KR101073541B1 - 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법 - Google Patents

스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101073541B1
KR101073541B1 KR1020090058949A KR20090058949A KR101073541B1 KR 101073541 B1 KR101073541 B1 KR 101073541B1 KR 1020090058949 A KR1020090058949 A KR 1020090058949A KR 20090058949 A KR20090058949 A KR 20090058949A KR 101073541 B1 KR101073541 B1 KR 101073541B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
spacer
pixel
light emitting
organic light
unit
Prior art date
Application number
KR1020090058949A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100003243A (ko
Inventor
고정우
이상신
박상수
강택교
홍승주
Original Assignee
삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성모바일디스플레이주식회사 filed Critical 삼성모바일디스플레이주식회사
Publication of KR20100003243A publication Critical patent/KR20100003243A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101073541B1 publication Critical patent/KR101073541B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material

Abstract

본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것이다. 상기 유기전계발광소자는 복수개의 단위화소를 포함하는 복수개의 화소영역과, 상기 화소영역 사이에 위치한다. 또한, 상기 스페이서는 단위화소들 사이에서 세로방향으로 뻗어있는 제 1 부분을 포함하며, 단위화소들 사이에서 상기 제 1 부분으로부터 가로방향으로 뻗어있는 하나 또는 다수개의 부분을 포함한다. 상기 스페이서는 단위화소들 사이에서 여러방향으로 뻗어있는 부분을 포함할 수도 있다. 상기 스페이서는 방어벽처럼 상기 단위화소들 주변에 위치한다. 그리고 상기 스페이서는 유기 발광층 증착시, 다른 화소 영역에 유기 발광 물질이 침범하는 것을 방지하고, 메탈 마스크 장착을 용이하게 긁힘이나 손상을 방지한다.
스페이서, 유기전계발광소자

Description

스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법{organic electro luminescence display including a spacer and method for fabricating the same}
본 발명은 메탈 마스크를 적용하여 유기물 증착시, 증착되는 유기물이 다른 화소 영역으로 침범하는 것을 방지함과 동시에, 상기 화소 영역 사이에 가로 및 세로 방향으로 스페이서를 형성하여 메탈 마스크가 안전하게 장착될 수 있으며, 마스크의 이동시 걸림 현상을 방지하도록 하는 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유기전계발광소자는 전자(electron) 주입 전극(cathode)과 정공(hole) 주입 전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하는 발광 표시장치이다.
이러한 원리로 인해 종래의 액정 박막 표시 소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다.
상기 유기전계발광소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스 방식(passive matrix type)과 능동 매트릭스 방식(active matrix type)으로 나눌 수 있다.
상기 수동 매트릭스 방식 유기전계발광소자는 그 구성이 단순하여 제조 방법 또한 단순하나, 높은 소비 전력과 표시 소자의 대면적화에 어려움이 있으며 배선의 수가 증가하면 할수록 개구율이 저하되는 단점이 있다.
따라서, 소형의 표시 소자에 적용할 경우에는 수동 매트릭스 방식의 유기전계발광소자를 사용하는 반면, 대면적의 표시 소자에 적용할 경우에는 능동 매트릭스 방식의 유기전계발광소자를 사용한다.
한편, 상기 유기전계발광소자에 있어서 유기발광층을 형성하는 공정에서, 고정세 메탈 마스크를 사용하여 유기발광층을 증착하는데, 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)에 의한 찍힘 현상을 방지하고자 스페이서를 적용하였다. 그러나, 마스크에 의한 찍힘 현상을 방지하면서, 마스크를 지지해 주는 기판 상의 스페이서가 가로 방향으로만 형성되어 있어, 상기 증착 공정시 증착 쉐도우로 인한 유기 발광층 재료가 타 화소 영역으로 침범하는 문제점이 있었다.
또한, 상기 기판 상에 형성된 스페이서는 상기 메탈 마스크를 장착시키는데 어려움이 있었고, 상기 메탈 마스크를 이동시키는데 있어서 상기 스페이서에 빈번하게 걸리는 이동상의 문제점이 존재하였다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 화소 영역 사이에 가로 및 세로 방향으로 형성된 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은 기판; 상기 기판 상에 위치하는 복수개의 단위화소들; 상기 복수개의 단위화소 사이에 위치하는 복수개의 스페이서;를 포함하며, 상기 복수개의 스페이서는 복수개의 방향으로 뻗으며 상기 단위화소들 사이에 위치하고, 스페이서가 다른 컬러의 단위화소들 사이에서 단위화소의 장축을 따라 위치하는 것을 포함하고, 각각의 단위화소의 길이만큼 긴 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자를 제공한다.
또한, 본 발명은 기판을 제공하고, 상기 기판 단위화소들 사이에서 복수개의 방향으로 뻗어나가는 부분을 포함하며, 상기 부분중 몇 부분은 상기 단위화소의 면 만큼 긴 것을 포함하는 스페이서를 형성하고, 유기물질이 형성될 단위화소에 영역을 정의하는 마스크를 상기 스페이서 상에 위치시키고, 마스크를 이용하여 상기 단위화소에 유기물질을 증착하는 것을 포함하며, 상기 스페이서는 유기물질을 형성하기 위한 단위화소 이외의 단위화소에 유기물질의 침범을 방지하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다.
제공한다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 화소 영역 사이에 가로 및 세로 방향으로 스페이서를 형성하여 메탈 마스크가 안전하게 장착될 수 있도록 하고, 메탈 마스크를 적용하여 유기물 증착시, 증착되는 유기물이 다른 화소 영역으로 침범하는 것을 방지하며, 마스크의 이동시 걸림 현상을 방지할 수 있는 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유기전계발광소자의 화소 영역의 배치도이다. 도 1을 참조하면, 기판(100)은 화소영역(150), 비화소영역(160), 그리고 스페이서(200)를 포함하고 있다.
화소영역(150)은 다양한 컬러를 포함하고 있다. 예를 들면, 화소영역(150)은 적색(R) 단위화소(150a), 녹색(G) 단위화소(150b), 청색(B) 단위화소(150c)를 포함한다.
기판(100) 상에 적색(150a), 녹색(150b) 및 청색(150c)의 단위화소를 포함하는 화소 영역(150) 및 상기 각 단위 화소의 주변 영역인 주변부(160)가 포함되어 있으며, 상기 주변부(160) 상에는 절연막(미도시)이 형성되며, 상기 절연막은 화소정의막이며, 아크릴계 수지, 벤조사이클로부텐(BCB) 및 폴리이미드(PI)로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
상기 스페이서(200)은 상기 세로방향(Y)과 가로방향(X)을 가지며, 화소영역(150) 사이에 위치한다. 예를 들면, 스페이서(200)는 단위화소(150) 사이의 세로로 위치하는 것들과, 단위화소들(150a, 150b)사이의 가로로 위치하는 것처럼 단위화소(150)들 사이에서 교차하게 위치하며 분리된 것들을 포함한다.
더 구체적으로, 스페이서(200) 중 세로로 위치하는 것들은 적어도 단위화소(150)중 어느 하나의 길이만큼은 길다. 게다가 가로방향으로 위치하는 스페이서는 단위화소(150)의 너비만큼의 길이다. 도시된 바와 같이 스페이서(200)와 단위화소들(150) 사이에는 갭이 있으며, 다양하게 위치해있다.
스페이서(200)는 포토리소그래피 공정으로 형성된다. 특히, 스페이서(200)은 유기물 및 유·무기 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 물질을 도포한 후, 노광 및 현상 공정을 통하여 소정패턴으로 형성한다.
또한, 스페이서(200)은 화소영역(150)의 각각의 화소의 주변 또는 덮는 형태로 형성된다. 그 이유는 제조 공정중 유기발광층을 증착하기 위해 스페이서(200) 상에 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)가 위치하게 되며, 유기 발광층재료가 적색(150a), 녹색(150b) 및 청색 화소 영역(150c)에 적색, 녹색 및 청색 발광층을 각각 증착된다. 계속해서 제 2 전극(미도시)이 단위화소영역(150a,150b,150c)에 형성되어 유기전계발광소자가 완성된다.
그리고, 스페이서(200)는 증착하고자 하는 발광 재료 증착시에 인접한 화소 영역에 상기 발광 재료가 침범하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 스페이서(200)는 상기 화소 영역 사이에 가로 또는 세로 방향으로 형성되었기 때문에, 메탈 마스크가 장착되는 것을 용이하게 할 뿐만 아니라, 메탈 마스크를 상기 화소 영역의 가로 방향으로 이동시, 격벽 역할을 하는 스페이서에 걸리지 않도록 하는 역할을 할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 제 2실시예에 따른 유기전계발광소자의 화소 영역 배치도이다. 도 2a의 스페이서(200)는 일반적인 방사형의 십자형태이다. 더 구체적으로, 표시된 영역 (A) 에는 스페이서가가 가로방향 및 세로방향으로 뻗어진 방사형의 시바형태의 스페이서를 볼 수 있다. 이 때, 스페이서 200의 세로방향의 길이는 단위화소 복수개의 세로방향의 길이(두개의 픽셀의 길이와 같이)와 같거나 길다.
여기서, 단위화소는 직사각형 모양이다. 상기 스페이서(200)의 제 1 방향은 메이저 방향이고, 제 2 방향은 마이너 방향이다. 더 구체적으로, 열십자의 모양의 스페이서는 다음 단위화소의 너비를 건너서 뻗어있고, 스페이서는 서로 연결되어 있지 않고, 어느 정도의 갭이 있다.
또한, 스페이서(200)는 포토리소그래피 공정으로 형성된다. 특히, 스페이서(200)은 유기물 및 유·무기 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 물질을 도포한 후, 노광 및 현상 공정을 통하여 소정패턴으로 형성한다.
스페이서(200)가 십자형태의 구조를 가질 때, 파인 메탈 마스크를 이용하여 유기발광층을 유기물질을 화소영역에 형성할 때, 유기증착과정에서 마스크의 기능 을 유리하게 하며, 스페이서(200) 상에서 마스크의 이동이 이로울 수 있다.
그리고, 방사형 구조로 스페이서(200)를 형성하는 경우, 상기 마스크를 타 화소 영역으로 이동시에 종래 가로 방향으로만 형성된 스페이서에 비해 걸림 현상을 방지할 수 있다.
여기서, 상기 스페이서(200)는 유기물 및 유·무기 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 물질을 도포한 후, 노광 및 현상 공정을 통하여 포토리소그래피 공정으로 소정패턴으로 형성한다.
상기 스페이서(200)가 적색, 녹색 및 청색을 포함하는 네 개의 단위화소의 화소 영역 사이에 장축(Y축)으로 인접한 두 단위 화소에 있어, 상기 두 개의 단위 화소의 세로 방향(Y)의 길이를 포함하면서 방사형 구조의 스페이서가 형성되는 경우, 상기 증착하고자 하는 단위 화소 영역 상에 개구부를 가지는 메탈 마스크를 장착시킨 후, 유기 발광 재료를 증착시 증착 쉐도우로 인한 인접한 단위 화소 영역으로 유기 발광 재료가 침범하여 증착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 스페이서 상에 마스크를 장착하는 것을 더욱 용이하고, 안정적으로 할 수 있다.
또한, 상기 방사형 구조로 스페이서(200)를 형성하는 경우, 상기 마스크를 타 화소 영역으로 이동시에 종래 가로 방향으로만 형성된 스페이서에 비해 걸림 현상을 방지할 수 있다.
상기 실시예는 일반적인 사각형 형태의 화소영역을 예로 들어 설명하였으나, 화소영역의 형태 또는 배열에 따라 스페이서의 형태 또는 배치를 응용하여 형성할 수 있다.
도 2b는 화소영역의 형태가 사각형 외의 다각형인 경우의 스페이서의 배열을 나타낸 도면이다. 이 경우, 육각형 형태의 단위화소를 사용할 때를 예로 들어 설명한다.
도 2b를 참조하면, 기판(100) 상에 화소영역(a)의 모양이 육각형 모양일 때의 스페이서(b)는 방사형구조로 형성된다. 그리고 상기 스페이서의 제 1 방향, 제 2 방향 및 제 3 방향을 가진다.
예를 들어, 스페이서(b)는 단위화소의 모서리가 모인 부분으로부터 인접한 복수개의 화소영역의 주변을 따라 가지를 뻗는 형태의 방사형구조로 형성된다. 그리고 상기 스페이서(b)의 제 1 방향, 제 2 방향 및 제 3 방향은 주변의 각 화소영역의 한 변의 방향과 평행한 방향으로 형성된다.
상기에 설명한 바와 같이 스페이서는 화소영역과 화소영역의 사이에 위치하게 함으로써, 증착시 불량을 방지하고 마스크 이동시의 불량을 방지할 수 있는 것이다.
도 3는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계발광소자의 사시도이다. 기판(100) 상에 제 1전극(110)을 형성하고, 상기 제 1전극(110)을 노출시키면서, 화소 영역(150)을 분리하여 주는 절연막(120)을 형성한다. 상기 절연막은 화소정의막으로서, 아크릴계 수지, 벤조사이클로부텐(BCB) 및 폴리이미드(PI)로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
상기 절연막(120)에 의해 분리되는 적색, 녹색 및 청색 화소 영역(150a, 150b, 150c : 150)을 형성하고, 상기 절연막 상에 도 2a에서 기술한 네 개의 화소 영역 사이에 장축(Y축)으로 인접한 두 화소 영역에 있어, 상기 두 개의 화소 영역의 세로 방향 길이를 포함하는 십자 형태의 방사형 구조의 스페이서(200)를 형성한다. 이러한 구조는 메탈 마스크의 이동을 도와 줄 것이다. 또한, 사각형, 직사각형처럼 십자형태의 스페이서(200)로 형성할 수 있다. 그리고 스페이서(200))의 표면이 평평하게 표현되었으나, 스페이서의 특성에 따라 오목하거나 볼록하게 형성할 수 있다.
또한, 앞서 말한 바와 같이, 기판(100) 상에 스페이서(200)위에 위치한 메탈 마스크를 사용하여 각각의 단위화소에 적색, 녹색, 청색 유기발광층을 형성한다. 그리고 나서, 제 2 전극(미도시)를 스페이서(200)가 형성된 기판(100) 전면에 걸쳐 형성하여, 유기전계발광소자를 완성한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자 상에 마스크를 장착시킨 후, 발광층을 증착하여 형성하는 공정을 나타내는 개략도이다. 단위화소(150), 제 1전극(110)이 나타나있고, 절연막(120)이 적색, 녹색, 청색 단위화소(150)를 구분하고 있는 것이 나타나있다.
기판(100) 상에 제 1 전극(110)을 노출시키면서, 화소 영역을 분리시켜 주는 절연막(120)을 형성하여, 적색, 녹색 및 청색 화소 영역을 형성하고, 상기 절연막 상에 본 발명의 실시예에 따른 스페이서(200)를 형성한다.
증착하고자 하는 화소 영역에 유기 발광 재료를 증착시키기 위해, 증착하고자 하는 화소 영역에 대응하는 개구부를 포함하는 메탈 마스크(300)를 상기 스페이서(200) 상에 장착시킨다.
이어서, 상기 메탈 마스크(300)를 장착시킨 절연막(120) 및 스페이서(200)를 포함하는 기판을 증착 물질이 증착될 화소 영역이 증착 물질과 마주보도록 위치시키고, 상기 유기 발광 재료를 증착함으로써, 상기 화소 영역 내에 유기 발광층을 형성할 수 있다.
상기 스페이서(200)는 화소 영역의 가로 및 세로 방향의 길이를 포함하여 형성하거나, 장축(Y축)으로 인접하는 상기 화소 영역(150)의 세로 방향의 길이를 포함하도록 십자 형태의 방사형 구조로 형성되기 때문에, 증착시 증착되는 유기 발광 재료가 타 화소 영역으로 침범하는 것을 방지하고, 메탈 마스크(300)가 장착되는 것을 용이하게 할 뿐만 아니라, 메탈 마스크를 상기 화소 영역의 가로 방향으로 이동시, 상기 스페이서에 걸리는 것을 방지하는 역할을 할 수 있도록 한다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유기전계발광소자의 화소 영역 배치도이다.
도 2a는 본 발명의 제 2실시예에 따른 유기전계발광소자의 화소 영역 배치도이다.
도 2b는 화소영역이 다각형인 경우의 스페이서의 배치를 나타내는 도면이다.
도 3는 본 발명의 제 2실시예에 따른 유기전계발광소자의 사시도이다.
도 4은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자 상에 마스크를 장착시킨 후, 발광층을 증착하여 형성하는 공정을 나타내는 개략도이다.

Claims (24)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 위치하는 화소 정의막에 둘러싸인 복수개의 단위화소들;
    상기 복수개의 단위화소 사이에 위치하며 상기 화소 정의막 위에 형성되는 복수개의 스페이서;를 포함하며, 상기 화소 정의막은 연속되는 구조이고, 상기 복수개의 스페이서는 복수개의 방향으로 뻗으며 상기 단위화소들 사이에 위치하고, 스페이서가 다른 컬러의 단위화소들 사이에서 단위화소의 장축을 따라 위치하는 것을 포함하고, 각각의 단위화소의 길이만큼 긴 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 스페이서는 상기 단위화소의 세로방향을 따라 위치하며, 상기 단위화소의 다른 방향을 따라 위치하는 분리된 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 스페이서는 단위화소의 세로방향을 따라 위치하는 것에 수직인 형태로 위치하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 스페이서는 금속마스크가 스페이서 위에 위치하면서 상기 단위화소를 침범하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 스페이서는 방사형의 십자형태인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 스페이서들은 단위화소의 주변에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 스페이서는 유기물질을 증착할 때, 단위화소의 유기물질이 다른 단위화소로 침범하는 것을 방지하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  8. 기판;
    상기 기판 상에 위치하는 화소 정의막에 둘러싸인 복수개의 단위화소; 상기 복수개의 단위화소 사이에 위치하며 상기 화소 정의막 위에 형성되는 복수개의 스페이서;를 포함하며, 상기 화소 정의막은 연속되는 구조이고, 상기 스페이서들은 복수개의 단위화소 사이에서 복수개의 방향으로 뻗어있는 것을 포함하며, 상기 단위화소의 장축의 방향으로 뻗어있고, 길이가 상기 복수개의 단위화소 중 적어도 2개 이상의 단위화소의 한 변의 길이의 합만큼 긴 제 1 부분과, 상기 단위화소에서 제 1 부분으로부터 측면으로 뻗어나간 복수개의 다른 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 스페이서의 다른 부분은 상기 제 1 부분에 수직으로 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 스페이서는 금속마스크가 스페이서 위에 위치하면서 상기 단위화소를 침범하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 복수개의 스페이서는 유기물질을 증착할 때, 단위화소의 유기물질이 다른 단위화소로 침범하는 것을 방지하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 스페이서들은 단위화소의 주변에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 스페이서는 방사형의 십자형태인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  14. 기판;
    상기 기판 상에 위치하는 화소 정의막에 둘러싸인 다각형 형태의 복수개의 단위화소;
    상기 복수개의 단위화소 사이에 위치하며 상기 화소 정의막 위에 형성되는 복수개의 스페이서;를 포함하며, 상기 화소 정의막은 연속되는 구조이고, 상기 복수개의 스페이서는 상기 단위화소들 사이에서 복수개의 방향으로 뻗어있는 부분을 포함하며, 상기 부분이 다각형인 단위화소의 면의 길이만큼 긴 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 스페이서는 방사형의 십자형태인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 스페이서들은 각각의 단위화소의 주변에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  17. 제 14항에 있어서,
    상기 복수개의 스페이서는 유기물질을 증착할 때, 단위화소의 유기물질이 다른 단위화소로 침범하는 것을 방지하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  18. 제 14항에 있어서,
    상기 단위화소는 육각형 형태인 것을 포함하는 유기전계발광소자.
  19. 화소 정의막에 둘러싸인 복수개의 단위화소를 포함하는 기판을 제공하고,
    상기 기판의 단위화소들 사이의 화소 정의막 위에 복수개의 방향으로 뻗어나가는 부분을 포함하며, 상기 부분중 몇 부분은 상기 단위화소의 변 만큼 긴 것을 포함하는 스페이서를 형성하고,
    유기물질이 형성될 단위화소에 영역을 정의하는 마스크를 상기 스페이서 상에 위치시키고,
    마스크를 이용하여 상기 단위화소에 유기물질을 증착하는 것을 포함하며, 상기 화소 정의막은 연속되는 구조이고, 상기 스페이서는 유기물질을 형성하기 위한 단위화소 이외의 단위화소에 유기물질의 침범을 방지하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 스페이서들은 단위화소의 주변에 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 스페이서들은 서로 다른 컬러의 단위화소들 사이에서 장축으로 뻗어있으며, 각각의 단위화소의 길이만큼 길게 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  22. 제 19항에 있어서,
    상기 스페이서들은 단위화소들을 따라 장축으로 뻗어있으며, 복수개의 단위화소의 길이만큼 길게 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  23. 제 19항에 있어서,
    상기 스페이서는 상기 스페이서 중 상기 단위화소의 변만큼 긴 부분으로부터 가로방향으로 뻗어있는 부분을 포함하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  24. 제 19항에 있어서,
    상기 스페이서는 상기 스페이서 중 상기 단위화소의 변만큼 긴 부분으로부터, 분리되어 있고, 수직이 되도록 뻗어 있는 부분을 포함하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
KR1020090058949A 2008-06-30 2009-06-30 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법 KR101073541B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US7705208P 2008-06-30 2008-06-30
US61/077,052 2008-06-30
US12/489,167 2009-06-22
US12/489,167 US8350468B2 (en) 2008-06-30 2009-06-22 Organic electroluminescence display including a spacer and method for fabricating the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100003243A KR20100003243A (ko) 2010-01-07
KR101073541B1 true KR101073541B1 (ko) 2011-10-17

Family

ID=41652263

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090058949A KR101073541B1 (ko) 2008-06-30 2009-06-30 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8350468B2 (ko)
KR (1) KR101073541B1 (ko)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101094278B1 (ko) * 2010-03-09 2011-12-19 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
KR101742816B1 (ko) * 2010-12-20 2017-06-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101615332B1 (ko) * 2012-03-06 2016-04-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 화소 배열 구조
US10832616B2 (en) 2012-03-06 2020-11-10 Samsung Display Co., Ltd. Pixel arrangement structure for organic light emitting diode display
KR102063973B1 (ko) 2012-09-12 2020-01-09 삼성디스플레이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그의 구동방법
EP3780113A1 (en) * 2012-09-13 2021-02-17 Samsung Display Co., Ltd. Pixel arrangement structure for organic light emitting diode display
KR101900914B1 (ko) * 2012-09-18 2018-11-05 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102030799B1 (ko) * 2013-03-11 2019-10-11 삼성디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
KR20140120427A (ko) * 2013-04-02 2014-10-14 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101427593B1 (ko) 2013-04-26 2014-08-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
US20140346468A1 (en) * 2013-05-27 2014-11-27 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device having a channel in pixel defining layer
KR102136275B1 (ko) 2013-07-22 2020-07-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자 및 이의 제조 방법
KR102151639B1 (ko) * 2013-10-16 2020-09-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102103499B1 (ko) * 2013-10-16 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102118920B1 (ko) 2014-01-28 2020-06-05 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치 및 그 제조방법
CN103887261B (zh) * 2014-03-03 2016-08-31 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示器及其制备方法
KR102256308B1 (ko) * 2014-04-16 2021-05-27 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
US9508778B2 (en) * 2014-04-25 2016-11-29 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display
KR102525051B1 (ko) 2015-01-30 2023-04-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20160104804A (ko) 2015-02-26 2016-09-06 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102364863B1 (ko) 2015-03-10 2022-02-18 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102404574B1 (ko) 2015-10-06 2022-06-03 삼성디스플레이 주식회사 스크린 마스크 어셈블리
CN105428389B (zh) * 2015-11-30 2018-12-18 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种有机发光显示装置及制造方法
CN110137213A (zh) 2018-02-09 2019-08-16 京东方科技集团股份有限公司 像素排列结构及其显示方法、显示基板
JP2017150017A (ja) * 2016-02-23 2017-08-31 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスクの製造方法及び有機ｅｌディスプレイの製造方法
KR101948898B1 (ko) * 2017-09-29 2019-02-15 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 다이오드 표시장치
US11121321B2 (en) * 2017-11-01 2021-09-14 Emagin Corporation High resolution shadow mask with tapered pixel openings
CN107699854B (zh) * 2017-11-10 2019-09-17 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件及其制造方法
US10636845B2 (en) 2017-12-25 2020-04-28 Sakai Display Products Corporation Organic electroluminescent display apparatus
KR20200000859A (ko) 2018-06-25 2020-01-06 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법
CN110767677A (zh) * 2018-08-06 2020-02-07 云谷（固安）科技有限公司 显示面板、显示屏及显示终端
CN112673476A (zh) * 2019-07-31 2021-04-16 京东方科技集团股份有限公司 显示基板和显示装置
KR102126383B1 (ko) * 2019-10-02 2020-06-25 삼성디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
KR20210094190A (ko) * 2020-01-20 2021-07-29 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치
KR102248731B1 (ko) * 2020-05-29 2021-05-10 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치 및 그 제조방법
CN112310316A (zh) * 2020-10-28 2021-02-02 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法
CN117598043A (zh) * 2022-05-31 2024-02-23 京东方科技集团股份有限公司 待蒸镀基板、显示基板及其制备方法
KR20240030154A (ko) * 2022-08-30 2024-03-07 엘지이노텍 주식회사 Oled 화소 증착을 위한 증착용 마스크

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001035420A (ja) * 1999-07-15 2001-02-09 Toppan Printing Co Ltd スペーサ及びその製造方法並びに表示モジュール用基板及び表示モジュール
JP2006054145A (ja) 2004-08-16 2006-02-23 Nippon Electric Glass Co Ltd 電界放射型ディスプレイ用スペーサー及びその製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW480722B (en) * 1999-10-12 2002-03-21 Semiconductor Energy Lab Manufacturing method of electro-optical device
KR20020037608A (ko) 2000-11-15 2002-05-22 현대엘씨디주식회사 전계발광소자의 제조방법
TWI258317B (en) * 2002-01-25 2006-07-11 Semiconductor Energy Lab A display device and method for manufacturing thereof
KR100705312B1 (ko) 2004-03-22 2007-04-10 엘지전자 주식회사 유기 전계발광소자 및 그 제조방법
KR100755398B1 (ko) * 2004-05-21 2007-09-04 엘지전자 주식회사 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법
TWI252446B (en) * 2004-08-05 2006-04-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd Active matrix organic electro-luminescent display panel and fabrication method thereof

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001035420A (ja) * 1999-07-15 2001-02-09 Toppan Printing Co Ltd スペーサ及びその製造方法並びに表示モジュール用基板及び表示モジュール
JP2006054145A (ja) 2004-08-16 2006-02-23 Nippon Electric Glass Co Ltd 電界放射型ディスプレイ用スペーサー及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100003243A (ko) 2010-01-07
US8350468B2 (en) 2013-01-08
US20100033084A1 (en) 2010-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101073541B1 (ko) 스페이서를 포함하는 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법
US10886343B2 (en) Pixel defining layer and method for manufacturing the same, display panel and method for manufacturing the same, and display device
KR101325577B1 (ko) 유기전계 발광소자 및 그 제조방법
KR100508002B1 (ko) 노즐코팅을 이용한 유기 전계 발광 소자 제조 방법
US7091660B2 (en) Polymer organic light emitting diode
KR101479994B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US9583544B2 (en) Organic EL display device
US8395569B2 (en) Dual panel type organic electroluminescent display device and method of fabricating the same
US11239282B2 (en) Pixel structure and fabrication method thereof, display substrate and display apparatus
JP6741431B2 (ja) 表示パネル及びその製造方法
KR101820197B1 (ko) 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법
JP2004335460A (ja) 有機電界発光素子製作用シャドーマスク
KR20190053295A (ko) 고해상도 유기 발광 다이오드 장치
US20140319475A1 (en) Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof
KR20190081213A (ko) Oled 표시장치
KR20160129688A (ko) 유기발광 다이오드 표시장치
KR102058239B1 (ko) 대면적 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조 방법
KR100759557B1 (ko) 유기 발광 디스플레이 장치
US20090015148A1 (en) Display device
KR20180003965A (ko) 유기발광 표시장치 및 그 제조방법
KR102293507B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크
KR20180076820A (ko) 전계 발광 표시 장치
JP2009070859A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法
KR100565745B1 (ko) 유기 전계발광 소자 및 그의 제조방법
US8003913B2 (en) Base plate with electrodes, process for producing the same, and electro-optical device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141001

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170928

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181001

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191001

Year of fee payment: 9