KR101080216B1 - Apparatus for inspecting glass edge and method for inspecting glass edge using thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치는, 글라스 기판을 이송하는 이송부; 상기 글라스 에지에 빛을 조사하는 조명수단; 상기 글라스 에지를 촬영하여, 결함 여부를 검사하는 검사촬영수단과; 상기 글라스 에지의 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋나는지 여부를 검출하는 수평위치감지수단을 포함하는 촬영부; 상기 수평위치감지수단으로부터의 검출결과를 토대로, 상기 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋날 경우, 상기 어긋난 정도를 산출하여 상기 글라스 에지가 설정위치에 위치하도록 상기 검사촬영수단의 수평위치를 실시간 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 촬영부는 적어도 하나로 이루어지고, 상기 촬영부가 상기 글라스 기판의 적어도 하나의 모서리 부위에 배치되어, 상기 글라스 기판이 검사영역에 진입할 경우, 이를 정지시킨 상태에서 상기 글라스 에지의 각 변을 따라 직선 주행하도록 이루어진다.The present invention relates to a glass edge inspection apparatus and a glass edge inspection method using the same, the glass edge inspection apparatus according to the present invention, the transfer unit for transferring a glass substrate; Illuminating means for irradiating light to the glass edge; Inspection photographing means for photographing the glass edge and inspecting for defects; A photographing unit including horizontal position detecting means for detecting whether the horizontal position of the glass edge is shifted with respect to a preset position; On the basis of the detection result from the horizontal position detecting means, when the horizontal position is displaced with respect to a preset position, the horizontal position of the inspection photographing means is controlled in real time so that the glass edge is positioned at the set position by calculating the degree of the deviation. And a control unit, wherein the photographing unit is formed of at least one, and the photographing unit is disposed at at least one corner portion of the glass substrate so that when the glass substrate enters the inspection region, the glass edge is stopped. It is made to travel straight along the side.
본 발명에 의하면, 카메라 등의 촬영수단을 포함하는 검사장치가, 글라스 에지를 따라 주행할 수 있도록 구성되어, 검사장치의 설치장소에 대한 제한을 최소화하는 한편, 글라스 기판이 정지되어 있는 구간에서도 결함검출이 가능토록 하여, 글라스 이송장치의 기자재의 영향을 받지 않고도 조명장치 등의 설치가 가능하며, 글라스 기판의 이송 중 발생하는 기판의 사행에 대하여 수평위치감지수단을 적용하고, 곡률 변형에 대하여 수직위치감지수단을 사용함으로써 고정밀도로 글라스 에지 의 결함을 검출할 수 있다. 아울러, 본 발명에 의하면, 특수 프리즘을 사용하여, 글라스 에지의 상부면, 하부면 및 절단면에 대한 결함의 검출정밀도를 향상시킬 수 있다. According to the present invention, an inspection apparatus including a photographing means such as a camera is configured to travel along the glass edge, thereby minimizing the restriction on the installation place of the inspection apparatus and defects even in a section in which the glass substrate is stopped. It is possible to detect and install the lighting device without being affected by the equipment of the glass conveying device.The horizontal position sensing means is applied to the meandering of the substrate generated during the conveyance of the glass substrate, and it is perpendicular to the curvature deformation. By using the position sensing means, defects in the glass edge can be detected with high accuracy. Moreover, according to this invention, the detection precision of the defect with respect to the upper surface, lower surface, and cut surface of a glass edge can be improved using a special prism.
글라스, 기판, 에지, 검사장치, 사행, 곡률, CCD, 주행 Glass, substrate, edge, inspection device, meandering, curvature, CCD, driving
Description
본 발명은 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이송 중의 글라스 기판의 에지(edge) 부위에 발생하는 결함을 이송장치로 인한 검사장치의 공간적 제한에 구애됨이 없이 고정밀도로 검출하는 글라스 에지 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass edge inspection apparatus and a glass edge inspection method using the same, and more particularly, to be limited to the spatial limitation of the inspection apparatus due to the transfer device for defects occurring in the edge (edge) of the glass substrate during the transfer. The present invention relates to a glass edge inspection device for detecting with high accuracy.
TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro luminescent) 등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display)를 제조하기 위하여 사용되는 글라스 기판은 유리 용해로(Glass melting Furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과, 일정한 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후, 가공라인으로 운반하여 가공한다. 글라스 기판의 가공라인에서는 글라스 기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞게 재차 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판의 네 에지(edge) 부위를 연마하는 한편, 네 모서리에는 모따기와 방위표시(Orientation Mark)를 각각 가공하고 있다. Glass substrates used to manufacture flat panel displays such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL) are glass melting furnaces. After the molten glass melted in the molding process to form a flat plate and a cutting process to cut to meet a certain standard, and then transported to a processing line for processing. In the processing line of the glass substrate, the glass substrate is cut again according to the standard of the flat panel display, and the four edges of the glass substrate sharpened by the cutting are polished, while the chamfer and orientation mark at the four corners. Are processed respectively.
이와 같은 글라스 기판의 절단공정과 연마공정에서, 글라스 기판의 에지에는 여러가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생한다. 절단공정에서는 크기 오차, 치핑(chipping), 크랙(crack) 등이 발생하며, 연마공정에서는 모따기 생략(unchampering), 언베벨(unbevel), 오버베벨(over-bevel), 베벨칩(bevel chip) 등이 발생하고, 취급과정에서는 방위표시의 위치변경, 깨짐 등이 발생한다. 따라서, 고품질의 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 글라스 기판의 에지에 발생하는 결함에 대한 검사를 실시한 후, 글라스 기판의 양품과 불량품을 선별하여, 제조공정에서의 불량요인을 찾아내고, 그 원인을 규명하여 시정하고 있다. In such a cutting and polishing process of the glass substrate, many defects occur at the edge of the glass substrate due to various factors. In the cutting process, size errors, chipping, cracks, etc. occur, and in the polishing process, chamfering, unchampering, unbevel, over-bevel, bevel chips, etc. Occurs, and during the handling process, the position change of the bearing display, the crack, etc. occur. Therefore, in order to manufacture a high-quality flat panel display, after inspecting defects occurring at the edges of the glass substrate, the good and defective products of the glass substrate are sorted out, the defects in the manufacturing process are identified, and the causes are identified. Correcting.
도 1a 및 도 1b에 나타낸 바와 같이, 상기 글라스 에지의 검사 대상 영역은, 평면도로 나타내었을 때, 글라스 기판(1)의 상단부(1a), 하단부(1b) 및 좌우 양 측단부(1c, 1d)의 네 변이며, 이를 단면도로 나타내었을 때는 글라스의 상부면(1e), 절단면(1f), 하부면(1g)이다. As shown in FIG. 1A and FIG. 1B, the inspection object area | region of the said glass edge shows the
도 2에 나타낸 바와 같이, 글라스 기판(1)이 이송되는 과정에서 글라스 에지를 검사하는 종래의 검사장치는, 예를 들어 라인 CCD 카메라로 이루어진 한 쌍의 제1차 카메라(2a, 2b)가 각각 이송 중의 글라스 기판(1)의 상단부(1a) 및 하단부(1b) 부위에 설치되어, 글라스 기판의 상·하단부 에지(1a, 1b)에 대한 촬영을 수행한 후, 글라스 기판(1)의 진행방향이 90°전환되고, 다른 한 쌍의 제2차 검사장치(2c, 2d)가 각각 글라스 기판(1)의 양 측단부(1c, 1d) 부위에 설치되어, 상기 부위의 촬영을 수행하도록 이루어진다. 이러한 카메라(2a 내지 2d)에서 수집된 글 라스 에지의 촬영 이미지는 별도의 제어부에 전송되며, 제어부에서는 내장 프로그램을 이용하여, 이들 이미지로부터 글라스 에지의 결함 여부를 판별하게 된다. As shown in FIG. 2, in the conventional inspection apparatus for inspecting the glass edge in the process of transporting the
그러나, 상기 검사장치 및 검사방법을 이용할 경우, 글라스 기판이 이송되고 있는 구간에 한해서 검사장치를 설치해야 할 필요성이 있어, 그 설치 장소에 제한이 있으며, 설령 검사장치를 글라스 기판의 이송구간에 설치하였다고 하더라도, 이송장치의 기자재에 따른 영향으로, 조명을 비롯한 전체적인 글라스 에지 검사장치의 설치를 위한 공간은 제한적일 수 밖에 없어, 결함검출에 대한 높은 정밀도를 확보하기 어려우며, 글라스 기판의 이송과정에 있어서, 글라스 에지의 검사 자체만을 위한 구간이 매우 길어져서 비경제적인 문제점이 있다. However, when using the inspection apparatus and the inspection method, it is necessary to install the inspection apparatus only in the section where the glass substrate is being transferred, and there is a limitation in the installation place, even if the inspection apparatus is installed in the transfer section of the glass substrate. Even if it is, due to the influence of the equipment of the transfer device, the space for the installation of the entire glass edge inspection apparatus, including lighting is limited, it is difficult to secure a high precision for defect detection, in the transfer process of the glass substrate, There is an uneconomical problem because the section for the inspection of the glass edge itself is very long.
또한, 최근의 화상표시장치의 대형화에 따른 글라스 기판의 대형화에 따라, 글라스 기판이 이송되는 도중에 컨베이어 벨트 등의 이송장치 위에서 횡적으로 뒤틀려서 이송되는 글라스 기판의 사행(蛇行) 또는 도 3에 나타낸 바와 같이, 글라스 기판(1)이 검사위치의 지지대(4)에 놓여졌을 때 글라스 기판의 무게에 의하여 지지대(4)를 이루는 다수의 핀의 형상에 따라 수직방향으로 곡률 형상의 변형이 발생하게 된다.In addition, as the glass substrate is enlarged due to the recent increase in the size of the image display device, the meandering of the glass substrate being conveyed by twisting laterally on a conveying device such as a conveyor belt while the glass substrate is being conveyed or as shown in FIG. 3. Similarly, when the
이러한 사행 및 곡률 변형에 따라, 검사장치의 카메라 포커스가 왜곡되고, 이는 곧 검사정밀도의 저하를 초래한다. 종래에는 이러한 사행에 대한 해결책으로서, 넓은 시야를 갖는 카메라를 사용하고 있고, 곡률 변형에 대한 해결책으로서는, 렌즈의 피사계심도(被寫界深度, Depth of Field)를 향상시키는 방법을 사용하고 있으며, 아울러, 글라스 기판의 이송 정밀도를 높이는 방법을 강구하고 있다. 그러 나, 시야각을 넓힘으로써, 상대적으로 결함의 검출정밀도는 저하되고, 렌즈의 피사계심도나 기판의 이송 정밀도를 향상시킨다고 하더라도 고정밀도의 검출을 수행하는데에는 한계가 있다. Due to this meandering and curvature deformation, the camera focus of the inspection apparatus is distorted, which leads to a decrease in inspection accuracy. Conventionally, as a solution to meandering, a camera having a wide field of view is used, and as a solution to curvature deformation, a method of improving the depth of field of the lens is used. The method of improving the conveyance precision of a glass substrate is calculated | required. However, by widening the viewing angle, the detection accuracy of defects is relatively lowered, and there is a limit to the detection of high accuracy even if the depth of field of the lens and the transfer accuracy of the substrate are improved.
아울러, 종래의 글라스 에지 검사장치에 적용되는 촬영장치는, 각각 글라스 에지의 상부면, 절단면, 및 하부면을 촬영하는 3대의 카메라로 이루어지며, 이들 3대의 카메라로 촬영되는 정보를 기초로, 양품과 불량품을 선별하였다. 그러나, 이러한 종래의 글라스 에지 검사장치를 사용하는 경우에는, 3대의 카메라를 사용하기 때문에, 장치구조가 대형화되고 복잡화되는 문제점과 함께, 설비비용이 높은 단점이 있으며, 동일 위치에 대하여 3대의 카메라를 이용하기 때문에 상기 3대의 카메라에 대한 위치조정이 번거로운 단점이 있었다. 특히, 글라스 에지(1)의 하부면(1g)에는 글라스 기판의 운송장치나 스테이지 등이 설치되어 있어, 카메라를 설치하는 장소에 제한이 큰 문제점이 있다. In addition, the photographing apparatus applied to the conventional glass edge inspection apparatus is composed of three cameras, each photographing the upper surface, the cutting surface, and the lower surface of the glass edge, based on the information photographed by these three cameras, And defective products were selected. However, in the case of using such a conventional glass edge inspection apparatus, since three cameras are used, there is a problem in that the device structure is enlarged and complicated, and the installation cost is high. There was a disadvantage in that the position adjustment for the three cameras is cumbersome. In particular, the
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 카메라를 이용한 검사에 있어서도, 글라스 기판이 이송되는 구간에만 검사장치를 설치할 수 있는 등의 설치장소에 대한 제한이 없는 글라스 에지 검사장치 및 검사방법을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention, even in the inspection using a camera, glass edge inspection apparatus without limitation to the installation place, such as can be installed only in the section in which the glass substrate is transported And to provide a test method.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 글라스 기판의 이송 중에 사행(蛇行) 및 곡률 변형이 발생하는 경우에도 고정밀도로 글라스 에지의 결함을 검출할 수 있는 글라스 에지 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것이다. Further, another object of the present invention is to provide a glass edge inspection apparatus and inspection method which can detect defects of the glass edge with high accuracy even when meandering and curvature deformation occur during transfer of the glass substrate.
아울러, 본 발명의 또 다른 목적은, 1대 또는 2대의 카메라만을 사용하여, 글라스 에지의 상부면, 하부면 및 절단면에 발생한 결함을 고정밀도로 검사할 수 있는 글라스 에지 검사장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a glass edge inspection apparatus capable of inspecting defects occurring on the top, bottom and cut surfaces of the glass edge with high accuracy using only one or two cameras.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치는, 글라스 기판을 이송하는 이송부; 상기 글라스 에지에 빛을 조사하는 조명수단; 상기 글라스 에지를 촬영하여, 결함 여부를 검사하는 검사촬영수단과; 상기 글라스 에지의 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋나는지 여부를 검출하는 수평위치감지수단을 포함하는 촬영부; 상기 수평위치감지수단으로부터의 검출결과를 토대로, 상기 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋날 경우, 상 기 어긋난 정도를 산출하여 상기 글라스 에지가 설정위치에 위치하도록 상기 검사촬영수단의 수평위치를 실시간 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 촬영부는 적어도 하나로 이루어지고, 상기 촬영부가 상기 글라스 기판의 적어도 하나의 모서리 부위에 배치되어, 상기 글라스 기판이 검사영역에 진입할 경우, 이를 정지시킨 상태에서 상기 글라스 에지의 각 변을 따라 직선 주행하도록 이루어진다. 상기 구성을 통하여, 검사장치의 설치 장소에 구애 받지 않고, 정지된 글라스 기판의 글라스 에지의 결함 검사를 수행할 수 있으며, 아울러 글라스 기판의 이송 중에 발생할 수 있는 기판의 사행(蛇行) 부분에 있어서도, 초점이 왜곡되지 않는 정밀한 결함 검사를 수행할 수 있다. The present invention is to solve the above problems, the glass edge inspection apparatus according to the present invention, the transfer unit for transferring the glass substrate; Illuminating means for irradiating light to the glass edge; Inspection photographing means for photographing the glass edge and inspecting for defects; A photographing unit including horizontal position detecting means for detecting whether the horizontal position of the glass edge is shifted with respect to a preset position; On the basis of the detection result from the horizontal position detecting means, when the horizontal position is shifted from a preset position, the horizontal position of the inspection photographing means is calculated in real time so that the glass edge is positioned at the set position by calculating the degree of deviation. And a control unit, wherein the photographing unit is formed of at least one, and the photographing unit is disposed at at least one corner portion of the glass substrate so that when the glass substrate enters the inspection region, the photographing unit is stopped. It is made to travel straight along each side. Through the above configuration, the defect inspection of the glass edge of the stationary glass substrate can be performed irrespective of the installation place of the inspection apparatus, and also in the meandering part of the substrate which may occur during the transport of the glass substrate, Precise defect inspection without distortion of focus can be performed.
여기서, 상기 촬영부는, 상기 글라스 에지와의 수직거리를 측정하여, 상기 수직거리가 미리 설정된 거리 범위를 벗어나는지 여부를 검출하는 수직위치감지수단을 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 수직위치감지수단으로부터의 검출결과를 토대로, 상기 수직거리가 미리 설정된 거리 범위를 벗어날 경우, 상기 벗어난 정도를 산출하여, 상기 수직거리가 상기 설정범위에 들도록 상기 검사촬영수단의 수직위치를 실시간 제어하는 것이 수직적인 이송 결함인 글라스 기판의 곡률 변형이 발생하는 경우에도, 초점이 왜곡되지 않는 정밀한 결함 검사를 수행할 수 있다. Here, the photographing unit further comprises a vertical position detecting means for detecting whether the vertical distance is out of a preset distance range by measuring a vertical distance with the glass edge, wherein the control unit, the vertical position detecting means On the basis of the detection result from the above, when the vertical distance is out of a preset distance range, the deviation is calculated, and the vertical movement of the inspection photographing means in real time to control the vertical position so that the vertical distance is within the set range is vertical transfer. Even when the curvature deformation of the glass substrate which is a defect occurs, a precise defect inspection in which the focus is not distorted can be performed.
또한, 상기 촬영부는, 상기 글라스 기판이 검사영역에 진입할 경우, 이를 인식하여, 상기 검사촬영수단, 수평위치감지수단 및 수직위치감지수단 중 적어도 하나를 주행시키는 트리거 센서를 더 포함하는 것이 검사장치의 자동 주행 개시를 위하여 바람직하다.The photographing unit may further include a trigger sensor that recognizes when the glass substrate enters the inspection region and drives at least one of the inspection photographing means, the horizontal position sensing means, and the vertical position sensing means. It is preferable to start the automatic driving of.
여기서, 상기 촬영부는, 상기 검사촬영수단의 하부에, 상기 글라스 에지의 절단면과 수평방향으로 이격되어 설치되며, 상기 검사촬영수단으로써 상기 글라스 에지의 절단면 및 하부면의 영상을 포착할 수 있도록 이루어진 프리즘을 더 포함하며, 상기 프리즘은, 상기 글라스 에지의 절단면에 마주하여 형성되며, 상기 조명수단으로부터 조사된 빛이 글라스 에지를 경유하여 입사되는 입사면과; 상기 입사면의 이면(裏面)에, 상기 입사면의 하단과 접하며, 상기 입사면과 45°각도를 이루며 상기 입사면의 이면방향으로 기울어진 사면(斜面)으로 형성된 반사면; 및 상기 촬영수단을 마주하여 형성되며, 상기 입사면의 상단에서 직교하고, 상기 반사면에 서 반사된 빛이 상기 촬영수단 방향으로 출사되는 출사면을 포함하도록 구성함으로써, 특수 프리즘을 사용하여, 글라스 에지의 상부면, 하부면 및 절단면에 대한 결함의 검출정밀도를 향상시킬 수 있다. Here, the photographing unit is provided below the inspection photographing means, horizontally spaced apart from the cut surface of the glass edge, the prism made to capture the image of the cut surface and the lower surface of the glass edge by the inspection photographing means. It further comprises, The prism is formed facing the cut surface of the glass edge, and the incident surface incident light emitted from the lighting means via the glass edge; A reflecting surface formed on a rear surface of the incident surface and in contact with a lower end of the incident surface, the reflecting surface being formed at a 45 ° angle with the incident surface and inclined in a back direction of the incident surface; And an exiting surface formed opposite to the photographing means and perpendicular to the upper end of the incident surface, wherein the light reflected from the reflecting surface is emitted toward the photographing means, by using a special prism, The detection accuracy of defects on the upper surface, the lower surface and the cut surface of the edge can be improved.
또한, 상기 검사촬영수단은, 상기 글라스 에지의 절단면과 수평방향으로 이격되어 설치되어, 상기 글라스 에지의 측면을 촬영하는 제2검사촬영수단을 더 포함하고, 상기 프리즘은, 상기 글라스 에지의 하부에 상기 프리즘과 동일하며, 입광면이 상기 글라스 에지의 하부면과 마주하여 배치된 제2프리즘을 더 포함하는 것이 글라스 에지의 절단면 및 하부면에 대한 결함 검출정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.The inspection photographing means may further include second inspection photographing means spaced apart from the cut surface of the glass edge in a horizontal direction to photograph the side surface of the glass edge, and the prism is disposed below the glass edge. It is the same as the prism, and the light incident surface further includes a second prism disposed to face the lower surface of the glass edge can further improve the defect detection accuracy on the cut surface and the lower surface of the glass edge.
또한, 상기 촬영부는, 상기 글라스 기판의 각각의 모서리에 배치되며, 상기 글라스 에지의 상부면, 하부면, 및 절단면에 대한 검사를 수행할 수 있도록 복수로 이루어진 것이 글라스 에지의 상부면, 절단면, 및 하부면에 대한 고정밀의 결함 검 사를 수행하기 위하여 바람직하다.In addition, the photographing unit is disposed at each corner of the glass substrate, and the plurality of upper and lower surfaces of the glass edge, the cut surface, and the cut surface, so as to be able to perform the inspection on the cut surface, and It is desirable to perform high precision defect inspection on the bottom surface.
상기 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치를 이용한 본 발명에 의한 글라스 에지 검사방법은, 글라스 기판을 검사영역에 이송하는 이송단계; 상기 글라스 기판이 검사영역에 진입할 경우, 상기 글라스 기판을 정지시키는 정지단계; 상기 글라스 기판의 적어도 하나의 모서리 부위에 각각 위치하던 적어도 하나의 검사촬영수단이 상기 글라스 기판의 글라스 에지를 따라 직선주행하며, 상기 글라스 에지를 촬영하는 촬영단계; 수평위치감지수단이 상기 검사촬영수단과 함께 주행하면서, 상기 글라스 에지의 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋나는지 여부를 검출하는 수평위치 검출단계; 상기 검출된 수평위치가 상기 미리 설정된 위치를 어긋나는 경우, 그 어긋난 정도를 산출하여, 상기 수평거리가 상기 설정위치에 들도록 상기 검사촬영수단의 수직위치를 실시간 제어하는 제어단계를 포함한다.The glass edge inspection method according to the present invention using the glass edge inspection apparatus according to the present invention, the transfer step of transferring the glass substrate to the inspection area; A stop step of stopping the glass substrate when the glass substrate enters an inspection area; A photographing step of photographing the glass edges by at least one inspection photographing means respectively positioned at at least one corner portion of the glass substrate in a straight line along the glass edge of the glass substrate; A horizontal position detecting step of detecting whether a horizontal position of the glass edge is shifted with respect to a preset position while the horizontal position detecting means is traveling with the inspection photographing means; And if the detected horizontal position shifts the preset position, calculating a degree of the deviation and controlling the vertical position of the inspection photographing means in real time so that the horizontal distance falls within the set position.
또한, 상기 글라스 에지 검사방법은, 상기 수평위치 검출단계와 동시에, 수직위치감지수단이 상기 검사촬영수단과 함께 주행하면서, 상기 수직위치감지수단과 글라스 에지와의 수직거리를 측정하여, 상기 수직거리가 미리 설정된 거리범위를 벗어나는지 여부를 검출하는 수직위치 검출단계를 더 포함하며, 상기 제어단계는, 상기 검출된 수직위치가 상기 미리 설정된 거리범위를 벗어나는 경우, 그 벗어난 정도를 산출하여, 상기 수직거리가 상기 설정된 거리범위에 들도록 상기 검사촬영수단의 수직위치를 실시간 제어할 수 있도록 이루어진다.In addition, the glass edge inspection method, at the same time as the horizontal position detection step, while the vertical position detection means is traveling with the inspection photographing means, by measuring the vertical distance between the vertical position detection means and the glass edge, the vertical distance And a vertical position detecting step of detecting whether is out of a preset distance range, wherein the control step includes calculating a deviation degree when the detected vertical position is out of the preset distance range, It is possible to control in real time the vertical position of the inspection photographing means so that the distance falls within the set distance range.
본 발명에 의하면, 카메라 등의 촬영수단을 포함하는 검사장치가, 글라스 에지를 따라 주행할 수 있도록 구성되어, 검사장치의 설치장소에 대한 제한을 최소화하는 한편, 글라스 기판이 정지되어 있는 구간에서도 결함검출이 가능토록 하여, 글라스 이송장치의 기자재의 영향을 받지 않고도 조명장치 등의 설치가 가능하다. According to the present invention, an inspection apparatus including a photographing means such as a camera is configured to travel along the glass edge, thereby minimizing the restriction on the installation place of the inspection apparatus and defects even in a section in which the glass substrate is stopped. It is possible to detect, it is possible to install the lighting device, etc. without being affected by the equipment of the glass transfer device.
또한, 본 발명에 의하면, 글라스 기판의 이송 중 발생하는 기판의 사행에 대하여 수평위치감지수단을 적용하고, 곡률 변형에 대하여 수직위치감지수단을 사용함으로써 고정밀도로 글라스 에지의 결함을 검출할 수 있다.Further, according to the present invention, by applying the horizontal position detecting means to the meandering of the substrate generated during the conveyance of the glass substrate, and using the vertical position detecting means against the curvature deformation, the defect of the glass edge can be detected with high accuracy.
아울러, 본 발명에 의하면, 특수 프리즘을 사용하여, 글라스 에지의 상부면, 하부면 및 절단면에 대한 결함의 검출정밀도를 향상시킬 수 있다. Moreover, according to this invention, the detection precision of the defect with respect to the upper surface, lower surface, and cut surface of a glass edge can be improved using a special prism.
이하, 실시예와 도면을 참조하여, 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지의 검사방법에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, a glass edge inspection apparatus and a glass edge inspection method using the same according to the embodiment and the drawings will be described.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치를 나타낸 구성도이다. Figures 4a to 4c is a block diagram showing a glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4a에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치는, 이송부(10), 촬영부(20), 및 제어부(30)를 포함하며, 촬영부(20)는, 검사촬영수단(21), 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 4A, the glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
이송부(10)는 글라스 기판(1)을 일 방향으로 이송하는 장치이며, 일반적으로 글라스 기판(1)을 수평한 상태로 이송시키는 컨베이어 벨트 및 이를 구동하는 구동 풀리(pully) 및 종동 풀리(미도시) 등으로 구성되고, 예를 들어 이송부(10)의 글라스 컨베이어 벨트를 사용할 경우, 벨트의 폭이 글라스 기판(1)의 폭보다 조금 짧게 구성하여, 글라스 에지부를 검사할 수 있도록 이루어진다. 상기 본 발명의 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치는, 글라스 기판(1)이 정지상태에 있는 구간의 이송부(10)에 설치될 수 있다. The
촬영부(20)는, 높은 정밀도로 글라스 에지(1)를 촬영하여, 글라스 에지(1)의 결함을 검출할 수 있도록 이루어진 구성이며, 검사촬영수단(21)은 글라스 에지(1)의 상부에 설치되어, 글라스 에지(1)를 촬영하는 구성이다. 이러한 촬영부(20)는, 글라스 기판(1)의 네 모서리에 각각 하나씩 배치되어, 각 변을 따라 주행하도록 이루어질 수 있다. The photographing
검사촬영수단(21)은, 글라스 에지(1)의 상부, 하부 또는 그 일 측에 설치되어, 글라스 에지(1)를 촬영하는 구성으로서, 현미경, 라인 센서, 또는 CCD 카메라를 사용할 수 있으며, 바람직하게는 라인 센서를 장착한 라인 CCD 카메라를 사용한다. 이러한 검사촬영수단(21)은, 글라스 기판(1)의 상부, 측면부 또는 하부에 복수로 설치되어, 글라스 에지의 상부면(1e), 절단면(1f) 및 하부면(1g)을 동시에 촬영하도록 이루어 질 수 있다. 또한, 각각 상부, 측면부, 하부에 3대의 카메라를 두지 않고, 공간 활용을 극대화하기 위하여 도 4b에 나타낸 바와 같이, 상부에 카메라(21) 1대만을 설치하는 한편, 글라스 기판(1)의 측면에는 프리즘 또는 반사 미러 등의 광학수단(21c)을 설치하여, 글라스 에지의 상부면(1e), 절단면(1f) 및 하부 면(1g)을 동시에 촬영하도록 구성할 수도 있다. The inspection photographing means 21 is provided on the upper side, the lower side, or one side of the
도 4c는 본 발명에 의한 광학수단(21c)의 더욱 바람직한 실시예로서, 특수 프리즘을 적용한 검사촬영수단(21)을 나타낸 도면이다. Fig. 4C is a view showing the inspection photographing means 21 to which a special prism is applied as a more preferred embodiment of the
여기서, 프리즘(40)은 글라스 에지(1)의 절단면(1f)과 수평방향으로 소정 거리 이격되어 설치되어, 검사촬영수단(21)으로써 글라스 에지(1)의 절단면(1f) 및 하부면(1g)의 영상을 포착할 수 있도록 이루어진다. 따라서, 전반적으로 볼 때, 글라스 에지(1)의 상부에 설치된 검사촬영수단(21)으로써 직접적으로 글라스 에지(1)의 상부면(1e)을 촬영하고, 프리즘(40)에 반사된 빛을 활용하여 글라스 에지(1)의 절단면(1f) 및 하부면(1g) 각각에 대한 영상을 포착할 수 있어, 한대의 카메라를 이용하여 글라스 에지(1)의 상부면(1e), 절단면(1f), 및 하부면(1g)에 대한 결함검출을 수행할 수 있다. 따라서, 복잡하지 않고, 공간활용도도 높은 검사장치를 구현할 수 있다. Here, the
프리즘(40)은, 입사면(41), 반사면(42) 및 출사면(43)을 포함하여 이루어지며, 바람직하게는 그 단면이 사다리꼴로 이루어진다. The
여기서, 입사면(41)은 글라스 에지(1)의 절단면(1f)에 마주하여 형성되며, 조명수단(21d)으로부터 조사된 빛이 글라스 에지(1)를 경유하여 입사되는 표면이다. 입사면(41)은 상부에서 하부까지 전반적으로 평면으로 이루어진다. 입사면(41)의 이면(裏面)의 상부는 후술하는 출사면(43)과 직교하는 평면으로 이루어지며, 입사면의 이면 하부에는, 입사면(41)의 하단과 접하면서 입사면(41)과 소정 각도를 이루며 상기 입사면(41)의 이면방향으로의 기울기를 가진 사면(斜面)으로 형성된 반사면(42)이 형성되어 있다. 입사면(41)으로부터 입사된 빛이 반사면(42)에 반사되어 검사촬영수단(21)을 마주하여 검사촬영수단(21)의 광축과 직교하는 평면으로 형성된 출사면(43)으로 출사되며, 이렇게 출사된 빛은 검사촬영수단(21)에 도달하게 된다. 여기서, 반사면(42)과 입사면(41)이 이루는 각도는 45°인 것이, 글라스 에지(1)로부터의 반사광이 정밀한 광로를 구축하면서 검사촬영수단(21)까지 도달하게끔 하기 위하여 바람직하다.Here, the
여기서, 글라스 에지(1) 및 프리즘(40)을 거쳐 출사되는 빛은 글라스 에지(1)의 절단면(1f) 및 하부면(1g)에 대한 영상을 전달하는 것이며, 따라서 이 부위에 대한 보다 정밀한 결함검사를 위해서는 글라스 에지 하부에 보조 조명수단(미도시)을 더 설치하는 것이 바람직하다. Here, the light emitted through the
이때, 각각의 광경로의 관계를 설명하자면, 입사면(41)과 글라스 에지의 절단면(1f)이 이격된 직선거리를 a, 반사면(42)에서 빛이 반사되는 지점(R)과 출사면(43)이 이격된 직선거리를 b, 반사면(42)에서 빛이 반사되는 지점(R)과 입사면(41)이 이격된 직선거리를 c, 출사면(43)과 검사촬영수단(21)의 하단부가 이격된 직선거리를 d라고 하고, 검사촬영수단(21)의 하단부와 상기 글라스 에지의 상부면(1d)이 이격된 직선거리를 A, 상기 프리즘의 굴절률을 n이라고 할 때, A=a+d+(b+c)/n으로 표현되는 수학식을 만족하는 관계를 가진다. 상기 수학식으로 표현되는 광 경로의 길이에 대한 공식은, 결국, 검사촬영수단(21)에서 글라스 에지(1)의 상부면(1e)까지 빛이 공기 중에서 통과하는 광 경로(수학식의 좌변)와, 프리즘(40) 내부를 통하여 글라스 에지(1)의 절단면(1f)까지 이르는 광 경로(수학식 의 우변)의 길이가 동일하다는 것을 나타내며, 이로써 글라스 에지(1)의 상부면(1d) 및 절단면(1f)에서 동일한 광 초점을 이루게 되어, 동일한 핀트로 양자를 검사할 수 있음을 나타낸다. 예를 들어, 프리즘(40)의 굴절률(n)이 1.52이고, 입사면(41)과 글라스 에지의 절단면(1f)의 거리(a)가 17.6mm이며, 반사지점(R)과 출사면(43)의 거리(b)가 62.4mm, 반사지점(R)과 입사면(41)의 거리(c)가 5mm, 출사면(43)과 검사촬영수단(21)의 하단부까지의 거리(d)가 30mm일 경우, 검사촬영수단(21)의 하단부와 상기 글라스 에지의 상부면(1e)의 거리(A)는 91.9mm로 조정하여 장치를 구성할 수 있다. 여기서, 상부면(1e)과 절단면(1f)의 핀트가 동일하다고 하였으나, 글라스 에지(1)가 라운드 형으로 모따기 가공된 R-커트(round-cut) 글라스 에지의 경우에는 하부면(1f)도 동일한 핀트로 검사할 수 있다. 즉, 하나의 카메라로써 글라스 에지(1)의 상부면(1e), 절단면(1f) 및 하부면(1g)을 동시에, 고정밀도로 검사할 수 있는 것이다. At this time, to explain the relationship between the respective optical paths, a straight line distance between the
도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 의한 광학수단을 채용한 글라스 에지 검사장치의 단면도이다. 4D is a cross-sectional view of the glass edge inspection apparatus employing the optical means according to another embodiment of the present invention.
도 4d에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치는, 다른 구성은 도 4c의 글라스 에지 검사장치와 동일하되, 제2검사촬영수단(210)이 글라스 에지의 절단면(1f)과 수평방향으로 이격되어 설치되고, 도 4c에 나타낸 프리즘(40)과 동일한 구성을 갖는 제2프리즘(400)이 글라스 에지(1)의 하부에 설치되되, 입광면(410)이 상기 글라스 에지의 하부면(1g)과 마주하여 배치되어 이루어진다. As shown in Figure 4d, the glass edge inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, the other configuration is the same as the glass edge inspection apparatus of Figure 4c, the second inspection photographing means 210 is cut
상술한 바와 같이 R-커트 글라스 에지의 경우에는 도 4c에 의한 프리즘을 활용하여도 글라스 에지(1)의 하부면(1g)을 검사하는데 무리가 없었으나, 글라스 에지(1)의 절단면(1f)의 모따기 가공이 각진 형태로 이루어진 C-커트 글라스 에지의 경우에는, 하부면(1g) 검사에 있어서, 자칫 보이지 않는 결함이 발생할 수 있다. 따라서, 소위 C-커트 글라스 에지를 검사하는데 있어서는, 상기 도 4d에 나타낸 제2검사촬영수단(210)을, 도 4c에 나타낸 검사촬영수단(21)과 조합하여 검사를 수행함으써, 보다 완벽한 검사품질을 보장할 수 있다. 기타 나머지 프리즘의 원리를 포함한 촬영방법은 도 4c에 의한 검사촬영수단(21)의 경우와 동일하다. As described above, in the case of the R-cut glass edge, even when using the prism according to FIG. 4C, there was no problem in inspecting the
검사촬영수단(21) 및 제2검사촬영수단(210)을 구동시키는 구동부는, 바람직하게는 구동모터로 이루어지며, 검사촬영수단(21) 제2검사촬영수단(210)이 글라스 에지 면을 따라 이동하도록 하는 메인 구동수단과, 상기 글라스 에지 면과 평면도 상 직교하는 수평방향으로의 이동을 가이드하여, 렌즈의 초점을 조절할 수 있도록 이루어진 X축 스테이지(21a, 210a) 및 상기 수평방향과 상하로 직교하는 수직방향으로의 이동을 가이드하여, 렌즈의 초점을 조절할 수 있도록 이루어진 Z축 스테이지(21b, 210b)를 포함한다.The driving unit for driving the
수평위치감지수단(22)은, 글라스 기판(1)이 검사위치에 진입하였을 때 글라스 기판 에지의 수평위치가 미리 설정된 위치에 대하여 어긋나는지 여부를 검출하는 촬영장치로서, 바람직하게는 라인 CCD 카메라로 이루어지며, 예를 들어 라인 CCD 카메라로 촬영된 글라스 기판(1)의 이미지를 좌표 상에 구현하여 검출하고, 상기 검출결과를 토대로, 상기 글라스 기판의 수평위치가 미리 설정된 위치 범위에 대하여 어긋나는 경우, 즉 글라스 기판 위치의 수평(X축) 방향으로의 어긋남(기판의 사행)이 있는 경우, 제어부(30)로 하여금 촬영된 글라스 에지의 이미지와 미리 설정된 위치와의 좌표 차이를 산출하여, 검사촬영수단(21)의 X축 스테이지(21a)를 실시간으로 제어하도록 하여, 검사촬영수단(21)의 수평위치를 조절함으로써, 글라스 기판(1)의 운송 중 사행(蛇行)이 있는 경우에도, 초점이 왜곡되지 않도록 이루어진다. The horizontal position detecting means 22 is a photographing apparatus which detects whether the horizontal position of the glass substrate edge is shifted with respect to a preset position when the
수직위치감지수단(23)은, 바람직하게는 레이저 변위센서 또는 초음파 변위센서 등을 이용하여, 수직위치감지수단(23)과 글라스 에지(1)와의 수직거리를 측정하고, 상기 수직거리가 미리 설정된 거리 범위를 벗어나는지 여부를 검출하고, 상기 검출결과를 토대로, 상기 수직거리가 미리 설정된 거리 범위를 벗어날 경우, 제어부(30)로 하여금 상기 거리범위와 벗어난 정도를 산출하여, 상기 수직거리가 상기 설정범위에 들도록 검사촬영수단(21)의 Z축 스테이지(21b)를 실시간 제어하도록 하여, 검사촬영수단(21)의 수직위치를 조절함으로써, 글라스 기판(1)의 곡률 변형이 있는 경우에도, 초점이 왜곡되지 않도록 한다. The vertical position detecting means 23 preferably measures the vertical distance between the vertical position detecting means 23 and the
제어부(30)는, 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)으로부터 글라스 기판의 사행 또는 곡률 변형에 대한 정보를 수집하는 것과 아울러, 일반적인 글라스 에지 검사장치에 적용되는 제어부의 경우와 마찬가지로, 검사촬영수단(21)에서 촬영된 후, 전기적 신호로 전환되어 전송된 글라스 에지(1)의 이미지를 수집하여, 상기 이미지를 프로그램화된 로직에 의하여 판단하여 글라스 에지(1)의 결함 여부를 판단하도록 이루어진다. The
이렇게, 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)의 도입으로 인하여, 글라스 기판의 이송 도중에 사행 또은 곡률 변형이 있는 경우에도, 검사촬영수단(21)의 수평 또는 수직 위치를 조정 가능하기 때문에, 렌즈 초점의 왜곡 없이, 정밀한 검사를 수행할 수 있다.Thus, due to the introduction of the horizontal position detecting means 22 and the vertical position detecting means 23, even if there is a meandering or curvature deformation during the conveyance of the glass substrate, the horizontal or vertical position of the inspection photographing means 21 can be adjusted. Therefore, precise inspection can be performed without distortion of the lens focus.
또한, 상기 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치는, 글라스 기판(1)이 검사영역에 진입할 경우에, 이를 인식하여, 검사촬영수단(21), 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23) 중 적어도 하나를 주행시키는 트리거 센서(24)를 더 포함할 수 있다. 즉, 트리거 센서(24)로부터 신호를 전송받은 제어부(30)에서는, 검사촬영수단(21), 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)을 주행시켜, 글라스 에지(1)에 대한 검사를 개시하도록 한다. In addition, the glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, when the
이를 구체적으로 나타내면, 도 5의 정면도에 나타낸 바와 같은 검사장치로 구성된다. Specifically, it consists of an inspection apparatus as shown in the front view of FIG.
도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치는 화살표 방향으로 글라스 기판(1)이 반송되는 과정에서, 트리거 센서(24)가 글라스 기판(1)의 검사영역 진입을 인식하여 검사를 개시하도록 하고, 수평위치감지수단(22)으로서의 라인 CCD 카메라가 글라스 기판(1)의 수평위치를 인식하며, 수직위치감지수단(23)으로서의 레이저 변위센서가 글라스 표면과 자신의 수직거리를 인식하고, 이러한 글라스의 수평위치 및 수직거리를 토대로 검사촬영수단(21)으로서의 라인 CCD 카메라의 위치를 X축 스테이지(21a) 및 Z축 스테이즈(21b)를 통하여 조정하면서 조명수단(21d, 21e)의 도움을 받아 글라스 에지에 대한 결함검출을 실 시하는 과정을 거치도록 이루어진다. As shown in FIG. 5, in the glass edge inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, the
도 6은, 상기 도 4d에 나타낸 제2프리즘을 이용한 경우의 검사장치를 나타낸 정면도이다.Fig. 6 is a front view showing the inspection apparatus when the second prism shown in Fig. 4D is used.
도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 검사장치는 제2검사촬영수단(210), 제2프리즘(400), 주조명수단(221), 보조조명수단(222) 및 하프미러(223), 제2검사촬영수단(210)의 수평 및 수직이동을 각각 가이드하는 X축 스테이지(210a) 및 Z축 스테이지(210b)를 포함하여 이루어진다. 다른 구성은 상술한 바와 같고, 주조명수단(221)은 글라스 에지 부분에 직접적으로 조명을 조사하는 구성이며, 보조조명수단(222) 및 하프미러(223)의 조합은, 글라스 에지(1)에 보다 밝은 조명을 조사하여 검사품질을 향상시키기 위한 구성으로서, 공간상의 제약으로 인하여, 보조조명수단(221)은 하프미러(223)에 조명을 반사시켜, 상기 반사광에 의하여 제2검사촬영수단(210)이 글라스 에지(1)의 결함을 검사할 수 있도록 이루어진다. 또한, X축 스테이지(210a) 및 Z축 스테이지(210b)는 상술한 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)으로부터의 제어신호에 따라 제2검사촬영수단(210)의 수평 및 수직 움직임을 가이드하도록 이루어진다. As shown in FIG. 6, the inspection apparatus includes a second inspection photographing means 210, a
상기 도 5 및 도 6에 나타낸 검사장치를 조합하여 사용할 경우, 도 5의 검사장치에 의하여 글라스 에지(1)의 상부면(1e) 및 절단면(1f)의 영상을 포착하고, 도 6의 검사장치에 의하여 절단면(1f) 및 하부면(1g)의 영상을 포착하여, 글라스 에지(1)의 모든 부분에 대한 정밀한 결함검사를 수행할 수 있게 된다. 또한, 도 5의 검사장치에 장착된 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)를 통하여, 글라 스 기판(1)의 사행 및 곡률 변형이 있는 경우에도 초점이 왜곡되지 않도록 이루어진다. When using the inspection apparatus shown in FIG. 5 and FIG. 6 in combination, the inspection apparatus of FIG. 5 captures the image of the
도 7a 및 도 7b는, 도 5 및 도 6에 나타낸 검사장치를 조합하여 사용할 경우에 있어서 촬영된 글라스 에지(1)의 영상을 나타낸 사진이다. 7A and 7B are photographs showing images of the
도 7a의 우측에 나타난 것은 도 5의 검사장치에 의하여 글라스 에지(1)의 상부면(1e)이 촬영된 영상이며, 좌측에는 절단면(1f) 영상이 촬영되었다. 마찬가지로, 도 7b의 우측에는 도 6의 검사장치에 의하여 글라스 에지(1)의 하부면(1g) 영상이 촬영되었으며, 좌측에는 절단면(1f) 영상이 촬영된 것을 확인할 수 있다. 7A is an image of the
도 8은, 도 5 및 도 6에 나타낸 검사장치를 조합하여 활용한 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치의 전체적인 구성도이다. FIG. 8 is an overall configuration diagram of a glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention utilizing a combination of the inspection apparatuses shown in FIGS. 5 and 6.
도 8에 나타낸 바와 같이, 이러한 글라스 에지 검사장치는, 도 5의 구성을 갖는 검사장치를 상부 검사유닛(100)으로서 구비하고, 도 6의 구성을 갖는 검사장치를 측면 검사유닛(200)으로서 구비하여 이루어진다. 또한, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상부 검사유닛(100) 및 측면 검사유닛(200)을 조합한 세트를 복수로 구비할 수 있다. 또한, 상기 제어부(30)는 구체적으로 카메라 위치제어PC(31), 검사PC(35), 허브(32) 및 메인 PC(33)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 조명전력원(224, 21d', 21e')은 각각 조명수단(221, 222, 21d, 21e)에 연결되어, 각 조명수단에 전력을 공급하도록 이루어지며, 카메라 전력원(211)은 각 검사촬영수단(21, 210)에 전력을 공급하도록 이루어진다. As shown in FIG. 8, the glass edge inspection apparatus includes an inspection apparatus having the configuration of FIG. 5 as the
트리거 센서(24)로부터의 신호가 카메라 위치제어PC(31)를 활성화시킴과 동 시에, 플러스 박스(34)를 거쳐 인코더(36)에 도달되면, 인코더(36)로부터 지령이 내려짐으로써 검사PC(35)의 작동이 개시된다. When the signal from the
이렇게 검사PC(35) 및 카메라 위치제어PC(31)를 각각 활성화시키면, 검사촬영수단(21, 210)으로부터의 영상정보는 검사PC(35)에 수집되어 글라스 에지의 결함검출을 수행하며, 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)으로부터의 글라스 기판의 수평위치 및 수직위치 정보는 카메라 위치제어PC(31)에 수집되어 검사촬영수단(21, 210)의 위치를 실시간 조정하도록 한다. 상기 카메라 위치제어PC(31) 및 검사PC(35)에 수집된 정보는 허브(32)를 거쳐 메인 PC(33)에 도달됨으로써, 메인 PC(33)에 미리 설정된 설정치와 비교를 통하여 검사결과를 출력한다. 즉, 검사 PC(35)로 수집된 정보로부터 글라스 에지의 크기 오차, 치핑(chipping), 크랙(crack), 모따기 생략(unchampering), 언베벨(unbevel), 오버베벨(over-bevel), 베벨칩(bevel chip), 및 방위표시의 위치변경, 깨짐 등을 검출하여 상응하는 검출결과를 출력하며, 카메라 위치제어PC(31)로부터 글라스 기판의 사행(수평위치의 벗어남) 또는 곡률 변형(수직위치의 벗어남)을 검출하여, 검사촬영수단(21, 210)의 수평 및 수직위치를 재조정하도록 한다. When the
다음으로, 도 9 및 도 10a 내지 도 10d를 참조하여, 상기 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치를 이용한 글라스 에지 검사방법에 대하여 설명한다.Next, a glass edge inspection method using the glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention having the above configuration will be described with reference to FIGS. 9 and 10A to 10D.
도 9에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 의한 글라스 에지 검사방법은, 이송단 계(S10), 정지단계(S20), 촬영단계(S30), 수평위치 검출단계(S41), 수직위치 검출단계(S42), 및 제어단계(S50)를 포함하여 이루어진다.As shown in Figure 9, the glass edge inspection method according to the present invention, the transfer step (S10), the stop step (S20), the imaging step (S30), the horizontal position detection step (S41), the vertical position detection step (S42) ), And a control step (S50).
이송단계(S10)는, 이송부(10)가 글라스 기판(1)을 검사장치가 설치된 검사영역으로 이송하는 단계이며, 정지단계(S20)는, 글라스 기판(1)이 검사영역에 진입하였을 때, 글라스 기판(1)을 정지시키는 단계이다. The transfer step S10 is a step in which the
도 10a 내지 도 10d는 촬영단계(S30) 내지 제어단계(S50)에서 글라스 에지 검사장치의 주행에 관하여 나타낸 도면이다. 10A to 10D are diagrams illustrating driving of the glass edge inspection apparatus in the photographing step S30 to the control step S50.
도 10a에 나타낸 바와 같이, 촬영단계(S30)전에, 글라스 기판(1)의 네 모서리(A, B, C, D 위치)에 각각 하나씩의 촬영부(20a 내지 20d)를 위치시킨다. 이후 도 10b에 나타낸 바와 같이, 트리거 센서(24)로부터 검사 개시신호가 전송되면, 각각의 위치에 있던 촬영부(20)는 서로 자리를 바꿔 이동하며 글라스 에지(1)의 각 변을 따라 직선 주행하면서 촬영을 개시한다(촬영단계(S30)). 즉, A에 있던 촬영부(20a)가 B 위치로, B에 있던 촬영부(20b)가 C 위치로, C 위치의 촬영부(20c)가 D 위치로, D 위치의 촬영부(20d)가 A 위치로 직선주행하며 자리를 바꾸면서 이동한다. 도 10c에 나타낸 바와 같이, 촬영 및 검사가 끝나면, 글라스 기판(1)이 검사영역 외부로 이송되어 나가고, 도 10d에 나타낸 바와 같이, 글라스 기판(1)이 검사영역 외부로 이송된 후에는 각각의 촬영부(20a 내지 20d)가 본래의 위치로 돌아가, 후행하는 검사에 대하여 대기상태로 있게 된다. As shown in FIG. 10A, one
수평위치 검출단계(S41) 및 수직위치 검출단계(S42)는, 촬영단계(S30)와 동시에 수행된다. 즉, 수평위치감지수단(22) 및 수직위치감지수단(23)이 검사촬영수 단(21)과 함께 주행하면서, 글라스 에지(1)의 수평위치 및/또는 수직위치를 카메라로 촬영하거나 계측하여, 상기 수평위치 및/또는 수직위치가 미리 설정된 위치에서 벗어나거나 및/또는 거리범위를 벗어나는 경우, 이를 검출하는 단계이다. The horizontal position detecting step S41 and the vertical position detecting step S42 are performed simultaneously with the photographing step S30. That is, while the horizontal position detecting means 22 and the vertical position detecting means 23 run together with the
제어단계(S50)는, 상기 검출된 수평위치 및/또는 수직위치가, 상기 미리 설정된 거리범위를 벗어나는 경우, 그 벗어난 정도를 산출하여, 상기 수직거리가 상기 설정된 수평위치 및/또는 수직 거리범위에 들도록 상기 검사촬영수단의 수평위치 및/또는 수직위치를 실시간 제어하는 단계이다. 검사촬영수단(21)의 수평위치는 앞서 설명한 바와 같이, X축 스테이지(21a) 및 Z축 스테이지(21b)를 조절함으로써 제어된다. 아울러, 상기 제어단계(S50)에서는, 글라스 에지(1)의 결함상태를 검출하여, 이를 출력하는 역할도 수행한다. In the control step S50, when the detected horizontal position and / or vertical position is out of the preset distance range, the deviation is calculated so that the vertical distance is in the set horizontal position and / or vertical distance range. Real time control of the horizontal position and / or the vertical position of the inspection photographing means. As described above, the horizontal position of the
따라서, 상기 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치 및 검사방법에 의하면, 카메라 등의 촬영수단을 포함하는 검사장치가, 글라스 에지를 따라 주행할 수 있도록 구성되어, 검사장치의 설치장소에 대한 제한을 최소화하는 한편, 글라스 기판이 정지되어 있는 구간에서도 결함검출이 가능토록 하여, 글라스 이송장치의 기자재의 영향을 받지 않고도 조명장치 등의 설치가 가능하다. Therefore, according to the glass edge inspection apparatus and inspection method according to the present invention, the inspection apparatus including a photographing means such as a camera is configured to travel along the glass edge, minimizing the restriction on the installation place of the inspection apparatus On the other hand, the defect detection can be detected in the section where the glass substrate is stopped, so that it is possible to install the lighting device without being influenced by the equipment of the glass conveying device.
또한, 본 발명에 의하면, 글라스 기판의 이송 중 발생하는 기판의 사행에 대하여 수평위치감지수단을 적용하고, 곡률 변형에 대하여 수직위치감지수단을 사용함으로써 고정밀도로 글라스 에지의 결함을 검출할 수 있는 한편, 프리즘을 도입하여 글라스 에지의 측단면 상의 상부면, 하부면, 및 절단면에 대한 결함 검사를 동시에 수행할 수 있다. In addition, according to the present invention, by applying the horizontal position detecting means to the meandering of the substrate generated during the transfer of the glass substrate, and using the vertical position detecting means against the curvature deformation, defects in the glass edge can be detected with high accuracy. , A prism may be introduced to simultaneously perform defect inspection on the top, bottom, and cut surfaces on the side cross-section of the glass edge.
이상, 본 발명의 실시예들을 참조하여 상세하게 설명하였다. 그러나 본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 가능한 다양한 변형 가능 범위까지 본 발명의 청구범위의 권리범위 내에 있는 것으로 본다. The foregoing has been described in detail with reference to embodiments of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the above embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the appended claims. Without departing from the gist of the invention as claimed in the claims, any person skilled in the art to which the invention pertains is considered to be within the scope of the claims of the invention to the various possible modifications possible.
도 1a 및 도 1b는, 글라스 에지의 검사 대상 영역을 나타낸 평면도 및 단면도1A and 1B are a plan view and a cross-sectional view showing the inspection target region of the glass edge
도 2는, 글라스 기판이 이송되는 과정에서 글라스 에지를 검사하는 종래의 검사장치2 is a conventional inspection device for inspecting the glass edge in the process of transporting the glass substrate
도 3은, 글라스 기판의 곡률 형상의 변형을 나타낸 단면도3 is a cross-sectional view showing the deformation of the curvature shape of the glass substrate.
도 4a 내지 도 4d는, 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치를 나타낸 구성도4a to 4d is a block diagram showing a glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 의한 글라스 에지 검사장치의 정면도5 is a front view of the glass edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
도 6은, 상기 도 4d에 나타낸 제2프리즘을 이용한 경우의 검사장치Fig. 6 is a test apparatus when the second prism shown in Fig. 4D is used.
도 7은, 도 5 및 도 6에 나타낸 검사장치를 조합하여 활용한 본 발명에 의한 글라스 에지 검사장치의 전체적인 구성도FIG. 7 is a general configuration diagram of a glass edge inspection apparatus according to the present invention utilizing the inspection apparatus shown in FIGS. 5 and 6 in combination.
도 8는, 도 4a의 글라스 에지 검사장치를 이용한 글라스 에지 검사방법을 순차적으로 나타낸 순서도8 is a flowchart sequentially showing a glass edge inspection method using the glass edge inspection apparatus of FIG. 4A.
도 9a 내지 도 9d는, 촬영단계 내지 제어단계에서 글라스 에지 검사장치의 주행에 관하여 나타낸 도면9A to 9D are views showing the driving of the glass edge inspection apparatus in the photographing step to the control step.
<도면의 주요 부분 부호에 대한 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>
1: 글라스 기판 또는 글라스 에지 10: 이송부1: glass substrate or glass edge 10: transfer part
20: 촬영부 21, 210: 검사촬영수단20:
22: 수평위치감지수단 23: 수직위치감지수단22: horizontal position detecting means 23: vertical position detecting means
30: 제어부 40, 400: 프리즘30: control
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