KR101087975B1 - 필름정렬장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 필름정렬장치는, 본체와, 본체의 상측에 마련되고 상면에 놓인 필름이 부상하도록 기체유출구가 마련되고 가이드통공이 마련된 하판 및 가이드통공에 진퇴가능하도록 삽입되어 필름의 측면을 밀어내는 정렬바를 포함한다. 또한, 필름의 부상높이를 제한하도록 하판의 상부에 마련된 상판을 더 포함할 수 있다. 또한, 상판의 하면에는 정렬바가 삽입되어 진퇴할 수 있도록 가이드홈이 마련될 수 있다. 또한, 정렬바와 결합되는 너트 및 너트를 진퇴시키도록 너트에 삽입되고 본체에 회전가능하게 고정된 볼스크류를 더 포함할 수 있다. 또한, 정렬바와 너트 사이에 마련되어 정렬바가 진행방향의 반대방향으로 반발력을 받을 때 압축되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다. 또한, 정렬바와 너트가 상호간에 소정 거리 슬라이딩 될 수 있도록 정렬바와 너트 사이에 마련된 가이드부를 더 포함할 수 있다.
정렬, 부상, 필름

Description

필름정렬장치 {APPARATUS FOR ALIGNING FILM}
본 발명은 필름을 정렬하기 위한 필름정렬장치에 관한 것이다.
액정디스플레이장치의 제조과정에서 편광필름이 사용된다. 편광필름을 기판에 부착하기 위하여 편광필름은 소정의 위치에 적재된다.
적재된 편광필름은 이재기에 의하여 소정의 위치로 수회 반복하여 이송되는 경우가 있다.
자동화 설비에 의하여 이송하는 경우에 이송된 편광필름이 소정의 위치에서 벗어난 위치에 이송되는 경우에는 다음공정으로 이송시키는 이재기가 제대로 편광필름을 파지하지 못하는 경우가 발생한다.
또는 연결되는 작업공정으로 불완전하게 이송되어 편광필름이 훼손되는 경우가 발생하고 제품불량으로 이어지게 된다.
편광필름은 경량의 부재로서 일반적인 정렬장치로 정렬하는 경우에는 편광필름 전체가 이동되지 않고 정렬장치가 미는 부분만 편광필름이 구겨지는 문제가 있다.
또한, 이동거리오차가 발생하여 정렬장치의 정렬부가 양측에서 편광필름을 지나치게 미는 경우에는 편광필름이 구겨지는 문제도 있다.
편광필름과 같은 경량의 필름부재의 위치를 정렬하는 장치로서, 필름이 구겨지지 않으면서 소정의 위치로 이동시킬 수 있는 장치가 필요하다.
또한, 소정의 이송 오차에 불구하고 필름이 구겨지지 않도록 하는 구성의 정렬장치가 필요하다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 필름정렬장치는, 본체; 상기 본체의 상측에 마련되고 상면에 놓인 필름이 부상하도록 기체유출구가 마련되고 가이드통공이 마련된 하판; 및 상기 가이드통공에 진퇴가능하도록 삽입되어 상기 필름의 측면을 밀어내는 정렬바;를 포함한다.
또한, 상기 필름의 부상높이를 제한하도록 상기 하판의 상부에 마련된 상판을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 상판의 하면에는 상기 정렬바가 삽입되어 진퇴할 수 있도록 가이드홈이 마련될 수 있다.
또한, 상기 정렬바와 결합되는 너트; 및 상기 너트를 진퇴시키도록 상기 너트에 삽입되고 상기 본체에 회전가능하게 고정된 볼스크류;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 정렬바와 상기 너트 사이에 마련되어 상기 정렬바가 진행방향의 반대방향으로 반발력을 받을 때 압축되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 정렬바와 상기 너트가 상호간에 소정 거리 슬라이딩 될 수 있도록 상기 정렬바와 상기 너트 사이에 마련된 가이드부를 더 포함할 수 있다.
기체유출구를 통하여 기체를 분사하여 필름부재를 부상시키는 구성에 의하여 경량의 필름부재라도 필름이 구겨지지 않으면서 소정의 위치로 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
미량 작동오차가 있더라도 정렬대상인 필름이 구겨지는 현상이 예방되어 필름의 평탄도를 유지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 정렬장치의 분해사시도이다. 복수개의 동일한 구성요소에 대해서는 설명의 편의를 위하여 도면상에서 일부 생략하였다.
도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(600)에는 프레임선반(601)이 마련된다. 프레임선반(601)의 상면에는 제1가이드부(602)가 고정될 수 있다.
프레임선반(601)에는 모터(501)가 고정될 수 있다. 모터(501)의 축에는 벨트(502)가 설치될 수 있다. 벨트(502)가 볼스크류(503)와 모터(501)의 축을 연결하여 모터의 회전력을 볼스크류(503)에 전달할 수 있다. 볼스크류(503)의 단부에는 볼스크류고정부(504)가 마련되어 볼스크류가 회전가능하면서 프레임선반(601)에 고정되도록 한다.
볼스크류(503)는 너트부(401)에 회전가능하게 삽입된다. 볼스크류와 너트 대신에 일반적인 스크류와 너트가 적용될 수도 있다. 볼스크류(503)가 회전함에 따라 너트부(401)가 볼스크류(503)의 축방향으로 진퇴할 수 있다.
너트부(401)의 상측에는 제1플레이트(402)가 마련될 수 있다. 제1플레이트(402)의 하면 양측단부에는 제2가이드부(408)가 마련될 수 있다. 제2가이드부(408)는 제1가이드부(602)와 진퇴가능하도록 결합될 수 있다.
또한, 제1플레이트(402)의 상면 양측단부에는 제3가이드부(403)가 마련될 수 있다. 제1플레이트(402)의 상측 전면부에는 제1앵글(404)이 마련될 수 있다.
한편, 제1플레이트(402)의 상측에는 제2플레이트(302)가 마련될 수 있다. 제2플레이트(302)의 하면에는 상기 제3가이드부(403)와 서로 슬라이드 가능하도록 결합되는 제4가이드부(303)가 마련될 수 있다. 제4가이드부(303)는 제2플레이트(302) 의 하면 양측단부에 마련될 수 있다. 제2플레이트(302)의 상면에는 제2앵글(304)이 마련될 수 있다. 제2플레이트(302)의 상면에는 정렬바(301)가 마련될 수 있다.
정렬바(301)의 상단은 정렬부하판(210)의 가이드통공(211)에 진퇴가능하도록 삽입된다. 본 실시예에서는 X방향으로 진퇴되는 정렬바(301)가 전면과 후면에 각각 3개씩 마련된 구성을 개시하였다.
한편, 설명의 편의를 위하여 X방향으로 필름을 정렬하는 구성의 대표적인 구성만을 도시하였으며 Y방향으로 정렬하는 구성은 생략하였다.
정렬부하판(210)의 상면에는 기체유출구(212)가 복수개 마련된다. 기체유출구(212)를 통하여 기체가 정렬부하판(210)의 상면으로 분사될 수 있다. 기체유출구(212)를 통하여 압축기체를 분사할 수 있도록 압축기(미도시)가 기체유출구(212)와 연결될 수 있다.
정렬부하판(210)의 상측에는 정렬부상판(101)이 위치할 수 있다. 정렬부상판(101)의 하면에는 가이드홈(102)이 마련될 수 있다. 가이드홈(102)은 가이드통공(211)의 위치에 대응되는 곳에 마련된다. 정렬부상판(101)은 부상되는 필름의 부상높이를 제한되는 효과를 발휘한다.
정렬부상판(101)의 모서리부에는 간격유지부(110)가 마련될 수 있다. 간격유지부(110)는 정렬부상판(101)과 정렬부하판(210) 사이의 일정한 간격을 유지하기 위한 구성이다.
도 2는 본 실시예에 따른 정렬장치의 전면도이다.
도 2에서 보듯이, 제1가이드부(602)가 프레임선반(601)의 상면에 고정된다. 제1가이드부(602)에는 진퇴가능하도록 제2가이드부(408)가 결합될 수 있다. 제1플레이트(402)가 프레임선반(601)의 상측에 위치하며, 제1플레이트(402)의 하면 양측단부에 제2가이드부(408)가 마련될 수 있다.
모터(501)가 프레임선반(601)의 상면에 마련될 수 있다. 모터의 축과 볼스크류(503) 사이의 회전력 전달을 위하여 벨트(502)가 마련될 수 있다.
제1앵글(404)이 제1플레이트(402)의 상면에 마련될 수 있다. 제1플레이트(402)의 상면 양측단부에는 제3가이드부(403)가 마련될 수 있다. 제3가이드부(403)에는 진퇴가능하도록 제4가이드부(303)가 결합될 수 있다. 제4가이드부(303)는 제2플레이트(302)의 하면 양측단부에 마련될 수 있다.
제2플레이트(302)의 상면에는 정렬바(301)가 마련될 수 있다. 정렬바(301)는 정렬부하판(210)의 가이드통공(211)에 진퇴가능하도록 삽입될 수 있다.
도 3은 본 실시예에 따른 정렬장치의 부분단면도(A-A')이다.
도 4는 본 실시예에 따른 정렬장치의 부분단면도(C)이다.
도 3 및 도 4에서 보듯이, 볼스크류(503)가 회전하면 너트부(401)가 볼스크류(503)의 축방향으로 진퇴하게 된다. 이에 따라 제1플레이트(402), 제2플레이트(302) 및 정렬바(301)도 너트부(401)와 같이 진퇴하게 된다.
정렬바(301)가 가이드통공(211) 및 가이드홈(102)에서 X방향의 반대방향으로 진행하면서 필름(F)을 밀어내게 되며, 이때 반대측에는 X방향으로 이동하는 별도의 정렬바(미도시)가 마련되어서 필름(F)을 소정 위치로 모으게 된다.
필름(F)이 반대측의 정렬바에 의하여 이동을 멈춘 이후에도 정렬바(301)가 설정 위치보다 미량 더 진행하게 되면 필름(F)이 구겨지게 될 수 있다. 이 경우에는 정렬바(301)가 X방향으로 필름(F)에 의하여 반력을 받게 된다. 이에 따라 제2앵글(304)와 제2플레이트(302)가 X방향으로 진행하게 되며, 제3가이드부(403)와 제4가이드부(303)가 서로 슬라이딩되므로 탄성부재(406)(도 4 참조)가 제1앵글(404)와 제2앵글(304) 사이에서 압축될 수 있다.
이러한 구성을 통하여 미량 작동오차가 있더라도 정렬대상인 필름이 구겨지는 현상이 예방되어 필름의 평탄도를 유지할 수 있는 효과가 있다.
제1앵글(404)와 제2앵글(304) 사이의 거리가 탄성적으로 신축될 수 있도록 하면서도 제1앵글(404)과 제2앵글(304)을 결합하도록 결합볼트(405)가 마련될 수 있다. 결합볼트(405)는 제1앵글(404)와 제2앵글(304)의 전면부의 통공에 진퇴가능하도록 삽입된다. 제1앵글(404)에 삽입된 결합볼트(405)에는 탄성부재(406)가 결합될 수 있으며, 결합볼트(405)의 단부에는 결합너트(407)(도 4 참조)가 고정될 수 있다.
이에 따라 제2앵글(304)에 대하여 X방향으로 힘이 가해지는 순간에 탄성부재(406)에 압축력이 전달되어 잠시 탄성부재(406)가 압축된다. 이에 따라 제1앵글(404)이 X방향으로 밀려난다. 충분히 힘이 전달되면 탄성부재(406)의 탄성력에 의하여 제1앵글(404)과 제2앵글(304) 사이의 거리가 원래대로 복원된다.
간격유지부(110)는 정렬부상판(101)과 정렬부하판(210) 사이의 일정한 간격을 유지하기 위한 구성이다. 간격유지부(110)는 돌출핀(104)의 구성을 포함할 수 있다. 돌출핀(104)은 정렬부상판(101)의 모서리에 돌출되어 마련된다. 돌출핀(104) 에 마련된 통공에는 간격유지볼트(105)가 삽입될 수 있다. 간격유지볼트(105)의 일단에는 지지판(106)이 마련될 수 있다. 간격을 조절할 수 있도록 간격유지너트(103)가 간격유지볼트(105)에 결합될 수 있다. 정렬부하판(210)에는 지지판(106)이 안착될 수 있는 오목부(213)(도 1 참조)가 마련될 수 있다.
도 5 내지 도 8은 본 실시예에 따른 정렬장치의 작동을 나타내기 위한 부분단면도(B)이다.
도 5에서 보듯이, 정렬바(301)가 필름(F)을 향하여 진행하기 전의 모습을 도시하였다.
도 6에서 보듯이, 정렬을 위하여 기체유출구(212)(도 1 참조)을 통하여 기체가 상방으로 분사되면 필름(F)이 부상하여 정렬부상판(101)의 하면에 붙게 된다.
이에 따라, 필름과 정렬부하판(210) 사이의 마찰력이 감소하여 정렬바(301)가 필름의 측면을 밀더라도 필름이 구져지지 않고 용이하게 이동하게 된다.
도 7에서 보듯이, 정렬을 위하여 정렬바(301)가 필름(F)을 향하여 진행한 결과 정렬바(301)가 미량 더 진행하여 필름(F)이 구겨진 모습을 도시하였다.
도 8에서 보듯이, 필름(F)에 의한 반발력에 의하여 정렬바(301)가 반대방향의 힘을 받게 된다. 이에 따라 탄성부재(406)가 제1앵글(404)과 제2앵글(304) 사이에서 압축되고, 정렬바(301)가 X방향으로 후퇴하게 되므로 필름(F)이 펴지게 되어 필름(F)의 구김현상이 방지된다.
도 1은 본 실시예에 따른 필름정렬장치의 분해사시도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 필름정렬장치의 전면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 필름정렬장치의 부분단면도(A-A')이다.
도 4는 본 실시예에 따른 필름정렬장치의 부분단면도(C)이다.
도 5 내지 도 8은 본 실시예에 따른 필름정렬장치의 작동을 나타내기 위한 부분단면도(B)이다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 본체;
    상기 본체의 상측에 마련되고 상면에 놓인 필름이 부상하도록 기체유출구가 마련되고 가이드통공이 마련된 하판;
    수평방향으로 진퇴가능하도록 상기 가이드통공에 삽입되며 상기 필름의 측면에 접촉하면서 밀어내는 정렬바; 및
    상기 필름의 부상높이를 제한하도록 상기 하판의 상부에 마련된 상판;을 포함하며,
    상기 상판의 하면에는 상기 정렬바가 삽입되어 진퇴할 수 있도록 가이드홈이 마련된 필름정렬장치.
  4. 본체;
    상기 본체의 상측에 마련되고 상면에 놓인 필름이 부상하도록 기체유출구가 마련되고 가이드통공이 마련된 하판;
    수평방향으로 진퇴가능하도록 상기 가이드통공에 삽입되며 상기 필름의 측면에 접촉하면서 밀어내는 정렬바;
    상기 정렬바와 결합되는 너트; 및
    상기 너트를 진퇴시키도록 상기 너트에 삽입되고 상기 본체에 회전가능하게 고정된 볼스크류;를 더 포함하는 필름정렬장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 정렬바와 상기 너트 사이에 마련되어 상기 정렬바가 진행방향의 반대방향으로 반발력을 받을 때 압축되는 탄성부재를 더 포함하는 필름정렬장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 정렬바와 상기 너트가 상호간에 소정 거리 슬라이딩 될 수 있도록 상기 정렬바와 상기 너트 사이에 마련된 가이드부를 더 포함하는 필름정렬장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200401259Y1 (ko) * 2005-08-12 2005-11-15 주식회사 엠앤엘 비접촉식 물류이송 유니트의 그립퍼
KR100892088B1 (ko) * 2007-02-14 2009-04-06 주식회사 엠엠티 에어 플로팅을 이용한 비접촉식 필름 검사장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200401259Y1 (ko) * 2005-08-12 2005-11-15 주식회사 엠앤엘 비접촉식 물류이송 유니트의 그립퍼
KR100892088B1 (ko) * 2007-02-14 2009-04-06 주식회사 엠엠티 에어 플로팅을 이용한 비접촉식 필름 검사장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10942447B2 (en) 2017-08-11 2021-03-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Film frame, display substrate-manufacturing system, and display substrate-manufacturing method

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