KR100758198B1 - Auto-focusing apparatus - Google Patents

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Abstract

An auto-focusing apparatus is provided to perform a focus control in real time by using a laser beam and a video signal when a laser beam signal is not inputted normally. The auto-focusing apparatus includes a laser emitting unit(10), a lens assembly(20) arranged between the laser emitting unit and a transfer path(2) of a workpiece(W), a laser detection sensor(30) arranged at a first position on a propagation path with respect to a reflected laser light passing through the lens assembly, a video camera(40) arranged at a second position on the propagation path with respect to the reflected laser light, an optical member(50) for simultaneously or selectively directing the reflected laser light to the laser detection sensor and the video camera, supporting frames(4,6) for supporting the lens assembly and the workpiece, respectively, a driving mechanism for minutely position-adjusting the supporting frames in order to control a focus between the lens assembly and the workpiece, and a controller(100).

Description

오토포커싱 장치 {Auto-focusing apparatus}Auto-focusing apparatus

도 1은 본 발명의 장치의 개념도1 is a conceptual diagram of an apparatus of the present invention

도 2는 본 발명의 일 실시예의 구성도2 is a block diagram of an embodiment of the present invention

도 3은 본 발명의 장치를 레이저 리페어장치에 적용한 경우의 사용상태도3 is a state diagram when the apparatus of the present invention is applied to a laser repair apparatus;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

2. 이송경로 4. 지지프레임 2. Feed path 4. Support frame

6. 지지프레임 10. 레이저발사부 6. Support frame 10. Laser launcher

20. 렌즈조립체 22. 볼록렌즈20. Lens Assembly 22. Convex Lens

30. 레이저검출센서 40. 비디오카메라30. Laser detection sensor 40. Video camera

50. 광학부재 100. 컨트롤러50. Optical member 100. Controller

본 발명은 오토포커싱 장치에 대한 것으로서, 좀 더 상세히는 LCD, PDP, 글래스, 필름 또는 웨이퍼 등의 검사, 높이측정, 레벨링, 노광 또는 레이저 리페어 등의 제조공정에 사용되며 피처리물을 고속으로 신뢰성있게 포커싱할 수 있도록 된 새로운 구조의 오토포커싱 장치에 대한 것이다.The present invention relates to an autofocusing apparatus, and more particularly, to be used in manufacturing processes such as inspection, height measurement, leveling, exposure, or laser repair of LCD, PDP, glass, film, or wafer, and the like. It is about a new structure of autofocusing device that can be focused in a good way.

종래에 LCD나 PDP, 글래스, 필름, 웨이퍼 또는 기판 등(이하 피처리물이라 칭함)의 생산라인 중에서 피처리물의 검사, 높이측정, 레벨링, 노광 또는 잘못된 회로패턴의 레이저빔에 의한 리페어 등의 다양한 목적을 위해 오토포커싱 장치가 사용된다. 이러한 오토포커싱 장치는 LCD와 같은 판형상의 피처리물이 고속으로 이송되는 라인상에 설치되어, 피처리물에 빛을 조사하여 반사된 빛을 검출함으로써, 피처리물의 표면의 이물질의 부착여부나 스크래치의 검사, 높이나 평탄도측정, 노광 또는 회로패턴에 대한 레이저 리페어 등을 행하게 된다. 이를 위해 종래의 오토포커싱 장치는 반사되어 검출된 이미지의 초점이 맞지 않으면 Z축 업다운 모터를 구동하여 카메라모듈이나 피처리물의 높이를 조절하여 오토포커싱을 행하게 된다.In the production line of LCD, PDP, glass, film, wafer, or substrate (hereinafter referred to as to-be-processed object), various inspections such as inspection, height measurement, leveling, exposure, or repair by laser beam of wrong circuit pattern in the production line An autofocusing device is used for this purpose. The auto focusing device is installed on a line where a plate-shaped object such as an LCD is transported at a high speed, and detects the reflected light by irradiating light onto the object, thereby causing the adhesion of foreign substances on the surface of the object to be treated or scratching. Inspection, height or flatness measurement, laser repair of exposure or circuit pattern, or the like. To this end, the conventional autofocusing apparatus performs autofocusing by adjusting the height of a camera module or an object by driving a Z-axis up-down motor when the reflected and detected image is not in focus.

그런데, 종래의 이러한 오토포커싱 장치는 주로 레이저빔을 피처리물에 조사하여 그 반사된 빛을 검출하는 방식으로 이루어졌는데, 이러한 레이저빔을 이용한 오토포커싱 장치는 속도가 빨라서 고속으로 이송되는 피처리물을 처리할 수 있다는 장점이 있지만, 피처리물의 엣지부나 요철부, 개구부 또는 회로패턴의 경계부 등에서는 레이저 이미지를 얻을 수 없거나, 레이저이미지가 급격히 요동되므로, 정확한 이미지에 기초한 오토포커싱을 달성할 수 없다는 문제점이 있었다. 한편, 종래에 일반 카메라에 의해 입수된 패턴인식을 통해 오토포커싱을 행하는 방법도 사용되고 있으나, 이는 속도가 느려서 고속으로 이송되는 피이송물에 대한 오토포커싱에는 적용하기 어렵다는 문제점이 있었다.By the way, the conventional autofocusing apparatus is mainly made by a method of irradiating a laser beam to the target object to detect the reflected light, the autofocusing apparatus using such a laser beam is a fast speed to be processed at high speed Although the laser image cannot be obtained at the edge portion, the uneven portion, the opening portion or the boundary of the circuit pattern, or the laser image fluctuates rapidly, the autofocusing based on the accurate image cannot be achieved. There was a problem. On the other hand, the conventional method of performing autofocusing through pattern recognition obtained by a general camera is also used, which has a problem that it is difficult to apply to autofocusing on the object to be transported at high speed due to the slow speed.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 오토포커싱 장치의 문제점에 착안하여 제안된 것으로서, 본 발명은 레이저빔에 의한 고속의 오토포커싱을 행할 수 있으면서도 레이저빔에 의한 초점조절이 불가능한 경우에도 신속하고 정삭적으로 오토포커싱을 행할 수 있는 새로운 구조의 오토포커싱 장치를 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been proposed in view of the problems of the conventional autofocusing apparatus as described above, and the present invention is quick and accurate even when it is impossible to adjust the focus by the laser beam while performing high-speed autofocusing by the laser beam. It is an object of the present invention to provide an autofocusing apparatus having a new structure capable of autofocusing.

본 발명의 한 특징에 따르면, 피처리물(W)이 순차적으로 이송되는 이송경로(2)상에 배치되며 피처리물(W)의 상면에 빛을 조사하여 반사된 빛을 검출하여 자동으로 초점조절을 행하는 오토포커싱 장치에 있어서, 상기 장치는 피처리물(W) 상면에 레이저빔을 발사하는 레이저발사부(10)와, 상기 레이저발사부(10)와 피처리물 이송경로(2) 사이에 배치되어 레이저발사부(10)로부터의 입사광이 일차로 통과되고 피처리물(W)에서 반사된 반사광이 재차 통과하도록 위치되는 적어도 하나의 볼록렌 즈(22)를 포함하는 렌즈조립체(20)와, 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 진행경로상의 제1 위치에 배치되는 레이저검출센서(30)와, 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 레이저반사광의 진행경로상의 제2 위치에 배치되는 비디오카메라(40)와, 상기 반사광을 상기 레이저검출센서(30)와 비디오카메라(40)를 향해 동시에 또는 선택적으로 보내는 광학부재(50)와, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)을 각각 지지하는 지지프레임(4,6)과, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)간의 초점조절을 위해 상기 지지프레임(4) 또는 지지프레임(6)을 미세하게 위치조절하는 구동기구, 및 이들을 제어하는 컨트롤러(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치가 제공된다.According to one feature of the invention, the workpiece (W) is disposed on the conveying path (2) to be sequentially transported and irradiated with light on the upper surface of the workpiece (W) to detect the reflected light and automatically focus In the autofocusing apparatus for adjusting, the apparatus includes a laser emitting unit (10) for emitting a laser beam on the upper surface of the object (W), and between the laser emitting unit (10) and the object transfer path (2). The lens assembly 20 is disposed in the lens assembly including at least one convex lens 22 is positioned so that the incident light from the laser emitter 10 passes first and the reflected light reflected from the object (W) passes again. And a laser detection sensor 30 disposed at a first position on a traveling path of the reflected light passing through the lens assembly 20 and a second position on a traveling path of the laser reflected light passing through the lens assembly 20. The video camera 40 and the reflected light to the laser detection sensor (3) An optical member 50 which is simultaneously or selectively directed toward 0) and the video camera 40, support frames 4 and 6 for supporting the lens assembly 20 and the workpiece W, respectively, and the lens And a drive mechanism for finely positioning the support frame 4 or the support frame 6 for adjusting the focus between the assembly 20 and the workpiece W, and a controller 100 for controlling them. An autofocusing apparatus is provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 렌즈조립체(20)는 서로 다른 배율을 가진 복수의 볼록렌즈(22,23,24)가 터릿(21) 상에 장착된 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치가 제공된다.According to another feature of the invention, the lens assembly 20 is provided with an autofocusing device, characterized in that a plurality of convex lenses 22, 23, 24 having different magnifications are mounted on the turret 21.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 광학부재(50)는 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 일부는 상기 레이저검출센서(30)로 반사시키고 반사광의 일부는 상기 비디오카메라(40)로 통과시키는 하프미러인 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치가 제공된다.According to another feature of the invention, the optical member 50 reflects a part of the reflected light passing through the lens assembly 20 to the laser detection sensor 30 and a part of the reflected light to the video camera 40 An autofocusing device is provided, characterized in that it is a half mirror to pass.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같 다. 도 1은 본 발명의 일 실시예의 개념도이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 따르면, 레이저빔을 발사하는 레이저발사부(10)가 구비되고, 이 레이저발사부(10)에서 발사된 레이저빔은 프리즘(11)을 거쳐 적어도 하나의 볼록렌즈(22)를 포함하는 렌즈조립체(20)로 입사된다. 볼록렌즈(22)를 지난 입사광은 피처리물(W)의 표면에서 반사되어 다시 볼록렌즈(22)를 통과하여 광학부재(50)를 지난다. 이 광학부재(50)는 바람직하게는 입사된 빛의 일부는 반사시키고 일부는 통과시키는 부분반사 특성을 구비한 하프미러 또는 이와 동등한 기능을 가진 광학요소로 구성된다. 그러나 이와 달리 광경로상에서 선택적으로 후퇴가능하여 빛을 선택적으로 반사 또는 통과시키는 전반사식 미러를 사용하여도 무방할 것이다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. 1 is a conceptual diagram of an embodiment of the present invention. As shown, according to the present invention, there is provided a laser emitting unit 10 for emitting a laser beam, the laser beam emitted from the laser emitting unit 10 is at least one convex lens 22 via the prism 11. Incident to the lens assembly 20 including Incident light passing through the convex lens 22 is reflected from the surface of the object W and passes again through the convex lens 22 to pass through the optical member 50. The optical member 50 is preferably composed of a half mirror or an optical element having an equivalent function having a partial reflection characteristic of reflecting a part of incident light and passing a part thereof. Alternatively, however, a total reflection mirror may be used that can be selectively retracted on the optical path to selectively reflect or pass light.

이 광학부재(50)에서 부분적으로 반사된 반사광은 레이저검출센서(30)로 입사되어 검출된다. 그리고 광학부재(50)를 그대로 통과한 일부의 빛은 가시광선으로서 비디오카메라(40)에 포착된다. 상기 레이저검출센서(30)에서 검출된 레이저빔의 이미지는 스폿형태로서, 만일 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)간에 초점이 맞지 않는 경우에는 기준위치에서 상당히 벗어난 위치에 레이저 스폿이 형성되므로, 후술하는 컨트롤러(100)에 의해 이러한 레이저스폿을 기준점에 근접하도록 변위시키는 방식으로 렌즈조립체(20)에 대한 오토포커싱을 제어하게 된다. 한편, 상기 비디오카메라(40)에서 포착되는 이미지는 피처리물(W)의 표면형상 또는 그 표면에 형성된 인쇄회로패턴에 대한 비디오이미지로서, 초점조절이 잘 되지 않아서 이러한 이미지가 선명하지 않은 경우에 역시 컨트롤러(100)에 의해 렌즈조립체(20)에 대한 오토포커싱을 행하게 된다.Reflected light partially reflected by the optical member 50 is incident on the laser detection sensor 30 and detected. Part of the light passing through the optical member 50 as it is is captured by the video camera 40 as visible light. The image of the laser beam detected by the laser detection sensor 30 is in the form of a spot. If the lens assembly 20 and the object W are out of focus, the laser spot is formed at a position far from the reference position. Therefore, the autofocusing of the lens assembly 20 is controlled by the controller 100 to be described later in such a manner that the laser spot is displaced to approach the reference point. On the other hand, the image captured by the video camera 40 is a video image of the surface shape of the workpiece (W) or the printed circuit pattern formed on the surface, if the image is not clear because the focus is not adjusted well The controller 100 also performs autofocusing on the lens assembly 20.

상기 레이저검출센서(30)에 의해 검출되는 레이저스폿은 고속으로 이송되는 피처리물(W)에 대하여도 검출이 가능한 장점이 있다. 그러나 만일 레이저 이미지가 정상적으로 포착되지 않는 경우, 예를 들면 피처리물(W)의 엣지부나 경계부, 개구부 또는 요철부에 레이저빔이 조사되는 경우에는 정상적인 레이저스폿을 얻을 수가 없으므로 이 경우에는, 비록 처리속도는 늦더라도 비디오카메라(40)로 입력되는 비디오 신호를 판독하여 오토포커싱을 행하게 된다.The laser spot detected by the laser detection sensor 30 has an advantage that can be detected even with respect to the object W to be transported at a high speed. However, if the laser image is not captured normally, for example, if the laser beam is irradiated to the edge portion, boundary portion, opening portion or irregularities of the workpiece W, the normal laser spot cannot be obtained. Even if the speed is slow, autofocusing is performed by reading the video signal input to the video camera 40.

도 2는 본 발명의 장치를 좀 더 구체적으로 도시한 구성도로서, 도시된 바와 같이, 하우징(3) 내부 하측에 레이저발사부(10)가 구비되고, 이 레이저발사부(10)에서 나온 레이저빔은 다수의 프리즘 또는 미러(11,12,13)를 거쳐서 지지프레임(4)에 지지되는 렌즈조립체(20)의 한 볼록렌즈(22)를 통과하여 진행한다. 이 렌즈조립체(20)의 하부에는 피처리물(W)이 이송되는 이송경로(2)상에서 지지프레임(6)에 탑재되는 피처리물(W)이 배치된다. 상기 레이저빔의 입사광은 볼록렌즈(22)에서 굴절한 후에 피처리물(W)의 상면에서 반사된 반사광은 입사광과 약간의 경로차를 가지고 다시 볼록렌즈(22)로 리턴된 후에 미러(13)를 거치고 하프미러로 이루어진 광학부재(50)에서 일부는 반사되어 비디오카메라(40)로 입사되고 일부는 통과되어 레이저검출센서(30)로 입사된다.FIG. 2 is a block diagram illustrating the apparatus of the present invention in more detail. As shown in FIG. 2, a laser emitter 10 is provided below the inside of the housing 3, and a laser emitted from the laser emitter 10 is provided. The beam travels through a plurality of prisms or mirrors 11, 12, 13 and through one convex lens 22 of the lens assembly 20 supported by the support frame 4. Under the lens assembly 20, the workpiece W mounted on the support frame 6 is disposed on the transfer path 2 through which the workpiece W is transferred. After the incident light of the laser beam is refracted by the convex lens 22, the reflected light reflected from the upper surface of the object W is returned to the convex lens 22 with a slight path difference from the incident light, and then the mirror 13 After passing through the optical member 50 made of a half mirror part is reflected and incident to the video camera 40, and part is passed through the laser detection sensor 30.

상기 렌즈조립체(20)는 다수의 볼록렌즈(22,23,24)가 터릿(21) 상에 장착되어 선택적으로 렌즈를 광경로상에 정렬할 수 있도록 된 것으로서, 현미경의 대물렌즈구조와 유사하다. 이 렌즈조립체(20)는 지지프레임(4)에 지지된다. 그리고 전술한 바와 같이 피처리물(W)은 또 다른 지지프레임(6)에 지지된다. 이 지지프레임(4) 또는 지지프레임(6)의 적어도 어느 하나는 스테핑모터과 같은 도시 안된 구동기구에 위해 서로 미세하게 상대적인 위치조절이 가능하며, 이러한 위치조절은 컨트롤러(100)에 의해 제어된다. 이 컨트롤러(100)에는 상기 레이저검출센서(30)와 비디오카메라(40)에서 검출된 신호가 입력되어, 만일 이들 레이저검출센서(30)나 비디오카메라(40)의 신호를 판독한 결과 초점이 맞지 않는 것으로 판단되면, 컨트롤러(100)는 렌즈조립체(100)용 지지프레임(4)이나 피처리물(W)용 지지프레임(6) 중의 어느 하나를 미세하게 위치조절하여 렌즈조립체(20)의 초점을 맞추도록 제어한다.The lens assembly 20 has a plurality of convex lenses 22, 23, and 24 mounted on the turret 21 to selectively align the lens on the optical path, similar to the objective lens structure of a microscope. . The lens assembly 20 is supported by the support frame 4. As described above, the workpiece W is supported by another support frame 6. At least one of the support frame 4 or the support frame 6 can be finely adjusted relative to each other for an unshown drive mechanism such as a stepping motor, which is controlled by the controller 100. Signals detected by the laser detection sensor 30 and the video camera 40 are input to the controller 100. If the signals of the laser detection sensor 30 or the video camera 40 are read, the focus is not focused. If not determined, the controller 100 finely adjusts any one of the support frame 4 for the lens assembly 100 and the support frame 6 for the object W to be focal of the lens assembly 20. Control to match.

도 3은 본 발명의 오토포커싱 장치를 레이저 리페어장치, 즉 레이저빔을 이용하여 피처리물(W) 상에 인쇄된 회로패턴의 잘못된 부분을 수정하는 장치에 적용된 경우를 예시적으로 보여준다. 도면 중 번호 110은 레페어장치의 본체이고, 번호 120은 리페어용 레이어빔을 발사하는 레이저빔발사부이다. 이 리페이장치 본체(110)의 일측에 본 발명에 따른 오토포커스 장치의 하우징(3)이 장착되고, 여기서 나온 레이저빔은 다수의 미러(112,114)를 거쳐 렌즈조립체(20)를 통해 피처리물(W)에 입사되어 반사된 후에 다시 렌즈조립체(20)와 미러들(114,112)을 거쳐서 오토포커싱 장치의 하우징(3) 내로 진행하여 도 2에 도시된 바와 같이 그 내부의 하프미러와 같은 광학부재(50)에 의해 일부는 레이저검출센서(30)로 진행하고 일부는 비디오카메라(40)로 진행하여, 정상적인 동작상태에서는 레이저검출센서(30)를 통해 검출되는 레이저스폿을 판독하여 초점이 맞는지를 신속하게 판단하고, 정상적인 레이저스폿이 포착되지 않는 경우에는 비디오카메라(40)로 입수되는 비디오신호 를 판독하여 초점이 맞는지를 판단하며, 만일 초점이 맞지 않는 경우에는 컨트롤러(100)의 제어신호에 따라 렌즈조립체(20) 또는 피처리물(W)의 위치를 미세조절하여 오토포커싱을 행하게 된다. FIG. 3 exemplarily illustrates the case in which the autofocusing apparatus of the present invention is applied to a laser repair apparatus, that is, an apparatus for correcting an incorrect portion of a circuit pattern printed on an object W using a laser beam. In the figure, numeral 110 denotes a main body of the repair apparatus, and numeral 120 denotes a laser beam projector for emitting a repair layer beam. The housing 3 of the autofocus apparatus according to the present invention is mounted to one side of the main body 110 of the repayment apparatus, and the laser beam emitted from the target body through the lens assembly 20 passes through a plurality of mirrors 112 and 114. After being incident and reflected on (W), the lens assembly 20 passes through the lens assembly 20 and the mirrors 114 and 112 into the housing 3 of the autofocusing apparatus, and an optical member such as a half mirror therein as shown in FIG. 2. 50, a part proceeds to the laser detection sensor 30, and a part proceeds to the video camera 40. Under normal operation, the laser spot detected by the laser detection sensor 30 is read and focused. If a normal laser spot is not captured quickly, the video signal received by the video camera 40 is read to determine whether it is in focus. To fine adjust the position of the lens assembly 20 or the object to be treated (W) according to the signal performs the auto focusing.

도시된 바람직한 실시예에서는 하프미러를 이용하여 항상 동시에 레이저빔의 신호와 비디오신호를 동시에 검출하는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라, 레이저빔신호가 정상적으로 검출되지 않는 경우에만 비디오신호를 검출하도록 할 수도 있을 것이다.In the illustrated exemplary embodiment, the half mirror is used to simultaneously detect the signal of the laser beam and the video signal at the same time. However, in some cases, the video signal may be detected only when the laser beam signal is not normally detected. will be.

이상에서 설명한 본 발명에 따르면, 오토포커싱 장치에 있어서, 레이저빔을 이용하여 고속으로 이송되는 피처리물에 대한 포커스조절이 가능하면서도, 만일 어떠한 이유로 레이저빔 신호가 정상적으로 입수되지 않는 경우에는 자동으로 비디오신호를 입수하여 실시간으로 포커스조절이 가능하기 때문에, 전체적으로 고속으로 처리되는 피처리물에 대한 오토포커싱이 가능하면서도, 처리의 중단 등의 폐해를 방지할 수 있어서 매우 효율적인 오토포커스 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, in the autofocusing apparatus, the focus can be adjusted to the object to be conveyed at high speed by using the laser beam, but if the laser beam signal is not normally obtained for some reason, the video is automatically displayed. Since the focus can be adjusted in real time by acquiring a signal, autofocusing on the workpiece to be processed at high speed as a whole is possible, while preventing an interruption such as interruption of the processing, thereby providing a highly efficient autofocusing device. .

Claims (3)

피처리물(W)이 순차적으로 이송되는 이송경로(2)상에 배치되며 피처리물(W)의 상면에 빛을 조사하여 반사된 빛을 검출하여 자동으로 초점조절을 행하는 오토포커싱 장치에 있어서, 상기 장치는 피처리물(W) 상면에 레이저빔을 발사하는 레이저발사부(10)와, 상기 레이저발사부(10)와 피처리물 이송경로(2) 사이에 배치되어 레이저발사부(10)로부터의 입사광이 일차로 통과되고 피처리물(W)에서 반사된 반사광이 재차 통과하도록 위치되는 적어도 하나의 볼록렌즈(22)를 포함하는 렌즈조립체(20)와, 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 진행경로상의 제1 위치에 배치되는 레이저검출센서(30)와, 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 레이저반사광의 진행경로상의 제2 위치에 배치되는 비디오카메라(40)와, 상기 반사광을 상기 레이저검출센서(30)와 비디오카메라(40)를 향해 동시에 또는 선택적으로 보내는 광학부재(50)와, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)을 각각 지지하는 지지프레임(4,6)과, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)간의 초점조절을 위해 상기 지지프레임(4) 또는 지지프레임(6)을 미세하게 위치조절하는 구동기구, 및 이들을 제어하는 컨트롤러(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.In the auto focusing device is disposed on the transport path (2) to be processed in order to sequentially transport the object (W), and to automatically adjust the focus by detecting the reflected light by irradiating the upper surface of the object (W) The apparatus is arranged between the laser emitting unit 10 for emitting a laser beam on the upper surface of the workpiece W, and between the laser emitting unit 10 and the object transfer path 2. The lens assembly 20 including at least one convex lens 22 positioned so that incident light from the light passes first and reflected light reflected from the object W passes again, and the lens assembly 20 passes through the lens assembly 20. A laser detection sensor 30 disposed at a first position on a traveling path of the reflected light, a video camera 40 disposed at a second position on a traveling path of the laser reflected light passing through the lens assembly 20, and the reflected light Toward the laser detection sensor 30 and the video camera 40 An optical member 50 which is selectively sent to or from the sea, support frames 4 and 6 for supporting the lens assembly 20 and the workpiece W, and the lens assembly 20 and the workpiece ( Auto-focusing device comprising a drive mechanism for finely positioning the support frame (4) or the support frame (6) for adjusting the focus between the W), and a controller (100) for controlling them. 제 1 항에 있어서, 렌즈조립체(20)는 서로 다른 배율을 가진 복수의 볼록렌즈(22,23,24)가 터릿(21) 상에 장착된 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.The autofocusing apparatus according to claim 1, wherein the lens assembly (20) has a plurality of convex lenses (22, 23, 24) having different magnifications mounted on the turret (21). 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학부재(50)는 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 일부는 상기 레이저검출센서(30)로 반사시키고 반사광의 일부는 상기 비디오카메라(40)로 통과시키는 하프미러인 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.According to claim 1 or 2, wherein the optical member 50 reflects a portion of the reflected light passing through the lens assembly 20 to the laser detection sensor 30 and a portion of the reflected light is the video camera 40 An autofocusing device, characterized in that the half mirror to pass through.
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