークから離れすぎているために不純物の吸着とい
うゲッタ本来の機能が発揮しにくくなる。特に、ｉ線の
ような波長が極端に短い領域では、黒化による管球の汚
れが照度低下に大きな影響を及ぼすという問題点があっ
た。
【０００７】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、ゲッタの蒸発を抑制するとともに、動作中
にゲッタを適度な温度条件下に保持してゲッタ作用を持
続させ、寿命を長くすることができる短アーク放電灯を
提供することにある。
ものであり、ゲッタの蒸発を抑制するとともに、動作中
にゲッタを適度な温度条件下に保持してゲッタ作用を持
続させ、寿命を長くすることができる短アーク放電灯を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の問題点を解決し、
目的を達成するために、本発明は、陰極の表面にゲッタ
を装着するとともに、該ゲッタを覆うようにして陰極の
周囲にコイル状エミッタ部材を巻き付けた点に第１の特
徴がある。
目的を達成するために、本発明は、陰極の表面にゲッタ
を装着するとともに、該ゲッタを覆うようにして陰極の
周囲にコイル状エミッタ部材を巻き付けた点に第１の特
徴がある。
【０００９】また、本発明は、ゲッタを収容するための
凹部を陰極側面に形成し、該凹部にゲッタを収容すると
ともに、少なくとも該ゲッタを覆うようにして陰極の周
囲にコイル状エミッタ部材を巻き付けた点に第２の特徴
がある。
凹部を陰極側面に形成し、該凹部にゲッタを収容すると
ともに、少なくとも該ゲッタを覆うようにして陰極の周
囲にコイル状エミッタ部材を巻き付けた点に第２の特徴
がある。
【００１０】
【作用】上記の特徴を有する本発明では、放電灯の点灯
初期には、陰極に巻き付けられたコイル状エミッタ部材
（以下、「コイル」という）と陽極との間でアークが発
生する。このように、ゲッタがコイルでカバーされてい
るため、特に、点灯初期において、ゲッタと陽極間でア
ークが飛ぶことを回避できる。その結果、陰極の比較的
アーク発生点に近い位置にゲッタを設けることが可能と
なり、ゲッタを適度な温度条件下におくことができ、黒
化を防止するというゲッタ作用を長時間維持することが
できる。
初期には、陰極に巻き付けられたコイル状エミッタ部材
（以下、「コイル」という）と陽極との間でアークが発
生する。このように、ゲッタがコイルでカバーされてい
るため、特に、点灯初期において、ゲッタと陽極間でア
ークが飛ぶことを回避できる。その結果、陰極の比較的
アーク発生点に近い位置にゲッタを設けることが可能と
なり、ゲッタを適度な温度条件下におくことができ、黒
化を防止するというゲッタ作用を長時間維持することが
できる。
【００１１】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の一実施例を
説明する。図１は本発明の一実施例を示す放電灯（消費
電力２ｋｗ）の断面図である。同図において、管体１は
管球１ａとその両端の頸部つまりネック１ｂ，１ｃとか
らなる。管球１ａ内には所定の間隔Ｇを有して陽極２お
よび陰極３が対向配置されている。陽極２および陰極３
はタングステンまたはトリウムタングステンで形成され
ており、本実施例では両者の間隔Ｇは７ｍｍとした。管
球１ａには不活性ガスおよび水銀が封入される。不活性
ガスの種類としてはアルゴンまたはキセノンが好まし
い。また、水銀の封入量としては、管球１ａの内容積に
対して０．１ｍｇ／ｃｃ以上０．８ｍｇ／ｃｃ未満とす
るのがよい。
説明する。図１は本発明の一実施例を示す放電灯（消費
電力２ｋｗ）の断面図である。同図において、管体１は
管球１ａとその両端の頸部つまりネック１ｂ，１ｃとか
らなる。管球１ａ内には所定の間隔Ｇを有して陽極２お
よび陰極３が対向配置されている。陽極２および陰極３
はタングステンまたはトリウムタングステンで形成され
ており、本実施例では両者の間隔Ｇは７ｍｍとした。管
球１ａには不活性ガスおよび水銀が封入される。不活性
ガスの種類としてはアルゴンまたはキセノンが好まし
い。また、水銀の封入量としては、管球１ａの内容積に
対して０．１ｍｇ／ｃｃ以上０．８ｍｇ／ｃｃ未満とす
るのがよい。
【００１２】前記陽極２のリード棒４および陰極３には
それぞれモリブデンのディスク（円板）５ａ，５ｂが装
着され、さらに該ディスク５ａ，５ｂにはその後方に延
びるモリブデン箔６ａ，６ｂが溶着されている。該モリ
ブデン箔６ａ，６ｂは通常複数枚がディスクの円周上に
等間隔で配置される。本実施例では該モリブデン箔は３
枚設けている。
それぞれモリブデンのディスク（円板）５ａ，５ｂが装
着され、さらに該ディスク５ａ，５ｂにはその後方に延
びるモリブデン箔６ａ，６ｂが溶着されている。該モリ
ブデン箔６ａ，６ｂは通常複数枚がディスクの円周上に
等間隔で配置される。本実施例では該モリブデン箔は３
枚設けている。
【００１３】前記リード棒４および陰極３は口金７ａ，
７ｂにそれぞれ支持される。口金７ａには給電リード線
８が接続され、口金７ｂには給電端子９が接続されてい
る。同図では、ネック１ｂとモリブデンのディスク５
ａ，箔６ａとの間にはすきまがあるように図示されてい
るが、このすきまは後の工程でネック１ｂを加熱縮径し
てディスク５ａ，箔６ａと密着させることによって封止
される。ネック１ｃとモリブデンのディスク５ｂ，箔６
ｂとのすきまも同様に封止される。
７ｂにそれぞれ支持される。口金７ａには給電リード線
８が接続され、口金７ｂには給電端子９が接続されてい
る。同図では、ネック１ｂとモリブデンのディスク５
ａ，箔６ａとの間にはすきまがあるように図示されてい
るが、このすきまは後の工程でネック１ｂを加熱縮径し
てディスク５ａ，箔６ａと密着させることによって封止
される。ネック１ｃとモリブデンのディスク５ｂ，箔６
ｂとのすきまも同様に封止される。
【００１４】さらに、陰極３は、先端部が円錐状に形成
され、かつ該先端部および前記ディスク５ｂの中間部分
には、トリウムタングステンのコイル１０が巻き付けら
れている。該コイル１０は起動時にアークの発生を容易
にするためのエミッタ作用をする部材である。放電灯の
点灯初期には、管球１ａ内の圧力が低いため、アークが
陽極２と陰極３との間では発生せず、まず陽極２と該コ
イル１０との間で発生する。その後、温度上昇とともに
管球１ａ内の圧力が上昇して定常状態に移り、アークは
陽極２の先端平坦面と陰極３の先端部との間に移行す
る。
され、かつ該先端部および前記ディスク５ｂの中間部分
には、トリウムタングステンのコイル１０が巻き付けら
れている。該コイル１０は起動時にアークの発生を容易
にするためのエミッタ作用をする部材である。放電灯の
点灯初期には、管球１ａ内の圧力が低いため、アークが
陽極２と陰極３との間では発生せず、まず陽極２と該コ
イル１０との間で発生する。その後、温度上昇とともに
管球１ａ内の圧力が上昇して定常状態に移り、アークは
陽極２の先端平坦面と陰極３の先端部との間に移行す
る。
【００１５】続いて、前記陰極３付近の詳細な構造につ
いて説明する。図２（ａ）は陰極先端部の要部正面断面
図であり、図２（ｂ）は同平面図である。同図におい
て、陰極３の先端は上述のように円錐状になっていて、
かつその頂部は削り取られて円形の平坦面３１を形成し
ている。陰極３の直径ｄは６ｍｍであり、該平坦面３１
の直径ｄ１は、１．０ｍｍ未満とするのがよい。
いて説明する。図２（ａ）は陰極先端部の要部正面断面
図であり、図２（ｂ）は同平面図である。同図におい
て、陰極３の先端は上述のように円錐状になっていて、
かつその頂部は削り取られて円形の平坦面３１を形成し
ている。陰極３の直径ｄは６ｍｍであり、該平坦面３１
の直径ｄ１は、１．０ｍｍ未満とするのがよい。
【００１６】また、該陰極３の前記円錐状部分を除く平
行部分には、前記直径ｄよりも小さい直径を有する細径
部３２が形成されている。本実施例では、細径部３２の
直径は５ｍｍとした。該細径部３２と前記コイル１０と
の間の空所にはジルコニュウム箔からなる筒状のゲッタ
３３が配設され、溶接等適宜の接着手段にて細径部３２
に固定されている。該ゲッタ３３は管球１ａ中の不純物
ガスを吸着し、管球１ａの黒化を防止して放電灯の寿命
を長くするためのものである。
行部分には、前記直径ｄよりも小さい直径を有する細径
部３２が形成されている。本実施例では、細径部３２の
直径は５ｍｍとした。該細径部３２と前記コイル１０と
の間の空所にはジルコニュウム箔からなる筒状のゲッタ
３３が配設され、溶接等適宜の接着手段にて細径部３２
に固定されている。該ゲッタ３３は管球１ａ中の不純物
ガスを吸着し、管球１ａの黒化を防止して放電灯の寿命
を長くするためのものである。
【００１７】該ゲッタ３３はアーク発生領域から適当な
距離に配置するのが良いが、陽極２に設けたのでは高温
のため蒸発の危険があったり、陰極３に設けると点灯初
期にアークが飛んでしまってさらに蒸発の危険性が増大
するという問題点がある。そこで、本実施例では、陰極
先端のアーク発生点に比較的近くて適当な温度条件を確
保できる位置にゲッタ３３を設け、これをコイル１０で
カバーしてアークがゲッタ３３に直接飛ぶ危険性を回避
できるようにした。
距離に配置するのが良いが、陽極２に設けたのでは高温
のため蒸発の危険があったり、陰極３に設けると点灯初
期にアークが飛んでしまってさらに蒸発の危険性が増大
するという問題点がある。そこで、本実施例では、陰極
先端のアーク発生点に比較的近くて適当な温度条件を確
保できる位置にゲッタ３３を設け、これをコイル１０で
カバーしてアークがゲッタ３３に直接飛ぶ危険性を回避
できるようにした。
【００１８】さらに、図２に示すように、前記ゲッタ３
３を収容した空所は密着して巻かれたコイル１０で覆わ
れているため、該空所と管球１ａ内雰囲気とが連通する
ように切り欠き３４を設けている。切り欠き３４は、そ
の端部がコイル１０の端部から２〜３ｍｍだけはみだす
ような位置関係で形成するのが好ましい。
３を収容した空所は密着して巻かれたコイル１０で覆わ
れているため、該空所と管球１ａ内雰囲気とが連通する
ように切り欠き３４を設けている。切り欠き３４は、そ
の端部がコイル１０の端部から２〜３ｍｍだけはみだす
ような位置関係で形成するのが好ましい。
【００１９】該切り欠き３４を介してゲッタ３３が管球
１ａ内雰囲気と触れるため、コイル１０で覆われつつも
ゲッタ作用を維持できる。また、真空加熱脱ガス処理工
程におけるコイル１０で囲まれた前記空所の脱ガス処理
時間を短縮することができる。
１ａ内雰囲気と触れるため、コイル１０で覆われつつも
ゲッタ作用を維持できる。また、真空加熱脱ガス処理工
程におけるコイル１０で囲まれた前記空所の脱ガス処理
時間を短縮することができる。
【００２０】なお、この切り欠き３４とコイル１０の巻
き始めおよび巻き終わり端部とが干渉しないように互い
の位置を決定する。該コイル１０の端部が切り欠き３４
内で中に浮くことになると該端部の温度が上昇しすぎる
からである。さらに、前記切り欠き３４の代わりに、コ
イル１０自体にわずかな隙間（０．１〜０．２ｍｍ）を
設けて、この隙間によって空所と管球１ａ内の雰囲気と
が連通するようにしてもよい。
き始めおよび巻き終わり端部とが干渉しないように互い
の位置を決定する。該コイル１０の端部が切り欠き３４
内で中に浮くことになると該端部の温度が上昇しすぎる
からである。さらに、前記切り欠き３４の代わりに、コ
イル１０自体にわずかな隙間（０．１〜０．２ｍｍ）を
設けて、この隙間によって空所と管球１ａ内の雰囲気と
が連通するようにしてもよい。
【００２１】なお、ゲッタ３３は箔のほか、線であって
もよいし、細径部３２に塗布する微粉状のものでもよ
い。微粉状のものとする場合は溶媒とともに塗布し、高
周波炉等で加熱して焼き付けるのがよい。また、ゲッタ
３３の材質はジルコニュウムに限らず、ガス吸収性を有
する耐熱性の金属であればよく、例えばタンタルを使用
することができる。
もよいし、細径部３２に塗布する微粉状のものでもよ
い。微粉状のものとする場合は溶媒とともに塗布し、高
周波炉等で加熱して焼き付けるのがよい。また、ゲッタ
３３の材質はジルコニュウムに限らず、ガス吸収性を有
する耐熱性の金属であればよく、例えばタンタルを使用
することができる。
【００２２】本実施例では、ゲッタ３３を収容する凹部
つまりスペースを確保するため、陰極３の側面の全周に
わたってゲッタ３３を巻き付けるようにしているが、必
要なゲッタの大きさに応じて部分的に貼り付けたり塗布
したりするようにしてもよい。その場合は、陰極３を全
周にわたって削除するようなものでなく、ゲッタの形状
に合わせて部分的な切り欠き状の凹部とすることもでき
る。
つまりスペースを確保するため、陰極３の側面の全周に
わたってゲッタ３３を巻き付けるようにしているが、必
要なゲッタの大きさに応じて部分的に貼り付けたり塗布
したりするようにしてもよい。その場合は、陰極３を全
周にわたって削除するようなものでなく、ゲッタの形状
に合わせて部分的な切り欠き状の凹部とすることもでき
る。
【００２３】また、ゲッタ３３の表面とコイル内周面と
の間には適当なギャップを設けるのがよい。アーク発生
により加熱されたコイル１０がゲッタ３３と直接接触し
て、ゲッタ３３の温度上昇を招くのを回避するためであ
る。
の間には適当なギャップを設けるのがよい。アーク発生
により加熱されたコイル１０がゲッタ３３と直接接触し
て、ゲッタ３３の温度上昇を招くのを回避するためであ
る。
【００２４】しかし、放電灯の出力や継続使用時間等、
実際の使用の状況に応じて、必ずしもゲッタ３３を収容
する凹部を設けることはなく、単に陰極３に貼り付けま
たは塗布されたゲッタ３３の全体をカバーするようにコ
イル１０を装着するようにしてもよい。要は、アークが
直接ゲッタ３３で発生することがないように、ゲッタ３
３がコイル１０でカバーされていることが肝要である。
実際の使用の状況に応じて、必ずしもゲッタ３３を収容
する凹部を設けることはなく、単に陰極３に貼り付けま
たは塗布されたゲッタ３３の全体をカバーするようにコ
イル１０を装着するようにしてもよい。要は、アークが
直接ゲッタ３３で発生することがないように、ゲッタ３
３がコイル１０でカバーされていることが肝要である。
【００２５】次に、時間経過に伴う被照射面での照度変
化の様子を図３の測定結果を参照して説明する。測定時
の電源の電圧は２０Ｖ、供給電流は１００Ａである。図
３において、初期値を１００％として照度を示してい
る。点線は図２に示した態様でゲッタを配設した放電
灯、実線は比較のためゲッタを陽極２の周囲に巻き付け
た構成を有する放電灯（従来品）の照度をそれぞれ示
す。このように、ゲッタ３３をコイル１０でカバーした
ものは、ゲッタ３３の蒸発が少ないために黒化が進みに
くく、時間経過に伴う照度の低下が従来品より少ないこ
とが分かる。
化の様子を図３の測定結果を参照して説明する。測定時
の電源の電圧は２０Ｖ、供給電流は１００Ａである。図
３において、初期値を１００％として照度を示してい
る。点線は図２に示した態様でゲッタを配設した放電
灯、実線は比較のためゲッタを陽極２の周囲に巻き付け
た構成を有する放電灯（従来品）の照度をそれぞれ示
す。このように、ゲッタ３３をコイル１０でカバーした
ものは、ゲッタ３３の蒸発が少ないために黒化が進みに
くく、時間経過に伴う照度の低下が従来品より少ないこ
とが分かる。
【００２６】なお、本実施例では、半導体ウェーハの露
光に関して説明したが、この放電灯はプリント基板や液
晶等の露光にも適用できることはもちろんである。
光に関して説明したが、この放電灯はプリント基板や液
晶等の露光にも適用できることはもちろんである。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果が得られる。（１）高温のた
めのゲッタの蒸発を回避することができるので、不純物
ガス吸着能力を長時間保持できる。その結果、管球内を
長時間清浄に維持することができる。その結果、照度低
下が少ない寿命の長い放電灯が得られる。 （２）ゲッタの蒸発のために管球の黒化が促進されるの
が回避され、照度低下が少ない寿命の長い放電灯が得ら
れる。
によれば、次のような効果が得られる。（１）高温のた
めのゲッタの蒸発を回避することができるので、不純物
ガス吸着能力を長時間保持できる。その結果、管球内を
長時間清浄に維持することができる。その結果、照度低
下が少ない寿命の長い放電灯が得られる。 （２）ゲッタの蒸発のために管球の黒化が促進されるの
が回避され、照度低下が少ない寿命の長い放電灯が得ら
れる。
【図１】 本発明の一実施例を示す放電灯断面図であ
る。
る。
【図２】 陰極先端部の、より好ましい一例の要部正面
断面図および平面図である。
断面図および平面図である。
【図３】 被照射面における照度の経時変化を示す図で
ある。
ある。
１…管体、 １ａ…管球、 ２…陽極、 ３…陰極、
１０…コイル、 ３１…平坦部、 ３２…細径部、 ３
３…ゲッタ
１０…コイル、 ３１…平坦部、 ３２…細径部、 ３
３…ゲッタ
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−174049（ＪＰ，Ａ)
特開 昭53−47176（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−50359（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−89760（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭49−77782（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 61/26
H01J 61/073
H01J 61/86
H01J 61/88
Claims (5)
- 【請求項１】 水銀と不活性ガスを封入した管球内に対
向して配置した陽極および陰極間でアークを発生させる
短アーク放電灯において、 陰極の側面に装着された不純物ガス吸着材と、 少なくとも前記不純物ガス吸着材の全体を覆うようにし
て陰極に巻き付けられたコイル状エミッタ部材とを具備
したことを特徴とする短アーク放電灯。 - 【請求項２】 水銀と不活性ガスを封入した管球内に対
向して配置した陽極および陰極間でアークを発生させる
短アーク放電灯において、 前記陰極側面に形成された凹部と、前記凹部に収容され
た不純物ガス吸着材と、 少なくとも前記不純物ガス吸着材を覆うようにして陰極
に巻き付けられたコイル状エミッタ部材とを具備したこ
とを特徴とする短アーク放電灯。 - 【請求項３】 前記不純物ガス吸着材が、前記コイル状
エミッタ部材との間に間隙を有して収容されていること
を特徴とする請求項２記載の短アーク放電灯。 - 【請求項４】 前記凹部が陰極の側面全周に形成された
細径部であり、 前記不純物ガス吸着材が前記細径部に
巻かれたガス吸収性金属の箔であることを特徴とする請
求項２または３記載の短アーク放電灯。 - 【請求項５】 前記陰極表面に前記凹部と前記コイル状
エミッタ部材の巻回領域外側とを連通する通路を形成し
たことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の短
アーク放電灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03520594A JP3380615B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-02-09 | 短アーク放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03520594A JP3380615B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-02-09 | 短アーク放電灯 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226187A JPH07226187A (ja) | 1995-08-22 |
| JP3380615B2 true JP3380615B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=12435360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03520594A Expired - Fee Related JP3380615B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-02-09 | 短アーク放電灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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