KR101989379B1 - 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치 - Google Patents

푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 베이스의 하부에 위치되는 푸시수단을 이용하여 기판을 밀도록 구성되므로, 복잡한 구성 없이 기판을 매거진에 용이하게 삽입시킬 수 있고, 푸시수단이 한 쌍의 지지부 사이의 안쪽에 위치되므로, 전체 제품을 소형으로 제조할 수 있고, 제조 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치{TRANSPORTING APPARATUS OF BOARD WITH PUSHING FUNCTION}
본 발명은 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 푸시수단이 지지부의 안쪽에 위치되도록 하여 제품을 소형으로 제조할 수 있도록 하고 제조 비용을 절감하도록 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 산업은 각종 전자기기의 발달로 급격히 증가하였으며 현재 우리나라에서도 반도체 산업이 한국 경제에 큰 비중을 차지하고 있다. 반도체 산업은 기술，자본 집약적인 고부가가치 산업으로서 많은 반도체 기업들이 반도체 제조 경쟁력을 유지하기 위해서 설비 기술 및 생산 기술 분야에서 많은 투자와 활발한 연구 활동을 하고 있다.
이러한 반도체 분야에 있어서 반도체 패키지의 크기를 축소하기 위하여 많은 기술들이 개발되고 있으며, 이러한 기술적 요구를 충족하기 위하여 두 개 이상의 반도체 칩을 수직으로 적층하여 칩화하는 칩 온 칩(Chip On Chip, COC) 기술에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 칩 온 칩 기술이 적용된 반도체 칩은 전체 크기를 줄일 수 있음은 물론, 전체적인 소모전력을 줄일 수 있고, 신호의 전송속도 또한 빨라지는 장점이 있다.
한편, 칩 온 칩 기술을 이용하여 제조된 반도체 칩은 제조 공정 과정에서 결함이 발생할 가능성이 있는바, 각종 검사 장치를 통해 반도체 칩의 불량 여부를 검사하게 된다. 이러한 각종 검사 장치 중 일부는 제조된 반도체 칩을 스테이지 상에 위치시킨 후 반도체 칩의 높이를 측정하여 불량 여부를 검사하게 된다.
도 1은 종래 기판 이송 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이고, 도 2는 종래 기판 이송 장치가 기판을 매거진에 적재하는 상태를 설명한 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기판 이송 장치(10)는 반도체 칩이 실장된 기판(Printed Circuit Board, PCB)(P)이 안착되는 스테이지(12)와, 기판(P)을 스테이지(12)로 이송하는 이송부(14)와, 스테이지(12)를 지지하는 지지부(16)를 포함한다.
스테이지(12)는 상하 이동 가능한 것으로, 스테이지(12)의 상면에는 복수 개의 흡착구(12a)가 구비되어 있다. 흡착구(12a)는 외부의 진공수단(미도시)과 연결되어 있다. 그리고 상기 진공수단이 가동되면 흡착구(12a)에 진공압이 공급되어, 스테이지(12)의 상면에 안착된 기판(P)이 스테이지(12)의 상면에 견고하게 흡착된다. 이 상태에서 기판(P)의 상부에 위치된 레벨링센서(미도시)가 기판(P)에 실장된 반도체 칩의 높이를 측정하여 반도체 칩의 불량 여부를 검사하게 된다. 그리고 검사가 완료된 기판(P)은 매거진(M)에 적재되어 다음 공정으로 이송된다.
한편, 불량 검사가 완료된 기판(P)이 매거진(M)에 적재될 때, 기판(P)은 이송부(14)에 의하여 매거진(M)의 기판삽입부(M1)로 이동된다. 이때, 기판(P)이 기판삽입부(M1)로 이동되기 시작할 때에는 기판(P)의 대부분은 이송부(14)에 접촉되어 있으므로, 기판(P)은 이송부(14)의 동력을 이용하여 기판삽입부(M1)로 슬라이딩 이동된다. 그러나 기판(P)이 기판삽입부(M1)로 대부분 이동된 이후에는 기판(P)의 단부만이 이송부(14)에 접촉되어 있거나, 기판(P)의 단부가 이송부(14)와 기판삽입부(M1) 사이에 위치되므로, 이송부(14)는 더 이상 기판(P)을 기판삽입부(M1)로 이송시킬 수 없다.
이때, 기판(P)의 단부를 기판삽입부(M1)로 완전히 밀어 넣기 위하여 푸시부재(20)가 구비된다. 푸시부재(20)는 지지부(16)의 외측에 장착되는 이동부(22)와, 이동부(22)에 연결되는 연결부(24)와, 연결부(24)와 연결된 상태로 이동부(22)를 따라 이동되는 구동모터(26)와, 구동모터(26)에 연결된 상태로 기판(P)에 걸림 위치되는 푸셔부(28)를 포함한다. 푸셔부(28)는 일측은 구동모터(26)와 연결되고 타측은 기판(P) 방향으로 연장되는 연장부(28a)와, 연장부(28a)에서 하방으로 절곡되는 걸림부(28b)를 포함한다.
그리고 기판(P)의 일단부는 기판삽입부(M1)로 이동되고, 기판(P)의 타단부는 이송부(14)에 접촉되도록 위치된 상태에서, 구동모터(26)가 회전되어 푸셔부(28)의 걸림부(28b)가 기판(P)의 타단부에 걸림 위치되도록 하강된다. 이 상태에서 이동부(22)가 매거진(M) 방향으로 이동되면, 걸림부(28b)가 기판(P)을 매거진(M) 방향으로 밀게 되어, 기판(P)이 매거진(M)의 기판삽입부(M1)로 완전히 삽입된다.
그런데 이러한 푸시부재(20)는 지지부(16)의 외측에 별도로 구비되므로, 별도의 공간을 차지하는 문제점이 있으며, 복잡한 형상으로 구성되어 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다.
공개특허 제10-2013-0022829호 등록특허 제10-0885492호
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 푸시수단이 지지부의 안쪽에 위치되도록 하여 제품을 소형으로 제조할 수 있도록 하고 제조 비용을 절감하도록 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 베이스; 상기 베이스의 상부에 상하 이동 가능하도록 장착되는 수직이동부; 상기 수직이동부의 상측에 장착되는 스테이지; 상기 스테이지의 길이방향 양측에 배치되는 한 쌍의 지지부; 외부로부터 공급되는 기판을 이동시키도록 한 쌍의 상기 지지부에 지지된 상태로 회전되는 한 쌍의 회전밸트; 및 상기 스테이지의 하측에 장착되되 한 쌍의 상기 회전밸트 사이에서 전후 방향으로 이동되는 푸시수단을 포함하고, 상기 회전밸트를 따라 이동되는 기판이 상기 스테이지와 마주보도록 위치되면, 상기 수직이동부가 상부로 이동되어 상기 스테이지와 기판이 밀착되고, 상기 스테이지에 밀착된 기판의 검사가 완료되면, 상기 수직이동부가 하부로 이동되어 상기 스테이지와 상기 푸시수단을 기판의 하부로 이격되도록 이동시키고, 상기 회전밸트가 상기 스테이지와 이격된 기판을 전방으로 이동시켜서 기판의 양 단부가 상기 푸시수단을 지나가게 되면, 상기 수직이동부가 상부로 이동되어 상기 푸시수단을 기판의 일단부와 마주보도록 위치시키고, 기판의 일단부와 마주보도록 위치된 상기 푸시수단은 전방으로 이동되면서 기판의 일단부를 전방으로 밀도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 푸시수단은: 상기 스테이지의 길이방향 하측에 장착되며 전후 방향으로 이동되는 푸싱실린더; 및 일측은 상기 푸싱실린더와 연결되고 타측은 상기 스테이지의 하측을 따라 전방으로 연장되는 연장부와, 상기 연장부의 단부에서 절곡된 상태로 상기 스테이지의 전측 방향으로 돌출되는 돌출부를 갖는 푸시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 하측은 상기 스테이지의 하측과 이격 위치된 상기 푸싱실린더와 연결되고 상측은 상기 스테이지의 하측과 연결되도록 연장되는 결합안내부와, 상기 스테이지의 상기 연장부와 마주보는 위치에 상기 연장부의 길이방향을 따라 형성되는 이동가이드레일과, 일측은 상기 이동가이드레일을 따라 슬라이딩 이동되고 타측은 상기 연장부와 연결되는 이동안내부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 이동가이드레일의 길이방향 양측을 따라 레일홈이 형성되고, 상기 이동안내부의 일측에 상기 이동가이드레일이 삽입되도록 오목하게 오목부가 형성되되 상기 오목부의 양측에 상기 레일홈에 삽입된 상태로 슬라이딩되도록 슬라이딩돌기가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 수직이동부는: 상기 베이스에 지지되는 수직이동본체; 및 상기 수직이동본체에 지지된 상태로 상기 수직이동본체로 공급되는 유압에 의하여 상하 이동되는 수직이동실린더를 포함하고, 상기 수직이동실린더의 상부에 상기 스테이지가 연결되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 스테이지의 양측과 대향되도록 상기 지지부의 안쪽에 장착되는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 양 단부와 마주보도록 상기 지지부의 양측에 설치되는 회전축을 더 포함하고, 상기 회전밸트는 상기 회전축에 걸쳐진 상태로 상기 지지프레임의 테두리를 따라 회전되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지부의 전측 상부에 상기 지지프레임의 전측과 나란하도록 돌출 형성되는 한 쌍의 텐션고정부와, 일측은 한 쌍의 상기 텐션고정부 중 어느 한 텐션고정부에 회전되도록 설치되고 타측은 상기 지지프레임의 전측 방향으로 연장되는 텐션연장부와, 상기 텐션연장부의 타측에 회전되도록 설치되는 회전롤러와, 한 쌍의 상기 텐션고정부에 지지된 상태로 상기 텐션연장부를 상기 지지프레임 방향으로 탄성 압력을 가하는 탄성부를 갖는 탄성가압부재를 더 포함하고, 상기 회전밸트와 상기 탄성부 사이를 기판이 지나갈 때, 상기 탄성부가 기판의 상측을 탄성 가압하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 스테이지의 상면에는 복수 개의 진공홀이 형성되고, 상기 스테이지의 상면에 기판이 위치된 상태에서 상기 진공홀로 진공 압력이 가해지면, 기판이 진공 압력에 의하여 상기 스테이지에 밀착되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 회전밸트를 따라 이동되는 기판이 상기 스테이지와 마주보도록 위치될 때, 상기 푸시수단은 상기 스테이지보다 상부에 위치되도록 형성되어, 상기 푸시수단에 기판의 전단부가 걸리도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지부의 상측 길이방향을 따라 상기 회전밸트의 상부로 이격되도록 기판안내부가 형성되고, 기판은 상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 안내된 후 상기 회전밸트를 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 기판이 안내될 때, 기판과 마주보는 상기 기판안내부의 길이방향 단부는 상기 회전밸트와 마주보도록 경사지는 경사부가 형성되고, 기판은 상기 경사부에 슬라이딩된 상태로 상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 안내되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지부의 간격을 조절하는 간격조절부재를 더 포함하고, 상기 간격조절부재는: 상기 베이스와 크로스되도록 상기 베이스의 하부에 이격된 상태로 위치되는 지지안내판; 상기 지지안내판의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 회전로드; 및 상기 회전로드의 회전에 의하여 상기 회전로드를 따라 서로 멀어지거나 서로 가까워지도록 슬라이딩 이동되는 한 쌍의 간격조절안내부를 포함하고, 상기 베이스는 한 쌍의 상기 간격조절안내부 사이에 위치되고, 상기 지지부의 하단은 한 쌍의 상기 간격조절안내부에 연결되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 베이스의 길이방향을 따라 상기 수직이동부를 이동시키는 수평이동부를 더 포함하고, 상기 수평이동부는: 상기 베이스와 상기 수직이동부 사이에 위치되되 상기 베이스의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 수평이동축; 및 상기 수평이동축을 따라 이동되는 이동가이더를 포함하고, 상기 이동가이더에 상기 수직이동부가 결합되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
본 발명은 베이스의 하부에 위치되는 푸시수단을 이용하여 기판을 밀도록 구성되므로, 복잡한 구성 없이 기판을 매거진에 용이하게 삽입시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 푸시수단이 한 쌍의 지지부 사이의 안쪽에 위치되므로, 전체 제품을 소형으로 제조할 수 있고, 제조 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 푸싱실린더가 전후 이동되면 이동부의 후측은 푸싱실린더의 전후 압력에 의하여 전후 방향으로 이동되고, 이동부의 상측은 이동가이드레일을 따라 슬라이딩 이동되므로, 이동부는 좌우로 흔들리지 않고 전후 방향으로 안전하게 이동되는 효과가 있다.
또한, 외부로부터 공급되는 기판은 경사부에 슬라이딩된 상태로 회전밸트와 기판안내부 사이로 용이하게 안내되는 효과가 있다.
또한, 지지부의 하부에 간격조절부재가 구비되므로, 기판의 폭에 따라 한 쌍의 지지부의 폭을 조절할 수 있어, 다양한 크기의 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기판 이송 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2는 종래 기판 이송 장치가 기판을 매거진에 적재하는 상태를 설명한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 내부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 전방을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 푸시수단을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 도 6의 A-A' 단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 푸시수단이 기판을 미는 상태를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 내부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치(1000)는 베이스(100), 수평이동부(200), 수직이동부(300), 스테이지(400), 지지부(600), 회전수단(700), 탄성가압부재(750), 간격조절부재(500) 및 푸시수단(800)을 포함한다.
베이스(100)는 판형으로 평평하게 형성된다. 그리고 베이스(100)의 하면 양측에 베이스(100)를 지지하도록 이격안내돌출부(102)가 돌출 형성되고, 이격안내돌출부(102)는 후술하는 지지안내판(510)에 지지된다. 이러한 베이스(100)는 길이방향을 따라 길게 형성되며, 이하에서는 별도의 설명이 없는 한, 베이스(100)의 길이방향 전측 방향을 전측 또는 전방이라 하고, 베이스(100)의 길이방향 후측 방향을 후측 또는 후방이라 한다.
수평이동부(200)는 후술하는 수직이동부(300)를 베이스(100)의 길이방향을 따라 전후 방향으로 이동시키는 것으로, 수평이동본체(210), 수평이동축(212) 및 이동가이더(220)를 포함한다. 수평이동본체(210)는 베이스(100)의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되며 내부에 빈 공간이 구비된다. 수평이동축(212)은 수평이동본체(210)의 내부를 따라 긴 형상으로 형성된다. 그리고 수평이동축(212)의 일단부는 수평모터(미도시)와 연결되어 회전되도록 구성된다. 이동가이더(220)는 수평이동축(212)을 따라 이동되는 것으로, 예를 들면 수평이동축(212)과 기어 결합되어, 수평이동축(212)이 정회전되면 이동가이더(220)는 베이스(100)의 전방으로 이동되고, 수평이동축(212)이 역회전되면 이동가이더(220)는 베이스(100)의 후방으로 이동된다.
수직이동부(300)는 이동가이더(220)의 상측에 상하 이동 가능하도록 구성되는 것으로, 수직이동본체(310), 수직이동실린더(320) 및 상측결합부(330)를 포함한다. 수직이동본체(310)는 이동가이더(220)의 상측에 지지되며 상부로 돌출 형성된다. 수직이동실린더(320)는 일측은 수직이동본체(310)의 내부에 지지되고 타측은 수직이동본체(310)의 상부로 돌출되며, 수직이동본체(310)로 공급되는 유압에 의하여 상하 이동된다. 상측결합부(330)는 수직이동실린더(320)의 상측과 후술하는 스테이지(400)를 연결시킨다.
스테이지(400)는 판형으로 길게 형성되는 것으로, 그 하면이 상측결합부(330)와 결합된다. 그리고 스테이지(400)의 상면에 반도체 칩이 실장된 기판(P: 도 8 도시)이 안착된다. 그리고 스테이지(400)의 상면에는 복수 개의 진공홀(402)이 형성되되, 상기 진공홀(402)은 외부의 진공수단(미도시)과 연결되어, 상기 진공수단이 가동되면 상기 진공홀(402)에 진공압이 공급되어, 기판(P)이 스테이지(400)의 상면에 견고하게 밀착될 수 있다. 이 상태에서 기판(P)의 상부에 이격되도록 위치된 레벨링센서(미도시)가 기판(P)에 실장된 반도체 칩의 높이를 측정하여 반도체 칩의 불량 여부를 검사하게 된다. 상기 레벨링센서는 초음파, 레이저, 이미지 등을 이용하여 반도체 칩의 높이 등을 측정하는 일반적인 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
지지부(600)는 한 쌍으로 구성되며 스테이지(400)의 길이방향 양측을 따라 길게 형성된다. 이때, 지지부(600)는 스테이지(400)보다 전방으로 더 길도록 형성된다. 이러한 지지부(600)는 판형으로 형성되되 상측은 스테이지(400)와 마주보도록 배치되고 하측은 베이스(100)보다 하부에 위치되는 후술하는 간격조절부재(500)에 지지된다. 그리고 지지부(600)의 상측 길이방향을 따라 후술하는 회전밸트(730)의 상부로 이격되도록 기판안내부(610)가 길게 형성되고, 기판(P)은 회전밸트(730)와 기판안내부(610) 사이로 안내된 후 회전밸트(730)를 따라 이동된다. 그리고 회전밸트(730)와 기판안내부(610) 사이로 기판(P)이 안내될 때, 기판(P)과 마주보는 기판안내부(610)의 길이방향 후측은 회전밸트(730)와 마주보도록 경사부(612)가 경사지게 형성된다. 이에 따라 외부로부터 공급되는 기판(P)은 경사부(612)에 슬라이딩된 상태로 회전밸트(730)와 기판안내부(610) 사이로 용이하게 안내되는 효과가 있다.
회전수단(700)은 지지부(600)의 스테이지(400)와 마주보지 않는 전측에 위치되는 것으로, 지지프레임(710), 회전축(720) 및 회전밸트(730)를 포함한다. 지지프레임(710)은 스테이지(400)의 양측과 대향되도록 지지부(600)의 안쪽에 장착되는 것으로 스테이지(400)의 길이방향을 따라 길게 형성된다. 회전축(720)은 지지프레임(710)의 양 단부와 마주보도록 지지부(600)의 양측에 설치되는 것으로, 외부의 동력을 전달받아 회전되는 회전롤러(756)로 구성된다. 회전밸트(730)는 한 쌍으로 구성되며 각각 밸트 형상으로 형성되어, 한 쌍의 회전축(720)에 걸쳐진 상태로 지지프레임(710)의 테두리를 따라 회전되도록 구성된다. 그리고 외부로부터 공급되는 기판(P)은 그 양측이 회전밸트(730)에 안착된 상태로 회전밸트(730)를 따라 전방으로 이동된다.
탄성가압부재(750)는 텐션고정부(752), 텐션연장부(754), 회전롤러(756) 및 탄성부(758)를 포함한다. 텐션고정부(752)는 지지프레임(710)의 상부에 위치되는 지지부(600)의 전측 상부에 지지프레임(710)의 전측과 나란하도록 한 쌍이 돌출 형성된다. 텐션연장부(754)는 일측은 한 쌍의 텐션고정부(752) 중 어느 한 텐션고정부(752)에 회전되도록 설치되고, 타측은 지지프레임(710)의 전측 방향으로 연장되도록 형성된다. 회전롤러(756)는 텐션연장부(754)의 타측에 회전되도록 설치된다. 탄성부(758)는 스프링 등으로 구성되며 한 쌍의 텐션고정부(752)에 지지된 상태로 텐션연장부(754)를 지지프레임(710) 방향으로 탄성 압력을 가하게 된다. 즉, 탄성부(758)는 텐션고정부(752)에 지지된 상태로 텐션연장부(754)에 걸림 위치되어 텐션연장부(754)를 지지프레임(710) 방향으로 탄성 가압하게 된다. 그리고 회전밸트(730)와 탄성부(758) 사이를 기판(P)이 지나갈 때, 탄성부(758)가 기판(P)의 상측을 탄성 가압하게 된다. 이에 따라 회전밸트(730)를 따라 이동되는 기판(P)은 안전하게 회전밸트(730)의 전방으로 이동된다.
간격조절부재(500) 및 푸시수단(800)은 후술하기로 한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 전방을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 간격조절부재(500)는 지지부(600)의 간격을 조절하는 것으로, 지지안내판(510), 슬라이딩부(512), 회전로드(520) 및 간격조절안내부(530)를 포함한다.
지지안내판(510)은 판형으로 형성되며 베이스(100)와 크로스되도록 베이스(100)의 하부에 이격된 상태로 위치된다. 지지안내판(510)의 길이는 베이스(100)의 폭보다 길도록 형성된다. 그리고 베이스(100)의 하측에는 지지안내판(510) 방향으로 한 쌍의 이격안내돌출부(102)가 돌출되어, 지지안내판(510)과 베이스(100)가 상호 이격된다. 슬라이딩부(512)는 한 쌍으로 구성되어 지지안내판(510)의 상부 양측에 형성되는 것으로, 지지안내판(510)의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 이때, 슬라이딩부(512)는 이격안내돌출부(102)를 관통하도록 형성된다.
회전로드(520)는 한 쌍의 슬라이딩부(512) 사이에 위치되며 지지안내판(510)의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 이러한 회전로드(520)는 외부 구동력을 전달받아 회전되도록 구성된다.
간격조절안내부(530)는 한 쌍으로 구성되며 회전로드(520)에 끼워지도록 구성된다. 이때, 간격조절안내부(530)와 회전로드(520)는 상호 나사 결합되어, 간격조절안내부(530)는 회전로드(520)의 회전에 의하여 회전로드(520)를 따라 서로 멀어지거나 서로 가까워지도록 회전로드(520)를 따라 슬라이딩 이동된다. 여기서 간격조절안내부(530)의 양 단부는 슬라이딩부(512)와 슬라이딩되도록 슬라이딩안내부(532)가 형성되어, 간격조절안내부(530)의 슬라이딩안내부(532)는 슬라이딩부(512)에 가이드된 상태로 안전하게 슬라이딩 이동된다. 그리고 베이스(100)는 한 쌍의 상기 간격조절안내부(530) 사이에 위치되고, 한 쌍의 지지부(600)의 하단은 한 쌍의 간격조절안내부(530)에 연결되어, 한 쌍의 간격조절안내부(530)가 이동됨에 따라, 한 쌍의 지지부(600)의 폭이 조절된다.
이처럼 기판(P)의 폭에 따라 한 쌍의 지지부(600)의 폭을 조절할 수 있어, 다양한 크기의 기판(P)을 이송할 수 있는 효과가 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 푸시수단을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 7은 도 6의 A-A' 단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4, 도 6 및 도 7을 참조하면, 푸시수단(800)은 스테이지(400) 하측의 전방에 장착되되 한 쌍의 회전밸트(730) 사이에서 전후 방향으로 이동되는 것으로, 푸싱실린더(810), 결합안내부(830), 푸시부(820), 이동가이드레일(840) 및 이동안내부(850)를 포함한다.
푸싱실린더(810)는 스테이지(400)의 길이방향 하측에 위치되는 후술하는 결합안내부(830)에 장착되며 유압 등을 이용하여 전후 방향으로 이동된다.
결합안내부(830)는 스테이지(400)의 길이방향 하측 전방에 하방으로 돌출되도록 설치된다. 그리고 결합안내부(830)의 하측에 푸싱실린더(810)가 연결되고, 결합안내부(830)의 상측은 스테이지(400)의 하측과 연결되도록 연장된다.
푸시부(820)는 일측은 푸싱실린더(810)와 연결되고 타측은 상기 스테이지(400)의 하측을 따라 전방으로 연장되도록 돌출 형성되는 연장부(822)와, 상기 연장부(822)의 단부에서 절곡된 상태로 스테이지(400)의 전측 방향으로 돌출되는 돌출부(824)를 갖도록 구성된다. 그리고 푸싱실린더(810)의 전후 이동에 따라 돌출부(824)가 스테이지(400)의 전측과 가까워지거나 멀어지도록 이동된다.
이동가이드레일(840) 및 이동안내부(850)는 연장부(822)의 전후 이동을 가이드하는 것으로, 먼저, 이동가이드레일(840)은 스테이지(400)의 연장부(822)와 마주보는 하측에 연장부(822)의 길이방향을 따라 볼록하게 형성된다. 이동안내부(850)는 이동가이드레일(840)과 연장부(822) 사이에 위치되되 상측은 이동가이드레일(840)을 따라 슬라이딩 이동되고 하측은 연장부(822)와 연결된다. 이때, 이동가이드레일(840)의 길이방향 양측을 따라 오목하게 레일홈(842)이 형성된다. 그리고 이동안내부(850)의 상측에는 이동가이드레일(840)이 삽입되도록 오목하게 오목부(852)가 형성되되 상기 오목부(852)의 양측에 상기 레일홈(842)에 삽입된 상태로 슬라이딩되도록 슬라이딩돌기(854)가 돌출 형성된다. 이에 따라 푸싱실린더(810)가 전후 이동되면 이동부의 후측은 푸싱실린더(810)의 전후 압력에 의하여 전후 방향으로 이동되고, 이동부의 상측은 이동가이드레일(840)을 따라 슬라이딩 이동되므로, 이동부는 좌우로 흔들리지 않고 전후 방향으로 안전하게 이동되는 효과가 있다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치의 푸시수단이 기판을 미는 상태를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 외부의 기판(P)이 회전밸트(730)와 기판안내부(610) 사이로 공급되면, 기판(P)은 회전밸트(730)를 따라 스테이지(400) 방향으로 전진된다. 이때, 수직이동부(300)는 하부로 이동되어 스테이지(400)와 기판(P)이 접촉되지 않도록 한다. 그리고 회전밸트(730)를 따라 이동되는 기판(P)이 스테이지(400)와 마주보도록 위치되면, 푸시수단(800)의 돌출부(824)는 스테이지(400)보다 상부에 위치되도록 구성되어, 푸시수단(800)의 돌출부(824)에 기판(P)의 전단부가 걸리도록 위치된다. 이처럼 푸시수단(800)의 돌출부(824)는 스토퍼 역할을 하게 되어, 기판(P)이 스테이지(400)의 정확한 위치에 안착되도록 안내하는 효과가 있다.
그 후, 회전밸트(730)를 따라 이동되는 기판(P)이 상기 스테이지(400)와 마주보도록 위치되면, 상기 수직이동부(300)가 상부로 이동되어 상기 스테이지(400)와 기판(P)이 밀착되고, 이 상태에서 레벨링센서(미도시)가 기판(P)의 불량 여부를 검사하게 된다.
그 후, 스테이지(400)에 밀착된 기판(P)의 불량 검사가 완료되면, 상기 수직이동부(300)가 하부로 이동되어 상기 스테이지(400)와 상기 푸시수단(800)을 기판(P)의 하부로 이격되도록 이동시킨다.
그 후, 도 8을 참조하면, 회전밸트(730)가 상기 스테이지(400)와 이격된 기판(P)을 전방으로 이동시켜서 기판(P)의 양 단부가 모두 푸시수단(800)을 지나가도록 한다. 이때, 기판(P)의 전단부는 매거진(M)의 기판삽입부(M1)에 적재된 상태이다.
그 후, 수직이동부(300)가 상부로 이동되어 푸시수단(800)의 돌출부(824)가 기판(P)의 후단부와 마주보도록 위치시킨다.
그 후, 푸시수단(800)의 푸싱실린더(810)가 전진 이동되면, 기판(P)의 후단부와 마주보도록 위치된 푸시수단(800)의 돌출부(824)가 전방으로 이동되면서 기판(P)의 일단부를 전방으로 밀게 된다. 그러면 기판(P)의 후단부가 매거진(M)의 기판삽입부(M1)에 적재되어, 기판(P)의 전단부는 물론 후단부까지 매거진(M)의 기판삽입부(M1)로 완전히 삽입된다.
이처럼 본 발명은 베이스(100)의 하부에 위치되는 푸시수단(800)을 이용하여 기판(P)을 밀도록 구성되므로, 복잡한 구성 없이 기판(P)을 매거진(M)에 용이하게 삽입시킬 수 있는 효과가 있다.
한편, 푸시수단(800)과 매거진(M) 사이가 설정된 거리 이상으로 멀리 떨어져 있는 경우, 푸시수단(800)이 기판(P)을 매거진(M)에 완전히 삽입시킬 수 없을 수도 있다. 이 경우, 수평이동부(200)가 전진하여 수직이동부(300) 및 스테이지(400)를 전진시킬 수 있으며, 최종적으로 푸시수단(800)이 전진되어 기판(P)을 매거진(M)에 완전히 삽입시킬 수 있게 된다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
1000: 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치
100: 베이스 102: 이격안내돌출부
200: 수평이동부 210: 수평이동본체
212: 수평이동축 220: 이동가이더
300: 수직이동부 310: 수직이동본체
320: 수직이동실린더 330: 상측결합부
400: 스테이지 402: 진공홀
500: 간격조절부재 510: 지지안내판
512: 슬라이딩부 520: 회전로드
530: 간격조절안내부 532: 슬라이딩안내부
600: 지지부 610: 기판안내부
612: 경사부 700: 회전수단
710: 지지프레임 720: 회전축
730: 회전밸트 750: 탄성가압부재
752: 텐션고정부 754: 텐션연장부
756: 회전롤러 758: 탄성부
800: 푸시수단 810: 푸싱실린더
820: 푸시부 822: 연장부
824: 돌출부 830: 결합안내부
840: 이동가이드레일 842: 레일홈
850: 이동안내부 852: 오목부
854: 슬라이딩돌기

Claims (13)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 상하 이동 가능하도록 장착되는 수직이동부;
    상기 수직이동부의 상측에 장착되는 스테이지;
    상기 스테이지의 길이방향 양측에 배치되는 한 쌍의 지지부;
    외부로부터 공급되는 기판을 이동시키도록 한 쌍의 상기 지지부에 지지된 상태로 회전되는 한 쌍의 회전밸트; 및
    상기 스테이지의 하측에 장착되되 한 쌍의 상기 회전밸트 사이에서 전후 방향으로 이동되는 푸시수단을 포함하고,
    상기 회전밸트를 따라 이동되는 기판이 상기 스테이지와 마주보도록 위치되면, 상기 수직이동부가 상부로 이동되어 상기 스테이지와 기판이 밀착되고,
    상기 스테이지에 밀착된 기판의 검사가 완료되면, 상기 수직이동부가 하부로 이동되어 상기 스테이지와 상기 푸시수단을 기판의 하부로 이격되도록 이동시키고,
    상기 회전밸트가 상기 스테이지와 이격된 기판을 전방으로 이동시켜서 기판의 양 단부가 상기 푸시수단을 지나가게 되면, 상기 수직이동부가 상부로 이동되어 상기 푸시수단을 기판의 일단부와 마주보도록 위치시키고,
    기판의 일단부와 마주보도록 위치된 상기 푸시수단은 전방으로 이동되면서 기판의 일단부를 전방으로 밀도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸시수단은:
    상기 스테이지의 길이방향 하측에 장착되며 전후 방향으로 이동되는 푸싱실린더; 및
    일측은 상기 푸싱실린더와 연결되고 타측은 상기 스테이지의 하측을 따라 전방으로 연장되는 연장부와, 상기 연장부의 단부에서 절곡된 상태로 상기 스테이지의 전측 방향으로 돌출되는 돌출부를 갖는 푸시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    하측은 상기 스테이지의 하측과 이격 위치된 상기 푸싱실린더와 연결되고 상측은 상기 스테이지의 하측과 연결되도록 연장되는 결합안내부와, 상기 스테이지의 상기 연장부와 마주보는 하측에 상기 연장부의 길이방향을 따라 형성되는 이동가이드레일과, 일측은 상기 이동가이드레일을 따라 슬라이딩 이동되고 타측은 상기 연장부와 연결되는 이동안내부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 이동가이드레일의 길이방향 양측을 따라 레일홈이 형성되고,
    상기 이동안내부의 일측에 상기 이동가이드레일이 삽입되도록 오목하게 오목부가 형성되되 상기 오목부의 양측에 상기 레일홈에 삽입된 상태로 슬라이딩되도록 슬라이딩돌기가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 수직이동부는:
    상기 베이스에 지지되는 수직이동본체; 및
    상기 수직이동본체에 지지된 상태로 상기 수직이동본체로 공급되는 유압에 의하여 상하 이동되는 수직이동실린더를 포함하고,
    상기 수직이동실린더의 상부에 상기 스테이지가 연결되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 양측과 대향되도록 상기 지지부의 안쪽에 장착되는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 양 단부와 마주보도록 상기 지지부의 양측에 설치되는 회전축을 더 포함하고,
    상기 회전밸트는 상기 회전축에 걸쳐진 상태로 상기 지지프레임의 테두리를 따라 회전되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 지지부의 전측 상부에 상기 지지프레임의 전측과 나란하도록 돌출 형성되는 한 쌍의 텐션고정부와, 일측은 한 쌍의 상기 텐션고정부 중 어느 한 텐션고정부에 회전되도록 설치되고 타측은 상기 지지프레임의 전측 방향으로 연장되는 텐션연장부와, 상기 텐션연장부의 타측에 회전되도록 설치되는 회전롤러와, 한 쌍의 상기 텐션고정부에 지지된 상태로 상기 텐션연장부를 상기 지지프레임 방향으로 탄성 압력을 가하는 탄성부를 갖는 탄성가압부재를 더 포함하고,
    상기 회전밸트와 상기 탄성부 사이를 기판이 지나갈 때, 상기 탄성부가 기판의 상측을 탄성 가압하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상면에는 복수 개의 진공홀이 형성되고,
    상기 스테이지의 상면에 기판이 위치된 상태에서 상기 진공홀로 진공 압력이 가해지면, 기판이 진공 압력에 의하여 상기 스테이지에 밀착되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전밸트를 따라 이동되는 기판이 상기 스테이지와 마주보도록 위치될 때, 상기 푸시수단은 상기 스테이지보다 상부에 위치되도록 형성되어, 상기 푸시수단에 기판의 전단부가 걸리도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부의 상측 길이방향을 따라 상기 회전밸트의 상부로 이격되도록 기판안내부가 형성되고,
    기판은 상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 안내된 후 상기 회전밸트를 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 기판이 안내될 때, 기판과 마주보는 상기 기판안내부의 길이방향 단부는 상기 회전밸트와 마주보도록 경사지는 경사부가 형성되고,
    기판은 상기 경사부에 슬라이딩된 상태로 상기 회전밸트와 상기 기판안내부 사이로 안내되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부의 간격을 조절하는 간격조절부재를 더 포함하고,
    상기 간격조절부재는:
    상기 베이스와 크로스되도록 상기 베이스의 하부에 이격된 상태로 위치되는 지지안내판;
    상기 지지안내판의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 회전로드; 및
    상기 회전로드의 회전에 의하여 상기 회전로드를 따라 서로 멀어지거나 서로 가까워지도록 슬라이딩 이동되는 한 쌍의 간격조절안내부를 포함하고,
    상기 베이스는 한 쌍의 상기 간격조절안내부 사이에 위치되고, 상기 지지부의 하단은 한 쌍의 상기 간격조절안내부에 연결되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스의 길이방향을 따라 상기 수직이동부를 이동시키는 수평이동부를 더 포함하고,
    상기 수평이동부는:
    상기 베이스와 상기 수직이동부 사이에 위치되되 상기 베이스의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 수평이동축; 및
    상기 수평이동축을 따라 이동되는 이동가이더를 포함하고,
    상기 이동가이더에 상기 수직이동부가 결합되는 것을 특징으로 하는 푸싱 기능을 갖는 기판 이송 장치.
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