KR100804978B1 - Apparatus for inspecting a cutting plane of a glass substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수의 유리기판을 일렬로 이송시키는 기판이송수단과, 유리기판이 정지된 상태에서 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 접선방향으로 각각 촬영하는 제 1 및 제 2 촬영수단과, 유리기판이 정지된 상태에서 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 수직방향으로 각각 촬영하는 제 3 및 제 4 촬영수단과, 제 1 내지 제 4 촬영수단을 유리기판이 이송경로에 직교하는 방향으로 왕복 이송시키는 카메라이송수단과, 유리기판의 이송 및 정지를 반복시킴으로써 제 1 내지 제 4 촬영수단이 유리기판사이마다 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 따라가면서 촬영하도록 기판이송수단 및 카메라이송수단을 제어하는 제어부와, 제 1 내지 제 4 촬영수단으로부터 촬영된 이미지를 외부로 디스플레이하는 디스플레이부를 포함한다. 따라서, 본 발명은, 유리기판의 모든 면취면에 대한 결함을 정확하게 검사할 수 있고, 간단한 조작으로 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 크기가 다른 유리기판의 검사 전환을 매우 간편하고도 신속하게 할 수 있으며, 유리기판과의 물리적 접촉을 최소화하여 검사중에 결함의 발생을 억제할 수 있는 효과를 가지고 있다.The present invention provides a substrate transfer means for transferring a plurality of glass substrates in a row, and first and second photographing means for photographing chamfers of the front and rear sides facing each other between glass substrates in a state in which the glass substrates are stopped, in a tangential direction, respectively. And the third and fourth photographing means for photographing the front and rear chamfers facing each other between the glass substrates in a vertical direction while the glass substrate is stopped, and the first to fourth photographing means, respectively. Camera transfer means for reciprocating transfer in the direction orthogonal to the substrate, and transfer and stop of the glass substrate, so that the first to fourth photographing means follow the front and rear chamfers facing each other between the glass substrates so that the substrate transfer can be carried out. And a control unit for controlling the means and the camera transfer means, and a display unit for displaying an image photographed from the first to fourth photographing means to the outside. Therefore, the present invention can accurately inspect defects on all chamfered surfaces of the glass substrate, and can inspect glass substrates of various sizes with a simple operation, so that inspection switching of glass substrates having different sizes is very simple and quick. It has the effect of minimizing the physical contact with the glass substrate to suppress the occurrence of defects during the inspection.

Description

유리기판 면취면의 결함 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING A CUTTING PLANE OF A GLASS SUBSTRATE}Defect inspection device for glass substrate chamfering surface {APPARATUS FOR INSPECTING A CUTTING PLANE OF A GLASS SUBSTRATE}
도 1은 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 도시한 개략도이고,1 is a schematic diagram showing a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfering surface according to the present invention,
도 2는 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 도시한 측면도이고,Figure 2 is a side view showing a defect inspection apparatus of the glass substrate chamfering surface according to the present invention,
도 3은 도 2의 A-A'선에 따른 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2;
도 4는 도 2의 B-B'선에 따른 단면도이고,4 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 2;
도 5는 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 도시한 블록도이고,5 is a block diagram showing a defect inspection apparatus of the glass substrate chamfering surface according to the present invention,
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 제 3 촬영수단을 도시한 개략도로서, 도 6a는 유리기판의 면취면에 결함이 없는 경우를, 도 6b는 유리기판의 면취면에 결함이 있는 경우를 도시한 것이고,6A and 6B are schematic views showing a third photographing means according to the present invention, and FIG. 6A shows a case where the chamfered surface of the glass substrate is not defective, and FIG. 6B shows a case where the chamfered surface of the glass substrate is defective. One,
도 7a 및 도 7b는 도 6a 및 도 6b에서 제 3 촬영수단에 의해 각각 촬영된 이미지이다.7A and 7B are images respectively photographed by the third photographing means in FIGS. 6A and 6B.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
110 : 기판이송수단 111 : 이송로울러110: substrate transfer means 111: transfer roller
112 : 플로팅바 113 : 이송모터112: floating bar 113: feed motor
121 : 제 1 촬영수단 122 : 제 2 촬영수단121: first photographing means 122: second photographing means
123 : 제 3 촬영수단 124 : 제 4 촬영수단123: third photographing means 124: fourth photographing means
125 : 제 5 촬영수단 126 : 제 6 촬영수단125: fifth photographing means 126: sixth photographing means
127 : 제 7 촬영수단 128 : 제 8 촬영수단127: seventh photographing means 128: eighth photographing means
130 : 카메라이송수단 131 : 카트130: camera transfer means 131: cart
132 : 리니어모터 133 : 리니어모터가이드132: linear motor 133: linear motor guide
140 : 제어부 150 : 디스플레이부140: control unit 150: display unit
160 : 촬영위치가변수단 161 : 고정브라켓160: recording position variable stage 161: fixed bracket
162 : 가이드부재 163 : 브라켓이송수단162: guide member 163: bracket transfer means
170 : 본체 180 : 결함검출부170: main body 180: defect detection unit
본 발명은 유리기판 면취면의 결함 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판의 모든 면취면에 대한 결함을 정확하게 검사할 수 있는 유리기판 면취면의 결함 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfered surface, and more particularly to a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfered surface that can accurately inspect the defects on all chamfered surface of the glass substrate.
일반적으로, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되어 가공공정으로 운반된다. In general, glass substrates used in the manufacture of flat panel displays such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL) are glass melting furnaces. It is manufactured by supplying the melted glass in the fusion molding machine, and is cut by the cutting machine to meet the primary specifications and transported to the processing process.
유리기판은 가공공정에서 일정한 크기로 커팅됨으로 인해 면취면이 발생하게 된다.As the glass substrate is cut to a certain size in the processing process, chamfering surface is generated.
유리기판의 면취면은 커팅과정에서 결함, 예컨대, 미면취, 과면취, 면취탐, 면취깨짐 등이 발생하게 된다.Chamfering surface of the glass substrate is a defect in the cutting process, for example, chamfering, over chamfering, chamfering, chamfering cracks and the like.
이와 같은 유리기판 면취면의 결함은 유리기판의 가공공정에서 유리기판의 파손 및 불량을 유발시키는 원인이 되므로, 유리기판의 면취면에 대한 결함의 검사는 중요하다. Since defects in the chamfered surface of the glass substrate may cause breakage and defect of the glass substrate in the process of processing the glass substrate, it is important to inspect the defects on the chamfered surface of the glass substrate.
그러므로, 유리기판 면취면의 결함 검사를 정확하게 실시할 수 있는 장치의 개발이 필요하게 되었다.Therefore, it is necessary to develop an apparatus capable of accurately performing defect inspection on glass substrate chamfered surfaces.
특히, 유리기판 면취면의 결함 검사장치는 유리기판의 다양한 크기를 고려하여 간단한 조작만으로 크기가 다른 유리기판의 검사 전환을 매우 간편하고도 신속하게 실시할 수 있어야 하며, 유리기판이 접촉에 의해 결함이 생길 수 있는 점을 고려하여 물리적인 접촉을 최소화함으로써 검사중에 결함의 발생을 억제하여야 할 필요성이 있다.In particular, the defect inspection device of the glass substrate chamfering surface should be able to perform inspection switching of glass substrates of different sizes very simply and quickly by simple operation in consideration of various sizes of glass substrates. In view of this possibility, there is a need to minimize the physical contact to suppress the occurrence of defects during inspection.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 유리기판의 모든 면취면에 대한 결함을 정확하게 검사할 수 있고, 간단한 조작으로 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 크기가 다른 유리기판의 검사 전환 을 매우 간편하고도 신속하게 할 수 있으며, 유리기판과의 물리적 접촉을 최소화하여 검사중에 결함의 발생을 억제할 수 있는 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention can accurately inspect the defects on all chamfering surface of the glass substrate, it is possible to inspect the glass substrate of various sizes with a simple operation The present invention provides a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfered surface that can easily and quickly switch inspection of another glass substrate and minimize the physical contact with the glass substrate to suppress the occurrence of defects during the inspection.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 유리기판의 면취면에 존재하는 결함을 검사하는 장치에 있어서, 복수의 유리기판을 일렬로 이송시키는 기판이송수단과, 유리기판이 정지된 상태에서 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 접선방향으로 각각 촬영하는 제 1 및 제 2 촬영수단과, 유리기판이 정지된 상태에서 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 수직방향으로 각각 촬영하는 제 3 및 제 4 촬영수단과, 제 1 내지 제 4 촬영수단을 유리기판이 이송경로에 직교하는 방향으로 왕복 이송시키는 카메라이송수단과, 유리기판의 이송 및 정지를 반복시킴으로써 제 1 내지 제 4 촬영수단이 유리기판사이마다 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 따라가면서 촬영하도록 기판이송수단 및 카메라이송수단을 제어하는 제어부와, 제 1 내지 제 4 촬영수단으로부터 촬영된 이미지를 외부로 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for realizing the above object is a device for inspecting a defect present on a chamfered surface of a glass substrate, comprising: a substrate transfer means for transferring a plurality of glass substrates in a row, and a glass substrate in a state in which the glass substrate is stopped; The first and second photographing means for respectively photographing the chamfered surfaces of the front and rear facing each other in the tangential direction, and the chamfered surfaces of the front and rear facing each other between the glass substrates in the state in which the glass substrate is stopped, in the vertical direction, respectively. The third and fourth photographing means for photographing, the camera conveying means for reciprocally conveying the first to fourth photographing means in a direction orthogonal to the glass substrate, and the first and second photographs by repeating the conveyance and stop of the glass substrate. A control unit for controlling the substrate transfer means and the camera transfer means so that the photographing means follows the chamfers on the front and rear sides facing each other between the glass substrates; 4 is characterized in that it comprises a display for displaying the images taken from the recording means to the outside.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 도시한 개략도이고, 도 2 및 도 5는 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 도시한 측 면도 및 블록도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치(100)는 복수의 유리기판(1)을 이송시키는 기판이송수단(110)과, 정지된 유리기판(1)간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 접선방향으로 각각 촬영하는 제 1 및 제 2 촬영수단(121,122)과, 정지된 유리기판(1)간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 수직방향으로 각각 촬영하는 제 3 및 제 4 촬영수단(123,124)과, 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)을 유리기판(1)의 이송경로에 직교하는 방향으로 이송시키는 카메라이송수단(130)과, 기판이송수단(110) 및 카메라이송수단(130)을 제어하는 제어부(140)와, 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)에 의해 촬영된 이미지를 외부로 디스플레이하는 디스플레이부(150)를 포함한다.1 is a schematic view showing a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfering surface according to the present invention, Figures 2 and 5 are side shaving and block diagram showing a defect inspection apparatus of a glass substrate chamfering surface according to the present invention. As shown, the defect inspection apparatus 100 of the glass substrate chamfered surface according to the present invention face each other between the substrate transfer means 110 for transferring a plurality of glass substrate 1 and the stationary glass substrate 1 Front and rear chamfers 1a and 1 that face each other between the first and second photographing means 121 and 122 and the stationary glass substrate 1 which respectively photograph the front and rear chamfers 1a and 1b in a tangential direction. Camera transfer means for transferring the third and fourth photographing means (123, 124) for photographing 1b) in the vertical direction, and the first to fourth photographing means (121, 122, 123, 124) in a direction orthogonal to the conveying path of the glass substrate (1). 130, a control unit 140 controlling the substrate transfer means 110 and the camera transfer means 130, and a display unit configured to externally display the image photographed by the first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124. 150).
기판이송수단(110)은 복수의 유리기판(1)을 일정 간격을 유지한 상태로 일렬로 이송시키며, 제어부(150)의 제어신호에 의해 유리기판(1)사이에 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)이 위치할 때마다 이송중이던 유리기판(1)을 정지시킨다.The substrate transfer means 110 transfers the plurality of glass substrates 1 in a row at a constant interval, and between the first and fourth photographing means between the glass substrates 1 by the control signal of the controller 150. Whenever the (121, 122, 123, 124) is positioned, the glass substrate 1 being transferred is stopped.
기판이송수단(110)은 컨베이어벨트나 로울러 등 다양한 방식의 이송수단이 사용될 수 있는데, 도 3 및 도 4에 도시된 본 실시예에서 유리기판(1)의 하측을 지지하는 복수의 이송로울러(111)와, 이송로울러(111)에 하측이 지지되는 유리기판(1)을 틸팅된 상태로 플로팅시키도록 유리기판(1)의 일면을 향해 에어를 분사하는 복수의 플로팅바(112)를 포함하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)의 양측에 각각 설치되도록 복수로 이루어지며, 이로 인해 후술하게 될 카메라이송수단(130)에 의해 유리기판(1)의 이송경로에 직교하는 방향으로 이동하는 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)의 양측에 위치하게 된다.The substrate conveying means 110 may be a conveying means of various methods such as a conveyor belt or a roller, a plurality of conveying rollers 111 supporting the lower side of the glass substrate 1 in this embodiment shown in Figure 3 and 4 ), And a plurality of floating bars 112 for injecting air toward one surface of the glass substrate 1 so as to float the glass substrate 1 supported on the lower side to the transfer roller 111 in a tilted state. As shown in FIG. 2, a plurality of first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124 may be installed on both sides of the first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124, and thus the transfer path of the glass substrate 1 by the camera transfer means 130, which will be described later. The first to fourth photographing means (121, 122, 123, 124) moving in the direction orthogonal to the two sides.
이송로울러(111)는 이송프레임(114)상에 유리기판(1)의 이송경로를 따라 복수로 회전 가능하게 배열되고, 벨트(미도시)에 의해 이송모터(113)(도5에 도시)로부터 회전력을 전달받아 외주면에 지지되는 유리기판(1)을 이송시킨다.The conveying roller 111 is arranged on the conveying frame 114 so as to be rotatable in plural along the conveying path of the glass substrate 1, and from the conveying motor 113 (shown in FIG. 5) by a belt (not shown). It receives the rotational force and transfers the glass substrate 1 supported on the outer circumferential surface.
플로팅바(112)는 일측면에 길이방향을 따라 에어를 분사하는 복수의 미도시된 분사홀이 형성되고, 이송프레임(114)상에 상하로 복수로 수평되게 배열되며, 그 배열방향은 수직방향을 기준으로 5°∼ 15°의 기울기를 가진다. 따라서, 플로팅바(112)는 이송로울러(111)에 하측 면취부(1d)가 지지되는 유리기판(1)을 분사홀(미도시)로부터 분사되는 에어의 압력으로 플로팅(floating)시켜서 틸팅된 상태로 이송로울러(111)에 의해 이송되도록 한다.Floating bar 112 is formed with a plurality of unshown injection holes for injecting air in the longitudinal direction on one side, arranged in a plurality of horizontally up and down on the transfer frame 114, the arrangement direction is a vertical direction It has a slope of 5 ° to 15 ° based on this. Accordingly, the floating bar 112 is tilted by floating the glass substrate 1 on which the lower chamfer 1d is supported by the transfer roller 111 by the pressure of air injected from the injection hole (not shown). It is to be conveyed by the feed roller 111.
제 1 및 제 2 촬영수단(121,122)은 유리기판(1)이 정지된 상태에서 유리기판(1)간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 접선방향, 즉, 이들 면취면(1a,1b)에 수평방향으로 각각 촬영하며, 제 1 및 제 2 카메라(121a,122a)와, 이들 촬영부위에 광을 조사하는 제 1 및 제 2 조명(121b,122b)으로 이루어진다.The first and second photographing means 121 and 122 tangentially chamfer the front and rear chamfers 1a and 1b facing each other between the glass substrates 1 while the glass substrate 1 is stopped. Each of the first and second cameras 121a and 122a and the first and second illuminations 121b and 122b for irradiating light to these photographing portions are photographed in the horizontal direction, respectively.
제 1 및 제 2 카메라(121a,122a)와 제 1 및 제 2 조명(121b,122b)은 유리기판(1)간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 사이에 두고, 그 양측에 각각 위치한다.The first and second cameras 121a and 122a and the first and second illuminations 121b and 122b have the front and rear chamfers 1a and 1b facing each other between the glass substrates 1, and Located on each side.
제 3 및 제 4 촬영수단(123,124)은 유리기판(1)이 정지된 상태에서 유리기판(1)간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 수직방향으로 각각 촬영하며, 제 3 및 제 4 카메라(123a,124a)와 이들 촬영부위에 광을 조사하는 제 3 및 제 4 조명(123b,124b)으로 이루어진다. The third and fourth photographing means 123 and 124 photograph front and rear chamfers 1a and 1b facing each other between the glass substrates 1 while the glass substrate 1 is stopped, respectively, in the vertical direction. And third and fourth cameras 123a and 124a and third and fourth lights 123b and 124b for irradiating light to these photographing sites.
제 3 및 제 4 카메라(123a,124a)는 유리기판(1)간의 서로 마주보는 전.후측 면취면(1a,1b)에 수직되게 위치하고, 제 3 및 제 4 조명(123b,124b)은 제 3 및 제 4 카메라(123a,124a)의 렌즈(미도시)와 일정 각도, 예컨대 25°∼ 35°범위내의 각도를 이루도록 설치된다.The third and fourth cameras 123a and 124a are positioned perpendicular to the front and rear chamfering surfaces 1a and 1b facing each other between the glass substrates 1, and the third and fourth lights 123b and 124b are arranged in the third direction. And lenses (not shown) of the fourth cameras 123a and 124a to form an angle, for example, an angle within a range of 25 ° to 35 °.
카메라이송수단(130)은 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)을 유리기판(1)의 이송경로에 직교하는 방향으로 이동시킴으로써 제 1 내지 제 4 카메라(121a,122a,123a,124a)가 정지된 유리기판(1)간의 전.후측 면취면(1a,1b)을 따라 촬영하도록 한다.As shown in FIG. 3, the camera transfer means 130 moves the first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124 in a direction orthogonal to the transfer path of the glass substrate 1. 122a, 123a and 124a are photographed along the front and rear chamfers 1a and 1b between the stationary glass substrates 1.
카메라이송수단(130)은 회전모터, 실린더 등 다양한 방식의 이송수단이 사용될 수 있으며, 본 실시예에서 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)이 고정되는 카트(131)를 리니어모터(132)에 의해 유리기판(1)간의 마주보는 전.후측 면취면(1a,1b)과 평행하도록 틸팅되게 설치되는 리니어모터가이드(133)를 따라 왕복 이동시킨다. The camera transfer means 130 may be a transfer means of various methods such as a rotating motor, a cylinder, and the like. In this embodiment, the cart 131 on which the first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124 are fixed is mounted on the linear motor 132. Thereby, the glass substrate 1 is reciprocated along the linear motor guide 133 which is installed to be tilted in parallel with the front and rear chamfered surfaces 1a and 1b.
카트(131)는 제 1 내지 제 4 카메라(121a,122a,123a,124a)가 각각 고정되며, 이들 촬영 위치에 광을 조사하도록 제 1 내지 제 4 조명(121b,122b,123b,124b)이 브라켓(131a,131b)으로 고정된다.In the cart 131, the first to fourth cameras 121a, 122a, 123a, and 124a are fixed, respectively, and the first to fourth lights 121b, 122b, 123b, and 124b are bracketed to irradiate light to these shooting positions. It is fixed to 131a and 131b.
유리기판(1)이 이송시 유리기판(1)의 양측, 즉 상.하측의 면취면(1c,1d)을 촬영하도록 제 5 내지 제 8 촬영수단(125,126,127,128)이 구비된다.The fifth to eighth photographing means 125, 126, 127, 128 are provided to photograph the chamfered surfaces 1c, 1d on both sides of the glass substrate 1, that is, the upper and lower sides, during the glass substrate 1 transfer.
제 5 및 제 6 촬영수단(125,126)은 유리기판(1)의 이송경로 양측에 각각 설치되어 이동하는 유리기판(1) 양측의 면취면(1c,1d)을 접선방향, 즉 양측 면취 면(1c,1d)의 수평방향으로 촬영하며, 제 5 및 제 6 카메라(125a,126a)와 이들 촬영위치에 광을 조사하는 제 5 및 제 6 카메라(125b,126b)로 이루어진다. 또한, 제 5 및 제 6 카메라(125a,126a)와 제 1 및 제 2 조명(125b,126b)은 유리기판(1)의 양측 면취면(1c,1d)을 사이에 두고 그 양측에 각각 위치한다.The fifth and sixth photographing means 125 and 126 are provided on both sides of the transfer path of the glass substrate 1, respectively, so that the chamfered surfaces 1c and 1d on both sides of the glass substrate 1 move in a tangential direction, that is, both chamfered surfaces 1c. 1d), and the fifth and sixth cameras 125a and 126a and the fifth and sixth cameras 125b and 126b irradiate light to these photographing positions. In addition, the fifth and sixth cameras 125a and 126a and the first and second illuminations 125b and 126b are positioned on both sides of the glass substrate 1 with the chamfered surfaces 1c and 1d on both sides thereof. .
제 7 및 제 8 촬영수단(127,128)은 유리기판(1)의 이송경로 양측에 각각 설치되어 이동하는 유리기판(1)의 양측의 면취면(1c,1d)을 수직방향으로 각각 촬영하며, 제 7 및 제 8 카메라(127a,128a)와 이들 촬영위치에 광을 조사하는 제 7 및 제 8 카메라(127b,128b)로 이루어진다.The seventh and eighth photographing means 127 and 128 respectively photograph the chamfered surfaces 1c and 1d on both sides of the glass substrate 1 which are installed and moved on both sides of the transport path of the glass substrate 1, respectively. And seventh and eighth cameras 127a and 128a and seventh and eighth cameras 127b and 128b for irradiating light to these photographing positions.
제 5 내지 제 8 카메라(125a,126a,127a,128a)로부터 촬영된 이미지는 디스플레이부(150)에 의해 외부로 디스플레이된다.Images taken from the fifth to eighth cameras 125a, 126a, 127a, and 128a are displayed to the outside by the display unit 150.
한편, 유리기판(1)의 폭에 상응하여 제 5 및 제 7 촬영수단(125,127)의 촬영위치를 변경하는 촬영위치가변수단(160)을 더 포함할 수 있다.The photographing position variable stage 160 for changing the photographing positions of the fifth and seventh photographing means 125 and 127 may be further included in accordance with the width of the glass substrate 1.
촬영위치가변수단(160)은 도 4에 도시된 바와 같이, 제 5 및 제 7 촬영수단(125,127)이 설치되는 고정브라켓(161)과, 고정브라켓(161)을 유리기판(1)의 이송경로에 수직방향으로 이동하도록 가이드하는 가이드부재(162)와, 고정브라켓(161)을 가이드부재(162)를 따라 이동시키는 브라켓이송수단(163)을 포함한다.As shown in FIG. 4, the photographing position variable stage 160 includes a fixing bracket 161 to which the fifth and seventh photographing means 125 and 127 are installed, and a fixing bracket 161 to the transfer path of the glass substrate 1. Guide member 162 for guiding to move in the vertical direction, and bracket transfer means 163 for moving the fixing bracket 161 along the guide member 162.
고정브라켓(161)은 제 5 및 제 7 카메라(125a,127a) 및 제 5 및 제 7 조명(125b,127b)이 유리기판(1)의 상측 면취면(1c)을 촬영함과 아울러 촬영위치로의 광을 조사하도록 각각 고정된다.The fixing bracket 161 captures the upper chamfered surface 1c of the glass substrate 1 by the fifth and seventh cameras 125a and 127a and the fifth and seventh lights 125b and 127b. Are fixed to irradiate light.
가이드부재(162)는 유리기판(1)과 동일한 기울기로 본체(170)의 상부에 가이 드프레임(162a)이 고정되며, 고정브라켓(161) 일측과 슬라이딩 결합되는 복수의 가이드축(162b)이 가이드프레임(162a)에 길이방향으로 설치된다.Guide member 162 is a guide frame 162a is fixed to the upper portion of the main body 170 by the same slope as the glass substrate 1, a plurality of guide shafts (162b) slidingly coupled to one side of the fixing bracket 161 is The guide frame 162a is installed in the longitudinal direction.
브라켓이송수단(163)은 실린더 등과 같은 이송수단이 사용될 수 있으며, 본 실시예에서 고정브라켓(161)에 나사결합되어 가이드프레임(162a)상에 가이드축(162b)과 나란하게 회전 가능하도록 설치되는 리드스크루(163a)와, 리드스크루(163a)를 회전시키도록 가이드프레임(162a)상에 설치되는 구동모터(163b)를 포함한다.The bracket conveying means 163 may be a conveying means such as a cylinder, and the like is screwed to the fixed bracket 161 in this embodiment is installed to be rotatably parallel to the guide shaft 162b on the guide frame (162a) A lead screw 163a and a drive motor 163b are installed on the guide frame 162a to rotate the lead screw 163a.
또한, 도 6 및 제 8 촬영수단(126,128)은 브라켓(171)에 의해 본체(170)에 고정된다.6 and the eighth photographing means 126 and 128 are fixed to the main body 170 by the bracket 171.
한편, 제 3, 제 4, 제 7 및 제 8 촬영수단(123,124,127,128)은 유리기판(1)의 면취면(1a,...,1d) 검사를 위해 둥근 면취면(1a,....,1d)에 광을 주사하여 제 3, 제 4, 제 7 및 제 8 카메라(123a,124a,127a,128a)에서 이미지를 획득하는데, 이 때, 유리기판(1)의 면취면(1a,...,1d)에 결함이 없을 경우에는 검은 이미지가 들어오고, 반면에 유리기판(1)의 면취면(1a,...,1d)에 결함, 예컨대 미면취, 과면취, 면취탐, 면취 깨짐 등이 있는 경우에는 밝은 이미지를 획득하는 반사 다크 필드(dark field) 형식의 조명방식을 취함으로써 실시간 데이터 처리를 가능하게 할 수 있다. On the other hand, the third, fourth, seventh and eighth photographing means 123, 124, 127, 128 are rounded chamfers 1a, ..., 1d for inspecting the chamfers 1a, ..., 1d of the glass substrate 1; 1d) is scanned to obtain images from the third, fourth, seventh and eighth cameras 123a, 124a, 127a, 128a, wherein the chamfering surfaces 1a, .. In the absence of a defect in .1d), a black image comes in, while defects in the chamfered surfaces 1a, ..., 1d of the glass substrate 1, such as unchamfered, overchamfered, chamfered and broken chamfered. In the case of a light source, a real-time data processing can be performed by adopting a reflection dark field type illumination method for acquiring a bright image.
도 6 및 도 7은 제 3 촬영수단(123)을 예를 들어 반사 다크 필드를 설명하기 위하여 나타낸 도면 내지 사진이다. 도 6a 및 도 6b에서 도시된 바와 같이, 제 3 조명(123b)으로부터 주사된 광은 유리기판(1,2)의 면취면(1a,2a)을 통해 반사되어 빔스프리터(123c)에 의해 제 3 카메라(123a)로 입사된다. 이 때, 도 6a에서와 같이 유리기판(1)의 면취면(1a)이 정상적으로 면취됨으로써 결함이 없을 경우에는 도 7a에서처럼 검은 이미지로 나타나며, 도 6b에서와 같이 유리기판(2)의 면취면(2a)이 제대로 면치되지 않음으로써 결함을 가지는 경우에는 도 7b에서처럼 밝은 이미지로 나타난다.6 and 7 are drawings and photographs showing the third photographing means 123 for explaining the reflective dark field, for example. As shown in FIGS. 6A and 6B, the light scanned from the third illumination 123b is reflected through the chamfered surfaces 1a and 2a of the glass substrates 1 and 2, and is then reflected by the beam splitter 123c. Incident to the camera 123a. In this case, as shown in FIG. 6A, when the chamfered surface 1a of the glass substrate 1 is normally chamfered and there is no defect, the chamfered surface of the glass substrate 2 appears as a black image as shown in FIG. 7A. If 2a) has a defect by not being properly removed, it appears as a bright image as shown in FIG. 7B.
제어부(150)는 유리기판(1)의 이송 및 정지를 반복시킴으로써 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)이 이송중에 정지된 유리기판(1)사이마다 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 따라가면서 촬영하도록 기판이송수단(110)의 이송모터(113)를 제어함과 아울러 카메라이송수단(130)의 리니어모터(132)를 각각 제어한다.The controller 150 repeats the transfer and stop of the glass substrate 1 so that the first to fourth photographing means 121, 122, 123, and 124 face each other between the glass substrates 1 that are stopped during transfer. , While controlling the transfer motor 113 of the substrate transfer means 110 to follow the photographing along with (1b), and controls the linear motor 132 of the camera transfer means 130, respectively.
한편, 제 1 내지 제 8 조명(121b,122b,.....,128b)은 LED를 사용하고, 제 1 내지 제 8 카메라(121a,122a,....,128a)에 의해 각각 촬영된 이미지는 디스플레이부(150)로 출력되며, 디스플레이부(150)는 이러한 이미지들을 화면을 통해 외부로 디스플레이하여 결함여부를 판단하도록 한다.Meanwhile, the first to eighth lights 121b, 122b,..., 128b use LEDs and are respectively photographed by the first to eighth cameras 121a, 122a,..., 128a. The image is output to the display unit 150, and the display unit 150 displays these images to the outside through the screen to determine whether there is a defect.
또한, 제 1 내지 제 8 카메라(121a,122a,....,128a)에 의해 촬영된 이미지로부터 결함에 대한 데이터를 획득하기 위하여 결함검출부(180)를 포함할 수 있다.In addition, the defect detection unit 180 may be included in order to obtain data about a defect from an image photographed by the first to eighth cameras 121a, 122a,..., 128a.
결함검출부(180)는 이들 이미지를 영상 처리함으로써 유리기판(1)에 존재하는 결함의 개수나 크기 등으로 데이터화하여 디스플레이부(150)를 통해 외부로 디스플레이되도록 한다.The defect detection unit 180 processes the images to image the number or size of defects present in the glass substrate 1 so that the defect detection unit 180 displays the data to the outside through the display unit 150.
이와 같은 구조로 이루어진 유리기판 면취면의 결함 검사장치의 동작은 다음 과 같이 이루어진다.The operation of the defect inspection apparatus of the glass substrate chamfered surface formed as described above is performed as follows.
유리기판(1)은 플로팅바(112)로부터 분사되는 에어에 의해 틸팅된 상태로 플로팅되어 이송모터(113)의 구동에 의해 회전하는 이송로울러(111)에 하측이 지지되어 이송된다. The glass substrate 1 is floated in the tilted state by the air injected from the floating bar 112, and the lower side is supported by the feed roller 111 which is rotated by the drive of the transfer motor 113 to be transported.
유리기판(1)이 기판이송수단(110)에 의해 일정 간격을 유지한 채 일렬로 이송되어 제 5 내지 제 8 촬영수단(125,126,127,128)을 통과시 제 5 및 제 6 카메라(125a,126a)는 반대편에 위치하는 제 5 및 제 6 조명(125b,126b)으로부터 조사되는 광에 의해 유리기판(1)의 상측 및 하측 면취면(1c,1d)을 접선방향에서 각각 촬영하며, 제 7 및 제 8 카메라(127a,128a)는 일정 각도를 이루는 제 7 및 제 8 조명(127b,128b)으로부터 조사되는 광에 의해 유리기판(1)의 상측 및 하측 면취면(1c,1d)을 수직방향에서 각각 촬영한다.The glass substrate 1 is transported in a row with the substrate transfer means 110 at a constant interval so that the fifth and sixth cameras 125a and 126a are opposite to each other when the glass substrates 1, 5, 8, 125, 126, 127, 128 are passed through. The upper and lower chamfered surfaces 1c and 1d of the glass substrate 1 are photographed in the tangential direction by the light irradiated from the fifth and sixth lights 125b and 126b positioned at the seventh and eighth cameras. Reference numerals 127a and 128a photograph the upper and lower chamfers 1c and 1d of the glass substrate 1 in the vertical direction by the light irradiated from the seventh and eighth lights 127b and 128b at an angle, respectively. .
유리기판(1)이 제 5 내지 제 8 촬영수단(125,126,127,128)을 통과하여 유리기판(1)사이에 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)이 위치하면 제어부(140)는 기판이송수단(110)의 이송모터(113)의 구동을 정지시킨 다음 카메라이송수단(130)의 리니어모터(132)가 구동시켜서 제 1 내지 제 4 촬영수단(121,122,123,124)이 카트(131)와 함께 리니어모터 가이드(133)를 따라 이동함으로써 이웃하는 유리기판(1) 각각에서 서로 마주보는 전.후측의 면취면(1a,1b)을 따라 이동하도록 한다.When the glass substrate 1 passes through the fifth to eighth photographing means 125, 126, 127, 128, and the first to fourth photographing means 121, 122, 123, 124 are positioned between the glass substrates 1, the controller 140 moves the substrate transfer means 110. After stopping the drive of the transfer motor 113, the linear motor 132 of the camera transfer means 130 is driven so that the first to fourth photographing means (121, 122, 123, 124) with the cart 131 linear motor guide 133 By moving along, each of the adjacent glass substrates 1 moves along the chamfered surfaces 1a and 1b of the front and rear facing each other.
이 때, 제 1 및 제 2 카메라(121a,122a)는 반대편에 위치하는 제 1 및 제 2 조명(121b,122b)으로부터 조사되는 광에 의해 유리기판(1)간의 서로 마주보는 유리 기판(1)의 전.후측 면취면(1a,1b) 전체를 접선방향에서 각각 촬영하며, 제 3 및 제 4 카메라(123a,124b)는 일정 각도를 이루는 제 3 및 제 4 조명(123b,124b)으로부터 조사되는 광에 의해 이웃하는 유리기판(1)간의 전.후측 면취면(1a,1b) 전체를 수직방향에서 각각 촬영한다. At this time, the first and second cameras 121a and 122a face each other between the glass substrates 1 by the light irradiated from the first and second lights 121b and 122b positioned on opposite sides. The entire front and rear chamfers 1a and 1b of the camera are photographed in a tangential direction, respectively, and the third and fourth cameras 123a and 124b are irradiated from the third and fourth lights 123b and 124b at an angle. The entire front and rear chamfering surfaces 1a and 1b between the adjacent glass substrates 1 are photographed in the vertical direction by light.
이상과 같은 동작을 반복함으로써 기판이송수단(110)에 의해 이송되는 모든 유리기판(1)의 전.후측 및 상.하측 면취면(1a,...,1d) 전체에 걸쳐 촬영하게 되며, 제 1 내지 제 8 카메라(121,122,....,128)에 의해 각각 촬영된 이미지는 결함과 함께 디스플레이부(150)에 의해 화면으로 출력되며, 디스플레이부(150)를 통해 출력되는 이미지를 통해 유리기판(1)의 커팅과정에서 발생되는 결함, 예를 들면 미면취, 과면취, 면취탐, 깨짐 등의 여부를 유리기판(1)의 모든 면취면(1a,1b,1c,1d)에 대해서 용이하게 확인할 수 있다.By repeating the above operation, all the glass substrates 1 transferred by the substrate transfer means 110 are photographed over the front, rear, and upper and lower chamfered surfaces 1a, ..., 1d. The images photographed by the first to eighth cameras 121, 122,..., 128 are output to the screen by the display unit 150 together with the defects, and the images are displayed through the image output through the display unit 150. Defects generated during the cutting process of the substrate 1, for example, chamfered, over chamfered, chamfered, cracked, etc., easy for all chamfered surfaces (1a, 1b, 1c, 1d) of the glass substrate 1 You can check it.
또한, 제 1 내지 제 8 카메라(121,122,....,128)에 의해 각각 촬영된 이미지는 결함검출부(150)로 보내져서 영상 처리기법에 의해 유리기판(1)의 면취면(1a,....,1d)에 대한 결함이 존재시 이를 결함의 개수, 크기 등의 데이터로 산출하게 되며, 필요에 따라 이들 데이터가 미리 설정된 값 이상일 때 유리기판(1)이 불량임을 판별하여 이러한 데이터를 디스플레이부(150)를 통해 외부로 디스플레이하도록 한다.In addition, the images photographed by the first to eighth cameras 121, 122,..., 128 are respectively sent to the defect detection unit 150, and the chamfered surfaces 1a,. Of the glass substrate 1 by an image processing technique. If there are defects for ..., 1d), it is calculated as data such as the number and size of defects, and if necessary, the glass substrate 1 is determined to be defective when these data are equal to or greater than a preset value. Display to the outside through the display unit 150.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 제 1 내지 제 8 촬영수단(121,122,....,128)에 의해 유리기판(1)의 모든 면취면(1a,...,1d)을 접선방향으로 수평되게 촬영할 뿐만 아니라 수직되게 촬영함으로써 면취면(1a,...,1d)의 결함 을 정확하게 검사할 수 있다.According to the preferred embodiment of the present invention as described above, all the chamfered surfaces (1a, ..., 1d) of the glass substrate 1 by the first to eighth photographing means (121, 122, ..., 128) In addition to photographing horizontally in the tangential direction and photographing vertically, defects on the chamfered surfaces 1a, ..., 1d can be accurately inspected.
또한, 촬영위치가변수단(160)에 의해 제 5 및 제 7 촬영수단(125,127)의 설치 높이를 간단하게 조절할 수 있음으로써 다양한 크기의 유리기판(1)의 검사를 용이하게 하도록 한다. In addition, it is possible to easily adjust the installation height of the fifth and seventh photographing means (125, 127) by the photographing position variable stage 160 to facilitate the inspection of the glass substrate 1 of various sizes.
그리고, 유리기판(1)을 플로팅바(112)에 의해 플로팅시켜서 이송시킴으로써 검사중에 유리기판(1)과의 물리적 접촉을 최소화하여 면취 검사로 인한 결함의 발생을 억제한다.Then, the glass substrate 1 is floated by the floating bar 112 to be transported to minimize physical contact with the glass substrate 1 during the inspection, thereby suppressing the occurrence of defects due to the chamfering inspection.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치는 유리기판의 모든 면취면에 대한 결함을 정확하게 검사할 수 있고, 간단한 조작으로 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 크기가 다른 유리기판의 검사 전환을 매우 간편하고도 신속하게 할 수 있으며, 유리기판과의 물리적 접촉을 최소화하여 검사중에 결함의 발생을 억제할 수 있는 효과를 가지고 있다. As described above, the defect inspection apparatus of the glass substrate chamfered surface according to the present invention can accurately inspect the defects on all chamfered surface of the glass substrate, and can inspect glass substrates of various sizes with a simple operation, the size is different The inspection of the glass substrate can be switched very easily and quickly, and the physical contact with the glass substrate can be minimized to suppress the occurrence of defects during the inspection.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유리기판 면취면의 결함 검사장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for performing a defect inspection apparatus for the glass substrate chamfering surface according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the present invention, anyone of ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (6)

  1. 유리기판의 면취면에 존재하는 결함을 검사하는 장치에 있어서,In the device for inspecting defects present in the chamfered surface of the glass substrate,
    복수의 유리기판을 일렬로 이송시키는 기판이송수단과,A substrate transfer means for transferring a plurality of glass substrates in a row;
    상기 유리기판이 정지된 상태에서 상기 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 접선방향으로 각각 촬영하는 제 1 및 제 2 촬영수단과,First and second photographing means for photographing chamfers of the front and rear sides facing each other between the glass substrates in a tangential direction while the glass substrate is stopped;
    상기 유리기판이 정지된 상태에서 상기 유리기판간에 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 수직방향으로 각각 촬영하는 제 3 및 제 4 촬영수단과,Third and fourth photographing means for photographing the chamfers of the front and rear facing each other between the glass substrates in the vertical direction while the glass substrate is stopped;
    상기 제 1 내지 제 4 촬영수단을 상기 유리기판이 이송경로에 직교하는 방향으로 왕복 이송시키는 카메라이송수단과,Camera transfer means for reciprocating the first to fourth photographing means in a direction orthogonal to the glass substrate;
    상기 유리기판의 이송 및 정지를 반복시킴으로써 상기 제 1 내지 제 4 촬영수단이 상기 유리기판사이마다 서로 마주보는 전.후측의 면취면을 따라가면서 촬영하도록 상기 기판이송수단 및 상기 카메라이송수단을 제어하는 제어부와,By repeating the transfer and stop of the glass substrate to control the substrate transfer means and the camera transfer means so that the first to fourth photographing means to shoot along the chamfered front and rear facing each other between the glass substrates; With the control unit,
    상기 제 1 내지 제 4 촬영수단으로부터 촬영된 이미지를 외부로 디스플레이하는 디스플레이부A display unit for displaying an image taken from the first to fourth photographing means to the outside
    를 포함하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface comprising a.
  2. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 기판이송수단은,The substrate transfer means,
    상기 유리기판의 하측을 지지함과 아울러 이송모터로부터 회전력을 전달받아 상기 유리기판을 이송시키는 복수의 이송로울러와 상기 이송로울러에 지지된 상기 유리기판을 틸팅된 상태로 플로팅시키도록 상기 유리기판의 일면을 향해 에어를 분사하는 복수의 플로팅바를 포함하고,One surface of the glass substrate to support the lower side of the glass substrate and to float the glass substrates supported by the transfer roller and a plurality of transfer rollers for transferring the glass substrate by receiving rotational force from a transfer motor. A plurality of floating bars for injecting air toward the
    상기 제 1 내지 제 4 촬영수단의 양측에 각각 설치되는 것Being installed on both sides of the first to fourth photographing means, respectively.
    을 특징으로 하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface.
  3. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 카메라이송수단은,The camera transfer means,
    상기 제 1 내지 제 4 촬영수단이 고정되는 카트를 리니어모터에 의해 상기 유리기판간의 마주보는 전.후측 면취면과 평행하도록 설치되는 리니어모터가이드를 따라 왕복 이동시키는 것Reciprocating movement of the cart to which the first to fourth photographing means is fixed along a linear motor guide installed in parallel with the front and rear chamfered surfaces facing each other between the glass substrates by a linear motor.
    을 특징으로 하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface.
  4. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 유리기판의 이송경로 양측에 각각 설치되어 이동하는 상기 유리기판 양측의 면취면을 접선방향으로 각각 촬영하는 제 5 및 제 6 촬영수단과,Fifth and sixth photographing means for photographing chamfered surfaces of both sides of the glass substrate, which are respectively installed and moved on both sides of the transport path of the glass substrate, in a tangential direction;
    상기 유리기판의 이송경로 양측에 각각 설치되어 이동하는 상기 유리기판의 양측의 면취면을 수직방향으로 각각 촬영하는 제 7 및 제 8 촬영수단을 포함하고,And seventh and eighth photographing means for photographing the chamfered surfaces of both sides of the glass substrate, which are respectively installed and moved on both sides of the transfer path of the glass substrate, in the vertical direction.
    상기 제 5 내지 제 8 촬영수단로부터 촬영된 이미지를 상기 디스플레이부에 의해 외부로 디스플레이되도록 하는 것To display the image photographed by the fifth to eighth photographing means to the outside by the display unit
    을 특징으로 하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface.
  5. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 유리기판의 폭에 상응하여 상기 제 5 및 제 7 촬영수단의 촬영위치를 변경하는 촬영위치가변수단을 더 포함하고,And a photographing position variable step for changing a photographing position of the fifth and seventh photographing means corresponding to the width of the glass substrate,
    상기 촬영위치가변수단은,The photographing position variable stage,
    상기 제 5 및 제 7 촬영수단이 설치되는 고정브라켓과,A fixing bracket to which the fifth and seventh photographing means are installed;
    상기 고정브라켓을 상기 유리기판의 이송경로에 수직방향으로 이동하도록 가이드하는 가이드부재와,A guide member for guiding the fixing bracket to move in a direction perpendicular to the transfer path of the glass substrate;
    상기 고정브라켓을 상기 가이드부재를 따라 이동시키는 브라켓이송수단Bracket transfer means for moving the fixed bracket along the guide member
    을 포함하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface comprising a.
  6. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 제 1 내지 제 8 촬영수단에 의해 촬영된 이미지를 영상 처리함으로써 상기 유리기판에 존재하는 결함을 데이터화하여 상기 디스플레이부를 통해 외부로 디스플레이하도록 하는 결함검출부Defect detection unit for processing the image taken by the first to eighth photographing means to image the defects present in the glass substrate to be displayed to the outside through the display unit
    를 더 포함하는 유리기판 면취면의 결함 검사장치.Defect inspection device of the glass substrate chamfering surface further comprising.
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