KR101074475B1 - 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치 - Google Patents

진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 간단한 구성으로 이루어져 있어 소음, 마찰에 의한 파티클 발생, 마모 문제 등을 해결할 수 있을 뿐만 아니라 진공 장치 내부, 특히 진공 챔버 사이를 이동함에 있어 별도의 장치의 도움 없이도 원활하게 이동할 수 있도록 구성된 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것이다.
반송 장치, 진공 공정, 진공 장치

Description

진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치{A transfer equipment for vacuum equipment and a vacuum equipment including the thereof}
본 발명은 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 간단한 구성으로 이루어져 있어 소음, 마찰에 의한 파티클 발생, 마모 문제 등을 해결할 수 있을 뿐만 아니라 진공 장치 내부, 특히 진공 챔버 사이를 이동함에 있어 별도의 장치의 도움 없이도 원활하게 이동할 수 있도록 구성된 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것이다.
진공 공정은 일반적으로 반도체, 디스플레이 소자 등의 정밀 소자를 제조하는데 사용되므로, 이러한 분야에 적용되는 반송 장치는 정밀한 위치 제어 및 속도 제어가 필수적일 뿐만 아니라 진공 공정의 청정도 유지를 위하여 기계적인 마찰에 의한 파티클 발생을 최소화하여야 함은 물론 내구성 역시 강해야 한다.
일반적으로 대기 상태에서 사용되는 반송 장치는 구동부에 그리스 등이 사용되므로 진공 공정용 반송 장치로 사용하기 곤란하며, 그리스를 제거한다고 해도 진 공의 분위기에서 대기압에서와 같이 원활한 제어가 이루어지지 않는다.
또한 기존의 반송 장치는 대부분 체인, 롤러, 레일 등을 이용하고 있으나 이들의 경우, 기계적 구성상 기구적인 유격이 존재하여 저속에서 정속도 제어가 어렵고, 소음, 마찰에 의한 파티클 발생, 마모 등의 문제를 내포하고 있을 뿐만 아니라, 진공 챔버들 사이를 이동해야 하는 경우, 진공 챔버들 간의 이송이 매우 어려워 진공 공정을 진행하는 진공 장치에 이용하기에는 많은 문제점을 보이고 있는 실정이다.
본 발명의 목적은 간단한 구성으로 이루어진 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 구성이 간단함에 따라 저속에서 정속도 제어가 용이하고 소음, 마찰에 의한 파티클 발생 및 마모 등을 최소화할 수 있는 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 진공 장치의 진공 챔버들 사이로 이송물을 이송함에 있어 별도의 장치를 구비하지 않고도 원활하게 이송할 수 있는 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 별다른 구조적인 변경 없이 다양한 형태의 진공 장치에 적용 가능한 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 상기 진공 공정용 반송 장치를 구비한 진공 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상부면에는 이송물을 체결하고, 하부면에는 가이드 홈을 구비한 둘 이상의 단위 이송 유닛; 상기 단위 이송 유닛들의 가이드 홈에 삽입되는 이송 봉; 및 상기 이송 봉의 양 끝단에서 상기 이송 봉을 지지하는 지지부; 상기 지지부들 중 어느 한 지지부에 구비되어 상기 이송 봉을 회전시키는 구동 기어 부재;를 포함하는데, 상기 단위 이송 유닛은 정면 및 후면 각각에 상기 이송 봉에 접촉하여 상기 이송 봉의 회전에 의해 상기 단위 이송 유닛이 전진 또는 후퇴할 수 있도록 그 회전축이 상기 이송 봉의 회전축에 대해 일정 각도로 틀어져서 구비된 캠 플로어 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치를 제공한다.
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바람직한 실시 예에 있어서, 상기 구동 기어 부재와 연결된 구동 발생 부재; 및 상기 구동 기어 부재와 이송 봉을 연결하는 구동 전달 부재;를 더 포함하여 상기 구동 발생 부재에서 발생된 구동력이 상기 구동 기어 부재, 구동 전달 부재 및 이송 봉에 순차적으로 전달되어 상기 단위 이송 유닛이 전진 또는 후퇴하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다른 실시예에 있어서, 진공 공정용 반송 장치에 있어서, 상기 단위 이송 유닛, 지지부 및 구동 기어 부재를 구비한 이송 봉이 둘 이상 병렬로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치ㄹ를f바람직한 실시 예에 있어서, 상기 단위 이송 유닛, 지지부 및 구동 기어 부재 제공한다.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 이송 봉들 각각에 구비된 구동 기어 부재와 상기 이송 봉을 연결하는 구동 전달 부재들; 상기 이송 봉들 각각에 구비된 구동 전달 부재들과 연결된 구동 연결부; 및 상기 구동 연결부에 연결된 구동 발생 부재;를 더 포함하여 상기 구동 발생 부재에서 발생된 구동력이 상기 구동 연결부, 구동 기어 부재, 구동 전달 부재 및 이송 봉에 순차적으로 전달되어 상기 단위 이 송 유닛이 전진 또는 후퇴하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 또 다른 실시예에 있어서, 상기 진공 공정용 반송 장치가 둘 이상 일렬로 이격 배치되되, 상기 진공 공정용 반송 장치들 간의 이격 간격은 어느 하나의 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉에 구비된 단위 이송 유닛들 중 첫 번째로 상기 어느 하나의 진공 반송 장치의 이송 봉에서 이탈하여 이웃하는 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉으로 도달할 때, 상기 단위 이송 유닛들 중 하나 이상은 상기 어느 하나의 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉에서 이탈되지 않는 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치를 제공한다.
삭제
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복 수개의 진공 챔버; 상기 진공 챔버들 사이 사이에 구비된 게이트 밸브들; 및 상기 진공 챔버들 내부에 구비된 상기 진공 공정용 반송 장치들;을 포함하되, 상기 진공 공정용 반송 장치들은 상기 진공 챔버들 내에만 구비되고, 상기 게이트 밸브들 내부에는 상기 진공 공정용 반송 장치들이 위치되지 않도록 하며, 상기 진공 공정용 반송 장치들 간의 이격 간격은 상기 게이트 밸브의 폭보다는 큰 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치를 구비한 진공 장치를 제공한다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
먼저, 본 발명의 진공 공정용 반송 장치는 간단한 구성으로 이루어져 있어, 저속에서 정속도 제어가 용이하고 소음, 마찰에 의한 파티클 발생 및 마모 등을 최소화할 수 있는 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정용 반송 장치는 진공 장치의 진공 챔버들 사이로 이송물을 이송함에 있어 별도의 장치를 구비하지 않고도 원활하게 이송할 수 있는 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 진공 공정용 반송 장치는 별다른 구조적인 변경 없이 다양한 형태의 진공 장치에 적용 가능한 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 진공 장치는 상기에서 상술한 효과를 가진 진공 공정용 반송 장치를 구비하여 이송물을 진공 장치의 진공 챔버들 사이로 이송할 때 원할하게 이송할 수 있도록 하는 진공 장치를 제공하는 효과가 있다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 방송 장치를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치(100)는 단위 이송 유닛(110), 이송 봉(120) 및 구동 기어 부재(130)를 포함하고 있다.
상기 단위 이송 유닛(110)은 상부면에는 이송물(미도시)을 체결하고, 하부면에는 가이드 홈(112)을 구비하고 있는데, 자세한 설명은 도 2을 참조하여 설명한다.
상기 이송 봉(120)은 상기 단위 이송 유닛(110)의 가이드 홈에 삽입되며, 일정 길이를 갖고 있다. 이때, 상기 이송 봉(120)의 길이는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 방송 장치(100)가 적용되는 진공 장치의 진공 챔버의 폭과 동일하거나 조금 작은 길이인 것이 바람직하다.
상기 구동 기어 부재(130)는 상기 이송 봉(120)의 일측 끝단의 일정 영역에 위치하며, 상기 이송 봉(120)을 회전시키는 역할을 한다.
이때, 상기 구동 기어 부재(130)는 도 1에서 도시된 바와 같이 상기 이송 봉(120)의 양 끝단에서 상기 이송 봉(120)을 지지하는 지지부(140)들 중 어느 한 지지부(140)에 구비된다. 이때, 상기 지지부(140)들의 끝단, 즉, 상기 이송 봉(120)의 양 끝단과 체결되는 부분은 상기 이송 봉(120)의 직경보다 작은 직경을 갖도록 라운드처리가 되어 있는데, 이는 상기 단위 이송 유닛(110)이 이동될 때, 상기 지지부(140)들의 끝단에 의해 방해받지 않도록 하기 위해서이다.
한편, 상기 구동 기어 부재(130)는 모터 등과 같은 구동 발생 부재(미도시) 및 구동 전달 부재(150)과 연결되어 상기 구동 발생 부재에서 발생된 회전을 상기 이송 봉(120)에 전달하는 역할을 한다.
이때, 도 1에서는 상기 이송 봉(120)에 단위 이송 유닛(110)이 세 개가 구비되어 있는 것을 도시하고 있으나, 두 개만 구비할 수도 있고 셋 이상 구비할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치 중 단위 이송 유닛을 자세히 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하여 설명하면, 상기 단위 이송 유닛(110)은 상부면에는 이송물(미도시)을 체결하는 체결 홈(미도시) 등을 구비하여 이송물을 체결하도록 구성된다.
또한, 상기 단위 이송 유닛(110)의 하부면에는 상기 이송 봉(120)이 삽입될 수 있도록 가이드 홈(112)을 구비하고 있는데, 상기 가이드 홈(112)은 적어도 상기 이송 봉(120)이 삽입될 수 있을 뿐만 아니라 상기 이송 봉(120)에서 상기 단위 이송 유닛(110)이 이탈되지 않을 정도의 폭 또는 너비로 이루어져 있다.
또한, 상기 단위 이송 유닛(110)의 정면 및 후면 각각에는 상기 이송 봉(120)에 접촉하여 상기 이송 봉(120)의 회전에 의해 상기 단위 이송 유닛(110)이 전진 또는 후퇴할 수 있도록 하는 캠 플로어 베어링(114)들을 구비하고 있다. 이때, 도에서는 후면만을 도시하고 있으나 반대편에도 동일하게 상기 캠 플로어 베어링(114)들을 구비하고 있다.
이때, 상기 캠 플로어 베어링(114)들은 도 2에 도시된 바와 같이 그 회전축이 상기 이송 봉(120)의 회전축에 대해 일정 각도로 틀어져서 구비되어 있는데, 이는 상기 캠 플로어 베어링(114)이 상기 이송 봉(120)의 회전을 변환시켜 상기 단위 이송 유닛(110)이 전진 또는 후퇴하도록 하는 역할을 하기 위해서이다.
이때, 상기 캠 플로어 베어링(114)은 상기 이송 봉(120)에 직접 접촉하여 상기 이송 봉(120)의 회전 운동을 직선 운동으로 변화시키게 되므로 기구적 유격이 존재하지 않아 정속도 제어를 용이하게 할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치를 도시한 사시도이다.
도 3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치(200)는 상기 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 진공 공정용 반송 장치(100) 및 단위 이송 유닛(110)을 그대로 이용하고 있다.
다만, 본 실시 예와 상기 도 1에 도시된 실시 예와의 차이점은 적어도 두 개의 진공 공정용 반송 장치(100), 정확하게는 이송 봉(120)을 병렬로 연결하여 구성하고 있다는 점에서 차이가 있다.
즉, 도 3에서 도시된 바와 같이 상기 도 1에 도시된 진공 공정용 반송 장치(100)를 적어도 둘 이상 병렬로 배치하고, 각각의 진공 공정용 방송 장치(100)들 의 구동 기어 부재(130)에 회전을 전달하는 구동 연결부(210)를 구비하고 있다.
이때, 상기 구동 연결부(210)는 모터 등과 같은 구동 발생 부재(220)와 연결되어 있다.
도 3에서는 두 개의 진공 공정용 반송 장치(100)를 구비한 것만을 도시하고 있으나 필요하다면 세 개 이상의 진공 공정용 반송 장치(100), 즉 세 개 이상의 이송 봉(120)을 구비하여 구성할 수도 있다.
도 4는 도 3에 도시된 진공 공정용 반송 장치의 설치 구조 및 작동 방법을 보여주는 사시도들이다.
도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치(300)는 도 3에 도시된 진공 공정용 반송 장치(200)를 둘 이상 일렬로 배치함으로써 구성될 수 있다.
도 4는 두 개의 진공 공정용 반송 장치(200)를 일렬로 배치한 것을 도시하고 있는데, 편의상 왼쪽에 도시된 진공 공정용 반송 장치(200)를 제1진공 공정용 반송 장치(310)로 명명하고, 나머지 하나를 제2진공 공정용 반송 장치(320)로 명명한다.
또한 상기 제1 및 제2진공 공정용 반송 장치(310,320)는 일정 간격으로 이격되어 배치되는데, 상기 이격 간격(L1)은 상기 이송 봉(120)에 구비된 단위 이송 유닛(110)들 중 이웃하는 단위 이송 유닛(110)들의 거리(L2) 보다는 작은 것이 바람직하다.
예컨대, 도 4에서 도시하고 있는 바와 같이 상기 이격 간격(L1)은 상기 이송 봉(120)에 세 개의 단위 이송 유닛(110)이 구비되어 있는 경우, 도시된 도면 부호 L2의 거리보다는 작은 것이 바람직하다.
만일 네 개의 단위 이송 유닛(110)이 구비되어 있다고 한다면 '이웃하는 단위 이송 유닛(110)' 또는 '두 번째 이웃하는 단위 이송 유닛(110)과의 거리 보다는 작은 것이 바람직하다. 즉, 상기 이격 간격(L1)은 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에 구비된 단위 이송 유닛(110)들 중 첫 번째로 상기 제1진공 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에서 이탈하여 이웃하는 제2진공 공정용 반송 장치(320)의 이송 봉(120)으로 도달할 때, 상기 단위 이송 유닛(110)들 중 적어도 하나 이상은 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에서 이탈되지 않는 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.
이는 상기 단위 이송 유닛(110)들의 상부면에 이송물 또는 이송물을 체결하는 지그 플레이트(330)가 체결되어 있는 경우, 상기 이송물 또는 지그 플레이트(330)을 제1진공 공정용 반송 장치(310)에서 제2진공 공정용 반송 장치(320)로 이동시킬 때, 적어도 하나 이상의 단위 이송 유닛(110)은 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310) 및 제2진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에 체결되어 있도록 하여 상기 이송물 또는 지그 플레이트(330)가 안정적으로 이송될 수 있게 하기 위해서이다.
도 4를 참조하여 진공 공정용 반송 장치(300)가 이송물 또는 지그 플레이트(330)를 이송시키는 방법을 설명하면, 상기 구동 발생 부재(220)에서 발생된 회전이 상기 구동 연결부(210), 구동 기어 부재(130) 및 구동 전달 부재(150)를 통해 상기 이송 봉(120)들로 전달되면, 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310) 및 제2진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)들은 회전하게 되고, 이로 인해 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에 구비되어 있는 단위 이송 유닛(110)들이 이동하게 된다. 물론 상기 단위 이송 유닛(110)들의 상부면에 체결된 이송물 또는 지그 플레이트(330)도 동시에 이동된다.
그리고, 상기 단위 이송 유닛(110)들 중 첫 번째 단위 이송 유닛(110)이 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에서 이탈하여 이웃하는 제2진공 공정용 반송 장치(320)의 이송 봉(120)에 도달하여 체결되고, 나머지 다른 단위 이송 유닛(110)들도 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)의 이송 봉(120)에서 이탈하여 이웃하는 제2진공 공정용 반송 장치(320)의 이송 봉(120)에 도달하게 되면, 상기 단위 이송 유닛(110)들 및 이송물 또는 지그 플레이트(330)가 완전히 제2진공 공정용 반송 장치(320)를 이동하게 된다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치가 진공 장치 내부에 배치된 것을 보여주는 개념도이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치는 진공 장치(400)에 장착될 수 있다.
이때, 상기 진공 장치(400)는 복 수개의 진공 챔버과 상기 진공 챔버들 사이에 구비되며, 상기 진공 챔버들 사이를 차단하거나 연결하는 역할을 하는 게이트 밸브들로 구성될 수 있다.
도 5에서는 제1진공 챔버(410) 및 제2진공 챔버(420)와 상기 진공 챔버(410,420)들 사이에 구비된 하나의 게이트 밸브(430)를 도시하고 있는데, 상기 두 개의 진공 챔버(410,420)에 각각 도 4에 도시된 제1진공 공정용 반송 장치(310) 및 제2진공 공정용 반송 장치(320)가 구비될 수 있다.
이때, 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310) 및 제2진공 공정용 반송 장치(320)의 이격 거리(이때 이격 거리는 도 4를 참조하여 설명한 이격 거리(L1)와 동일한 의미임)는 상기 게이트 밸브(430)의 폭(L3)보다는 긴 것이 바람직하다. 또한, 도시하고 있는 바와 같이 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310)와 제2진공 공정용 반송 장치(320)의 이격 영역이 상기 게이트 밸브(430) 내에 위치하도록 상기 제1진공 공정용 반송 장치(310) 및 제2진공 공정용 반송 장치(320)를 배치하여 상기 게이트 밸브(430) 내에는 상기 진공 공정용 반송 장치들이 위치하지 않도록 한다.
상기와 같이 배치된 진공 공정용 반송 장치(310,320)는 도 4를 참조하여 설명한 바와 같은 원리를 이용하여 상기 제1진공 챔버(410)에 위치하던 이송물 또는 지그 플레이트(440)를 제2진공 챔버(420)에 용이하게 이송할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예들에 따른 진공 공정용 반송 장치(100,200,300)들은 단위 이송 유닛, 이송 봉, 구동 전달 부재, 구동 기어 부재, 구동 연결부 및 구동 발생 부재 등 간단한 구성으로 이루어진 진공 공정용 반송 장치를 제공하여 기어나 체인의 사용을 최소화하여 마찰이나 마모 또는 소음 등을 최소화하였을 뿐만 아니라 단위 이송 유닛과 이송 봉이 기구적인 유격 없이 구비됨으로써 저속에서의 정속도 제어나 정위치 제어가 용이하다는 효과를 제공하고 있다.
또한, 본 발명의 실시 예들에 따른 진공 공정용 반송 장치(100,200,300)들은 마찰이나 마모를 최소화함으로써 파티클 발생을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 진 공 장치의 진공 챔버들 사이로 이송물을 이송함에 있어 별도의 장치를 구비함 없이도 원활하게 이송할 수 있을 뿐만 아니라 별다른 구조적인 변경 없이도 다양한 크기의 진공 장치에 적용할 수 있는 진공 공정용 반송 장치를 제공하는 효과가 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 방송 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치 중 단위 이송 유닛을 자세히 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 진공 공정용 반송 장치의 설치 구조 및 작동 방법을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 공정용 반송 장치가 진공 장치 내부에 배치된 것을 보여주는 개념도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : 단위 이송 유닛 112 : 가이드 홈
114 : 캠 플로어 베어링 120 : 이송 봉
130 : 구동 기어 부재 140 : 지지부
150 : 구동 전달 부재 210 : 구동 연결부
220 : 구동 발생 부재

Claims (9)

  1. 상부면에는 이송물을 체결하고, 하부면에는 가이드 홈을 구비한 둘 이상의 단위 이송 유닛;
    상기 단위 이송 유닛들의 가이드 홈에 삽입되는 이송 봉; 및
    상기 이송 봉의 양 끝단에서 상기 이송 봉을 지지하는 지지부;
    상기 지지부들 중 어느 한 지지부에 구비되어 상기 이송 봉을 회전시키는 구동 기어 부재;를 포함하는데,
    상기 단위 이송 유닛은 정면 및 후면 각각에 상기 이송 봉에 접촉하여 상기 이송 봉의 회전에 의해 상기 단위 이송 유닛이 전진 또는 후퇴할 수 있도록 그 회전축이 상기 이송 봉의 회전축에 대해 일정 각도로 틀어져서 구비된 캠 플로어 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동 기어 부재와 연결된 구동 발생 부재; 및
    상기 구동 기어 부재와 이송 봉을 연결하는 구동 전달 부재;를 더 포함하여
    상기 구동 발생 부재에서 발생된 구동력이 상기 구동 기어 부재, 구동 전달 부재 및 이송 봉에 순차적으로 전달되어 상기 단위 이송 유닛이 전진 또는 후퇴하는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치.
  5. 진공 공정용 반송 장치에 있어서,
    청구항 제1항의 상기 단위 이송 유닛, 지지부 및 구동 기어 부재를 구비한 이송 봉이 둘 이상 병렬로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이송 봉들 각각에 구비된 구동 기어 부재와 상기 이송 봉을 연결하는 구동 전달 부재들;
    상기 이송 봉들 각각에 구비된 구동 전달 부재들과 연결된 구동 연결부; 및
    상기 구동 연결부에 연결된 구동 발생 부재;를 더 포함하여
    상기 구동 발생 부재에서 발생된 구동력이 상기 구동 연결부, 구동 기어 부재, 구동 전달 부재 및 이송 봉에 순차적으로 전달되어 상기 단위 이송 유닛이 전진 또는 후퇴하는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치.
  7. 진공 공정용 반송장치에 있어서,
    청구항 제5항의 진공 공정용 반송 장치가 둘 이상 일렬로 이격 배치되되,
    상기 진공 공정용 반송 장치들 간의 이격 간격은 어느 하나의 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉에 구비된 단위 이송 유닛들 중 첫 번째로 상기 어느 하나의 진공 반송 장치의 이송 봉에서 이탈하여 이웃하는 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉으로 도달할 때, 상기 단위 이송 유닛들 중 하나 이상은 상기 어느 하나의 진공 공정용 반송 장치의 이송 봉에서 이탈되지 않는 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치.
  8. 삭제
  9. 복 수개의 진공 챔버;
    상기 진공 챔버들 사이 사이에 구비된 게이트 밸브들; 및
    상기 진공 챔버들 내부에 구비된 상기 제1항, 제4항, 제5항, 제6항, 제7항 중 어느 한 항의 진공 공정용 반송 장치들;을 포함하되,
    상기 진공 공정용 반송 장치들은 상기 진공 챔버들 내에만 구비되고, 상기 게이트 밸브들 내부에는 상기 진공 공정용 반송 장치들이 위치되지 않도록 하며,
    상기 진공 공정용 반송 장치들 간의 이격 간격은 상기 게이트 밸브의 폭보다는 큰 것을 특징으로 하는 진공 공정용 반송 장치를 구비한 진공 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004270746A (ja) * 2003-03-06 2004-09-30 Nsk Ltd 直動案内装置
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