KR101077129B1 - 이오나이저 - Google Patents

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Abstract

케이스의 송풍구 내에 송풍용의 팬을 형성함과 아울러, 당해 케이스에 있어서의 상기 송풍구에 면하는 위치에, 코로나 방전에 의해 양(正), 음(負)의 이온을 발생하는 복수의 방전 전극을 형성한 이오나이저에 있어서, 다른 극성의 이온을 발생하는 2개의 방전 전극의 조합으로 이루어지는 방전 전극쌍을 복수 조(組) 형성하여, 당해 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의, 전극 선단으로부터 상기 송풍구의 중심까지의 거리인 선단-중심간 거리를 서로 다르게 한다.
이오나이저, 송풍구, 코로나 방전, 방전 전극

Description

이오나이저{IONIZER}
본 발명은, 양(正) 또는 음(負)의 전하로 대전된 워크(work)로부터 상기 전하를 제거(중화)하기 위해 사용되는 이오나이저에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 양 및 음의 이온을 발생시키는 방전 전극과, 당해 이온을 반송하는 에어(air)류(流)를 발생시키는 팬을 구비한 팬 타입의 이오나이저에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 액정 유리 등의 각종 워크의 처리 공정에 있어서는, 양전기로 대전된 워크의 양 및 음의 전하를 중화(제전(除電))하는 데에 이오나이저가 사용된다. 이 이오나이저에는, 코로나 방전을 이용한 것이나 연(軟)X선을 이용한 것 등이 있다. 코로나 방전을 이용한 것에는, 크게 분류하면 직류 방식과 교류 방식이 있어, 예를 들면 직류 방식의 이오나이저는, 일반적으로, 바늘 형상을 한 양의 방전 전극과 음의 방전 전극을 갖고 있어, 이들 방전 전극에 양 및 음의 고전압을 인가함으로써 전극의 방전부에서 코로나 방전을 일으켜, 그때 발생하는 양 및 음의 이온을 에어로 워크에 불어줌으로써, 당해 워크상의 양 및 음의 전하를 중화시키는 것이다.
이런 타입의 이오나이저에 있어서는, 비교적 낮은 고전압의 인가에 의해 코 로나 방전이 발생하도록, 양의 방전 전극과 음의 방전 전극을 서로 근접시켜 배치하는 수법이 이용되는 경우가 있다. 이 경우에는, 양의 이온의 발생원과 음의 이온의 발생원이 서로 근접하게 된다.
한편, 특허문헌 1(일본공개특허공보 2004-253192호) 및 특허문헌 2(일본공개특허공보 2004-253193호)에는, 팬으로 에어류를 발생시키는 팬 타입의 이오나이저가 개시되어 있다. 이 이오나이저는, 케이스의 송풍구 내에 상기 팬을 형성함과 아울러, 양의 방전 전극과 음의 방전 전극을 해당 송풍구의 둘레 방향으로 거의 90도 간격으로 형성한 것으로, 이들 방전 전극으로부터 발생한 양 및 음의 이온을, 상기 팬으로부터의 에어류에 의해 워크에 불어주는 것이다.
그런데, 이 문헌에 기재된 이오나이저는, 양 및 음의 방전 전극이 서로 떨어진 위치에 있기 때문에, 코로나 방전 발생을 위해 이들 방전 전극에 인가하는 고전압을 높게 설정할 필요가 있다.
이 전압의 문제는, 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이, 양 및 음의 방전 전극(20A, 20B)을 서로 근접시켜 배치함으로써 해소할 수 있지만, 팬 타입의 이오나이저에 있어서는, 팬(21)의 회전에 의해 발생하는 에어류가, 당해 팬(21)의 회전 중심(Ｏ)의 둘레에 비틀림을 발생시키면서 나선류(螺旋流)로 되어 진행하기 때문에, 상기 양 및 음의 방전 전극(20A, 20B)이 서로 근접한 위치, 특히 상기 팬(21)의 회전 중심(Ｏ)으로부터 등거리에 있으면, 도 10에 일부의 방전 전극(20A, 20B)에 대해서 화살표로 나타내는 바와 같이, 발생한 양 및 음의 이온이 에어의 나선류에 의해 반송될 때, 그들 이온의 흐름(22A, 22B)이 서로 겹쳐, 양 및 음의 이온끼 리가 재결합하여 중화되기 쉽다. 그 결과, 워크에 도달하는 이온의 양이 감소하여, 제전(除電) 효율이 저하한다는 문제가 생긴다.
그래서 본 발명의 목적은, 케이스의 송풍구 내에 이온 발생용의 방전 전극과 에어류 발생용의 팬을 구비한 이오나이저에 있어서, 상기 방전 전극의 배치를 양 및 음의 이온의 흐름이 서로 겹치지 않도록 고려함으로써, 이온의 재결합을 방지하여, 워크에 보내지는 이온의 양을 증대시켜 제전 효율을 높이는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 케이스의 송풍구 내에 송풍용의 팬을 형성함과 아울러, 당해 케이스에 있어서의 상기 송풍구에 면하는 위치에, 코로나 방전에 의해 양, 음의 이온을 발생하는 복수의 방전 전극을 형성한 이오나이저에 있어서, 다른 극성의 이온을 발생하는 2개의 방전 전극의 조합으로 이루어지는 방전 전극쌍을 복수 갖고, 당해 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의, 전극 선단으로부터 상기 송풍구의 중심까지의 거리인 선단-중심간 거리가 서로 다른 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 이오나이저가, 선단-중심간 거리가 긴 양의 방전 전극과 선단-중심간 거리가 짧은 음의 방전 전극으로 이루어지는 제1 방전 전극쌍과, 선단-중심간 거리가 짧은 양의 방전 전극과 선단-중심간 거리가 긴 음의 방전 전극으로 이루어지는 제2 방전 전극쌍을, 각각 복수 그리고 서로 동수(同數) 갖고, 이들 제1 방전 전극쌍과 제2 방전 전극쌍이 상기 송풍구의 중심의 둘레에 교대로 배치되어 있다.
이 경우에는, 제1 방전 전극쌍에 있어서의 양의 방전 전극과 제2 방전 전극쌍에 있어서의 음의 방전 전극과의 선단-중심간 거리가 동일하고, 그리고, 제1 방전 전극쌍에 있어서의 음의 방전 전극과 제2 방전 전극쌍에 있어서의 양의 방전 전극과의 선단-중심간 거리가 동일하다.
본 발명에 있어서는, 상기 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의 선단간의 거리보다, 인접하는 방전 전극쌍의 서로 이웃하는 방전 전극의 선단간의 거리가 큰 것이 바람직하다.
또한, 상기 방전 전극은, 방전을 위한 선단부분을 제외한 그 외의 부분이 전기절연재로 피복되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서는, 상기 복수의 방전 전극쌍을, 상기 송풍구의 둘레 방향으로 등간격으로 배치함과 아울러, 각 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극을, 상기 송풍구의 둘레 방향으로 서로 인접하고 그리고 근접하는 위치에, 전극 선단을 당해 송풍구의 내측을 향한 자세로 배치할 수 있다.
또는, 상기 복수의 방전 전극쌍을 상기 송풍구의 내측 영역 내에 배치함과 아울러, 각 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극을, 상기 송풍구의 중심으로부터의 거리가 서로 다른 위치에, 전극 선단을 송풍 방향을 향한 자세로 배치하는 것도 가능하다.
본 발명의 이오나이저는, 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의 선단으로부터 상기 송풍구의 중심까지의 거리(선단-중심간 거리)가 서로 다르기 때문에, 양 및 음의 이온이 송풍구의 반경 방향의 다른 위치에서 발생하게 되고, 이 때문에, 팬의 회전에 의해 발생하는 나선 형상의 에어류에 의해 이들 이온이 나선 방향으로 반송되어도, 양 및 음의 이온의 흐름은 겹치기 어렵다. 이 결과, 재결합에 의해 중화되는 이온양이 감소하여, 워크에 도달하는 이온의 양이 증가하기 때문에, 제전 효율이 향상한다.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
도 1-도 3에는 본 발명에 따른 이오나이저의 제1 실시 형태가 개략적으로 나타나 있다. 이 이오나이저(1)는, 합성 수지로 형성된 전체 형상이 직사각형인 케이스(2)를 갖고, 이 케이스(2)는, 전후 방향의 폭이 넓은 기대부(基臺部; 2a)와, 이 기대부(2a)로부터 상향으로 연장(extend)하는 전후 방향의 폭이 좁은 이온 발생부(2b)를 갖고 있다. 그러나, 이들 기대부(2a)와 이온 발생부(2b)의 전후 방향 폭은 서로 동일해도 좋고, 또한 이들 기대부(2a)와 이온 발생부(2b)는, 서로 일체로 형성되어 있어도, 별개로 형성되어 분리 가능하게 결합되어 있어도 상관없다.
상기 기대부(2a)에는, 이오나이저 전체의 동작을 제어하는 제어 장치(7)가 수용되고, 당해 기대부(2a)의 전면(前面)에는, 전원 스위치(8a), 외부 전원이나 외부 기기와의 사이에서 배선을 접속하기 위한 커넥터(8b), 풍량 조정용의 로터리 스위치(8c), 외부 센서 접속용의 모듈러 커넥터(8d), DC 어댑터 접속용 잭(8e), 동작 상태 표시를 위한 인디케이터(8f) 등이 형성되어 있다.
한편, 상기 이온 발생부(2b)에는, 원형의 송풍구(3)가 당해 이온 발생부(2b) 를 전후 방향으로 관통하도록 형성되어 있고, 이 송풍구(3)의 내주 부분에, 코로나 방전에 의해 양의 이온을 발생하는 양의 방전 전극(5A)과 음의 이온을 발생하는 음의 방전 전극(5B)으로 이루어지는 복수의 방전 전극쌍(4A 및 4B)이, 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)의 둘레에 등간격으로 배치되고, 상기 송풍구(3)의 내부에는, 상기 방전 전극(5A 및 5B)에서 발생한 양 및 음의 이온을 대전한 워크에 보내는 에어류를 발생시키기 위한 팬(6)이 형성되어 있다. 상기 송풍구(3)는 비(非)원형이어도 좋다.
또한, 이 이온 발생부(2b)의 내부에는, 상기 양의 방전 전극(5A)에 양의 고전압을 인가하기 위한 양의 고전압원(10A)과, 음의 방전 전극(5B)에 음의 고전압을 인가하기 위한 음의 고전압원(10B)이 수용되고, 이들 고전압원(10A, 10B)이 상기 제어 장치(7)와 각 방전 전극(5A, 5B)에 접속되어 있다. 따라서, 이 실시 형태의 이오나이저는 직류식이다. 이 직류식에는, 일정 크기의 고전압을 연속적으로 인가하는 DC 방식과, 펄스 형상의 고전압을 인가하는 DC 펄스 방식이 있지만, 본 실시 형태는 그 어느 쪽이라도 좋다.
또한, 상기 고전압원(10A, 10B)은, 상기 제어 장치(7)와 함께 상기 기대부(2a)의 내부에 배치해도 좋고, 혹은, 이들 제어 장치(7)와 고전압원(10A, 10B)을 상기 이온 발생부(2b)의 내부에 배치할 수도 있다.
상기 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 원기둥 형상을 한 본체 부분(5b)과, 점차 끝이 가늘어지는 형상을 이루는 선단 부분(5a)을 갖는 것으로, 상기 본체 부분(5b)은 합성 수지 등의 전기 절연재(11)로 피복되고, 상기 선단 부분(5a)만이 외부로 노출되어 있으며, 이 노출되는 선단 부분(5a)에서 코로나 방전을 일으킴으로써 이온을 발생하는 것이다. 따라서, 이 선단 부분(5a)이 방전부를 형성하는 것이다. 그래서, 이하의 설명에 있어서는, 이 선단 부분(5a)을 「방전부(5a)」로 표시하는 경우도 있다.
또한, 상기 방전 전극(5A 및 5B)의 방전부(5a)의 형상은, 원추형과 같이 선단이 뾰족한 형상이어도, 조금 둥그스름한 형상이어도 좋다.
또한, 상기 방전 전극(5A 및 5B)은, 도 4에 파선으로 나타내는 바와 같이, 점차 끝이 가늘어지는 형상을 이루는 부분의 도중의 위치까지 전기 절연재(11)로 피복되어 있어도 좋다.
상기 방전 전극쌍(4A 및 4B)에 있어서의 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)은, 상기 케이스(2)에 있어서의 송풍구(3)의 내주 부분에, 당해 송풍구(3)의 둘레 방향으로 상호 인접하고 그리고 근접한 상태에서, 전극 선단(5c)을 당해 송풍구(3)의 중심(Ｏ) 또는 그 근방을 향한 자세로 당해 송풍구(3) 내로 돌출하도록 배치되어 있다. 도시의 예에서는, 상기 두 방전 전극(5A 및 5B)이 상호 평행하게 배치되어 있지만, 전극 선단(5c)을 송풍구(3)의 중심(Ｏ)에 향하게 하는 경우에는, 두 방전 전극(5A 및 5B)은 서로 비(非)평행이 되어, 전극 선단측의 간격이 전극 기단측의 간격보다 점차 좁아진다. 그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 양의 방전 전극(5A)이 제어 장치(7)의 양의 고전압원(10A)에 접속되고, 음의 방전 전극(5B)이 제어 장치(7)의 음의 고전압원(10B)에 접속되어 있다.
상기 방전 전극쌍(4A 및 4B)에 있어서의 양의 방전 전극(5A)과 음의 방전 전 극(5B)은, 서로 다른 길이로 형성되어 있어, 전극 선단(5c)으로부터 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)까지의 거리(선단-중심간 거리)(D)가 서로 상위하고 있다. 도 5의 예에서는, 제1 방전 전극쌍(4A)이 길이를 짧게 형성함으로써 상기 선단-중심간 거리(D)를 길게 한 양의 방전 전극(5A)과, 길이를 길게 형성함으로써 상기 선단-중심간 거리(D)를 짧게 한 음의 방전 전극(5B)으로 구성되고, 제2 방전 전극쌍(4B)이, 길이를 길게 형성함으로써 상기 선단-중심간 거리(D)를 짧게 한 양의 방전 전극(5A)과, 길이를 짧게 형성함으로써 상기 선단-중심간 거리(D)를 길게 한 음의 방전 전극(5B)으로 구성되어 있다.
그리고, 상기 제1 방전 전극쌍(4A)과 제2 방전 전극쌍(4B)이 각각 2조씩 형성되어 있어, 전부 4조의 방전 전극쌍(4A 및 4B)이, 제1 방전 전극쌍(4A)끼리 및 제2 방전 전극쌍(4B)끼리가 서로 상대되는 위치를 점하도록, 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)의 둘레에 거의 90도의 간격으로 등간격으로 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 상기 제1 방전 전극쌍(4A)과 제2 방전 전극쌍(4B)이, 상기 송풍구(3)의 둘레 방향으로 교대로 배치되어 있다. 그리고, 인접하는 제1 방전 전극쌍(4A)과 제2 방전 전극쌍(4B)의 서로 이웃하는 위치에는, 상호 역극성(逆極性)인 양의 방전 전극(5A)과 음의 방전 전극(5B)이 배치되어 있다.
따라서, 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)을 에워싸는 대소 2개의 가상 동심원 중 대경원(大徑圓; 12a)의 원주(圓周)상에, 상기 선단-중심간 거리(D)가 긴 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)의 선단(5c)이 위치하고, 소경원(小徑圓; 12b)의 원주상에, 상기 선단-중심간 거리(D)가 짧은 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)의 선단(5c)이 위치하게 된다.
이때, 상기 방전 전극쌍(4A 및 4B)에 있어서의 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)간의 거리(A)와, 두 방전 전극(5A 및 5B)의 선단(5c)간의 거리(B)와, 인접하는 2조의 방전 전극쌍(4A 및 4B)에 있어서의 서로 이웃하는 방전 전극(5A 및 5B)의 선단(5c)간의 거리(C)와의 사이에는, A＜B＜C라는 관계가 성립하고 있다.
한편, 상기 팬(6)은, 중심에 위치하는 전동식의 모터(14)와, 이 모터(14)의 출력축에 부착된 회전날개(15)로 이루어지는 것으로, 상기 송풍구(3)의 내부에 동심(同心) 형상으로 배치되어, 상기 모터(14)가 상기 제어 장치(7)에 전기적으로 접속되어 있다. 상기 회전날개(15)에는 복수의 날개(15a)가 부착되어 있어, 이들 날개(15a)에 의해 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)의 둘레를 나선 형상으로 선회하면서 진행하는 에어류를 발생시키는 것이다.
또한, 상기 송풍구(3)의 출구단(端)에는, 당해 송풍구(3)의 내부 또는 외부에 위치시켜 오존 제거용의 오존 필터를 형성하여, 상기 방전 전극 등에서 발생한 오존을 이 오존 필터로 제거하도록 구성할 수도 있다.
상기 구성을 갖는 이오나이저(1)에 있어서, 제어 장치(7)의 양 및 음의 고전압원(10A 및 10B)으로부터 각 방전 전극쌍(4A 및 4B)에 있어서의 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)에, 양 및 음의 고전압이 동시에 또는 교대로 인가되면, 이들 방전 전극(5A 및 5B)의 방전부(5a)에서 코로나 방전이 일어나 양 및 음의 이온이 발생한다. 이때 상기 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)에 인가되는 양 및 음의 고전압은, 이들 방전 전극(5A 및 5B)의 선단간의 거리(B)가 작기 때문에, 특허문헌 1 및 2에 기재된 이오나이저와 같이 양 및 음의 방전 전극의 선단간의 거리가 큰 경우에 비해, 낮게 설정할 수 있다. 따라서, 상기 양 및 음의 고전압원(10A 및 10B)으로서, 출력 전압이 낮은 소형의 고전압 유닛을 사용할 수 있어, 그에 따라 이오나이저의 소형화가 실현될 수 있다.
상기 방전 전극(5A 및 5B)에서 발생한 양 및 음의 이온은, 팬(6)으로부터의 에어류에 의해 워크를 향해 보내져, 대전된 당해 워크의 제전이 행해진다. 이때 상기 에어류는, 상기 팬(6)의 회전 중심 즉 송풍구(3)의 중심(Ｏ)의 둘레를 선회하는 나선류로 되어 서서히 확산하면서 진행하기 때문에, 상기 양 및 음의 이온도 그 방향으로 반송되지만, 도 5에 일부의 방전 전극쌍(4B)에 대해서 화살표로 나타내는 바와 같이, 상기 양의 방전 전극(5A)과 음의 방전 전극(5B)의 선단-중심간 거리(D)가 다름으로써, 양 및 음의 이온이 송풍구(3)의 반경 방향의 다른 장소에서 발생하기 때문에, 양 및 음의 이온이 재결합하여 중화되기 어렵다. 일부의 이온끼리가 서로 섞여 재결합하는 일이 있어도, 재결합하는 이온양은, 도 10과 같이 양 및 음의 방전 전극(20A 및 20B)의 선단-중심간 거리가 동일한 경우에 비해 현격하게 적다. 따라서, 재결합에 의해 중화되는 이온양이 감소하고 워크에 도달하는 이온의 양이 증가하여, 대전된 당해 워크의 제전이 효율 좋게 단시간에 행해지게 된다.
한편, 도 5에 있어서, 서로 이웃하는 제1 방전 전극쌍(4A)과 제2 방전 전극쌍(4B)에 대해서 고려한 경우, 제1 방전 전극쌍(4A)에 있어서의 양의 방전 전극(5A)의 선단(5c)과 제2 방전 전극쌍(4B)에 있어서의 음의 방전 전극(5B)의 선단(5c) 및, 제1 방전 전극쌍(4A)에 있어서의 음의 방전 전극(5B)의 선단(5c)과 제2 방전 전극쌍(4B)에 있어서의 양의 방전 전극(5A)의 선단(5c)과는, 각각 송풍구(3)의 반경 방향의 서로 동일한 위치, 즉, 송풍구(3)와 동심을 이루는 동일한 원주상에 있지만, 이들 방전 전극간의 거리(C)는 크기 때문에, 에어에 의한 반송중에 이온끼리의 접촉은 일어나기 어렵다.
또한, 선단-중심간 거리(D)가 긴 양의 방전 전극(5A)과 당해 선단-중심간 거리(D)가 짧은 음의 방전 전극(5B)으로 이루어지는 제1 방전 전극쌍(4A)과, 상기 선단-중심간 거리(D)가 짧은 양의 방전 전극(5A)과 당해 선단-중심간 거리(D)가 긴 음의 방전 전극(5B)으로 이루어지는 제2 방전 전극쌍(4B)이, 서로 혼재함으로써, 상기 송풍구(3)의 반경 방향의 다른 위치에 양의 방전 전극(5A) 및 음의 방전 전극(5B)의 방전부(5a)가 각각 위치하게 되기 때문에, 상기 송풍구(3)의 반경 방향의 이온 분포가 평균화되어 이온 밸런스가 좋아진다.
또한, 상기 방전 전극(5A 및 5B)은, 상기 방전부(5a)를 제외한 그 외의 부분이 전기 절연물로 피복되어 있기 때문에, 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)이 서로 근접하여 배치되어 있어도, 도 6에 일부의 방전 전극쌍(4B)에 대해서 나타내는 바와 같이, 방전 전극(5A)과 방전 전극(5B)의 방전부(5a)끼리를 상기 전기 절연재(11)의 표면과 송풍구(3)의 내주면을 통하여 연결하는 연면거리(沿面距離)(L)(점선으로 나타냄)는, 피복되어 있지 않은 경우보다는 길어진다. 이 때문에, 장시간의 사용이나 열악 환경하에서의 사용에 의해 불순물이 방전 전극에 부착하여 절연 파괴를 일으키기까지의 기간이 길어진다는 이점도 있다.
도 7은 본 발명에 따른 이오나이저의 제2 실시 형태를 개략적으로 나타내는 것으로, 이 제2 실시 형태의 이오나이저(1)는, 도 5의 제1 실시 형태의 이오나이저(1)에 비해 방전 전극(5A 및 5B)의 배치가 다르다. 즉, 이 제2 실시 형태의 이오나이저(1)에 있어서는, 인접하는 제1 방전 전극쌍(4A)과 제2 방전 전극쌍(4B)의 서로 이웃하는 위치에, 상호 동극성(同極性)인 양의 방전 전극(5A)끼리 및 음의 방전 전극(5B)끼리가 배치되어 있다.
그 이외의 구성 및 작용은 상기 제1 실시 형태의 이오나이저와 실질적으로 동일하기 때문에, 이 제1 실시 형태와 동일 구성 부분에 당해 제1 실시 형태와 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
상기 실시 형태에 있어서는, 상기 방전 전극(5A 및 5B)이 송풍구(3)의 내주에 부착되어 있지만, 이들 방전 전극은, 상기 송풍구(3)의 외부에 있어서 상기 케이스(2)에 부착되어 있어도 좋다.
또한, 상기 방전 전극(5A 및 5B)은, 상기 실시 형태와 같이 송풍구(3)의 둘레에 당해 송풍구(3)의 내주를 따라 배치되어 있을 필요는 없어, 예를 들면 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 상기 송풍구(3)의 내측 영역 내에 형성할 수도 있다. 즉, 상기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)을 사이에 두고 상대하는 위치에, 당해 송풍구(3)를 가로지르는 2개의 평행한 바(bar) 형상을 한 지지 부재(17)가 형성되고, 이들 지지 부재(17)상의 서로 상대하는 위치에, 4조의 방전 전극쌍(4)에 있어서의 양 및 음의 방전 전극(5A 및 5B)이, 각각의 전극 선단(5c)을 송풍 방향 전방을 향한 자세로 서로 평행하게 부착되어 있다. 이 경우, 모든 방전 전극(5A, 5B)의 길이는 동일하지만, 각 방전 전극쌍(4)에 있어서의 2개의 방전 전극(5A 및 5B)은, 상 기 송풍구(3)의 중심(Ｏ)으로부터의 거리가 서로 다르기 때문에, 그들의 선단-중심간 거리도 서로 다르다.
상기 실시 형태의 이오나이저는 직류식이지만, 본 발명은 교류식의 이오나이저에도 적용할 수 있다. 이 경우, 예를 들면 도 5 또는 도 7에 있어서, 각 방전 전극쌍(4A 및 4B)의 방전 전극(5A 및 5B)에, 두 방전 전극(5A 및 5B)의 극성이 서로 반대가 되고, 그리고, 인접하는 방전 전극쌍(4A 및 4B)의 서로 이웃하는 방전 전극의 극성이 서로 동극성이거나 또는 이극성(異極性)이 되게 되는 타이밍으로, 교류의 고전압이 인가되도록 구성하면 좋다. 이것은 도 8에 있어서도 동일하다.
도 1은 본 발명에 따른 이오나이저의 제1 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 이오나이저의 방전 전극과 팬과의 배치를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 2의 종단측면도이다.
도 4는 방전 전극의 구성을 나타내는 요부 단면도이다.
도 5는 방전 전극의 배치의 일 예를 나타내는 요부 정면도이다.
도 6은 일부의 방전 전극쌍에 대한 확대도이다.
도 7은 방전 전극의 배치의 다른 예를 나타내는 요부 정면도이다.
도 8은 방전 전극의 배치의 또 다른 예를 나타내는 요부 정면도이다.
도 9는 도 8의 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 개량을 시행해야 할 이오나이저의 방전 전극의 배치예를 나타내는 정면도이다.

Claims (7)

  1. 케이스의 송풍구 내에 송풍용의 팬을 형성함과 아울러, 상기 케이스에 있어서의 상기 송풍구에 면하는 위치에, 코로나 방전에 의해 양(正), 음(負)의 이온을 발생하는 복수의 방전 전극을 형성한 이오나이저에 있어서,
    다른 극성의 이온을 발생하는 2개의 방전 전극의 조합으로 이루어지는 방전 전극쌍을 복수 갖고, 상기 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의, 전극 선단으로부터 상기 송풍구의 중심까지의 거리인 선단-중심간 거리가 서로 다른 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이오나이저는, 양의 방전 전극이 음의 방전 전극 보다 선단-중심간 거리가 길게 되어 있는 제1 방전 전극쌍과, 음의 방전 전극이 양의 방전 전극 보다 선단-중심간 거리가 길게 되어 있는 제2 방전 전극쌍을, 각각 복수 그리고 서로 동수(同數) 갖고, 이들 제1 방전 전극쌍과 제2 방전 전극쌍이 상기 송풍구의 중심의 둘레에 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 방전 전극쌍에 있어서의 양의 방전 전극과 제2 방전 전극쌍에 있어서의 음의 방전 전극과의 선단-중심간 거리가 동일하고, 그리고, 제1 방전 전극쌍에 있어서의 음의 방전 전극과 제2 방전 전극쌍에 있어서의 양의 방전 전극과의 선단-중심간 거리가 서로 동일한 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극의 선단간의 거리보다, 인접하는 방전 전극쌍의 서로 이웃하는 방전 전극의 선단간의 거리 쪽이 큰 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방전 전극은, 방전을 위한 선단 부분을 제외한 그 외의 부분이 전기절연재로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 방전 전극쌍이, 상기 송풍구의 둘레 방향으로 등간격으로 배치함과 아울러, 각 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극이, 상기 송풍구의 둘레 방향으로 서로 인접하고 그리고 근접하는 위치에, 전극 선단을 상기 송풍구의 내측을 향한 자세로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 방전 전극쌍이, 상기 송풍구의 내측 영역 내에 배치함과 아울러, 각 방전 전극쌍에 있어서의 2개의 방전 전극이, 상기 송풍구의 중심으로부터의 거리가 서로 다른 위치에, 전극 선단을 송풍 방향을 향한 자세로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102043424B1 (ko) 2019-04-17 2019-11-11 (주)하이브리드앰디 진공과 대기에서 사용 가능한 전기력선 방식의 이오나이저

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4719957B2 (ja) * 2000-05-24 2011-07-06 株式会社日立製作所 記憶制御装置及び記憶システム並びに記憶システムのセキュリティ設定方法
US8564924B1 (en) 2008-10-14 2013-10-22 Global Plasma Solutions, Llc Systems and methods of air treatment using bipolar ionization
US20120068082A1 (en) * 2009-06-05 2012-03-22 Yoshiyuki Noda Ion generation apparatus and electric equipment
JP2011060537A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Three M Innovative Properties Co 除電装置
CN102139121B (zh) * 2011-03-31 2013-07-31 蒋仁山 一种点环高压放电器
JP5869914B2 (ja) * 2012-02-28 2016-02-24 シャープ株式会社 除電装置
US9167676B2 (en) * 2014-02-28 2015-10-20 Illinois Toolworks Inc. Linear ionizing bar with configurable nozzles
JP1536463S (ko) * 2014-12-16 2015-11-02
KR102299325B1 (ko) 2015-02-24 2021-09-06 에스티온 테크놀로지스 게엠베하 가스 이온화를 위한 x-선 소스
JP6619181B2 (ja) * 2015-09-03 2019-12-11 シャープ株式会社 除電装置
JP6681790B2 (ja) * 2016-06-01 2020-04-15 シャープ株式会社 イオン発生装置および電気機器
CN108592235A (zh) * 2018-06-14 2018-09-28 郑州大智农牧科技有限公司 一种畜禽专用空气净化消毒设备
JP7175229B2 (ja) * 2019-03-28 2022-11-18 シャープ株式会社 イオン発生装置
JP7378226B2 (ja) * 2019-05-21 2023-11-13 シャープ株式会社 送風機

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004253192A (ja) 2003-02-18 2004-09-09 Keyence Corp 除電装置および除電装置用脱着ユニット

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02267880A (ja) * 1989-04-07 1990-11-01 Hiyuuguru Electron Kk イオン化エアー送風機
US5055963A (en) * 1990-08-15 1991-10-08 Ion Systems, Inc. Self-balancing bipolar air ionizer
US5549735C1 (en) * 1994-06-09 2001-08-14 Coppom Technologies Electrostatic fibrous filter
US5930105A (en) * 1997-11-10 1999-07-27 Ion Systems, Inc. Method and apparatus for air ionization
JP4290437B2 (ja) * 2003-02-18 2009-07-08 株式会社キーエンス 除電装置
JP4063784B2 (ja) * 2003-05-15 2008-03-19 シャープ株式会社 イオン発生素子、イオン発生装置
JP2006092888A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Kasuga Electric Works Ltd 送風型イオン発生器の警報装置
JP4917781B2 (ja) * 2005-09-14 2012-04-18 フィーサ株式会社 微細電極イオン発生体並びにこれを用いたイオン発生器及び除電器
JP4910207B2 (ja) * 2005-11-25 2012-04-04 Ｓｍｃ株式会社 イオンバランス調整方法及びそれを用いたワークの除電方法
US7965487B2 (en) * 2006-03-03 2011-06-21 Fisa Corporation Neutralization apparatus having minute electrode ion generation element
US7545640B2 (en) * 2007-02-16 2009-06-09 Intel Corporation Various methods, apparatuses, and systems that use ionic wind to affect heat transfer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004253192A (ja) 2003-02-18 2004-09-09 Keyence Corp 除電装置および除電装置用脱着ユニット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102043424B1 (ko) 2019-04-17 2019-11-11 (주)하이브리드앰디 진공과 대기에서 사용 가능한 전기력선 방식의 이오나이저

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Publication number Publication date
JP5201338B2 (ja) 2013-06-05
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US8116060B2 (en) 2012-02-14
KR20100006117A (ko) 2010-01-18
TW201010516A (en) 2010-03-01
CN101626146A (zh) 2010-01-13
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DE102009031985A1 (de) 2010-01-14
JP2010020908A (ja) 2010-01-28

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