KR101099528B1 - 베이킹 장치 - Google Patents

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Abstract

베이킹 장치는 포토레지스트막이 형성된 기판을 플로팅시키기 위하여 기판을 향하여 에어를 공급하는 에어 블로우어 및 포토레지스트막을 경화시키는 베이킹 부재를 포함한다. 따라서 베이킹 장치가 포토레지스트막을 전체적으로 균일하게 경화시킬 수 있다.

Description

베이킹 장치{BAKING APPARATUS}
본 발명은 베이킹 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 기판 상에 형성된 포토레지스트 막을 열을 이용하여 경화시키는 베이킹 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 소자를 제조하기 위하여 유리 기판에 특정막을 형성한 후 상기 특정막 상에 포토레지스트 막을 도포한 후 상기 포토레지스트 막을 노광 및 현상하여 포토레지스트막 패턴을 형성한다. 이후, 포토레지스트막 패턴을 마스크로 이용하여 상기 특정 막을 패터닝하여 상기 유리 기판 상에 회로 소자를 형성한다.
상기 포토레지스트막을 도포한 후 상기 막을 현상하기 전에 또는 상기 포토레지스트막 패턴을 형성한 후에 상기 포토 레지스트막을 경화시키기 위하여 베이킹 공정을 수행한다. 베이킹 공정을 통하여 포토레지스트막에 포함된 솔벤트를 제거함으로써 유리 기판과 포토레지스트막 간의 결합력을 향상시킨다. 상기 포토레지스트막 또는 포토레지스트막 패턴을 경화시키는 공정은 일반적으로 베이킹 장치가 이용된다.
상기 베이킹 장치는 상기 포토레지스트막이 형성된 유리 기판을 이송하는 동 안 유리 기판에 열을 인가하는 히터를 포함한다. 상기 히터는 기판을 이송하는 이송 샤프트들 사이에 배치되어 열을 상기 포토레지스트막에 전달하여 상기 포토레지스트막을 경화시킨다.
하지만, 히터로부터 발생하는 열에 의하여 이송 샤프트들가 변형될 수 있다. 따라서 변형된 이송 샤프트들이 기판을 전체적으로 평행하게 이송하지 못하게 될 수 있다. 결과적으로 히터가 열을 기판 전체에 균일하게 전달하지 못함에 따라 기판 상에 형성된 포토레지스트막에 얼룩이 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 기판 상에 형성된 포토레지스트막을 전체적으로 균일하게 경화시킬 수 있는 베이킹 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 베이킹 장치는 포토레지스트막이 형성된 기판을 플로팅시키기 위하여 기판을 향하여 에어를 공급하는 에어 블로우어 및 상기 포토레지스트막을 경화시키는 베이킹 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에어 블로우어는 상기 에어가 흐를 수 있는 복수의 홀들이 형성된 플레이트를 포함할 수 있다. 또한, 상기 베이킹 부재는 상기 플레이트 내부에 상호 인접하는 상기 홀들 사이에 배치된 히터를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 히터는 지그 재그 형상으로 배열될 수 있다. 이와 다르게, 상기 플레이트는 복수의 영역들로 구분되고, 상기 히터는 상기 영역들의 중심을 향하여 나선 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치는 상기 에어를 가열된 상태로 공급하는 에어 공급부를 더 포함할 수 있다. 여기서,상기 에어 공급부는
상기 에어를 저장하는 에어 탱크, 상기 에어 탱크와 연통되며, 상기 에어 내부의 불순물을 제거하는 필터, 상기 에어 탱크와 연통되며, 상기 에어를 가열하는 가열부 및 상기 에어 탱크, 상기 필터, 상기 가열부 및 상기 에어 블로우어를 연결 시키는 에어 배관을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에어 블로우어는 상기 에어가 흐를 수 있는 다공성 플레이트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치는 상기 플로팅된 기판을 상기 수평 방향으로 이송하는 적어도 하나의 기판 이송 유닛을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 에어 블로우어의 전방 및 후방에 배치된 복수의 기판 이송 유닛들을 포함하고, 각각의 상기 기판 이송 유닛들은, 상기 수평 방향으로 배열되고, 상기 수평 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장된 복수의 샤프트들, 상기 샤프트들에 각각 체결되며, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 롤러들 및 상기 샤프트들을 회전시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 에어 블로우어의 양 측방에 배치된 복수의 기판 이송 유닛들을 포함하고, 각각의 상기 기판 이송 유닛들은, 상기 기판의 에지부를 홀딩하는 다수의 진공척 및 상기 진공척에 진공압을 발생시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치는 상기 에어 블로우어의 양 측방들에 배치되고 상기 플로팅된 기판의 수평 방향의 이송을 가이드하는 가이드 부재들을 더 포함할 수 있다.
이러한 베이킹 장치에 따르면, 베이킹 부재가 플레이트 내부에 배치됨에 따라 베이킹 부재와 기판 간의 거리가 일정할 수 있다. 또한 베이킹 장치가 에어 플 로팅 방식으로 기판을 이송함에 따라 기판과 기판 유닛간의 접촉에 따른 정정기의 발생을 억제시킬 수 있다. 따라서, 기판 상에 형성된 포토레지스트막이 전체적으로 균일하게 경화될 수 있다. 나아가 베이킹 부재로부터 발생한 열이 이송 샤프트에 전달되어 이송 샤프트의 변형이 억제될 수 있다. 따라서 베이킹 장치가 일정한 속도 및 방향으로 기판을 이송하면서 포토레지스트막을 균일하게 경화시킬 수 있다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 베이킹 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 베이킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 플레이트를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치(100)는 에어 블로우어(110) 및 베이킹 부재(160)를 포함한다. 여기서, 기판(2)은 액정 표시 패널, 유기 발광 패널 등의 평탄 표시 장치에 사용되는 유리 기판을 포함한다. 하지만, 기판(2)의 예는 본 발명의 권리 범위를 제한하지 않을 것이다. 기판(2)은 그 일면 상에 형성된 포토레지스트막(4)을 포함한다. 포토레지스트막(4)은 기판(2) 상에 일정한 박막 트랜지스터 또는 커패시터 등과 같은 회로 소자를 형성하기 위하여 형성된 특정 막을 패터닝하기 위한 마스크로 적용될 수 있다. 베이킹 장치(100)는 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)을 경화시킬 수 있다.
에어 블로우어(110)는 기판(2)을 플로팅시키기 위하여 기판(2)의 하부면을 향하여 에어를 공급한다. 따라서 에어 블로우어(110)는 기판(2)과 직접 접촉하지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 에어 블로우어(110)는 에어가 흐를 수 있도록 복수의 홀들(115)이 형성된 플레이트(111)를 포함한다.
플레이트(111)는 기판(2)의 하방에 배치된다. 플레이트(111)는 기판(2)과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 즉, 기판(2)이 사각형 플레이트 형상을 가질 경우 플레이트(111) 또한 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 플레이트(111)는 알루미늄 등과 같은 금속으로 이루어질 수 있다. 홀들(115)은 플레이트(111)를 관통하도록 형성된다. 홀들(115)은 그 내부에 흐르는 공기를 기판의 하면으로 공급할 수 있도록 유로를 제공한다.
플레이트(111)의 폭(W2)은 상기 기판(2)의 폭(W1)보다 크며, 플레이트(11)의 길이(L2)는 상기 기판(2)의 길이(L1)보다 작은 것이 바람직하다.
홀들(115)은 약 0.1 내지 약 2.3mm 정도의 직경을 가질 수 있다. 홀들(115)이 2.3mm보다 클 경우, 홀들(115)의 위치에 대응되도록 배치되는 기판(2) 일부가 다른 부위 사이에 서로 다른 온도를 가질 수 있다. 예를 들면, 인접하는 홀들(115) 사이에 배치되는 베이킹 부재(160)가 기판(2)에 열을 제공할 경우 홀들(115)의 위치에 대응되는 기판(2)의 일부는 다른 부위보다 낮은 온도를 가질 수 있다. 따라서 포토레지스트막(4)이 전체적으로 균일하게 경화되지 않을 수 있다.
또한, 상기 홀들(115)은 약 10 내지 150mm의 간격으로 배열될 수 있다. 홀들(115)은 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 또한 홀들(115)은 후술하는 에어 공급부(140)와 연통될 수 있다. 따라서 에어 공급부(140)가 제공한 에어가 홀들(115)을 통하여 기판(2)의 하면에 제공된다.
본 발명에 따른 에어 블로우어(110)는 기판(2)과 비접촉 상태에서 기판(2)을 플로팅 시킨다. 에어 블로우어(110)가 기판(2)를 향하여 공급하는 에어의 유압을 조절할 수 있다. 따라서 기판(2)과 후술하는 베이킹 부재(160) 간의 거리가 일정할 수 있다. 따라서 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)이 전체적으로 균일하게 경화될 수 있다.
종래와 같이 샤프트(미도시) 및 상기 샤프트에 체결된 이송 롤러(미도시)를 이용하여 기판(2)을 이송할 경우 후술하는 베이킹 부재(160)로부터 발생한 열이 상기 샤프트 및 상기 이송 롤러에 전달되어 상기 샤프트 및 상기 이송 롤러가 휘어져서 기판(2)과 후술하는 베이킹 부재(160) 간의 거리가 불균일해질 수 있다. 본 발명에 따르면, 상기 샤프트 및 상기 이송 롤러 대신에 에어 블로우어(110)를 이용하여 기판(2)을 이송할 경우 베이킹 부재(160)로 발생한 열에 의하여 상기 샤프트 및 상기 이송 롤러의 휘어짐을 억제하여 기판(2)을 상기 수평 방향으로 이송할 수 있다.
베이킹 부재(160)는 기판(2)이 수평 방향으로 이송되는 동안 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)을 경화시킨다. 베이킹 부재(160)는 에어 블로우어(110)에 포함된 플레이트(111) 내부에 배치될 수 있다. 베이킹 부재(160)는 에어 블로우어(110)의 플레이트(111) 상면에서부터 측정된 높이에서 플레이트(111) 내부에 배치될 수 있다. 상기 높이는 플레이트(111)의 열전도도(thermal conductivity), 플레이트(111) 및 기판(2) 간의 간격, 베이킹 부재(160)의 온도 등에 따라 조절될 수 있다. 예를 들면, 베이킹 부재(160)의 평균 온도가 약 120℃일 경우, 상기 높이는 약 10 이상 100mm 이하로 할 수가 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 부재(160)는 플레이트(111) 내부에 형성된 홀들(115) 사이에 배열된 제1 히터(161)를 포함할 수 있다. 제1 히터(161)는 예를 들면 코일(coil)을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 제1 히터(161)는 적외선 히터 또는 열방사능 기능을 갖는 램프를 포함할 수 있다. 또한 제1 히터(161)에는 가열 공기가 플레이트 내부로 흐를 수 있도록 형성된 유로를 포함할 수 있다.
제1 히터(161)는 플레이트 내부에 지그 재그 형태로 배열될 수 있다. 히터의 배열 형태는, 예를 들면, 사행(serpentine) 구조일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 베이킹 부재(160)는 제2 히터(162)를 더 포함할 수 있다. 제2 히터(162)는 플레이트 내부에 지그 재그 형태로 배열될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플레이트 및 베이킹 부재를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4를 참조하면, 플레이트(111)는, 예를 들면 제1 영역(111a) 및 제2 영역(11b)으로 구획된다. 기판(2)이 대형화됨에 따라 기판을 플로팅시키기 위하여 플레이트(111)의 크기 또한 대형화 된다. 플레이트(111)의 크기가 커짐에 따라 플레이트(111) 내부에 배치된 베이킹 부재(160)의 길이도 길어진다. 따라서 베이킹 부재(160)의 길이가 길어짐에 따라 베이킹 부재(160)가 전체적으로 균일한 온도를 가 지기 어려울 수 있다.
본 실시예에서 베이킹 부재(160)는 제1 영역(111a)에 나선형으로 배열된 제1 베이킹 부재(161a) 및 제2 영역(111b)에 나선형으로 배열된 제2 베이킹 부재(161b)를 포함한다. 따라서 제1 및 제2 베이킹 부재들(161a, 161b)은 플레이트(111)의 제1 및 제2 영역들(111a, 111b)에 배치됨으로써 기판(2)에 형성된 포토레지스트막(4)의 일부를 각각 베이킹한다. 따라서 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)이 균일하게 경화될 수 있다. 플레이트(111)가 제1 및 제2 영역들(111a, 111b)로 구분될 수 있으나, 다른 여러 가지 방법으로 복수의 영역들로 구획될 수 있다. 이 경우, 베이킹 부재(160)는 각각의 영역들의 내부에 나선형으로 배치될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치(100)는 플로팅된 기판(2)을 수평 방향으로 이송하는 제1 기판 이송 유닛(140)을 더 포함할 수 있다.
제1 기판 이송 유닛(140)은 제1 플레이트(111)를 향하여 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 플레이트(111)의 폭(W2)은 기판(2)의 폭(W1)보다 클 수 있다. 또한, 플레이트(111)의 길이(L2)는 기판(2)의 길이(L1)보다 작을 수 있다
제1 기판 이송 유닛(140)은 제1 샤프트(141), 제1 샤프트(141)에 장착된 제1 롤러(143) 및 제1 샤프트(141)를 회전시키는 제1 구동부(145)를 포함한다.
제1 샤프트(141)는 기판(2)이 이송되는 상기 수평 방향에 대하여 실질적으로 수직하여 연장될 수 있다. 제1 롤러(143)는 제1 샤프트(141)에 체결되며, 기판(2)과 접촉하여 기판(2)을 상기 수평 방향으로 이송한다. 제1 구동부(145)는 제1 샤프 트(141)와 기계적으로 연결된다. 제1 구동부(145)의 예로는 모터를 포함하는 회전 구동 기구를 들 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 베이킹 장치(100)는 에어 블로우어로(110)부터 기판(2)을 반출하는 제2 기판 이송 유닛(146)을 포함할 수 있다. 제2 기판 이송 유닛(146)은 기판(2)의 수평 방향에 있어서 에어 블로우어(110)의 후방에 배치될 수 있다.제2 기판 이송 유닛(146)은 제2 샤프트(147), 제2 롤러(148) 및 제2 구동부(149)를 포함할 수 있다.
이때 제 1 및 제2 기판 이송 유닛들(140, 146) 사이의 간격(D)은 기판(2)의 길이(L1)보다 작을 수 있다. 따라서 제1 및 제2 기판 이송 유닛들(140, 146)은 플레이트(111)의 상부에서 기판을 안정적으로 이송할 수 있다.
한편, 도시된 바와 같이 두개의 구동부(145, 149)가 각각 제1 및 제2 기판 이송 유닛(140, 146)에 포함된 제1 및 제2 샤프트들(141, 147)을 회전시킬 수 있다. 이와 다르게 하나의 구동부가 제1 및 제2 샤프트들(141, 147)을 회전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 베이킹 장치(100)는 플레이트(111)의 양 측방에 배치되어 기판(2)의 이송 방향으로 기판(2)을 안내하는 가이드 부재(180)를 더 포함할 수 있다.
가이드 부재(180)는 예를 들면, 기판(2)을 상기 수형 방향으로 안내하는 가이드 롤러(180)를 포함할 수 있다. 가이드 부재와 가이드 롤러는 동일한 참조 번호를 나타낸다.
가이드 롤러(180)는 상호 마주보는 기판(2)의 양 측면들과 접하여 기판(2)을 이송 방향으로부터 이탈되는 것을 억제한다. 결과적으로 기판 이송 유닛(140)이 기판(2)을 수평 방향으로 일정한 속도 및 방향으로 이송함으로서 베이킹 장치(100)가 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)을 균일하게 경화시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 에어 블로우어(110)는 플레이트(111)에 형성된 홈들(115)로 에어를 공급하는 에어 매니폴드(116)를 더 포함할 수 있다. 또한, 베이킹 장치(100)는 에어 매니폴드(116)와 연통되어 에어를 제공하는 에어 공급부(130)를 더 포함할 수 있다.
에어 매니폴드(116)는 플레이트(111)의 하부에 배치된다. 에어 매니폴드(116)는 플레이트(111)와 일체로 형성될 수 있으며, 이와 다르게, 별도로 형성되어 체결될 수 있다. 에어 매니폴드(116)는 플레이트(111)와 함께 에어를 저장하는 버퍼 공간(117)을 제공한다. 상기 버퍼 공간(117)에 저장된 에어는 플레이트(111)에 형성된 복수의 홈들(115)을 통하여 기판(2)의 하부면을 향하여 제공된다.
에어 공급부(130)는 에어 매니폴드(116)와 연통된다. 에어 공급부(130)는 에어 매니폴드(116)에 형성된 버퍼 공간(117)에 에어를 공급한다.
도 5는 도 1에 도시된 에어 공급부를 설명하기 위한 구성도이다.
도 5를 참조하면, 플레이트를 통해 기판의 하부면 상으로 공급되는 에어의 온도에 의해 기판의 온도가 변화될 수 있다. 이에 따라 상기 기판(2) 상에 형성된 포토레지스트막(4)의 두께가 불균일해질 수 있다. 따라서기판(2)의 하부면으로는 가열된 에어가 공급되는 것이 바람직하다.
에어 공급부(130)는 공압 펌프(131)와 에어 탱크(132)를 포함할 수 있으며, 에어 탱크(132)는 상기 에어 매니폴드(116)와 연결될 수 있다.
한편, 에어 공급부(130)는 에어로부터 불순물들을 제거하기 위한 필터(133)와 에어를 가열하기 위한 가열부(134) 및 가열부(134)에 의해 가열된 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브(135)를 더 포함할 수 있다.
이때, 필터(133), 가열부(134) 및 밸브(135)는 에어 매니폴드(116)와 상기 에어 탱크(132)를 연결하는 에어 배관(113) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 필터(133)에 의해 정화된 에어는 상기 가열부(134)에 의해 소정의 온도로 가열될 수 있으며, 가열된 에어는 에어 매니폴드(116)와 플레이트(111)를 통해 기판(2)의 하부면 상으로 공급될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이킹 장치(100)는 에어 블로우어(110) 및 베이킹 부재(160)를 포함한다.
에어 블로우어(110)는 다공질 물질로 이루어진 다공질 플레이트(124)를 포함한다. 다공질 플레이트(124)는 탄소 또는 스테인리스 스틸로 이루어질 수 있다. 다공질 플레이트(124)는 소결 공정으로 형성될 수 있다. 다공질 플레이트(124)는 약 10 내지 100㎛ 정도의 기공 크기를 가질 수 있다. 또한, 에어 블로우어(110)는 다공질 플레이트(124)의 측면을 통해 에어가 누설되는 것을 방지하기 위하여 다공질 플레이트(124)의 측면들 상에 배치된 측벽들(미도시)을 더 포함할 수 있다.
다공질 플레이트(124)는 에어 매니폴드(116)를 통해 에어 공급부(130)와 연결될 수 있다. 에어 메니폴드(116) 및 에어 공급부(130)에 대한 추가적인 설명은 도 1 내지 도5를 참조하여 설명한 것과 비슷하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 베이킹 장치(100)는 에어 블로우어(110), 베이킹 부재(160) 및 기판 이송 유닛(170)을 포함한다.
본 실시예에 있어서, 에어 블로우어(110) 및 베이킹 부재(160)는 도 1 내지 도 5를 참고로 설명한 에어 블로우어(110) 및 베이킹 부재(160)와 유사하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
기판 이송 유닛(170)은 에어 블로우어(110)에 의해 플로팅된 기판(2)의 에지부들을 파지할 수 있으며, 기판(2)을 상기 수평 이송 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 플레이트(110)는 기판(2)의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 이송 유닛(170)은 기판(2)의 하부면 에지 부위들을 진공압을 이용하여 파지하는 다수의 진공척들(171)을 포함할 수 있다. 또한, 진공척들(171)은 플레이트(111)의 양측에 배치된 리니어 모터들(175)에 의해 수평 이송 방향으로 이동될 수 있다. 이와 다르게, 진공척들(171)은 리니어 모션 가이드(linear motion guide), 볼 스크루 및 볼 블록을 포함하는 구동 기구에 의해 이동될 수도 있다. 한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 기판 이송 유닛(170)은 프 레임(미도시)에 장착될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이와 같은 베이킹 장치에 따르면, 베이킹 부재가 플레이트 내부에 배치됨에 따라 베이킹 부재와 기판 간의 거리가 일정할 수 있다. 또한 베이킹 장치가 에어 플로팅 방식으로 기판을 이송함에 따라 기판과 기판 유닛간의 접촉에 따른 정정기의 발생을 억제시킬 수 있다. 따라서, 기판 상에 형성된 포토레지스트막이 전체적으로 균일하게 경화될 수 있다. 나아가 베이킹 부재로부터 발생한 열이 이송 샤프트에 전달되어 이송 샤프트의 변형이 억제될 수 있다. 따라서 베이킹 장치가 일정한 속도 및 방향으로 기판을 이송하면서 포토레지스트막을 균일하게 경화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 베이킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 플레이트를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플레이트를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 에어 공급부를 설명하기 위한 구성도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 베이킹 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

Claims (12)

  1. 포토레지스트막이 형성된 기판을 플로팅시키기 위하여 기판을 향하여 에어를 공급하는 복수의 홀들이 형성되고, 상기 기판 하부에 배치되는 플레이트를 포함하는 에어 블로우어; 및
    상기 플레이트 내부에 상기 홀들 사이에 배치된 히터를 갖고, 상기 포토레지스트막을 경화시키는 베이킹 부재를 포함하고,
    상기 히터는 지그 재그 형상으로 배열되는 베이킹 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 포토레지스트막이 형성된 기판을 플로팅시키기 위하여 기판을 향하여 에어를 공급하는 복수의 홀들이 형성되고, 상기 기판 하부에 배치되는 플레이트를 포함하는 에어 블로우어; 및
    상기 플레이트 내부에 상기 홀들 사이에 배치된 히터를 갖고, 상기 포토레지스트막을 경화시키는 베이킹 부재를 포함하고,
    상기 플레이트는 복수의 영역들로 구분되고, 상기 히터는 상기 영역들의 중심을 향하여 나선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 에어를 가열된 상태로 공급하는 에어 공급부를 더 포 함하는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 에어 공급부는
    상기 에어를 저장하는 에어 탱크;
    상기 에어 탱크와 연통되며, 상기 에어 내부의 불순물을 제거하는 필터:
    상기 에어 탱크와 연통되며, 상기 에어를 가열하는 가열부; 및
    상기 에어 탱크, 상기 필터, 상기 가열부 및 상기 에어 블로우어를 연결시키는 에어 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  8. 제1 항에 있어서, 상기 에어 블로우어는 상기 에어가 흐를 수 있는 다공성 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서, 상기 플로팅된 기판을 수평 방향으로 이송하고, 상기 에어 블로우어의 전방 및 후방에 배치된 적어도 하나의 기판 이송 유닛을 더 포함하고,
    상기 기판 이송 유닛은,
    상기 수평 방향으로 배열되고, 상기 수평 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장된 샤프트;
    상기 샤프트에 각각 체결되며, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 롤러; 및
    상기 샤프트을 회전시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 플로팅된 기판을 수평 방향으로 이송하고, 상기 에어 블로우어의 양 측방에 배치된 적어도 하나의 기판 이송 유닛을 더 포함하고,
    상기 기판 이송 유닛은,
    상기 기판의 에지부를 진공압을 이용하여 홀딩하는 진공척; 및
    상기 진공척에 진공압을 발생시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 에어 블로우어의 양 측방들에 배치되고 상기 플로팅된 기판의 수평 방향의 이송을 가이드하는 가이드 부재를 더 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 베이킹 장치.
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