KR101077946B1 - 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 - Google Patents

일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 다수개의 기판이 고정되는 한 쌍의 회전체에 한 쌍의 코팅욕조가 승강하여 기판을 코팅하고 코팅된 기판은 한 쌍의 건조장치에 회전체에 의하여 진입되어 코팅된 기판을 건조하므로 대량의 기판을 연속적으로 코팅 및 건조할 수 있는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 구성은, 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조를 선택적으로 승강시키는 승강수단; 상기 승강수단에 의해 상기 코팅욕조가 승강 시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키도록 제어부의 제어를 받는 개폐밸브와, 상기 개폐밸브에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부의 제어를 받는 가변조절밸브로 이루어진 유량조절부; 상기 승강수단에 의하여 승강된 코팅욕조에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 다수 개의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 코팅욕조에서 코팅된 상기 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건조장치를 제어하는 제어부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조 를 선택적으로 승강시키는 승강수단; 상기 승강수단에 의해 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프와, 상기 코팅욕조에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프로 이루어지며, 상기 배출펌프와 흡입펌프의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부의 제어를 받는 감속기로 이루어진 유량조절부; 상기 승강수단에 의하여 승강된 코팅욕조에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 다수 개의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 코팅욕조에서 코팅된 상기 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건조장치를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
딥 코팅

Description

일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치{MULTI- SUBSTRATE CONTINUOUS COATING APPARATUS WITH ONE SIDE COATING JIG}
본 발명은 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것으로, 한 쌍의 회전체에 다수개의 기판을 각각 고정시키고 한 쌍의 코팅욕조에서 상기 기판을 각각 코팅 후 코팅된 기판이 한 쌍의 건조장치에서 각각 건조하여 대량의 기판을 연속적으로 코팅 및 건조할 수 있는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것이다.
일반적으로 코팅장치는, 기판을 기판 고정장치를 통해 코팅욕조에 침지 후 기판을 일정 속도로 인상(引上) 시켜 기판을 코팅 후 코팅된 기판을 기판 고정장치에서 분리하여 별도의 건조장치에서 건조하여 기판의 코팅을 완료하였다.
상기와 같은 방법으로 기판을 코팅시에는, 기판의 코팅의 생산수율 및 코팅면적 증가에 따른 코팅막의 두께편차 및 기판의 무게의 증가에 따른 코팅장치의 진 동이 발생하여 코팅막의 품질 저하가 발생하며, 대량의 기판을 연속적으로 코팅할 수 없으므로, 낮은 생산수율로 인하여 수익성이 저감되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 한 쌍의 회전체에 다수개의 기판을 각각 고정시키고 한 쌍의 코팅욕조에서 상기 기판을 각각 코팅 후 코팅된 기판이 한 쌍의 건조장치에서 각각 건조되어 대량의 기판을 연속적으로 코팅 및 건조하여 코팅의 공정시간 단축, 코팅막의 품질향상, 기판 코팅에 수익성을 향상시킬 수 있는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치, 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조를 선택적으로 승강시키는 승강수단; 상기 승강수단에 의해 상기 코팅욕조가 승강 시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키도록 제어부의 제어를 받는 개폐밸브와, 상기 개폐밸브에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부의 제어를 받는 가변조절밸브로 이루어진 유량조절부; 상기 승강수단에 의하여 승강된 코팅욕조에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 다수 개의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 코팅욕조에서 코팅된 상기 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건 조장치를 제어하는 제어부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조를 선택적으로 승강시키는 승강수단; 상기 승강수단에 의해 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프와, 상기 코팅욕조에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프로 이루어지며, 상기 배출펌프와 흡입펌프의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부의 제어를 받는 감속기로 이루어진 유량조절부; 상기 승강수단에 의하여 승강된 코팅욕조에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 다수 개의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 코팅욕조에서 코팅된 상기 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건조장치를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지그는, 상기 기판의 일면이 부착되는 부착판; 상기 기판의 일면의 부착이 용이하도록 상기 부착판의 테두리에 형성된 가스켓; 및 상기 가스켓에 부착된 기판의 변형을 방지하도록 상기 부착판의 일면에 돌출형성된 다수개의 스페이서; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 부착판에는, 상기 부착판에 부착된 상기 기판의 이탈을 방지도록 상기 부착판 내부를 진공으로 형성시키고, 코팅 및 건조가 완료된 상기 기판의 제거가 용이하도록 상기 부착판 내부의 진공을 해제시키도록 흡입/배출펌프의 제어를 받는 진공유도관이 형성된 진공홀이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 코팅욕조에 수용되는 코팅액은, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 회전체는, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체; 상기 고정몸체에서 수평으로 형성되어 상기 지그를 회전시키는 회전몸체; 상기 회전몸체에 연이여 형성되어 상기 지그와 연결되는 다수 개의 지그연결부; 및 상기 제어부에 의하여 상기 회전몸체를 회전시키는 회전모터;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강수단은, 상기 코팅욕조 하부에 형성되는 제1,2수직프레임; 상기 제1,2수직프레임과 연이여 형성된 수평프레임; 상기 수평프레임의 중심부에는 상기 코팅욕조의 승강에 따라 상기 수평프레임이 소정각도로 회전되는 중심축;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1,2수직프레임 하단에는, 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조의 수평을 유지하도록 상기 수평프레임에 각각 연결된 베어링; 상기 베어링의 과도한 유동을 방지하도록 실린더 또는 스크류 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임 및 상기 수평프레임의 일측에 연이여 형성되며; 상기 실린더 및 스크류는, 상기 제어부의 제어를 받는 구동펌프에 의해 구동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 중심축에는, 상기 코팅욕조를 승강시키는 실린더 또는 스크류 중 어느 하나가 상기 수평프레임의 하단부에 연이여 이루어지며; 상기 실린더 및 스크류는, 상기 제어부의 제어를 받는 구동펌프에 의해 구동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 실린더는, 유압 또는 기압으로 구동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 중심축은, 상기 수평프레임이 회동 가능하도록 상기 수평프레임의 하부에 형성되는 베어링; 상기 베어링이 안착되는 안착부; 상기 안착부에 안착된 베어링을 고정하는 고정핀; 및 상기 안착부 하부에 연이여 형성되어 안착부를 지지하는 지지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조장치는, 상기 코팅욕조에서 코팅이 완료된 기판이 상기 회전체에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부; 상기 전조몸체부 내부에는, 상기 기판이 진입시 상기 기판에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선이 형성되며; 상기 제어부에 의하여 상기 열선에 전원을 공급하는 전원공급부; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열선은, 상기 기판에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조몸체부는, 상기 기판의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸이 구획되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 대량의 기판을 코팅 및 건조를 연속적으로 가능하므로, 대량 코팅에 따른 생산성 향상과 수익성 향상 효과가 있으며, 코팅과 건조를 동시에 연속적 실시함으로 기판의 코팅에 따른 공정시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 사용상태를 나타내는 정면도이고, 도 3 내지 4는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 실시예에 따른 사용상태를 나타낸 정면도이며, 도 5 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제어부를 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제1,2수직프레임을 나타낸 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 수평프레임을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른, 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 구성은, 기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300)와, 상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시키는 승강수단(400), 그리고 상기 승강수단(400)에 의해 상기 코팅욕조(300)가 승강 시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키도록 제어부(700)의 제어를 받는 개폐밸브(510a)와, 상기 개폐밸브(510a)에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하 여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부(700)의 제어를 받는 가변조절밸브(520b) 이루어진 유량조절부(500a)와 상기 승강수단(400)에 의하여 승강된 코팅욕조(300)에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 다수 개의 지그(100), 상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200) 그리고 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 상기 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600) 및 상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500a) 및 상기 건조장치(600a)를 제어하는 제어부(700)를 포함하여 이루어진다.
상기 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
1) 지그(100)
상기 지그(100)는, 상기 기판(10)의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 것으로 상기 기판(10)의 구성은, 상기 기판(10)의 일면이 부착되는 부착판(110)과 상기 기판(10)의 일면의 부착이 용이하도록 상기 부착판(110)의 테두리에 형성된 가스켓(120) 및 상기 가스켓(120)에 부착된 기판(10)의 변형을 방지하도록 상기 부착판(110)의 일면에 돌출형성된 다수개의 스페이서(130)로 이루어지며, 특히 상기 부착판(110)에는, 상기 부착판(110)에 부착된 상기 기판(10)의 이탈을 방지도록 상기 부착판(110) 내부를 진공으로 형성시키고, 코팅 및 건조가 완료된 상기 기판(10)의 제거가 용이하도록 상기 부착판(110) 내부의 진공을 해제시키도록 흡입/배출펌프(146)의 제어를 받는 진공유도관(145)이 형성된 진공홀(140)이 더 구 비된다.
특히, 상기 부착판(110)을 진공으로 유지시켜 상기 기판(10)의 일면이 상기 부착판(110)에 부착되므로 상기 기판(10)의 일면만 선택적으로 코팅이 가능하게 된다.
2) 회전체(200)
상기 회전체(200)는, 상기 지그(100)와 연이여 형성되는 것으로, 상기 지그(100)에 결합되는 다수개의 기판(10)을 회전시켜 상기 코팅욕조(300)에서 기판(10)을 코팅시키고, 코팅된 상기 기판(10)을 상기 건조장치(600)에서 기판(10)을 건조시키는 것으로, 상기 회전체(200)는, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체(210)와 상기 고정몸체(210)에서 수평으로 형성되어 상기 지그(100)를 회전시키는 회전몸체(220), 그리고 상기 회전몸체(220)에 연이여 형성되어 상기 지그(100)와 연결되는 다수 개의 지그연결부(210) 및 상기 제어부(700)에 의하여 상기 회전몸체(220)를 회전시키는 회전모터(230)를 포함하여 이루어진다.
3) 상기 코팅욕조(300)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나가 선택적으로 승강되어 상기 지그(100)에 고정된 상기 기판(10)을 코팅하는 것으로, 상기 코팅욕조(300)에 수용되는 코팅액은, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나가 수용되게 된다.
4) 승강수단(400)
상기 승강수단(400)은, 상기 코팅욕조(300)의 하부에 형성되어 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나를 선택적으로 승강시키는 것으로, 상기 승강수단(400)의 구성은, 상기 코팅욕조(300) 하부에 형성되는 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 연이여 형성된 수평프레임(430) 그리고 상기 수평프레임(430)의 중심부에는 상기 코팅욕조(300)의 승강에 따라 상기 수평프레임(430)이 소정각도로 회동되는 중심축(440)으로 구성된다.
또한, 상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에는, 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 수평을 유지하도록 베어링(BE)이 각각 형성되고, 상기 베어링(BE)의 과도한 유동을 방지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 수평프레임(430)에 연결형성된다.
또한, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 상기 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.
또한, 상기 중심축(440)의 일측 에는, 상기 코팅욕조(300)를 승강시키는 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 수평프레임(430)의 하단부에 연이여 이루어지며, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.
그리고, 상기 실린더(CY)는, 유압 또는 기압으로 구동된다.
또한, 상기 중심축(400)은, 상기 수평프레임(430)이 회동 가능하도록 상기 수평프레임(430)의 하부에 형성되는 베어링(BE)과 상기 베어링(BE)이 안착되는 안착부(441) 그리고 상기 안착부(441)에 안착된 베어링(BE)을 고정하는 고정핀(442) 및 상기 안착부(441) 하부에 연이여 형성되어 안착부(441)를 지지하는 지지부(443)를 포함하여 이루어진다.
특히, 상기 수평프레임(430)은 베어링(BE)에 의하여 소정각도 회동되어 상기 제 코팅욕조(300)의 승강을 유도하며 상기 코팅욕조(300)에는 승강시 수평을 유지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC)가 형성되어 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액의 외부 유출을 방지할 수 있게 된다.
5) 유량조절부(500a)
상술한 바와 같이, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강하여 상기 지그(100)에 고정된 기판을 코팅시 상기 코팅욕조(300)중 하강된 상기 코팅욕조(300)로 코팅액을 배출하여, 배출되는 유속 및 유량에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 상승된 코팅욕조(300) 내의 코팅용액의 액면 하강에 의하여 상기 기판(10)을 코팅시키는 것으로, 상기 유량조절부(500a)의 구성은, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강되어 상기 기판(10)을 코팅시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키도록 제어부(700)의 제어를 받는 개폐밸브(510a)와, 상기 개폐밸브(510a)에서 배출되는 코팅액의 배출유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부(700)의 제어를 받는 가변조절밸브(520a)로 이루어진 유량조절부(500a)가 구성된다.
6) 건조장치(600)
상기 건조장치(600)는, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 기판을 건조하는 것으로, 상기 건조장치(600)의 구성은, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅이 완료된 기판(10)이 상기 회전체(200)에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부(610)와, 상기 전조몸체부(610) 내부에는, 상기 기판(10)이 진입시 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선(620)이 형성되며 상기 제어부(700)에 의하여 상기 열선(620)에 전원을 공급하는 전원공급부(630)로 이루어진다.
또한, 상기 열선(620)은, 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되며, 상기 건조몸체부(610)는, 상기 기판(10)의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판(10)이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸(615)이 구획되어 구성되게 된다.
이상 본 발명의 구성에 대하여 살펴 보았다. 다음으로 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.
실시예
기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300)와, 상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시키는 승강수단(400) 그리고 상기 승강수단(400)에 의해 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프(510b)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프(520b)로 이루어지며, 상기 배출펌프(510b)와 흡입펌프(520b)의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어 부(700)의 제어를 받는 감속기(530b)로 이루어진 유량조절부(500b)와, 상기 승강수단(400)에 의하여 승강된 코팅욕조(300)에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 다수 개의 지그(100), 그리고 상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 상기 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600) 및 상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500b) 및 상기 건조장치(600a)를 제어하는 제어부(700)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
1) 지그(100)
상기 지그(100)는, 상기 기판(10)의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 것으로 상기 기판(10)의 구성은, 상기 기판(10)의 일면이 부착되는 부착판(110)과 상기 기판(10)의 일면의 부착이 용이하도록 상기 부착판(110)의 테두리에 형성된 가스켓(120) 및 상기 가스켓(120)에 부착된 기판(10)의 변형을 방지하도록 상기 부착판(110)의 일면에 돌출형성된 다수개의 스페이서(130)로 이루어지며, 특히 상기 부착판(110)에는, 상기 부착판(110)에 부착된 상기 기판(10)의 이탈을 방지도록 상기 부착판(110) 내부를 진공으로 형성시키고, 코팅 및 건조가 완료된 상기 기판(10)의 제거가 용이하도록 상기 부착판(110) 내부의 진공을 해제시키도록 흡입/배출펌프(146)의 제어를 받는 진공유도관(145)이 형성된 진공홀(140)이 더 구 비된다.
특히, 상기 부착판(110)을 진공으로 유지시켜 상기 기판(10)의 일면이 상기 부착판(110)에 부착되므로 상기 기판(10)의 일면만 선택적으로 코팅이 가능하게 된다.
2) 회전체(200)
상기 회전체(200)는, 상기 지그(100)와 연이여 형성되는 것으로, 상기 지그(100)에 결합되는 다수개의 기판(10)을 회전시켜 상기 코팅욕조(300)에서 기판(10)을 코팅시키고, 코팅된 상기 기판(10)을 상기 건조장치(600)에서 기판(10)을 건조시키는 것으로, 상기 회전체(200)는, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체(210)와 상기 고정몸체(210)에서 수평으로 형성되어 상기 지그(100)를 회전시키는 회전몸체(220), 그리고 상기 회전몸체(220)에 연이여 형성되어 상기 지그(100)와 연결되는 다수 개의 지그연결부(210) 및 상기 제어부(700)에 의하여 상기 회전몸체(220)를 회전시키는 회전모터(230)를 포함하여 이루어진다.
3) 상기 코팅욕조(300)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나가 선택적으로 승강되어 상기 지그(100)에 고정된 상기 기판(10)을 코팅하는 것으로, 상기 코팅욕조(300)에 수용되는 코팅액은, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나가 수용되게 된다.
4) 승강수단(400)
상기 승강수단(400)은, 상기 코팅욕조(300)의 하부에 형성되어 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나를 선택적으로 승강시키는 것으로, 상기 승강수단(400)의 구성은, 상기 코팅욕조(300) 하부에 형성되는 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 연이여 형성된 수평프레임(430) 그리고 상기 수평프레임(430)의 중심부에는 상기 코팅욕조(300)의 승강에 따라 상기 수평프레임(430)이 소정각도로 회동되는 중심축(440)으로 구성된다.
또한, 상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에는, 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 수평을 유지하도록 베어링(BE)이 각각 형성되고, 상기 베어링(BE)의 과도한 유동을 방지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 수평프레임(430)에 연결형성된다.
또한, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 상기 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.
또한, 상기 중심축(440)의 일측 에는, 상기 코팅욕조(300)를 승강시키는 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 수평프레임(430)의 하단부에 연이여 이루어지며, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.
그리고, 상기 실린더(CY)는, 유압 또는 기압으로 구동된다.
또한, 상기 중심축(400)은, 상기 수평프레임(430)이 회동 가능하도록 상기 수평프레임(430)의 하부에 형성되는 베어링(BE)과 상기 베어링(BE)이 안착되는 안착부(441) 그리고 상기 안착부(441)에 안착된 베어링(BE)을 고정하는 고정핀(442) 및 상기 안착부(441) 하부에 연이여 형성되어 안착부(441)를 지지하는 지지부(443)를 포함하여 이루어진다.
특히, 상기 수평프레임(430)은 베어링(BE)에 의하여 소정각도 회동되어 상기 제 코팅욕조(300)의 승강을 유도하며 상기 코팅욕조(300)에는 승강시 수평을 유지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC)가 형성되어 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액의 외부 유출을 방지할 수 있게 된다.
5) 유량조절부(500b)
상기 유량조절부상술한 바와 같이, 상기 유량조절부(500a,500b)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강되어 상기 기판(10)을 코팅시 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프(510b)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프(520b)로 이루어지며, 상기 배출펌프(510b)와 흡입펌프(520b)의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부(700)의 제어를 받는 감속기(530b)로 이루어진 유량조절부(500b)가 구성되며, 상기 밸브를 통한 코팅액의 유량 조절 또는 펌프의 감속을 통한 코팅액의 유량 조절은 사용자가 선택적으로 사용하게 되고, 특히, 상기 유량조절부(500a,500b)에서 상기 코팅욕조(300)에서 배출되는 코팅액의 유속과 최종 배출유속을 일정하게 조절하므로, 상기 기판(10)의 코팅시 코팅막의 일정 두께 유지와 고팅막의 품질이 향상되게 된다.
6) 건조장치(600)
상기 건조장치(600)는, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 기판을 건조하는 것으로, 상기 건조장치(600)의 구성은, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅이 완료된 기판(10)이 상기 회전체(200)에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부(610)와, 상기 건조몸체부(610) 내부에는, 상기 기판(10)이 진입시 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선(620)이 형성되며 상기 제어부(700)에 의하여 상기 열선(620)에 전원을 공급하는 전원공급부(630)로 이루어진다.
또한, 상기 열선(620)은, 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되며, 상기 건조몸체부(610)는, 상기 기판(10)의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판(10)이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸(615)이 구획되어 구성되게 된다.
본 발명의 다 기판 연속 코팅장치의 작동 상태는,
①. 지그(100)의 부착판(110)에 기판(10)을 부착한다.
이때, 상기 부착판(100)은 상술한 바와 같이 진공으로 유지되어 진공압에 의하여 상기 기판(10)이 상기 부착판(110)에서 고정되게 된다.
②. 회전체(200)에 의하여 상기 지그(100)가 회전된다.
이때, 제어부(700)의 제어에 의하여 상기 회전체(200)가 회전되게 된다.
③. 한 쌍의 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 선택적으로 승강된다.
상기 코팅욕조(300)가 제어부(700)의 제어를 통해 기판(10)이 고정된 지그(100)로 승강되어 상기 기판(10)을 코팅한다.
이때, 상기 유량조절부(500a)가 상술한 바와 같이 코팅액을 배출한다.
④. 코팅이 완료된 기판(10)은 회전체(200)를 통해 제1,2건조장치(600)로 진입된다.
⑤. 상기 회전체(200)에서 건조가 완료된 기판(10)을 지그(100)에서 제거한다.
이때, 상기 기판(10)은 상술한 바와 같이 상기 부착판(110)의 진공을 해제하여 상기 부착판(110)에서 상기 기판(10)을 손쉽게 제거할 수 있게 된다.
본 발명의 다 기판 연속 코팅장치의 실시예의 작동 상태는,
①. 지그(100)의 부착판(110)에 기판(10)을 부착한다.
이때, 상기 부착판(100)은 상술한 바와 같이 진공으로 유지되어 진공압에 의하여 상기 기판(10)이 상기 부착판(110)에서 고정되게 된다.
②. 회전체(200)에 의하여 상기 지그(100)가 회전된다.
이때, 제어부(700)의 제어에 의하여 상기 회전체(200)가 회전되게 된다.
③. 한 쌍의 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 선택적으로 승강된다.
상기 코팅욕조(300)가 제어부(700)의 제어를 통해 기판(10)이 고정된 지그(100)로 승강되어 상기 기판(10)을 코팅한다.
이때, 상기 유량조절부(500b)가 상술한 바와 같이 코팅액을 배출한다.
④. 코팅이 완료된 기판(10)은 회전체(200)를 통해 제1,2건조장치(600)로 진입된다.
⑤. 상기 회전체(200)에서 건조가 완료된 기판(10)을 지그(100)에서 제거한다.
이때, 상기 기판(10)은 상술한 바와 같이 상기 부착판(110)의 진공을 해제하여 상기 부착판(110)에서 상기 기판(10)을 손쉽게 제거할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 특정한 실시예에 설명 및 도시하였지만 본 발명은 당업자에 의하여 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것이 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같이 변형된 실시예들은 첨부된 특허청구범위 안에 속한 다 해야 할 것이다.
도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 사용상태를 나타내는 정면도,
도 3 내지 4는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 실시예에 따른 사용상태를 나타낸 정면도,
도 5 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 측면도,
도 6은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제어부를 나타낸 도면,
도 8은 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제1,2수직프레임을 나타낸 도면,
도 9는 본 발명에 따른 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 수평프레임을 나타낸 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 기판
100: 지그
110 : 부착판
120 : 가스켓
130 : 스페이서
140 : 진공홀
145 : 진공유도관
146 : 흡입/배출펌프
200 : 회전체
210 : 지그연결부
220 : 회전몸체
230 : 회전모터
300 : 코팅욕조
400 : 승강수단
410 : 제1수직프레임
420 : 제2수직프레임
430 : 수평프레임
440 : 중심축
441 : 안착부
442 : 고정핀
443 : 지지부
450 : 구동펌프
500a : 유량조절부
510a : 개폐밸브
520a : 가변조절밸브
500b : 유량조절부
510b : 배출펌프
520b : 흡입펌프
530b : 감속기
600 :건조장치
610 : 건조몸체부
615 : 건조칸
620 : 열선
630 : 전원공급부
700 : 제어부
BE : 베어링
CY : 실린더
SC : 스크류

Claims (14)

  1. 기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300);
    상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시키는 승강수단(400);
    상기 승강수단(400)에 의해 상기 코팅욕조(300)가 승강 시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키도록 제어부(700)의 제어를 받는 개폐밸브(510a)와, 상기 개폐밸브(510a)에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부(700)의 제어를 받는 가변조절밸브(520b) 이루어진 유량조절부(500a);
    상기 승강수단(400)에 의하여 승강된 코팅욕조(300)에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 다수 개의 지그(100);
    상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200);
    상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 상기 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600); 및
    상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500a) 및 상기 건조장치(600)를 제어하는 제어부(700);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  2. 기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300);
    상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시키는 승강수단(400);
    상기 승강수단(400)에 의해 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프(510b)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프(520b)로 이루어지며, 상기 배출펌프(510b)와 흡입펌프(520b)의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 제어부(700)의 제어를 받는 감속기(530b)로 이루어진 유량조절부(500b);
    상기 승강수단(400)에 의하여 승강된 코팅욕조(300)에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 다수 개의 지그(100);
    상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200);
    상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 상기 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600); 및
    상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500b) 및 상기 건조장치(600)를 제어하는 제어부(700);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  3. 제 1항 또는 제2항 있어서, 상기 지그(100)는,
    상기 기판(10)의 일면이 부착되는 부착판(110);
    상기 기판(10)의 일면의 부착이 용이하도록 상기 부착판(110)의 테두리에 형성된 가스켓(120); 및
    상기 가스켓(120)에 부착된 기판(10)의 변형을 방지하도록 상기 부착판(110)의 일면에 돌출형성된 다수개의 스페이서(130);
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 부착판(110)에는,
    상기 부착판(110)에 부착된 상기 기판(10)의 이탈을 방지도록 상기 부착판(110) 내부를 진공으로 형성시키고, 코팅 및 건조가 완료된 상기 기판(10)의 제거가 용이하도록 상기 부착판(110) 내부의 진공을 해제시키도록 흡입/배출펌프(146)의 제어를 받는 진공유도관(145)이 형성된 진공홀(140)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 코팅욕조(300)에 수용되는 코팅액은,
    휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장 치.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 회전체(200)는,
    지면에 수직으로 고정되는 고정몸체(210);
    상기 고정몸체(210)에서 수평으로 형성되어 상기 지그(100)를 회전시키는 회전몸체(220);
    상기 회전몸체(220)에 연이여 형성되어 상기 지그(100)와 연결되는 다수 개의 지그연결부(210); 및
    상기 제어부(700)에 의하여 상기 회전몸체(220)를 회전시키는 회전모터(230);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  7. 제 1항 또는 제2항에 있어서, 상기 승강수단(400)은,
    상기 코팅욕조(300) 하부에 형성되는 제1,2수직프레임(410,420);
    상기 제1,2수직프레임(410,420)과 연이여 형성된 수평프레임(430);
    상기 수평프레임(430)의 중심부에는 상기 코팅욕조(300)의 승강에 따라 상기 수평프레임(430)이 소정각도로 회전되는 중심축(440);
    으로 구성되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에는,
    상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 수평을 유지하도록 상기 수평프레임(430)에 각각 연결된 베어링(BE);
    상기 베어링의 과도한 유동을 방지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임(410,420) 및 상기 수평프레임(430)의 일측에 연이여 형성되며;
    상기 실린더(CY) 및 상기 스크류(SC)는, 상기 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 중심축(440)에는,
    상기 코팅욕조(300)를 승강시키는 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 수평프레임(430)의 하단부에 연이여 이루어지며;
    상기 실린더(CY) 및 상기 스크류(SC)는, 상기 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에 형성된 실린더(CY) 및 상기 중심축(440)에 형성된 실린더(CY)는,
    유압 또는 기압으로 구동되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 중심축(440)은,
    상기 수평프레임(430)이 회동 가능하도록 상기 수평프레임(430)의 하부에 형성되는 베어링(BE);
    상기 베어링(BE)이 안착되는 안착부(441);
    상기 안착부(441)에 안착된 베어링(BE)을 고정하는 고정핀(442); 및
    상기 안착부(441) 하부에 연이여 형성되어 안착부를 지지하는 지지부(442);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  12. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 건조장치(600)는,
    상기 코팅욕조(300)에서 코팅이 완료된 기판(10)이 상기 회전체(200)에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부(610);
    상기 건조몸체부(610) 내부에는, 상기 기판(10)이 진입시 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선(620)이 형성되며;
    상기 제어부(700)에 의하여 상기 열선(620)에 전원을 공급하는 전원공급부(630);
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 열선(620)은,
    상기 기판(10)에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
  14. 제 12항에 있어서, 상기 건조몸체부(610)는,
    상기 기판의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸(615)이 구획되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.
KR1020090034937A 2009-04-22 2009-04-22 일면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 KR101077946B1 (ko)

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