KR200142882Y1

KR200142882Y1 - 트레이 정렬장치

Info

Publication number: KR200142882Y1
Application number: KR2019940039645U
Authority: KR
Inventors: 이재진
Original assignee: 이해규; 삼성항공산업주식회사
Priority date: 1994-12-31
Filing date: 1994-12-31
Publication date: 1999-06-01
Also published as: KR960025452U

Abstract

본 고안은 반도체칩의 반송에 사용되는 트레이를 정렬하기 위한 트레이 정렬장치에 관한 것이다.

본 고안의 트레이 정렬장치는 트레이를 적재한 플레이트가 소정 방향으로 이동할 때, 그 이동에 연동하여 적재된 트레이를 정렬할 수 있도록 되어 있으므로, 트레이의 정렬을 위한 별도의 액튜에이터를 마련하여야 함에 따르는 비용을 절감할 수 있으며, 구조를 단순화할 수 있다.

Description

트레이 정렬장치

제1도는 종래 트레이 정렬장치의 일 예의 개략적 구성도.

제2도는 본 고안에 따른 트레이 정렬장치의 개략적 펑면도.

제3도는 제2도에 도시된 트레이 정렬장치의 Ⅲ-Ⅲ선 다면도.

제4도는 제2도에 도시된 트레이 정렬장치의 Ⅳ-Ⅳ선 다면도.

제5도는 제2도에 도시된 트레이 정렬장치에서 트레이가 정렬된 상태의 개략적 평면도.

제6도는 본 고안에 따른 트레이 정렬장치의 다른 실시예의 개략적 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 트레이 정렬장치 10 : 플레이트

20 : 제1정렬부재 30 : 제2정렬부재

40 : 제3정렬부재 50 : 제4정렬부재

60 : 제1링크 70 : 제2링크

80, 81 : 가이드벽체 90 : 트레이

본 고안은 반도체칩의 반송에 사용되는 트레이를 정렬하기 위한 트레이 정렬장치에 관한 것으로서, 특히 별도의 액튜에이터를 사용하지 않고도 트레이를 정렬할 수 있도록 구조가 개선된 트레이 정렬장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정에는, 반도체칩을 지지하며 반송하는데 사용되는 판상의 트레이를 적재하여 이송하며, 소정의 위치에서 트레이를 정렬하는 트레이 정렬장치가 사용된다.

이러한 트레이 정렬장치의 일 예가 제1도에 도시되어 있다. 도면을 참조하면, 트레이 정렬장치(1)에서 화살표(A) 방향으로 이동 가능하게 설치된 플레이트(2)와, 이 플레이트(1)의 하면에 고정된 2개의 실린더(5, 6)가 마련되어 있다. 판상의 트레이(9)는 상기 플레이트(2)의 상면에 적재되어 그 플레이트(2)를 따라 이송되게 된다.

상기 플레이트(2)의 상면에는 트레이(9)의 서로 인접하는 측면에 접촉될 수 있도록 고정된 한 쌍의 가이드부재(3, 4)가 마련되어 있으며, 상기 각 실린더(5, 6)의 로드에 연결된 압압부재(7, 8)가 플레이트(2)의 상부에 마련되어 있다. 이 압압부재들(7, 8)은, 실린더(5, 6)의 작동에 의해 플레이트(2)에 놓인 트레이(9)의 측면들을 압압하여, 트레이(9)를 상기 각 가이드부재(3, 4)에 밀착되도록 함으로써 트레이(9)를 정렬하게 된다.

그런데, 이러한 종래 트레이 정렬장치는 2개의 실린더를 구비하여야 하므로 그에 따르는 비용이 상승하게 된다. 뿐만 아니라, 플레이트의 이동 거리를 감안하여 실린더로 공기를 공급하는 튜브를 충분히 길게 하여야 하므로, 튜브의 처리를 위한 수단이 마련되어야 하는 등 장치의 구성이 복잡해진다는 문제점이 있었다.

본 고안은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 별도의 액튜에이터를 구비하지 않고도 소정의 위치에서 트레이를 정렬할 수 있도록 구조가 개선된 트레이 정렬장치를 제공함에 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 트레이 정렬장치는 일방향으로 이동 가능하게 설치되며 상면에는 트레이가 놓이는 플레이트와, 상기 플레이트에 놓이는 트레이의 인접한 제1측면 및 제2측면이 각각 접촉되도록 상기 플레이트상에 고정된 제1정렬부재 및 제2정렬부재와, 상기 트레이의 제1측면과 나란한 제3측면을 가압 가능하게 상기 플레이트상에 설치된 제3정렬부재와, 상기 트레이의 제2측면과 나란한 제4측면을 가압 가능하게 상기 플레이트상에 설치된 제4정렬부재와, 상기 플레이트의 이동에 연동하여 상기 트레이의 제3측면과 제4측면을 가압하도록 상기 제3정렬부재와 제4정렬부재를 구동시키는 연동수단을 구비하여 된 점에 특징이 있다.

이하 본 고안에 따른 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제2도는 본 고안에 따른 트레이 정렬장치의 개략적 평면도로서, 트레이가 정렬되기 전의 상태를 나타내 보인다. 제3도는 제2도에 도시된 트레이 정렬장치의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이며, 제4도는 제2도에 도시된 트레이 정렬장치의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.

도면을 참조하면, 트레이 정렬장치(100)에는 화살표(C)방향으로 이동 가능하게 설치되어 있으며 그 상면에 트레이(90)가 놓이는 플레이트(10)가 마련되어 있다. 이 플레이트(10)의 상면 일측에는 트레이(90)의 서로 인접한 제1측면(91)과 제2측면(92)을 각각 접촉 정렬하기 위한 제1정렬부재(20)와 제2정렬부재(30)가 고정되어 있다. 또한, 플레이트(10)에는 두 개의 가이드장공(13, 14)이 형성되어 있으며, 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)가 각 가이드장공(13, 14)을 관통하여 플레이트(10)의 상, 하면에 대해 돌출되어 있다. 제3정렬부재(40)는 제1가이드장공(13)을 따라 이동하면서 트레이(90)의 제1측면(91)과 나란한 제3측면(93)에 대해 진퇴 가능하게 설치되어 있으며, 제4정렬부재(50)는 제2가이드장공(14)을 따라 이동하면서 트레이(90)의 제2측면(92)과 나란한 제4측면(94)에 대해 진퇴 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 상기 플레이트(10)의 이동에 연동하여 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)를 각각 트레이(90)의 제3측면(93)과 제4측면(94)에 대해 진퇴시키기 위한 연동수단으로서, 제1링크(60)와 제2링크(70) 및 두 개의 가이드캠부(80, 81)가 마련되어 있다.

제1링크(60)는 플레이트(10)에 회동 가능하게 힌지(11)에 의해 결합되어 있으며, 그 일측단에는 상기 제3정렬부재(40)가 결합되어 있다. 이 제1링크(60)는 제3정렬부재(40)가 결합된 단부가 상기 트레이(90)의 제3측면(93)에 대해 접근하는 방향으로 인장코일스프링(65)에 의해 탄성 바이어스되어 있다.

제2링크(70)는 플레이트(10)에 회동 가능하게 힌지(11)에 의해 결합되어 있으며, 그 일측단에는 상기 제4정렬부재(50)가 결합되어 있다. 이 제2링크(70)는 상기 제4정렬부재(50)가 결합된 단부가 트레이(90)의 제4측면(94)에 대해 접근하는 방향으로 인장코일스프링(75)에 의해 탄성 바이어스되어 있다.

상기 두 개의 가이드캠부(80, 81) 중 제1가이드캠부(80)에는 상기 제1링크(60)의 타측단부를 압압하여 제1링크(60)를 상기 바이어스력에 대항하는 방향으로 회동시키는 제1압압면(84)이 마련되어 있다. 또한, 제1압압면(84)으로부터 플레이트(10)의 이동방향(C)으로 소정거리 이격된 위치에, 제1링크(60)에 가해지던 압압력이 해제되도록 제1압압면(84)에 대해 인입된 제1압압해제부(82)가 마련되어 있다.

제2가이드캠부(81)에는 상기 제2링크(70)의 타측단부를 압압하여 제2링크(70)를 상기 바이어스력에 대항하는 방향으로 회동시키는 제2압압면(85)이 마련되어 있다. 또한, 제2압압면(85)으로부터 플레이트(10)의 이동방향(C)으로 소정거리 이격된 위치에, 제2링크(70)에 가해지던 압압력이 해제될 수 있도록 제2압압면(85)에 대해 인입된 제2압압해제부(83)가 마련되어 있다.

한편 상기 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)는 각각, 트레이(90)의 제3측면(93) 및 제4측면(94)과 구름접촉하여 마찰저항이 감소되도록, 제1링크(60)와 제2링크(70)에 회전 가능하게 결합되는 것이 바람직하다.

이러한 구성의 본 고안에 따른 트레이 정렬장치에 있어서, 플레이트(10)의 상부에 놓인 트레이(90)가 소정의 위치에서 정렬되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 제2도에 가상선으로 도시된 바와 같이 플레이트(10)의 상부에 트레이(90)가 올려진 후, 플레이트(10)가 화살표방향(C)을 따라 이동하게 되면, 플레이트(10)에 결합된 제1링크(60) 및 제2링크(70)가 함께 이동하게 된다. 이동하는 도중에 제1압압면(84)과 제2압압면(85)에 의해 압압회동되어 있던 제1링크(70)의 단부가 제5도에 도시된 바와 같이, 제1압압해제부(82)와 제2압압해제부(83)에 각각 수용되게 된다. 이에 따라 제1압압면(84)과 제2압압면(85)에 의해 제1링크(60)와 제2링크(70)에 작용하던 압압력이 해제되게 된다. 이 때, 인장코일스프링들(65, 75)의 복원력에 의해 제1링크(60)와 제2링크(70)는, 그 단부들에 결합된 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)가 각각 트레이(90)의 제3측면(93)과 제4측면(94)에 접근하는 방향으로 회동되게 된다. 이 회동에 따라, 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)가 각각 트레이(90)의 제3측면(93)과 제4측면(94)에 접촉하면서 압압하여 트레이(90)의 제1측면(91)과 제2측면(92)이 제1정렬부재(20)와 제2정렬부재(30)에 밀착되도록 트레이(90)를 정렬하게 된다. 이러한 상태에서 트레이(90) 또는 트레이(90)에 놓이는 반도체칩(미도시)에 소정의 작업을 행한다.

한편, 작업이 완료된 후, 플레이트(10)를 다시 화살표(C) 방향으로 이송시키게 되면 제1압압해제부(82)와 제2압압해제부(83)에 수용되어 있던 제1링크(60)와 제2링크(70)의 단부가 다시 제1압압면(84)과 제2압압면(85)에 의해 압압되게 된다. 이에 따라 제1링크(60)와 제2링크(70)가, 인장코일스프링(65, 75)이 인장되는 방향으로 회동하면서, 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)를 트레이(90)의 제3측면(93)과 제4측면(94)으로부터 이격되는 방향으로 후퇴시키게 된다.

본 실시예에 있어서는, 제1가이드캠부(80)와 제2가이드캠부(82)를 별도로 마련하고 이들에 각각 압압면(84, 85)과 압압해제부(82, 83)를 형성하였다. 그러나, 제6도에 나타내 보인 바와 같이, 하나의 가이드캠부(81)를 마련하고 이 가이드캠부(81)에 형성된 압압면(85)과 압압해제부(83)에 의해 제1링크(60)와 제2링크(70)가 정역회동하도록 할 수도 있음은 물론이다.

또한, 본 실시예에서는 제1링크(60)와 제2링크(70)의 단부에 각각 하나의 제3정렬부재(40)와 제4정렬부재(50)가 마련된 것에 대해 설명 및 도시하였으나, 예를 들어 제6도에 나타내 보인 바와 같이, 일단이 플레이트(10)에 힌지(42) 결합된 제1보조링크(45)와 일단이 제3정렬부재(40)에 회동 가능하게 결합된 제2보조링크(49)를 이용하여 제3정렬부재(40)와 나란하게 진퇴하는 다른 제3정렬부재(41)와, 일단이 플레이트(10)에 힌지(52) 결합된 제1보조링크(55)와 일단이 제4정렬부재(50)에 회동가능하게 결합된 제2보조링크(59)를 이용하여 제4정렬부재(50)와 나란하게 진퇴하는 다른 제4정렬부재(51)를 구비할 수도 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 고안의 트레이 정렬장치는 트레이를 적재한 플레이트가 소정방향으로 이동할 때, 그 이동에 연동하여 적재된 트레이를 정렬할 수 있도록 되어 있으므로, 트레이의 정렬을 위한 별도의 액튜에이터를 마련하여야 함에 따르는 비용을 절감할 수 있으며, 구조를 단순화할 수 있다.

Claims

일방향으로 이동 가능하게 설치되며 상면에는 트레이가 놓이는 플레이트와, 상기 플레이트에 놓이는 트레이의 인접한 제1측면 및 제2측면이 각각 접촉되도록 상기 플레이트상에 고정된 제1정렬부재 및 제2정렬부재와, 상기 트레이의 제1측면과 나란한 제3측면을 가압 가능하게 상기 플레이트상에 설치된 제3정렬부재와, 상기 트레이의 제2측면과 나란한 제4측면을 가압 가능하게 상기 플레이트상에 설치된 제4정렬부재와, 상기 플레이트의 이동에 연동하여 상기 트레이의 제3측면과 제4측면을 가압하도록 상기 제3정렬부재와 제4정렬부재를 구동시키는 연동수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치.
제1항에 있어서, 상기 연도수단은: 상기 플레이트에 회동가능하게 설치되고 그 일측단부에는 상기 제3정렬부재가 결합되며 이 제3정렬부재가 상기 트레이의 제3측면에 대해 접근하는 방향으로 탄성바이어스된 제1링크와; 상기 플레이트에 회동가능하게 설치되고 그 일측단부에는 상기 제4정렬부재가 결합되며 이 제4정렬부재가 상기 트레이의 제4측면에 대해 접근하는 방향으로 탄성바이어스된 제2링크와; 상기 각 링크의 타측단부를 압압하여 각 링크를 상기 바이어스력에 대항하는 방향으로 회동시키는 압압면과, 이 압압면으로부터 플레이트의 이동방향으로 소정거리 이격된 위치에 상기 압압면에 대해 인입된 압압해제부를 갖춘 가이드캠부; 를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치.
제2항에 있어서, 상기 제3정렬부재 및 제4정렬부재는 상기 트레이의 제3측면과 제4측면에 각각 구름접촉하도록 된 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치.